JP4349001B2 - 光送信モジュール - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、光送信モジュールに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
光送信モジュールの一種として、ステムと、リード端子と、サブマウントと、半導体発光素子と、キャップとを備えるものがある。この光送信モジュールには、光共振器を構成する光出射面及び光反射面を有する端面発光型の半導体発光素子が用いられている。ステムは所定軸に交差する搭載面を有しており、搭載面にはサブマウントが搭載されている。半導体発光素子はステムに搭載されたサブマウントの側面に固定され、光出射面から所定軸に沿う方向へ光を出射する。キャップは、半導体発光素子を覆うようにステムに固定されている。リード端子は、ステムに設けられた孔に挿入され、半導体発光素子の電極と電気的に接続されている(例えば、特許文献1)。
【0003】
【特許文献1】
特開昭58−98995号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、例えば1Gbpsといったように、高速な光通信を実現するためには、高速に変調された光信号を出力することが可能な光送信モジュールを提供する必要がある。高速に変調された光信号を光送信モジュールに出力させるためには、半導体発光素子に変調信号を劣化させることなく伝える必要がある。
【0005】
しかしながら、上述した従来の光送信モジュールでは、サブマウントの側面に固定された半導体発光素子の電極とリード端子とを電気的に接続するために、ステムの搭載面から露出させるリード端子の長さを長くする必要がある。従来の光送信モジュールでは、半導体発光素子と電気的に接続されるリードピンのインダクタンスや浮遊容量によって半導体発光素子へ伝わる変調信号が劣化するので、半導体発光素子を高速に駆動することができないという問題点がある。
【0006】
本発明は上記問題点を解決するためになされたもので、高速に変調された光信号を出力することが可能な光送信モジュールを提供することを課題としている。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明の光送信モジュールは、所定軸に交差する第1の搭載面と、所定軸に沿う方向に延びる複数の孔を有する第1の搭載部材と、所定軸に交差する第2の搭載面を有し、第1の搭載面に搭載される第2の搭載部材と、一電極及び他電極と、光出射面及び光反射面とを有し、光出射面から出射する光の光軸が所定軸に交差するように第2の搭載面に搭載される半導体発光素子と、上記の一電極と電気的に接続される第1のリード端子と、上記の他電極と電気的に接続される第2のリード端子とを含み、複数の孔のいずれかを通過する複数のリード端子と、光出射面から出射される光の光路を所定軸に沿う方向へ曲げる光路変換部とを備える。
【0008】
かかる構成の光送信モジュールは、所定軸に交差する方向から入射する光の光路を所定軸に沿う方向へ曲げる光路変換部を備えるので、光出射面から所定軸に交差する方向へ光を出射するように半導体発光素子を第2の搭載面に搭載することができる。すなわち、半導体発光素子を第1の搭載面に搭載された第2の搭載部材が有する第2の搭載面に搭載することによって、第1の搭載面に近づけて配置することができるので、第1の搭載面から露出させるリード端子の長さを短くしても、半導体発光素子とリード端子とを電気的に接続することができる。その結果、半導体発光素子へ変調信号を劣化させることなく伝えることができるので、この光送信モジュールは、高速な光信号を出力することができる。
【0009】
また、本発明の光送信モジュールにおいては、光出射面から出射され光路変換部によって光路が曲げられた光を受け、該光を所定軸に沿う方向へ透過するレンズと、レンズを保持するレンズ保持部材とを備えることが好適である。
【0010】
かかる構成の光送信モジュールは、光路変換部からの光をレンズを透過させることによって、半導体発光素子の光出射面からの光を効率良く出力することができる。
【0011】
また、本発明の光送信モジュールにおいて上記の光路変換部は、所定軸及び上記の光軸に交差する所定の面に沿い光出射面から出射される光を所定軸に沿う方向へ反射する反射面を有し前記第2の搭載部材に搭載されたプリズムであることを特徴としても良い。
【0012】
また、本発明の光送信モジュールにおいては上記の光路変換部は、所定軸及び上記の記光軸に交差する所定の面に沿い光出射面から出射される光を所定軸に沿う方向へ反射する側壁を有し第2の搭載部材に設けられた第1の溝であることを特徴としても良い。
【0013】
また、本発明の光送信モジュールにおいては、第2の搭載部材に搭載され、光反射面からの光を受ける受光素子を更に備えても良い。
【0014】
かかる構成の光送信モジュールでは、半導体発光素子の光出射面からの光を受光素子によって受けることができるので、受光素子からの光電流に基づいて半導体発光素子の出力を制御することが可能となる。
【0015】
また、本発明の光送信モジュールにおいては、光出射面と光学的に結合される受光素子を更に備え、第2の搭載面には、半導体発光素子、プリズム、受光素子が所定軸に交差する方向へ順に搭載されており、プリズムの反射面は、光出射面から出射される光の一部を所定軸に沿う方向へ反射すると共に該光の他の一部を所定軸に交差する方向へ透過することが好ましい。
【0016】
かかる構成の光送信モジュールでは、光出射面からの光を受光素子によって受けることができるので、光出射面から出射させる光を受光素子からの光電流に基づいて精度良く制御することができる。
【0017】
また、本発明の光送信モジュールにおいては、第2の搭載部材には、光反射面からの光を所定軸に沿う方向へ反射する側壁を有する第2の溝が設けられており、更に第2の搭載部材に搭載され第2の溝の側壁によって反射された光を受ける受光素子を備えても良い。
【0018】
また、本発明の光送信モジュールにおいては、第2の搭載部材は、第1のリード端子と上記の一電極とを電気的に接続するための第1の配線部と、第2のリード端子と上記の他電極とを電気的に接続するための第2の配線部とを有しており、第1の配線部は、第1の抵抗を含み、第2の配線部は、第2の抵抗を含む好ましい。
【0019】
この発明によれば、第1の抵抗及び第2の抵抗の抵抗値を調整することができるので、ノイズの少ない変調信号を半導体発光素子に伝えることができる。
【0020】
また、本発明の光送信モジュールは、光ファイバを保持した光プラグを受容するためのレセプタクル部材を更に有しても良い。
【0021】
【発明の実施の形態】
本発明の第1の実施形態にかかる光送信モジュール1について添付の図面を参照して説明する。なお、以下の実施形態に関する説明においては、説明の理解を容易にするため、各図面において同一又は相当の部分には同一の符号を附すこととする。
【0022】
図1は、光送信モジュール1の側部断面図である。図2は、光送信モジュール1の平面図(図1のII−II矢視図)である。光送信モジュール1は、ステム(第1の搭載部材)2と、サブマウント(第2の搭載部材)4と、リード端子6a、6b、及び6cと、半導体発光素子8と、プリズム(光路変換部)10と、レンズキャップ(レンズ保持部材)12と、レンズ14とを備えている。光送信モジュール1は、所定軸Xに沿うように設けられた光導波路16へ光信号を出力する。本実施形態は、光導波路16として光ファイバが採用された例を示している。
【0023】
ステム2は、所定軸Xに交差する搭載面(第1の搭載面)2aと、所定軸Xに沿う方向に延びる複数の孔2bを有している。ステム2は、金属製の材料によって構成される。
【0024】
ステム2の搭載面2aにはサブマウント4が搭載されている。また、ステム2の複数の孔2bには、リード端子6a、6b、及び6cが挿入されている。リード端子6a、6b、及び6cは、ステム2の孔2bの内周面に封止部材2cを介して固定されている。封止部材2cには、例えば低融点ガラスといった絶縁性材料を用いることができる。封止部材2cとして絶縁性材料を用いることによって、リード端子6a、6b、及び6cとステム2とを絶縁することができる。
【0025】
サブマウント4は、所定軸Xに交差する搭載面(第2の搭載面)4aと、所定軸Xに沿う方向に延びる複数の孔2bとを有する。複数の孔2bはそれぞれ対応する位置に設けられた複数の孔4bに連続している。サブマウント4は、絶縁性の材料によって構成される。この材料には、例えばAl2O3といったセラミックを用いることができる。
【0026】
複数の孔4bのそれぞれには、連続している孔2bに挿入されたリード端子6a、6b、及び6cが挿入されている。リード端子6a、6b、及び6cの先端部は、搭載面4aから露出している。また、搭載面4aには、配線部4cが設けられている。配線部4cは、例えば、Auを蒸着することによって形成される。配線部4cは、リード端子6bと電気的に接続されている。
【0027】
搭載面4aには、配線部4cを介して半導体発光素子8が搭載されている。半導体発光素子8は、光出射面8a及び光反射面8bと、一電極8c及び他電極8dとを有している。半導体発光素子8は、光出射面8aと光反射面8bとによって光共振器が構成された端面発光型の半導体レーザである。半導体発光素子8は光出射面8aから出射する光の光軸が所定軸Xに交差するように搭載面4a上に搭載されている。また、半導体発光素子8は、一電極8cが配線部4cに接するように搭載面4a上に搭載されており、一電極8cと配線部4cとが電気的に接続されている。したがって、一電極8cは、リード端子6bと電気的に接続されている。また、半導体発光素子8の他電極8dは、ワイヤ18を介してリード端子6aに電気的に接続されている。
【0028】
また、搭載面4aには、プリズム10が搭載されている。プリズム10としては、ガラス製のものを用いることができる。プリズム10は、例えば、接着剤によって搭載面4aに固定される。プリズム10は、所定軸Xと光出射面8aからの光の光軸とに交差する所定の面に沿う反射面10aを有している。反射面10aは、半導体発光素子8の光出射面8aから所定軸Xに交差する方向へ出射された光を受け、この光を所定軸Xに沿う方向へ反射する。反射面10aには、入射する光を効率良く反射させるために、Au膜を設けることができる。
【0029】
更に、ステム2には、レンズキャップ12が搭載されている。レンズキャップ12は円筒形状を呈しており、その一端部12aがステム2に固定されている。一端部12aは、例えば、YAGレーザによってステム2へ固定される。レンズキャップ12の他端部は、所定軸Xに交差する方向へ延出すると共に中央部が開口されたレンズ保持部12bを有している。レンズ保持部12bには、レンズ14が保持されている。レンズ14は、封止部材20によってレンズ保持部12bに固定される。封止部材20には、例えば低融点ガラスを用いることができる。レンズ14は、光出射面8aから出射され反射面10aによって反射された光を集光して、光ファイバ16の一端面に導く。光出射面8aから出射された光は、レンズ14によって効率良く光ファイバ16の一端に導かれる。
【0030】
かかる光送信モジュール1では、プリズム10によって光出射面8aから出射される光の光路を所定軸に沿う方向へ曲げることができるので、光出射面8aから出射する光の光軸を所定軸Xに交差するように半導体発光素子8を搭載面4aに搭載することができる。搭載面4aは所定軸Xに交差しており、搭載面4aを有するサブマウント4は同様に所定軸Xに交差する搭載面2aに搭載されている。したがって、ステム2の搭載面2aに半導体発光素子を近づけて配置することができるので、半導体発光素子8と電気的に接続すべきリード端子6a及び6bの搭載面2aから露出させる長さを短くすることができる。その結果、リード端子6a及び6bによるインダクタンスや浮遊容量を抑制することができ、半導体発光素子8に変調信号を劣化することなく伝えることが可能となる。故に、かかる光送信モジュール1は、高速に変調された光信号を出力することができる。
【0031】
光送信モジュール1は、更に光ファイバの端部に設けられた光コネクタを受容するレセプタクル部材を備えることができる。図3は、光プラグと共に、レセプタクル部材を備える光送信モジュール1の一例を示した図であり、光プラグ30と、この光プラグ30を受容するレセプタクル部材32を更に備えた光送信モジュール1を示している。
【0032】
この一例のレセプタクル部材32は、第1スリーブ32aと、第2スリーブ32bと、第3スリーブ32cと、鍔部32dを有している。第1スリーブ32aは、所定軸Xに沿って延びる略円筒形状を呈しており、一端がステム2に固定されている。第1スリーブ32aは例えばステンレススチールによって構成される。第1スリーブ32aは、例えばYAGレーザによってステム2に固定される。第1スリーブ32aの他端には、第2スリーブ32bが一端が固定されている。
【0033】
第2スリーブ32bは、所定軸Xに沿って延びる略円筒形状を呈している。第2スリーブ32bは、例えば、ステンレススチールによって構成される。第2スリーブ32bは、例えばYAGレーザによって第1スリーブ32aの他端に固定される。第2スリーブ32bは、その外周面に光プラグ30を固定するための雄ねじが形成されている。また、第2スリーブ32bは、所定軸Xに沿って設けられた孔32eを有している。孔32eは、後述するフェルール30bが挿入される。孔32eには、第3スリーブ32cが挿入されている。
【0034】
第3スリーブ32cは所定軸Xに沿って延びる略円筒形状を呈している。第3スリーブ32cは、例えば、ジルコニアセラミックスによって構成される。第3スリーブ32cは、光ファイバ16を保持したフェルール22を保持している。
【0035】
また、第1スリーブ32aの周面には、所定軸Xに交差する方向へ延出する鍔部32dが設けられている。鍔部32dは、光送信モジュール1を所定のパネル等に固定する際に利用されるネジ孔32fを有している。
【0036】
このような構成を有するレセプタクル部材32は、光プラグ30を受容する。光プラグ30は、光ファイバ30aと、光ファイバ30aが内部に挿入されたフェルール30bと、フェルール30bが挿入されたスリーブ30cと、スリーブ30cの外周面に対して回動可能に設けられたリング30dとを有する。
【0037】
リング30dはその内面に第2スリーブ32bの雄ねじと同ピッチのねじが設けられており、第2スリーブ32bの雄ねじにリング30dを螺号することによって、光プラグ30をレセプタクル部材32に固定することができる。また、スリーブ30cには突起30eが設けられており、この突起30eがレセプタクル部材30に設けられた切り欠き(図示せず)に嵌まり込むことによって、リング30d回転させるときの光ファイバ30aのねじれを防止することができる。
【0038】
以上のように、光送信モジュール1にレセプタクル部材を設けることによって、光送信モジュール1からの光信号を導入すべき外部の光ファイバを光送信モジュール1に対して着脱可能とすることができる。
【0039】
次に、本発明の第2実施形態にかかる光送信モジュール40について説明する。図4は、光送信モジュール40の側部断面図である。また、図5は、光送信モジュール40の平面図(図4のV−V矢視図)である。
【0040】
光送信モジュール40は、ステム(第1の搭載部材)42と、サブマウント(第2の搭載部材)44と、リード端子46a、46b、46c、及び46dと、半導体発光素子8と、受光素子48と、プリズム(光路変換部)10と、レンズキャップ(レンズ保持部材)12と、レンズ14とを備えている。光送信モジュール40は、所定軸Xに沿うように設けられた光導波路16へ光信号を出力する。本実施形態は、第1実施形態と同様に光導波路16として光ファイバが採用された例を示している。第2実施形態の光送信モジュール40に備えられる部品のうち半導体発光素子8、プリズム10、レンズキャップ12、及びレンズ14は、第1実施形態の光送信モジュール1に備えられるものとそれぞれ同様の構成を有するので、これらの説明を省略する。
【0041】
ステム42は、所定軸Xに交差する搭載面(第1の搭載面)42aと、所定軸Xに沿う方向に延びる複数の孔を有している。搭載面42aには、サブマウント44が搭載されており、複数の孔にはリード端子46a、46b、46c、及び46dが挿入されている。ステム42は、例えば、金属製の材料によって構成することができ、リード端子46a、46b、46c、及び46dは、第1実施形態と同様に封止部材を介してステム42に固定されている。
【0042】
サブマウント44は、所定軸Xに交差する搭載面(第2の搭載面)44aと、所定軸Xに沿う方向に延びると複数の孔を有している。これらの複数の孔は、ステム42に設けられた複数の孔のうち対応する位置に設けられた孔に連続している。サブマウント44の複数の孔には、リード端子46a、46b、46c、及び46dが挿入されており、リード端子46a、46b、46c、及び46dの先端部は搭載面44aから露出している。サブマウント44は、絶縁性の材料によって構成される。この材料には、例えばAl2O3といったセラミックを用いることができる。
【0043】
搭載面44aには、配線部(第1の配線部)44c、配線部(第2の配線部)44d、及び配線部44eが設けられている。配線部44cは、配線44f、抵抗(第1の抵抗)44g、及び配線44hを含む。配線44f、及び配線44hは、例えば、搭載面44aにAuを蒸着することによって形成される。搭載面44a上には、配線44hに一電極8cが接するように半導体発光素子8が搭載されている。この配線44hは、リード端子46aと電気的に接続されている。配線44fと配線44hとは抵抗44gを介して電気的に接続されている。抵抗44gは、例えば、NiCrやTaNといった抵抗材料を印刷または蒸着することによって形成される。
【0044】
また、配線部44dは、配線44i、抵抗(第2の抵抗)44j、配線44kを含む。配線44i及び配線44kは、例えば、搭載面44aにAuを蒸着することによって形成される。配線44kは、リード端子46bと電気的に接続されており、配線44iはワイヤ50を介して半導体発光素子8の他電極8dと電気的に接続されている。配線44iと配線44kとは、抵抗44jを介して電気的に接続されている。抵抗44jは、例えば、NiCrやTaNといった抵抗材料を印刷または蒸着することによって形成される。
【0045】
かかる光送信モジュール40では、リード端子46aと半導体発光素子8の一電極8cとの間に抵抗44gを設け、リード端子46bと半導体発光素子8の他電極8dとの間に抵抗44jを設けることによって、半導体発光素子8の一電極8c及び他電極8dそれぞれへの電気信号の伝送路におけるインピーダンスの整合を図ることができる。その結果、半導体発光素子8に変調信号を供給する駆動回路として、例えば差動回路を用いることができ、ノイズの少ない変調信号を半導体発光素子8に供給することができる。
【0046】
搭載面44aには、配線部44eを介して受光素子48が搭載されている。受光素子48の一電極は、配線部44eと電気的に接続されており、配線部44eはリード端子46cと電気的に接続されている。配線部44eは、例えば、搭載面44aにAuを蒸着することによって形成される。また、受光素子48の他電極はリード端子46dにワイヤ52を介して電気的に接続されている。受光素子48は、半導体発光素子8の光反射面8bと光学的に結合されている。受光素子48は、光反射面8bからの光を受け、この光の強度に応じた光電流を生成する。受光素子48としては、端面受光型のフォトダイオードを用いることができる。かかる光送信モジュール40は、受光素子48を備えているので、受光素子48からの光電流に基づいて半導体発光素子8の発光強度を制御することができる。
【0047】
かかる光送信モジュール40は、第1実施形態の光送信モジュール1と同様にプリズム10を有しているので、半導体発光素子8と電気的に接続すべきリード端子46a及び46bの搭載面42aから露出させる長さを短くすることができる。したがって、リード端子46a及び64bによるインダクタンスや浮遊容量を抑制することができ、半導体発光素子8に変調信号を劣化することなく伝えることが可能とされる。故に、かかる光送信モジュール40も、高速に変調された光信号を出力することができる。なお、第2実施形態の光送信モジュール40は、第1実施形態の光送信モジュール1と同様に光プラグを受容するレセプタクル部材を備えることもできる。
【0048】
次に、本発明の第3実施形態にかかる光送信モジュール60について説明する。図6は、光送信モジュール60の側部断面図である。図7は、光送信モジュール1の平面図(図6のVII−VII矢視図)である。光送信モジュール60は、ステム(第1の搭載部材)62と、サブマウント(第2の搭載部材)64と、リード端子66a、66b、66c、及び66dと、半導体発光素子8と、プリズム(光路変換部)68と、レンズキャップ(レンズ保持部材)12と、レンズ14とを備えている。光送信モジュール60は、所定軸Xに沿うように設けられた光導波路16へ光信号を出力する。本実施形態は、第1実施形態と同様に光導波路16として光ファイバが採用された例を示している。光送信モジュール60では、サブマウント64の搭載面64a上において、所定軸Xに交差する方向へ順に半導体発光素子8、プリズム70、受光素子68が並べられている。第3実施形態の光送信モジュール60に備えられる部品のうち半導体発光素子8、レンズキャップ12、及びレンズ14は、第1実施形態にかかる光送信モジュール1に備えられるものとそれぞれ同様の構成を有するので、これらの説明を省略する。
【0049】
ステム62は、所定軸Xに交差する搭載面(第1の搭載面)62aと、所定軸Xに沿う方向に延びる複数の孔62bを有している。搭載面62aには、サブマウント64が搭載されており、複数の孔62bにはリード端子66a、66b、66c、及び66dが挿入されている。ステム62は、例えば、金属製の材料によって構成される。リード端子66a、66b、66c、及び66dは、第1実施形態と同様に封止部材62cを介してステム62に固定されている。
【0050】
サブマウント64は、所定軸Xに交差する搭載面(第2の搭載面)64aと、所定軸Xに沿う方向に延びると複数の孔64bを有する。複数の孔64bはそれぞれ、対応する位置に設けられたステム62の孔62bに連続している。サブマウント64の複数の孔には、リード端子66a、66b、66c、及び66dが挿入され、リード端子66a、66b、66c、及び66dの先端部は、搭載面64aから露出している。サブマウント64は、絶縁性の材料によって構成される。この材料には、例えばAl2O3といったセラミックを用いることができる。
【0051】
搭載面64aには、プリズム70が搭載されている。プリズム70としては、ガラス製のものを用いることができる。プリズム70は、例えば、接着剤によって搭載面64aに固定される。プリズム70は、半導体発光素子8の光出射面8aから所定軸Xに交差する方向へ出射された光を受け、この光の一部を所定軸Xに沿う方向へ反射する反射面70aを有する。また、この反射面70aは、半導体発光素子8の光出射面8aからの光の他の一部を所定軸Xに交差する方向へ透過する。反射面70aには、Au膜を設けることができる。このAu膜は、入射する光のうち1〜5%の光を透過する透過率を有することができる。
【0052】
搭載面64aには、配線部64c、及び配線部64dが設けられている。搭載面64aには、一電極8cが配線部64cと接するように半導体発光素子8が搭載されている。また、配線部64cは、リード端子66aと電気的に接続されており、半導体発光素子8の一電極8cは配線部64cを介してリード端子66aと電気的に接続されている。配線部64cは、例えば、搭載面44aにAuを蒸着することによって形成される。一方、半導体発光素子8の他電極8dはワイヤ72を介してリード端子66bと電気的に接続されている。
【0053】
また、搭載面64aには、一電極が配線部64dと接するように受光素子68が搭載されている。配線部64dはリード端子66cと電気的に接続されており、受光素子68の一電極はリード端子66cに配線部64dを介して電気的に接続される。一方、受光素子68の他電極はワイヤ74を介してリード端子66dと電気的に接続されている。受光素子68は、半導体発光素子8の光出射面8aから出射され反射面70aを透過した光を受け、この光の強度に応じた光電流を生成する。受光素子68には、例えば、端面入射型のフォトダイオードを用いることができる。受光素子68によって生成された光電流は、リード端子66c及び66dを介して出力され、この光電流に基づいて半導体発光素子8の発光強度が制御される。
【0054】
かかる光送信モジュール60は、第1実施形態の光送信モジュール1と同様にプリズム70を有しているので、半導体発光素子8と電気的に接続すべきリード端子66a及び66bの搭載面42aから露出させる長さを短くすることができる。したがって、リード端子66a及び64bによるインダクタンスや浮遊容量を抑制することができ、半導体発光素子8に変調信号を劣化することなく伝えることが可能とされる。故に、かかる光送信モジュール60も、高速に変調された光信号を出力することができる。
【0055】
また、光送信モジュール60は、受光素子68によって半導体発光素子8の光出射面8aからの光を受けることができるので、光出射面8aから出射させる光の強度をより精度良く制御することができる。なお、第3実施形態の光送信モジュール60も、第1実施形態の光送信モジュール1と同様に光プラグを受容するレセプタクル部材を備えることもできる。
【0056】
次に、本発明の第4実施形態にかかる光送信モジュール80について説明する。図8は、光送信モジュール80の側部断面図である。図9は、光送信モジュール80の平面図(図8のIX−IX矢視図)である。光送信モジュール80は、ステム(第1の搭載部材)82と、サブマウント(第2の搭載部材)84と、リード端子86a、86b、86c、及び86dと、半導体発光素子8と、レンズキャップ(レンズ保持部材)12と、レンズ14とを備えている。光送信モジュール80は、所定軸Xに沿うように設けられた光導波路16へ光信号を出力する。本実施形態は、第1実施形態と同様に光導波路16として光ファイバが採用された例を示している。第4実施形態の光送信モジュール80に備えられる部品のうち半導体発光素子8、レンズキャップ12、及びレンズ14は、第1実施形態にかかる光送信モジュール1に備えられるものとそれぞれ同様の構成を有するので、これらの説明を省略する。
【0057】
ステム82は、所定軸Xに交差する搭載面(第1の搭載面)82aと、所定軸Xに沿う方向に延びる複数の孔82bを有している。この実施形態では、孔82bは4つ設けられている。複数の孔82bには、リード端子66a、66b、66c、及び66dが挿入されている。ステム82は、例えば、金属製の材料によって構成される。リード端子86a、86b、86c、及び86dは、第1実施形態と同様に封止部材82cを介してステム82に固定されている。
【0058】
搭載面82aには、サブマウント84が搭載されている。サブマウント84は、所定軸Xに交差する搭載面(第2の搭載面)84a、第1の溝84b、及び第2の溝84cを有している。サブマウント84は、例えば、Al2O3といったセラミックによって構成される。
【0059】
搭載面84a、第1の溝84b、及び第2の溝84cは、サブマウント84をエッチングすることによって形成される。搭載面84aは、所定軸Xに交差する基準面84dからサブマウント84を所定の深さまでエッチングすることによって形成される。第1の溝84b及び第2の溝84cは、搭載面84aの一対の縁に沿う領域においてサブマウント84をエッチングすることによって形成される。
【0060】
第1の搭載面84aには、配線部84eが設けられている。第1の搭載面84aには、一電極8cが配線部84eに接するように半導体発光素子8が搭載されている。配線部84eは、リード端子86aに電気的に接続されており、半導体発光素子8の一電極8cは、配線部84eを介してリード端子86aに電気的に接続されている。一方、基準面84dには、配線部84fが設けられており、配線部84fには、半導体発光素子8の他電極8dがワイヤ92を介して電気的に接続されている。また、配線部84fは、ワイヤ94を介してリード端子86bに接続されている。半導体発光素子8には、リード端子86a及びリード端子86bを介して変調信号が与えられる。
【0061】
また、半導体発光素子8は、所定軸Xに交差する方向に光出射面8aから光を出射するように搭載面84a上に搭載されている。光出射面8aから出射される光の光軸上には第1の溝84bの側壁84gが位置している。側壁84gは、所定軸X及び上記の光軸に交差する所定の面に沿って設けられている。側壁84gは、光出射面8aから出射される光を所定軸Xに沿う方向に反射する。側壁84gには、光出射面8aから出射される光を効率良く反射するためのAu膜を設けることができる。側壁84gは、例えば、第1の溝84bを形成する方法として等方性のウェットエッチングを用いることによって形成される。
【0062】
基準面84dには、配線部84hが設けられている。基準面84dには、一電極が配線部84hに接するように受光素子88が搭載されている。配線部84hは、ワイヤ96、搭載面82a、及びワイヤ98を介してリード端子86cに電気的に接続されており、受光素子88の一電極はリード端子86cに電気的に接続される。一方、受光素子88の他電極はワイヤ100を介してリード端子86dに電気的に接続されている。
【0063】
また、受光素子88は、その光感応領域によって第2の溝84cの側壁84iを所定軸Xに交差する方向の上部から覆うように設けられている。側壁84iは、所定軸X及び光反射面8bから出射される光の光軸に交差する所定の面に沿って設けられている。側壁84iは、光反射面8bからの光を所定軸Xに沿う方向へ反射する。側壁84iには、光反射面8bから出射される光を効率良く反射するためのAu膜を設けることができる。側壁84gは、例えば、第2の溝84cを形成する方法として等方性のウェットエッチングを用いることによって形成される。
【0064】
受光素子88は、側壁84iによって反射される光反射面8bからの光を受け、この光の強度に応じた光電流を生成する。受光素子88には、例えば表面入射型のフォトダイオードや、裏面入射型のフォトダイオードを用いることができる。受光素子88によって生成される光電流は、リード端子86c及び88dを介して出力され、この光電流に基づいて半導体発光素子8へ与えられる変調信号の強度が制御される。
【0065】
かかる構成の光送信モジュール80では、所定軸Xに交差する方向へ出射される光の光路を第1の溝84bによって所定軸Xに沿う方向へ曲げることができるので、光出射面8aから出射する光の光軸が所定軸Xに交差するように半導体発光素子8を搭載面84aに搭載することができる。搭載面84aは所定軸Xに交差しており、搭載面84aを有するサブマウント84は同様に所定軸Xに交差する搭載面82aに搭載されている。したがって、半導体発光素子8を搭載面82aに近づけて配置することができるので、半導体発光素子8と電気的に接続すべきリード端子の搭載面82aから露出させる長さを短くすることができる。その結果、リード端子によるインダクタンスや浮遊容量を抑制することができ、半導体発光素子8に変調信号を劣化させることなく伝えることができる。故に、かかる光送信モジュール80は、高速に変調された光信号を出力することが可能である。なお、第4実施形態の光送信モジュール80は、第1実施形態の光送信モジュール1と同様に光プラグを受容するレセプタクル部材を備えることもできる。
【0066】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、半導体発光素子に変調信号を劣化させることなく伝えることができるので、高速に変調された光信号を出力することが可能な光送信モジュールが提供される。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、第1実施形態にかかる光送信モジュールの側部断面図である。
【図2】図2は、第1実施形態にかかる光送信モジュールの平面図(図1のII−II矢視図)である。
【図3】図3は、光プラグと共に、光プラグを受容するレセプタクル部材を備えた光送信モジュールの一例を示す側面図である。
【図4】図4は、第2実施形態に係る光送信モジュールの側部断面図である。
【図5】図5は、第2実施形態に係る光送信モジュールの平面図(図4のV−V矢視図)である。
【図6】図6は、第3実施形態に係る光送信モジュールの側部断面図である。
【図7】図7は、第3実施形態に係る光送信モジュールの平面図(図6のVII−VII矢視図)である。
【図8】図8は、第4実施形態に係る光送信モジュールの側部断面図である。
【図9】図9は、第4実施形態に係る光送信モジュールの平面図(図8のIX−IX矢視図)である。
【符号の説明】
1…光送信モジュール、2…ステム、2a…搭載面、2b…孔、4…サブマウント、4a…搭載面、4b…孔、4c…配線部、6a,6b, 6c…リード端子、8…半導体発光素子、8a…光出射面、8b…光反射面、10…プリズム、10a…反射面、12…レンズキャップ、14…レンズ。
Claims (5)
- 所定軸に交差する第1の搭載面と、該所定軸に沿う方向に延びる複数の孔を有する第1の搭載部材と、
前記所定軸に交差する第2の搭載面を有し、前記第1の搭載面に搭載される第2の搭載部材と、
一電極及び他電極と、光出射面及び光反射面とを有し、該光出射面から出射する光の光軸が前記所定軸に交差するように前記第2の搭載面に搭載される半導体発光素子と、
前記一電極と電気的に接続される第1のリード端子と、前記他電極と電気的に接続される第2のリード端子とを含み、前記複数の孔のいずれかを通過する複数のリード端子と、
前記光出射面から出射される光の光路を前記所定軸に沿う方向へ曲げる光路変換部と、
前記光出射面と光学的に結合される受光素子を更に備え、
を備え、
前記光路変換部は、前記所定軸及び前記光軸に交差する所定の面に沿い前記光出射面から出射される光を前記所定軸に沿う方向へ反射する反射面を有し前記第2の搭載部材に搭載されたプリズムであり、
前記第2の搭載面には、前記半導体発光素子、前記プリズム、及び前記受光素子が前記所定軸に交差する方向へ順に搭載されており、
前記反射面は、前記光出射面から出射される光の一部を前記所定軸に沿う方向へ反射すると共に該光の他の一部を前記所定軸に交差する方向へ透過する、
光送信モジュール。 - 所定軸に交差する第1の搭載面と、該所定軸に沿う方向に延びる複数の孔を有する第1の搭載部材と、
前記所定軸に交差する第2の搭載面を有し、前記第1の搭載面に搭載される第2の搭載部材と、
一電極及び他電極と、光出射面及び光反射面とを有し、該光出射面から出射する光の光軸が前記所定軸に交差するように前記第2の搭載面に搭載される半導体発光素子と、
前記一電極と電気的に接続される第1のリード端子と、前記他電極と電気的に接続される第2のリード端子とを含み、前記複数の孔のいずれかを通過する複数のリード端子と、
前記光出射面から出射される光の光路を前記所定軸に沿う方向へ曲げる光路変換部と、
を備え、
前記光路変換部は、前記所定軸及び前記光軸に交差する所定の面に沿い前記光出射面から出射される光を前記所定軸に沿う方向へ反射する側壁を有し前記第2の搭載部材に設けられた第1の溝であり、
前記第2の搭載部材には、前記光反射面からの光を前記所定軸に沿う方向へ反射する側壁を有する第2の溝が設けられており、
前記第2の搭載部材に搭載され前記第2の溝の側壁によって反射された光を受ける受光素子を更に備える、
光送信モジュール。 - 前記光出射面から出射され前記光路変換部によって光路が曲げられた光を受け、該光を前記所定軸に沿う方向へ透過するレンズと、
前記レンズを保持するレンズ保持部材と
を更に備えることを特徴とする請求項1又は2に記載の光送信モジュール。 - 前記第2の搭載部材は、前記第1のリード端子と前記一電極とを電気的に接続するための第1の配線部と、前記第2のリード端子と前記他電極とを電気的に接続するための第2の配線部とを有しており、
前記第1の配線部は、第1の抵抗を含み、
前記第2の配線部は、第2の抵抗を含む、
請求項1〜3のいずれか1項に記載の光送信モジュール。 - 光ファイバを保持した光プラグを受容するためのレセプタクル部材を更に有する、請求項1〜4のいずれか1項に記載の光送信モジュール。
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