JP2010251686A - 発光装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板と、前記基板上に載置された、半導体レーザ素子と、前記基板上に載置され、前記半導体レーザ素子に隣接する、結晶状またはガラス状の蛍光材料と、を備え、前記半導体レーザ素子のレーザ光を受光した前記蛍光材料が前記レーザ光とは異なる波長の光を放出する発光装置が提供される。このような発光装置によれば、前記蛍光材料に強いレーザ光を照射しても、前記蛍光材料が結晶状またはガラス状であるので、前記蛍光材料から不純物ガスが放出され難い。これにより、発光装置の発光効率、信頼性及び寿命を向上させることができる。
【選択図】図1
Description
このような発光装置は、例えば、UV(Ultra Violet)から青色で発光する発光素子で蛍光体を励起して白色の発光ダイオードを形成することができる。
本発明は、上記の課題を解決するものである。
発光装置1aは、電極であるリード10,11と、支持台であるステム(基板)12と、素子等を包含するパッケージ材20と、光を取り出す窓部(出光部)30と、を有する構造をしている。ステム12とパッケージ材20は、筐体を構成する。そして、この筐体と窓30とは、封止された空間を形成する。発光装置1aは、ステム12上に半導体レーザ素子40と、ブロック体状の蛍光材料50Aを搭載している。
このリード10とリード11とは、互いに絶縁され、いずれかの一方が半導体レーザ素子40の下部電極と電気的に接続し、他方が金属ワイヤ40wを通じて半導体レーザ素子40の上部電極と電気的に接続している。
例えば、ヒートシンク層51の材質は、金属が該当する。そして、このようなヒートシンク層51は、真空蒸着、プラズマCVD、メッキ法などで形成される。そして、ヒートシンク層51の成分は、蛍光材料50Aとヒートシンク層51との密着性がよく、且つ蛍光材料50Aの光を充分に窓部30側へ反射しうる材質であることが望ましい。
そして、蛍光材料50Aの下側に配置されたヒートシンク層51は、ステム12表面に、鉛(Pb)フリーまたは共晶系はんだ材で接着される。
このようなヒートシンク層51を配置することにより、蛍光材料50Aに強いレーザ光が照射されても、蛍光材料50Aの熱が効率よくステム12側へ放射される。また、ヒートシンク層51が金属被膜で構成されていることから、その光反射効果により、レーザ光が蛍光材料50Aの内に閉じ込められ、蛍光材料50Aからの2次光が効率よく有効な方向(例えば、窓部30側への方向)に放射される。
なお、リード10,11の材質は、例えば、銅(Cu)等の金属が適用される。
なお、ステム12は、リード10,11と同じ材質で構成されたダイパッド状基板であってもよい。
また、半導体レーザ素子40の下方に設けた、サブマウント層41の材質は、例えば、高い熱伝導性と絶縁性等に優れた窒化アルミニウムが適用される。これにより、半導体レーザ素子40からも、効率よく熱がステム12側に放射される。
また、発光装置1aの空間sp内には、不活性ガスを充填するほか、真空状態としてもよい。
また、蛍光材料50Aにおいては、複数配置してもよい。例えば、半導体レーザ素子40の両側面に対向する位置に蛍光材料50Aを配置してもよい。
このように、本実施の形態の発光装置では、発光効率が高く、且つ信頼性が高い、長寿命の発光装置1aが実現する。
発光装置1bは、リード10,11と、ステム12と、パッケージ材20と、を有する構造をしている。そして、発光装置1bは、ステム12の上方に半導体レーザ素子40を備え、半導体レーザ素子40に対向する位置に、透明基材30bの主面に蛍光材料50Bを形成させた窓部30を配置している。
このミラー部材60は、例えば、シリコン結晶により構成されている。具体的には、シリコン結晶の{100}面にエッチング処理が施されて、底面が{100}面で、側面が{111}面の凹部60hが形成されている。この凹部60hの底面に半導体レーザ素子40を搭載している。
なお、エッチング処理は、シリコン結晶の{100}面に、酸化ケイ素(SiO2)膜のエッチングマスクを形成して、水酸化カリウム(KOH)溶液などにより行われる。
そして、ステム12からは、外部端子となるリード10とリード11とが延在している。
このリード10とリード11のいずれかの一方は、半導体レーザ素子40の下部電極と電気的に接続し、他方が金属ワイヤ40wを通じて半導体レーザ素子40の上部電極と電気的に接続している。
また、発光装置1bでは、半導体レーザ素子40と対向するように、透明基材30bの主面(下面)に、層状の蛍光材料50Bを配置している。
このように、本実施の形態の発光装置では、発光効率が高く、且つ信頼性が高い、長寿命の発光装置1bが実現する。
図4は、発光装置の要部断面模式図である。
発光装置1cは、その基本構造を発光装置1bと同じ構成としている。但し、発光装置1cでは、蛍光材料50Bを発光装置1cの内部に設けず、透明基材30bの上面に蛍光材料50Bを配置している。そして、蛍光材料50Bを酸化ケイ素(SiO2)膜、窒化ケイ素(Si3N4)膜、ダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜の少なくとも1つの被膜(表面コート膜)52が形成されている。また、発光装置1cの空間sp側では、透明基材30bの主面(下面)に、無反射層31を形成している。このように、発光装置1cでは、透明基材30b、蛍光材料50B、被膜52、無反射層31と、を含む窓部30を有している。
従って、発光装置1cにおいても、発光効率が高く、且つ信頼性が高くなる。
図5は、発光装置の要部断面模式図である。
発光装置1dは、その基本構造を発光装置1bと同じ構成としている。但し、発光装置1dでは、窓材50c自体の材質を上述した蛍光材料50Aの材質と同じ構成としている。そして、窓材50cの上面と下面に、無反射層31a,31bを形成している。このように、発光装置1dでは、窓材50c、無反射層31a,31bと、を含む窓部30を有している。
従って、発光装置1dにおいても、発光効率が高く、且つ信頼性が高くなる。
図6は、発光装置の要部斜視図である。
発光装置1eは、チップ状のシリコン(Si)基体62に、凹部62hと、凹部62hに隣接する別の凹部62haを形成し、シリコン基体62の表面及び凹部62h,62haの表面に絶縁膜62aを形成している。そして、凹部62h内に、半導体レーザ素子40を配置している。ここで、凹部62h,62haの底面は、シリコンの{100}面に略平行に構成され、その底面からシリコン基体62の表面にかけては、シリコンの{100}面に略平行なテーパ形状の側面を形成している。この側面は、例えば、シリコンの{111}面である。また、凹部62hの側面には、全反射膜を配置してもよい。このような凹部62hをシリコン基体62に設けた理由は、上述した発光装置1bと同様にレーザ光の上方への反射を促進させるためである。
また、発光装置1eでは、側面電極80wと裏面電極80bとの絶縁性を確保するために、側面電極80wとシリコン基体62との間にも、例えば、絶縁膜(図示しない)を配置している。
また、発光装置1eの基体においては、上述したシリコン基体62のほか、他の半導体材を、その基体としてもよい。
図7〜図10は、発光装置の製造方法を説明するための要部図である。なお、以下に例示する、図7、図9(b)、図10(a)では、各製造工程での発光装置の要部平面が示され、図8、図9(a)、図10(b)では、各製造工程での発光装置の要部断面が示されている。
例えば、図8(a)に示すように、凹部62h、凹部62ha及び表面電極80a以外の領域の絶縁膜62a上に、接着材であるフリットガラス材53を配置する。その後は、炉内においてフリットガラス材53の脱バインダ処理を行なう。
続いて、板状の蛍光材料50C及びシリコンウェハwa等を真空槽内に設置して、10−4Pa程度まで減圧させた後、不活性ガスを真空槽内に充填させる。そして、板状の蛍光材料50Cとシリコンウェハwaとの位置合わせ行った後、板状の蛍光材料50Cとシリコンウェハwaとを密着させて、例えば、1kg/cm2の圧力を与えながら、450℃、1分間の加熱処理を施す。これにより、板状の蛍光材料50Cとシリコンウェハwaとが接着する。
例えば、チップ体80cの側面80cwに絶縁膜を形成させた後、複数段に重ねたチップ体80cを、金(Au)等の金属ターゲットtaに対向させる。スパッタ法により、チップ体80cの側面80cwに側面電極80wを形成する。この際、積層させたチップ体80cの側面80cwが金属ターゲットtaに非平行になるようにチップ体80cを配置する。また、側面電極80wを形成している際には、チップ体80cの側面80cw以外の部分(例えば、裏面、表面)が成膜されないようにマスク部材maを用いる。例えば、図示するように、マスク部材maの開口部分mahからチップ体80cの側面80cwのみを表出させて、所謂、斜め蒸着によりチップ体80cの側面80cwの少なくとも一部に側面電極80wを成膜する。
なお、側面電極80wの下地には、絶縁膜が配置されていることから、表面電極80a(または、側面電極80w)と裏面電極80bとの絶縁性は確保されている。
また、側面電極80wを形成する際には、上述したマスク部材maを用いる手段のほか、チップ体80cの側面80cw以外の部分、及び表面電極80a以外の部分をレジスト等によってマスキングしてもよい。
また、板状の蛍光材料50Cとシリコンウェハwaとを貼り合わせ、これらを一括してダイシングすることにより、チップ状の発光装置1eを形成していることから、発光装置1eの製造工程が簡略化され、その量産性が向上する。
また、前述した各実施の形態が備える各要素は、技術的に可能な限りにおいて複合させることができ、これらを組み合わせたものも本発明の特徴を含む限り本発明の範囲に包含される。
その他、本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものも含まれる。
10、11 リード
12 ステム
20 パッケージ材
30 窓部
30a 無反射コート膜
30b 透明基材
31、31a、31b 無反射層
40 半導体レーザ素子
40s 素子搭載領域
40sw 側面
40w 金属ワイヤ
41、42 サブマウント層
50A、50B、50C 蛍光材料
50c 窓材
51 ヒートシンク層
52 被膜
53 フリットガラス材
60 ミラー部材
60h 凹部
61 全反射膜
62 シリコン基体
62a 絶縁膜
62h、62ha 凹部
70 ゲッタ材
80a 表面電極
80ae 端部
80b 裏面電極
80c チップ体
80cw 側面
80w 側面電極
DLA、DLB、DLC ライン
ma マスク部材
mah 開口部分
sp 空間
ta 金属ターゲット
wa シリコンウェハ
Claims (10)
- 筐体と、
窓と、
前記筐体と前記窓とにより形成された封止空間に設けられた半導体レーザ素子と、
前記封止空間に設けられた結晶状またはガラス状の蛍光材料と、
を備え、
前記蛍光材料は、前記レーザ素子から放出されたレーザ光を吸収して前記レーザ光の波長とは異なる波長の2次光を放出し、
前記2次光は、前記窓から取り出されることを特徴とする発光装置。 - 筐体と、
窓と、
前記筐体と前記窓とにより形成された封止空間に設けられた半導体レーザ素子と、
を備え、
前記窓は、前記封止空間に露出されることなく設けられた蛍光材料を有し、
前記蛍光材料は、前記半導体レーザ素子から放出されたレーザ光を吸収して前記レーザ光の波長とは異なる波長の2次光を放出し、
前記2次光は、前記窓から取り出されることを特徴とする発光装置。 - 前記封止空間に設けられ、底面と側面とを有し、前記側面の少なく一部がミラー部とされた半導体基材をさらに備え、
前記半導体レーザ素子は、前記半導体基材の前記底面に載置され、
前記レーザ素子から放射され前記ミラー部によって反射された前記レーザ光が前記蛍光材料に吸収されることを特徴とする請求項1または2に記載の発光装置。 - 第1の面方位の主面上に、第2の面方位の側面を有する凹部が形成された半導体基板と、
前記凹部内に配置された半導体レーザ素子と、
前記半導体基板の前記主面に固着され、前記凹部内に形成される封止空間に前記半導体レーザ素子を封止する結晶状またはガラス状の蛍光材料と、
前記主面とは反対側の前記半導体基板の主面に延出し、前記半導体レーザ素子の一方の主電極と接続された第1の電極と、
前記半導体基板の側面に延出し、前記半導体レーザ素子の他方の主電極と接続された第2の電極と、
を備え、
前記半導体レーザ素子から放出され前記凹部の前記側面によって反射されたレーザ光は、前記蛍光材料に吸収されて前記レーザ光の波長とは異なる波長の2次光が放出されることを特徴とする発光装置。 - 前記蛍光材料は、2価のユーロピウム、3価のユーロピウム、3価のテルビウム、3価のセリウム、または3価のプラセオジムよりなる群から選択された、1または2種以上の希土類イオンがドープされた結晶またはガラスであることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の発光装置。
- 前記蛍光材料は、(YXGd1−X)(AlYGa1−Y)O12であることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の発光装置。
- 前記封止空間は、不活性ガス雰囲気とされていることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1つに記載の発光装置。
- 前記レーザ光の波長は、470ナノメータ以下であることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1つに記載の発光装置。
- 第1の面方位の主面を有する半導体基板の前記主面に、第2の面方位の側面を有する凹部を形成し、
前記凹部の底面に半導体レーザ素子を載置し、
前記半導体基板の前記主面上に表面電極を形成して前記半導体レーザ素子に接続し、
結晶状またはガラス状の蛍光材料を前記半導体基板の主面に接合して前記半導体レーザ素子を前記凹部内に封止することを特徴とする発光装置の製造方法。 - 前記封止した後に、前記レーザ素子と前記表面電極を含む発光素子ごとに前記半導体基板及び前記蛍光材料を切断し分離し、
前記分離した前記発光素子を、その切断面を同方向に向けて並置し、
前記並置した前記発光素子の切断面に導電材料を堆積させて、前記表面電極と接続された側面電極を形成し、
前記並置した前記発光素子のそれぞれを分離することを特徴とする請求項9に記載の発光装置の製造方法。
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