JP2010248073A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010248073A5 JP2010248073A5 JP2010180044A JP2010180044A JP2010248073A5 JP 2010248073 A5 JP2010248073 A5 JP 2010248073A5 JP 2010180044 A JP2010180044 A JP 2010180044A JP 2010180044 A JP2010180044 A JP 2010180044A JP 2010248073 A5 JP2010248073 A5 JP 2010248073A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- aligned
- catalyst
- producing
- carbon nanotube
- aggregate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Description
Claims (9)
- 表面に触媒を有する基材上にカーボンナノチューブ配向集合体を成長させるカーボンナノチューブ配向集合体の製造方法であって、前記触媒の周囲環境を還元ガス環境とすると共に前記触媒及び前記還元ガスのうち少なくとも一方を加熱するフォーメーション工程を実現するフォーメーションユニットと、前記触媒の周囲環境を原料ガス環境とすると共に前記触媒及び前記原料ガスのうち少なくとも一方を加熱して前記カーボンナノチューブ配向集合体を成長させる成長工程を実現する成長ユニットと、ガス混入防止手段とを用い、
前記フォーメーションユニットにおける前記フォーメーション工程と、前記成長ユニットにおける前記成長工程とを、行い、
各ユニットの炉内空間が接続部によって空間的に接続されており、前記ガス混入防止手段を用いて各ユニットの炉内空間内へガスが相互に混入することを防止することを特徴とする、カーボンナノチューブ配向集合体の製造方法。 - 前記ガス混入防止手段を用いて、前記還元ガス環境中の炭素原子個数濃度を5×10 22 個/m 3 以下に保つことを特徴とする請求項1に記載のカーボンナノチューブ配向集合体の製造方法。
- 前記原料ガス環境が高炭素濃度環境であり、前記高炭素濃度環境は全流量に対する原料ガスの割合が2〜20%の成長雰囲気であることを特徴とする請求項1又は2に記載のカーボンナノチューブ配向集合体の製造方法。
- 搬送ユニットを用いて前記フォーメーションユニットから前記成長ユニットまで基板を搬送する工程をさらに有することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のカーボンナノチューブ配向集合体の製造方法。
- 基材入口から装置炉内へ外部空気が混入することを、入口パージ部を用いて防止することを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のカーボンナノチューブ配向集合体の製造方法。
- 基材出口から装置炉内へ外部空気が混入することを、出口パージ部を用いて防止することを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のカーボンナノチューブ配向集合体の製造方法。
- 表面に触媒を有する基材上にカーボンナノチューブ配向集合体を成長させるカーボンナノチューブ配向集合体の製造方法であって、前記触媒の周囲環境を還元ガス環境とすると共に前記触媒及び前記還元ガスのうち少なくとも一方を加熱するフォーメーション工程を実現するフォーメーションユニットと、前記触媒の周囲環境を触媒賦活物質を含む原料ガス環境とすると共に前記触媒及び前記原料ガスのうち少なくとも一方を加熱して前記カーボンナノチューブ配向集合体を成長させる成長工程を実現する成長ユニットとを用い、
前記フォーメーション工程と、前記成長工程とを、行うことを特徴とする、カーボンナノチューブ配向集合体の製造方法。 - 前記触媒賦活物質は、酸素を含む物質であることを特徴とする請求項7に記載のカーボンナノチューブ配向集合体の製造方法。
- 前記成長工程を400℃から1100℃の範囲で行うことを特徴とする請求項7又は8に記載のカーボンナノチューブ配向集合体の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010180044A JP5471959B2 (ja) | 2008-04-16 | 2010-08-11 | カーボンナノチューブ配向集合体の製造装置及び製造方法 |
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008107327 | 2008-04-16 | ||
JP2008107327 | 2008-04-16 | ||
JP2009029129 | 2009-02-10 | ||
JP2009029129 | 2009-02-10 | ||
JP2010180044A JP5471959B2 (ja) | 2008-04-16 | 2010-08-11 | カーボンナノチューブ配向集合体の製造装置及び製造方法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010508170A Division JP4581146B2 (ja) | 2008-04-16 | 2009-04-02 | カーボンナノチューブ配向集合体の製造装置及び製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010248073A JP2010248073A (ja) | 2010-11-04 |
JP2010248073A5 true JP2010248073A5 (ja) | 2012-03-22 |
JP5471959B2 JP5471959B2 (ja) | 2014-04-16 |
Family
ID=41199047
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010508170A Active JP4581146B2 (ja) | 2008-04-16 | 2009-04-02 | カーボンナノチューブ配向集合体の製造装置及び製造方法 |
JP2010180044A Active JP5471959B2 (ja) | 2008-04-16 | 2010-08-11 | カーボンナノチューブ配向集合体の製造装置及び製造方法 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010508170A Active JP4581146B2 (ja) | 2008-04-16 | 2009-04-02 | カーボンナノチューブ配向集合体の製造装置及び製造方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7897209B2 (ja) |
EP (1) | EP2263974B1 (ja) |
JP (2) | JP4581146B2 (ja) |
KR (2) | KR101460398B1 (ja) |
CN (1) | CN102741161B (ja) |
WO (1) | WO2009128349A1 (ja) |
Families Citing this family (74)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2383225A4 (en) * | 2008-12-30 | 2015-12-09 | Nat Inst Of Advanced Ind Scien | ARRANGEMENT OF EQUALIZED, UNIFORM CARBON NANOTUBES, BULK ARRANGEMENT OF EQUIPPED, UNILATED CARBON NANOTUBES, POWDERY ARRANGEMENT OF ORIENTED, CARBONIZED CARBON NANOTUBES AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR |
JP5574264B2 (ja) * | 2009-02-10 | 2014-08-20 | 日本ゼオン株式会社 | カーボンナノチューブ配向集合体生産用基材及びカーボンナノチューブ配向集合体の製造方法 |
JP2010192581A (ja) * | 2009-02-17 | 2010-09-02 | National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology | 電磁波放射体・電磁波吸収体 |
CA2758694C (en) | 2009-04-17 | 2017-05-23 | Seerstone Llc | Method for producing solid carbon by reducing carbon oxides |
US9013144B2 (en) | 2010-12-21 | 2015-04-21 | Fastcap Systems Corporation | Power system for high temperature applications with rechargeable energy storage |
DE102010005560A1 (de) * | 2010-01-22 | 2011-07-28 | Bayer MaterialScience AG, 51373 | Herstellung von CNT |
CN102781828B (zh) * | 2010-03-01 | 2015-09-09 | 日本瑞翁株式会社 | 碳纳米管取向集合体的制造方法 |
KR101221979B1 (ko) | 2010-08-19 | 2013-01-15 | 고려대학교 산학협력단 | 수퍼캐패시터용 탄소나노튜브 제조 방법 및 이를 포함하는 수퍼캐패시터 |
US10526628B2 (en) | 2010-10-06 | 2020-01-07 | United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Enzyme-mediated assimilation of DNA-functionalized single-walled carbon nanotubes (SWNTs) |
WO2012081601A1 (ja) * | 2010-12-15 | 2012-06-21 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | カーボンナノチューブ集合体、3次元形状カーボンナノチューブ集合体、それを用いたカーボンナノチューブ成形体、組成物及びカーボンナノチューブ分散液 |
JP5622101B2 (ja) * | 2010-12-15 | 2014-11-12 | 日本ゼオン株式会社 | カーボンナノチューブ配向集合体の製造方法 |
WO2012081600A1 (ja) * | 2010-12-15 | 2012-06-21 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | カーボンナノチューブの製造装置および製造方法 |
US8760851B2 (en) | 2010-12-21 | 2014-06-24 | Fastcap Systems Corporation | Electrochemical double-layer capacitor for high temperature applications |
US9214709B2 (en) | 2010-12-21 | 2015-12-15 | CastCAP Systems Corporation | Battery-capacitor hybrid energy storage system for high temperature applications |
US9001495B2 (en) | 2011-02-23 | 2015-04-07 | Fastcap Systems Corporation | High power and high energy electrodes using carbon nanotubes |
JP5700819B2 (ja) * | 2011-05-31 | 2015-04-15 | 日本ゼオン株式会社 | カーボンナノチューブ配向集合体の製造方法 |
EP2716600A4 (en) * | 2011-05-31 | 2015-03-04 | Zeon Corp | APPARATUS AND METHOD FOR MANUFACTURING AN ORIENTED CARBON NANOTUBE AGGREGATE |
US9218917B2 (en) * | 2011-06-07 | 2015-12-22 | FastCAP Sysems Corporation | Energy storage media for ultracapacitors |
KR102413496B1 (ko) | 2011-07-08 | 2022-06-24 | 패스트캡 시스템즈 코포레이션 | 고온 에너지 저장 장치 |
US9558894B2 (en) | 2011-07-08 | 2017-01-31 | Fastcap Systems Corporation | Advanced electrolyte systems and their use in energy storage devices |
US9017634B2 (en) | 2011-08-19 | 2015-04-28 | Fastcap Systems Corporation | In-line manufacture of carbon nanotubes |
JP5995108B2 (ja) * | 2011-08-24 | 2016-09-21 | 日本ゼオン株式会社 | カーボンナノチューブ配向集合体の製造装置及び製造方法 |
WO2013039156A1 (ja) | 2011-09-14 | 2013-03-21 | 株式会社フジクラ | カーボンナノファイバ形成用構造体、カーボンナノファイバ構造体及びその製造方法並びにカーボンナノファイバ電極 |
CN103796950A (zh) | 2011-09-16 | 2014-05-14 | 英派尔科技开发有限公司 | 石墨烯缺陷的改性 |
US20130071565A1 (en) * | 2011-09-19 | 2013-03-21 | Applied Nanostructured Solutions, Llc | Apparatuses and Methods for Large-Scale Production of Hybrid Fibers Containing Carbon Nanostructures and Related Materials |
CA3115288A1 (en) | 2011-11-03 | 2013-05-10 | Fastcap Systems Corporation | Production logging instrument |
FR2985739B1 (fr) * | 2012-01-12 | 2014-02-28 | Centre Nat Rech Scient | Renforcement de l'adhesion ou de la fixation de nanotubes de carbone a la surface d'un materiau par une couche de carbone |
JP2013205052A (ja) * | 2012-03-27 | 2013-10-07 | Yazaki Corp | 気体サンプル室及びガス濃度測定装置 |
NO2749379T3 (ja) | 2012-04-16 | 2018-07-28 | ||
US9221685B2 (en) | 2012-04-16 | 2015-12-29 | Seerstone Llc | Methods of capturing and sequestering carbon |
WO2013158158A1 (en) | 2012-04-16 | 2013-10-24 | Seerstone Llc | Methods for treating an offgas containing carbon oxides |
MX354529B (es) | 2012-04-16 | 2018-03-07 | Seerstone Llc | Métodos para producir carbono sólido mediante la reducción de dióxido de carbono. |
MX2014012548A (es) | 2012-04-16 | 2015-04-10 | Seerstone Llc | Metodos y estructuras para reducir oxidos de carbono con catalizadores no ferrosos. |
US9896341B2 (en) | 2012-04-23 | 2018-02-20 | Seerstone Llc | Methods of forming carbon nanotubes having a bimodal size distribution |
US10815124B2 (en) | 2012-07-12 | 2020-10-27 | Seerstone Llc | Solid carbon products comprising carbon nanotubes and methods of forming same |
CN107651667A (zh) | 2012-07-12 | 2018-02-02 | 赛尔斯通股份有限公司 | 包含碳纳米管的固体碳产物以及其形成方法 |
MX2015000580A (es) | 2012-07-13 | 2015-08-20 | Seerstone Llc | Metodos y sistemas para formar productos de carbono solido y amoniaco. |
US9779845B2 (en) | 2012-07-18 | 2017-10-03 | Seerstone Llc | Primary voltaic sources including nanofiber Schottky barrier arrays and methods of forming same |
WO2014039509A2 (en) | 2012-09-04 | 2014-03-13 | Ocv Intellectual Capital, Llc | Dispersion of carbon enhanced reinforcement fibers in aqueous or non-aqueous media |
MX2015006893A (es) | 2012-11-29 | 2016-01-25 | Seerstone Llc | Reactores y metodos para producir materiales de carbono solido. |
CN103011133B (zh) * | 2013-01-09 | 2015-01-07 | 华北电力大学 | 一种低成本的碳纳米管阵列的制备方法 |
US20160023905A1 (en) * | 2013-01-17 | 2016-01-28 | Saudi Basic Industries Corporation | Carbon nano-tube production from carbon dioxide |
WO2014151138A1 (en) | 2013-03-15 | 2014-09-25 | Seerstone Llc | Reactors, systems, and methods for forming solid products |
WO2014151144A1 (en) | 2013-03-15 | 2014-09-25 | Seerstone Llc | Carbon oxide reduction with intermetallic and carbide catalysts |
EP3129133A4 (en) | 2013-03-15 | 2018-01-10 | Seerstone LLC | Systems for producing solid carbon by reducing carbon oxides |
US9206672B2 (en) | 2013-03-15 | 2015-12-08 | Fastcap Systems Corporation | Inertial energy generator for supplying power to a downhole tool |
US10115844B2 (en) | 2013-03-15 | 2018-10-30 | Seerstone Llc | Electrodes comprising nanostructured carbon |
US9783416B2 (en) | 2013-03-15 | 2017-10-10 | Seerstone Llc | Methods of producing hydrogen and solid carbon |
US9499904B2 (en) * | 2013-06-27 | 2016-11-22 | Zeon Corporation | Method of manufacturing carbon nanotubes |
EP3053876A4 (en) * | 2013-09-30 | 2017-06-21 | Zeon Corporation | Method for producing carbon nanostructure, and carbon nanotube |
US10872737B2 (en) | 2013-10-09 | 2020-12-22 | Fastcap Systems Corporation | Advanced electrolytes for high temperature energy storage device |
CN103673590A (zh) * | 2013-12-06 | 2014-03-26 | 湖北大清捷能环保窑炉有限公司 | 一种蜂窝式scr脱硝催化剂煅烧炉和scr脱硝催化剂的干燥方法 |
US11270850B2 (en) | 2013-12-20 | 2022-03-08 | Fastcap Systems Corporation | Ultracapacitors with high frequency response |
WO2015095858A2 (en) | 2013-12-20 | 2015-06-25 | Fastcap Systems Corporation | Electromagnetic telemetry device |
GB201412656D0 (en) * | 2014-07-16 | 2014-08-27 | Imp Innovations Ltd | Process |
EP3204955B1 (en) | 2014-10-09 | 2022-01-05 | Fastcap Systems Corporation | Nanostructured electrode for energy storage device |
CN116092839A (zh) | 2015-01-27 | 2023-05-09 | 快帽系统公司 | 宽温度范围超级电容器 |
CN105070619B (zh) * | 2015-07-17 | 2017-05-03 | 兰州空间技术物理研究所 | 一种铁基金属合金衬底上碳纳米管阵列阴极的制备方法 |
JP6685727B2 (ja) * | 2016-01-05 | 2020-04-22 | リンテック株式会社 | 引出装置および引出方法 |
JP6754573B2 (ja) | 2016-01-05 | 2020-09-16 | リンテック株式会社 | 引出装置 |
WO2018022999A1 (en) | 2016-07-28 | 2018-02-01 | Seerstone Llc. | Solid carbon products comprising compressed carbon nanotubes in a container and methods of forming same |
EP4243122A3 (en) | 2016-12-02 | 2023-11-15 | Fastcap Systems Corporation | Composite electrode |
JP6912904B2 (ja) * | 2017-03-09 | 2021-08-04 | 大陽日酸株式会社 | カーボンナノチューブの製造方法、カーボンナノチューブ、及び配向カーボンナノチューブ付き基材 |
JP7015641B2 (ja) * | 2017-04-26 | 2022-02-15 | 大陽日酸株式会社 | 炭素系微細構造物、及び炭素系微細構造物の製造方法 |
CN110382414A (zh) * | 2017-03-09 | 2019-10-25 | 大阳日酸株式会社 | 碳纳米管、碳类微细结构体及带碳纳米管的基材以及这些的制造方法 |
JP6476245B2 (ja) * | 2017-08-08 | 2019-02-27 | 株式会社アルバック | 炭素ナノ構造体成長用のcvd装置及び炭素ナノ構造体の製造方法 |
WO2019211280A2 (de) | 2018-04-30 | 2019-11-07 | Aixtron Se | Vorrichtung zum beschichten eines substrates mit einer kohlenstoffhaltigen beschichtung |
FI129565B (en) * | 2019-04-24 | 2022-04-29 | Canatu Oy | Equipment and method for oriented deposition |
US11557765B2 (en) | 2019-07-05 | 2023-01-17 | Fastcap Systems Corporation | Electrodes for energy storage devices |
CN114929621B (zh) * | 2020-02-28 | 2024-02-20 | 日本瑞翁株式会社 | 碳纳米管集合体的制造方法 |
US10840032B1 (en) * | 2020-03-24 | 2020-11-17 | Yazaki Corporation | Supercapacitor cell with high-purity binder-free carbonaceous electrode |
EP4108632A1 (en) * | 2021-06-24 | 2022-12-28 | Aida AS | Device, in particular pe cvd apparatus for continuous production of high_performance carbon thread |
CN114803540B (zh) * | 2022-06-01 | 2023-03-24 | 詹亚鹏 | 一种基于机器人装炉系统工作站的无人车间 |
CN116395673B (zh) * | 2023-03-07 | 2023-09-15 | 青岛昊鑫新能源科技有限公司 | 一种碳纳米管生产反应器 |
Family Cites Families (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5747119A (en) * | 1993-02-05 | 1998-05-05 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Vapor deposition method and apparatus |
US5810928A (en) * | 1994-11-21 | 1998-09-22 | Mitsubishi Corporation | Method of measuring gas component concentrations of special material gases for semiconductor, a semiconductor equipment, and an apparatus for supplying special material gases for semiconductor |
US6352592B1 (en) * | 1998-01-16 | 2002-03-05 | Silicon Valley Group, Thermal Systems Llc | Free floating shield and semiconductor processing system |
JP3913442B2 (ja) | 1999-12-02 | 2007-05-09 | 株式会社リコー | カーボンナノチューブ及びその作製方法、電子放出源 |
EP1149932A3 (en) * | 2000-01-26 | 2003-09-10 | Iljin Nanotech Co., Ltd. | Thermal chemical vapor deposition apparatus and method of synthesizing carbon nanotubes using the same |
JP2001288572A (ja) * | 2000-01-31 | 2001-10-19 | Canon Inc | 堆積膜形成装置および堆積膜形成方法 |
US6423565B1 (en) * | 2000-05-30 | 2002-07-23 | Kurt L. Barth | Apparatus and processes for the massproduction of photovotaic modules |
US6413487B1 (en) | 2000-06-02 | 2002-07-02 | The Board Of Regents Of The University Of Oklahoma | Method and apparatus for producing carbon nanotubes |
AUPR421701A0 (en) * | 2001-04-04 | 2001-05-17 | Commonwealth Scientific And Industrial Research Organisation | Process and apparatus for the production of carbon nanotubes |
US7160531B1 (en) * | 2001-05-08 | 2007-01-09 | University Of Kentucky Research Foundation | Process for the continuous production of aligned carbon nanotubes |
JP3768867B2 (ja) | 2001-12-03 | 2006-04-19 | 株式会社リコー | カーボンナノチューブの作製方法 |
JP3772754B2 (ja) * | 2002-02-13 | 2006-05-10 | 東レ株式会社 | カーボンナノチューブの連続製造方法および製造装置 |
US7250148B2 (en) | 2002-07-31 | 2007-07-31 | Carbon Nanotechnologies, Inc. | Method for making single-wall carbon nanotubes using supported catalysts |
CN1290763C (zh) * | 2002-11-29 | 2006-12-20 | 清华大学 | 一种生产碳纳米管的方法 |
FI121334B (fi) * | 2004-03-09 | 2010-10-15 | Canatu Oy | Menetelmä ja laitteisto hiilinanoputkien valmistamiseksi |
US20050238810A1 (en) | 2004-04-26 | 2005-10-27 | Mainstream Engineering Corp. | Nanotube/metal substrate composites and methods for producing such composites |
JP4548014B2 (ja) | 2004-06-30 | 2010-09-22 | 日立造船株式会社 | カーボンナノチューブの連続製造方法およびその装置 |
US7780821B2 (en) * | 2004-08-02 | 2010-08-24 | Seagate Technology Llc | Multi-chamber processing with simultaneous workpiece transport and gas delivery |
CN1288076C (zh) * | 2004-10-26 | 2006-12-06 | 中国科学院长春应用化学研究所 | 一种碳纳米管材料的制备方法 |
JPWO2006052009A1 (ja) * | 2004-11-10 | 2008-05-29 | 株式会社ニコン | カーボンナノチューブ集合体及びその製造方法 |
CN1323029C (zh) * | 2004-12-10 | 2007-06-27 | 中国科学院长春应用化学研究所 | 燃烧聚烯烃合成碳纳米管的方法 |
AU2006312250B2 (en) * | 2005-06-28 | 2011-07-07 | The Board Of Regents Of The University Of Oklahoma | Methods for growing and harvesting carbon nanotubes |
JP4832046B2 (ja) | 2005-09-30 | 2011-12-07 | 日立造船株式会社 | 連続熱cvd装置 |
JP2007091556A (ja) | 2005-09-30 | 2007-04-12 | Hitachi Zosen Corp | カーボン系薄膜の連続製造装置 |
JP2007112677A (ja) * | 2005-10-21 | 2007-05-10 | Takao Kamiyama | ナノカーボンの連続製造装置及びその連続製造方法 |
JP4811712B2 (ja) * | 2005-11-25 | 2011-11-09 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | カーボンナノチューブ・バルク構造体及びその製造方法 |
CN100434360C (zh) * | 2005-12-09 | 2008-11-19 | 中国科学院理化技术研究所 | 多壁碳纳米管、栗子状碳纳米管集合体和碳纳米管球的制备方法 |
JP4973208B2 (ja) * | 2006-03-29 | 2012-07-11 | 東レ株式会社 | 気相反応装置 |
US20080175993A1 (en) * | 2006-10-13 | 2008-07-24 | Jalal Ashjaee | Reel-to-reel reaction of a precursor film to form solar cell absorber |
US8182608B2 (en) * | 2007-09-26 | 2012-05-22 | Eastman Kodak Company | Deposition system for thin film formation |
-
2009
- 2009-04-02 EP EP09731859.6A patent/EP2263974B1/en active Active
- 2009-04-02 KR KR1020117011866A patent/KR101460398B1/ko active IP Right Grant
- 2009-04-02 KR KR1020107006379A patent/KR101073768B1/ko active IP Right Grant
- 2009-04-02 CN CN200980100516.0A patent/CN102741161B/zh active Active
- 2009-04-02 US US12/679,869 patent/US7897209B2/en active Active
- 2009-04-02 WO PCT/JP2009/056878 patent/WO2009128349A1/ja active Application Filing
- 2009-04-02 JP JP2010508170A patent/JP4581146B2/ja active Active
-
2010
- 2010-08-11 JP JP2010180044A patent/JP5471959B2/ja active Active
-
2011
- 2011-01-21 US US13/011,644 patent/US20110116995A1/en not_active Abandoned
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2010248073A5 (ja) | ||
JP2009144158A (ja) | カーボンナノチューブ複合材料の製造方法 | |
JP2014523652A5 (ja) | ||
MX2012000075A (es) | Procedimiento de tratamiento termico de carbon. | |
TW200724711A (en) | Apparatus and method for compounding carbon nanotubes | |
CN103204492A (zh) | 一种提高单壁碳纳米管产率的新方法 | |
Fu et al. | Investigation of low and mild temperature for synthesis of high quality carbon nanotubes by chemical vapor deposition | |
Li et al. | The effect of substrate positions in chemical vapor deposition reactor on the growth of carbon nanotube arrays | |
Yuge et al. | Boron-and nitrogen-doped single-walled carbon nanohorns with graphite-like thin sheets prepared by CO2 laser ablation method | |
WO2021172077A1 (ja) | カーボンナノチューブ集合体の製造方法 | |
JP6492598B2 (ja) | カーボンナノチューブの製造方法 | |
Su et al. | Selective growth of boron nitride nanotubes by the plasma-assisted and iron-catalytic CVD methods | |
JP2009155176A (ja) | 窒化ホウ素ナノ繊維及びその製造方法 | |
Yousefi et al. | Possible high efficiency platform for biosensors based on optimum physical chemistry of carbon nanotubes | |
CN108059150A (zh) | 掺杂碳纳米管及其制备方法 | |
WO2012165514A1 (ja) | カーボンナノチューブ配向集合体の製造装置及び製造方法 | |
JP2013193916A (ja) | カーボンナノチューブ造粒物の製造方法 | |
CN107858663B (zh) | 一种利用cvd方法直接在铜粉表面包覆石墨烯的方法 | |
CN109573982A (zh) | 一种三维结构碳材料 | |
Xiang et al. | Large area growth of aligned CNT arrays on spheres: cost performance and product control | |
JP5768232B2 (ja) | 垂直配向したカーボンナノチューブの製造方法 | |
JP2005279624A5 (ja) | ||
JP2012036046A (ja) | 窒化ホウ素ナノチューブ誘導体、その分散液、及び該窒化ホウ素ナノチューブ誘導体の製造方法 | |
JP2012126598A (ja) | 噴出装置、カーボンナノチューブ配向集合体の製造装置及び製造方法 | |
JP5793803B2 (ja) | ガス浸炭方法及びガス浸炭装置 |