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Claims (9)

  1. 表面に触媒を有する基材上にカーボンナノチューブ配向集合体を成長させるカーボンナノチューブ配向集合体の製造方法であって、前記触媒の周囲環境を還元ガス環境とすると共に前記触媒及び前記還元ガスのうち少なくとも一方を加熱するフォーメーション工程を実現するフォーメーションユニットと、前記触媒の周囲環境を原料ガス環境とすると共に前記触媒及び前記原料ガスのうち少なくとも一方を加熱して前記カーボンナノチューブ配向集合体を成長させる成長工程を実現する成長ユニットと、ガス混入防止手段とを用い、
    前記フォーメーションユニットにおける前記フォーメーション工程と、前記成長ユニットにおける前記成長工程とを、行い、
    各ユニットの炉内空間が接続部によって空間的に接続されており、前記ガス混入防止手段を用いて各ユニットの炉内空間内へガスが相互に混入することを防止することを特徴とする、カーボンナノチューブ配向集合体の製造方法。
  2. 前記ガス混入防止手段を用いて、前記還元ガス環境中の炭素原子個数濃度を5×10 22 個/m 以下に保つことを特徴とする請求項1に記載のカーボンナノチューブ配向集合体の製造方法。
  3. 前記原料ガス環境が高炭素濃度環境であり、前記高炭素濃度環境は全流量に対する原料ガスの割合が2〜20%の成長雰囲気であることを特徴とする請求項1又は2に記載のカーボンナノチューブ配向集合体の製造方法。
  4. 搬送ユニットを用いて前記フォーメーションユニットから前記成長ユニットまで基板を搬送する工程をさらに有することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のカーボンナノチューブ配向集合体の製造方法。
  5. 基材入口から装置炉内へ外部空気が混入することを、入口パージ部を用いて防止することを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のカーボンナノチューブ配向集合体の製造方法。
  6. 基材出口から装置炉内へ外部空気が混入することを、出口パージ部を用いて防止することを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のカーボンナノチューブ配向集合体の製造方法。
  7. 表面に触媒を有する基材上にカーボンナノチューブ配向集合体を成長させるカーボンナノチューブ配向集合体の製造方法であって、前記触媒の周囲環境を還元ガス環境とすると共に前記触媒及び前記還元ガスのうち少なくとも一方を加熱するフォーメーション工程を実現するフォーメーションユニットと、前記触媒の周囲環境を触媒賦活物質を含む原料ガス環境とすると共に前記触媒及び前記原料ガスのうち少なくとも一方を加熱して前記カーボンナノチューブ配向集合体を成長させる成長工程を実現する成長ユニットとを用い、
    前記フォーメーション工程と、前記成長工程とを、行うことを特徴とする、カーボンナノチューブ配向集合体の製造方法。
  8. 前記触媒賦活物質は、酸素を含む物質であることを特徴とする請求項7に記載のカーボンナノチューブ配向集合体の製造方法。
  9. 前記成長工程を400℃から1100℃の範囲で行うことを特徴とする請求項7又は8に記載のカーボンナノチューブ配向集合体の製造方法。
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