JP2010284776A - 研削装置 - Google Patents
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- 238000003754 machining Methods 0.000 claims description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 1
- 239000004480 active ingredient Substances 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
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Abstract
【解決手段】主軸1の先端部に、砥石6をドレスするドレス工具8を取り付けるドレスヘッド7を設け、砥石6でワークWを研削するときは、ドレスヘッド7に取り付けられたドレス工具8が砥石6と接触せず、ドレス工具8で砥石6をドレスするときは、ワークWを固定するチャック3がドレス工具8と接触しないように、ドレスヘッド7にドレス工具8を取り付けることにより、主軸1と砥石軸4の相対的な移動を利用して、ドレス工具8を砥石6に押し当てるとともに、主軸1の回転を利用してドレスヘッド7を回転させ、かつ、ドレスする毎にドレス工具8を取り付けることも不要として、簡単な構成で容易に砥石6をドレスできるようにした。
【選択図】図3
Description
1a 外筒部
1b 軸部
1c ネック部
2 頭部
3 チャック
3a クランプリング
3aa 外径テーパ面
3ab エア抜き孔
3b Oリング
3c ベースリング
4 砥石軸
5 砥石ヘッド
6 砥石
7 ドレスヘッド
8 ドレス工具
8a ドレス材
9 軸受
10 固定リング
Claims (7)
- 回転駆動される主軸の先端部にワークを固定するチャックを設け、回転駆動される砥石軸の砥石ヘッドに砥石を取り付けて、前記主軸と砥石軸を相対的に移動させ、前記チャックに固定されたワークの加工面を、前記砥石ヘッドに取り付けられた砥石で研削する研削装置において、前記主軸の先端部に、前記砥石をドレスするドレス工具を取り付けるドレスヘッドを設け、前記砥石でワークを研削する研削時は、前記ドレスヘッドに取り付けられたドレス工具が砥石と接触せず、前記ドレス工具で砥石をドレスするドレス時は、前記ワークを固定するチャックがドレス工具と接触しないように、前記ドレス工具が取り付けられていることを特徴とする研削装置。
- 前記チャックと前記ドレスヘッドを前記主軸の軸方向に相対移動可能とし、前記研削時と前記ドレス時とで、前記チャックとドレスヘッドが異なる位置に固定される請求項1に記載の研削装置。
- 前記ドレス工具を取り付けるドレスヘッドを、前記ワークを固定するチャックの外径側に配置した請求項1または2に記載の研削装置。
- 前記研削装置が、前記主軸と前記砥石軸を平行に配設した平面研削盤である請求項1乃至3のいずれかに記載の研削装置。
- 前記研削装置が、前記主軸と前記砥石軸を直角に配設した平面研削盤である請求項1乃至3のいずれかに記載の研削装置。
- 前記研削装置が、前記ワークの内径面を加工面とする内径研削盤である請求項1乃至3のいずれかに記載の研削装置。
- 前記研削装置が、前記ワークの外径面を加工面とする外径研削盤である請求項1乃至3のいずれかに記載の研削装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009142269A JP5510779B2 (ja) | 2009-06-15 | 2009-06-15 | 研削装置 |
US13/319,533 US9108294B2 (en) | 2009-06-15 | 2010-06-14 | Grinding device |
PCT/JP2010/060045 WO2010147086A1 (ja) | 2009-06-15 | 2010-06-14 | 研削装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009142269A JP5510779B2 (ja) | 2009-06-15 | 2009-06-15 | 研削装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010284776A true JP2010284776A (ja) | 2010-12-24 |
JP5510779B2 JP5510779B2 (ja) | 2014-06-04 |
Family
ID=43356404
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009142269A Active JP5510779B2 (ja) | 2009-06-15 | 2009-06-15 | 研削装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9108294B2 (ja) |
JP (1) | JP5510779B2 (ja) |
WO (1) | WO2010147086A1 (ja) |
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2009
- 2009-06-15 JP JP2009142269A patent/JP5510779B2/ja active Active
-
2010
- 2010-06-14 WO PCT/JP2010/060045 patent/WO2010147086A1/ja active Application Filing
- 2010-06-14 US US13/319,533 patent/US9108294B2/en active Active
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WO2010147086A1 (ja) | 2010-12-23 |
US20120058716A1 (en) | 2012-03-08 |
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JP5510779B2 (ja) | 2014-06-04 |
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