JP2010263195A - 半導体装置および半導体装置の作製方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1の酸化物半導体層と電気的に接続し、第1の材料を含む第1の導電層と第2の材料を含む第2の導電層の積層構造でなる第1のソース電極またはドレイン電極と、第2の酸化物半導体層と電気的に接続し、第1の材料を含む第3の導電層と第2の材料を含む第4の導電層の積層構造でなる第2のソース電極またはドレイン電極と、を有し、第1の酸化物半導体層には、第1のソース電極またはドレイン電極の第1の導電層が接触し、第2の酸化物半導体層には、第2のソース電極またはドレイン電極の第3の導電層および第4の導電層が接触する。
【選択図】図1
Description
本実施の形態では、半導体装置の構成例について、図1を用いて説明し、半導体装置の作製方法の例について、図2乃至図4を用いて説明する。
図1には、本実施の形態に係る半導体装置の構成の一例を示す。図1(A)は断面図であり、図1(B)は平面図である。図1(A)は、図1(B)のA−Bにおける断面を表すものである。なお、平面図においては、簡単のため、一部の構成を省略している。
次に、上述の半導体装置の作製方法の一例について、図2乃至図4を用いて説明する。
本実施の形態では、半導体装置の別の構成例について、図5を用いて説明し、半導体装置の作製方法の別の例について、図6を用いて説明する。なお、本実施の形態において説明する半導体装置の構成は、多くの点で、先の実施の形態において説明した半導体装置の構成と共通している。このため、以下では、主として異なる部分について説明することとする。
図5には、本実施の形態に係る半導体装置の構成の一例を示す。図5(A)は断面図であり、図5(B)は平面図である。図5(A)は、図5(B)のA−Bにおける断面を表すものである。なお、平面図においては、簡単のため、一部の構成を省略している。
次に、上述の半導体装置の作製方法の一例について、図6を用いて説明する。なお、第1の酸化物半導体層118の形成までは、先の実施の形態と同様であるため、詳細については先の実施の形態を参酌すればよい(図2(A)〜図2(D)、および図3(A)参照)。
本実施の形態では、半導体装置の別の構成例について、図7を用いて説明し、半導体装置の作製方法の別の例について、図8および図9を用いて説明する。なお、本実施の形態において説明する半導体装置の構成は、多くの点で、先の実施の形態において説明した半導体装置の構成と共通している。このため、以下では、主として異なる部分について説明することとする。
図7には、本実施の形態に係る半導体装置の構成の一例を示す。図7(A)は断面図であり、図7(B)は平面図である。図7(A)は、図7(B)のA−Bにおける断面を表すものである。なお、平面図においては、簡単のため、一部の構成を省略している。
次に、上述の半導体装置の作製方法の一例について、図8および図9を用いて説明する。なお、保護層124の形成までは、先の実施の形態と同様であるため、詳細については先の実施の形態を参酌すればよい(図2(A)〜図2(D)、および図3(A)〜図3(C)参照)。
先の実施の形態において説明したトランジスタを用いてCMOS回路を構成した場合の回路特性について、計算機シミュレーションを用いて確認を行った。本実施の形態では、その結果について説明する。
102 導電層
104 レジストマスク
106 レジストマスク
108 ゲート電極
110 ゲート電極
112 ゲート絶縁層
114 酸化物半導体層
116 レジストマスク
118 酸化物半導体層
120 絶縁層
122 レジストマスク
124 保護層
126 導電層
128 導電層
130 レジストマスク
132 レジストマスク
134 レジストマスク
136 レジストマスク
138 第1のソース電極またはドレイン電極
140 第1のソース電極またはドレイン電極
142 第2のソース電極またはドレイン電極
144 第2のソース電極またはドレイン電極
146 酸化物半導体層
148 レジストマスク
150 酸化物半導体層
152 絶縁層
154 トランジスタ
156 トランジスタ
200 レジストマスク
202 レジストマスク
204 レジストマスク
206 レジストマスク
208 レジストマスク
210 レジストマスク
212 酸化物半導体層
214 第1のソース電極またはドレイン電極
216 第1のソース電極またはドレイン電極
218 第2のソース電極またはドレイン電極
220 第2のソース電極またはドレイン電極
222 酸化物半導体層
224 酸化物半導体層
226 酸化物半導体層
228 トランジスタ
230 トランジスタ
300 レジストマスク
302 導電層
304 レジストマスク
306 レジストマスク
308 レジストマスク
310 レジストマスク
312 第1のソース電極またはドレイン電極
314 第1のソース電極またはドレイン電極
316 第2のソース電極またはドレイン電極
318 第2のソース電極またはドレイン電極
320 レジストマスク
322 トランジスタ
324 トランジスタ
Claims (12)
- 基板上の第1のゲート電極および第2のゲート電極と、
前記第1のゲート電極および前記第2のゲート電極を覆うゲート絶縁層と、
前記ゲート絶縁層上に設けられ、前記第1のゲート電極と重畳する第1の酸化物半導体層と、
前記ゲート絶縁層上に設けられ、前記第2のゲート電極と重畳する第2の酸化物半導体層と、
前記第1の酸化物半導体層と電気的に接続し、第1の材料を含む第1の導電層と第2の材料を含む第2の導電層の積層構造でなる第1のソース電極またはドレイン電極と、
前記第2の酸化物半導体層と電気的に接続し、前記第1の材料を含む第3の導電層と前記第2の材料を含む第4の導電層の積層構造でなる第2のソース電極またはドレイン電極と、を有し、
前記第1の酸化物半導体層には、前記第1のソース電極またはドレイン電極の前記第1の導電層が接触し、かつ、前記第1のソース電極またはドレイン電極の一部は、前記第1の酸化物半導体層の上方に存在し、
前記第2の酸化物半導体層には、前記第2のソース電極またはドレイン電極の前記第3の導電層および前記第4の導電層が接触し、かつ、前記第2の酸化物半導体層の一部は、前記第2のソース電極またはドレイン電極の上方に存在することを特徴とする半導体装置。 - 基板上の第1のゲート電極および第2のゲート電極と、
前記第1のゲート電極および前記第2のゲート電極を覆うゲート絶縁層と、
前記ゲート絶縁層上に設けられ、前記第1のゲート電極と重畳する第1の酸化物半導体層と、
前記ゲート絶縁層上に設けられ、前記第2のゲート電極と重畳する第2の酸化物半導体層と、
前記第1の酸化物半導体層と電気的に接続し、第1の材料を含む第1の導電層と第2の材料を含む第2の導電層の積層構造でなる第1のソース電極またはドレイン電極と、
前記第2の酸化物半導体層と電気的に接続し、前記第2の材料を含む第3の導電層でなる第2のソース電極またはドレイン電極と、を有し、
前記第1の酸化物半導体層には、前記第1のソース電極またはドレイン電極の前記第1の導電層が接触し、かつ、前記第1のソース電極またはドレイン電極の一部は、前記第1の酸化物半導体層の上方に存在し、
前記第2の酸化物半導体層には、前記第2のソース電極またはドレイン電極の前記第3の導電層が接触し、かつ、前記第2の酸化物半導体層の一部は、前記第2のソース電極またはドレイン電極の上方に存在することを特徴とする半導体装置。 - 請求項1または請求項2において、
前記第1の酸化物半導体層の一部は、pチャネル型トランジスタのチャネル形成領域として機能し、
前記第2の酸化物半導体層の一部は、nチャネル型トランジスタのチャネル形成領域として機能することを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至請求項3のいずれか一において、
前記第1の材料は前記第1の酸化物半導体層との間のショットキー障壁が0.5eV以下となる材料であり、
前記第2の材料は前記第2の酸化物半導体層との間のショットキー障壁が0.5eV以下となる材料であることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至請求項4のいずれか一において、
前記第1の材料は仕事関数が5.0eVより大きい材料であり、
前記第2の材料は仕事関数が4.8eVより小さい材料であることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至請求項5のいずれか一において、
前記第1のゲート電極と前記第2のゲート電極とが電気的に接続され、
前記第1のソース電極またはドレイン電極と、前記第2のソース電極またはドレイン電極とが電気的に接続されたことを特徴とする半導体装置。 - 基板上に第1のゲート電極および第2のゲート電極を形成し、
前記第1のゲート電極および前記第2のゲート電極を覆うようにゲート絶縁層を形成し、
前記ゲート絶縁層上の前記第1のゲート電極と重畳する領域に第1の酸化物半導体層を形成し、
前記第1の酸化物半導体層を覆うように、前記基板の全面に第1の導電層を形成し、
前記第1の導電層を覆うように、前記基板の全面に第2の導電層を形成し、
前記第1の導電層と前記第2の導電層とを選択的にエッチングして、前記第1の酸化物半導体層と電気的に接続する第1のソース電極またはドレイン電極を形成すると共に、その一部が前記第2のゲート電極と重畳する第2のソース電極またはドレイン電極を形成し、
前記ゲート絶縁層上の前記第2のゲート電極と重畳する領域に、前記第2のソース電極またはドレイン電極と電気的に接続する第2の酸化物半導体層を形成することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 基板上に第1のゲート電極および第2のゲート電極を形成し、
前記第1のゲート電極および前記第2のゲート電極を覆うようにゲート絶縁層を形成し、
前記ゲート絶縁層上の前記第1のゲート電極と重畳する領域に第1の酸化物半導体層を形成し、
前記第1の酸化物半導体層を覆うように、前記基板の全面に第1の導電層を形成し、
前記第2のゲート電極と重畳する領域およびその周辺に存在する前記第1の導電層を選択的に除去し、
前記第1の導電層を覆うように、前記基板上の全面に第2の導電層を形成し、
前記第1の導電層と前記第2の導電層とを選択的にエッチングして、前記第1の導電層および前記第2の導電層の積層構造から前記第1の酸化物半導体層と電気的に接続する第1のソース電極またはドレイン電極を形成すると共に、前記第2の導電層からその一部が前記第2のゲート電極と重畳する第2のソース電極またはドレイン電極を形成し、
前記ゲート絶縁層上の前記第2のゲート電極と重畳する領域に、前記第2のソース電極またはドレイン電極と電気的に接続する第2の酸化物半導体層を形成することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項7または請求項8において、
前記第1の酸化物半導体層として、pチャネル型トランジスタのチャネル形成領域として機能する酸化物半導体層を形成し、
前記第2の酸化物半導体層として、nチャネル型トランジスタのチャネル形成領域として機能する酸化物半導体層を形成することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項7乃至請求項9のいずれか一において、
前記第1の導電層は前記第1の酸化物半導体層との間のショットキー障壁が0.5eV以下となる材料を含み、
前記第2の導電層は前記第2の酸化物半導体層との間のショットキー障壁が0.5eV以下となる材料を含むことを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項7乃至請求項10のいずれか一において、
前記第1の導電層は仕事関数が5.0eVより大きい材料を含み、
前記第2の導電層は仕事関数が4.8eVより小さい材料を含むことを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項7乃至請求項11のいずれか一において、
前記第1のゲート電極と前記第2のゲート電極とが電気的に接続されるように、前記第1のゲート電極と前記第2のゲート電極とを形成し、
前記第1のソース電極またはドレイン電極と、前記第2のソース電極またはドレイン電極とが電気的に接続されるように、前記第1のソース電極またはドレイン電極と前記第2のソース電極またはドレイン電極とを形成することを特徴とする半導体装置の作製方法。
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