JP2010248073A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2010248073A5
JP2010248073A5 JP2010180044A JP2010180044A JP2010248073A5 JP 2010248073 A5 JP2010248073 A5 JP 2010248073A5 JP 2010180044 A JP2010180044 A JP 2010180044A JP 2010180044 A JP2010180044 A JP 2010180044A JP 2010248073 A5 JP2010248073 A5 JP 2010248073A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
aligned
catalyst
producing
carbon nanotube
aggregate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2010180044A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2010248073A (ja
JP5471959B2 (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2010180044A priority Critical patent/JP5471959B2/ja
Priority claimed from JP2010180044A external-priority patent/JP5471959B2/ja
Publication of JP2010248073A publication Critical patent/JP2010248073A/ja
Publication of JP2010248073A5 publication Critical patent/JP2010248073A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5471959B2 publication Critical patent/JP5471959B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Description

日本国公開特許公報「特開２００３−１７１１０８号公報（公開日：２００３年６月１７日）」 日本国公開特許公報「特開２００６−１６２３２号公報（公開日：２００６年１月１９日）」 日本国公開特許公報「特開２００７−９１５５６号公報（公開日：２００７年４月１２日）」 日本国公開特許公報「特開２００７−９２１５２号公報（公開日：２００７年４月１２日）」 日本国公表特許公報「特表２００４−５２３４６０号公報（公表日：２００４年８月５日）」

Claims (9)

  1. 表面に触媒を有する基材上にカーボンナノチューブ配向集合体を成長させるカーボンナノチューブ配向集合体の製造方法であって、前記触媒の周囲環境を還元ガス環境とすると共に前記触媒及び前記還元ガスのうち少なくとも一方を加熱するフォーメーション工程を実現するフォーメーションユニットと、前記触媒の周囲環境を原料ガス環境とすると共に前記触媒及び前記原料ガスのうち少なくとも一方を加熱して前記カーボンナノチューブ配向集合体を成長させる成長工程を実現する成長ユニットと、ガス混入防止手段とを用い、
    前記フォーメーションユニットにおける前記フォーメーション工程と、前記成長ユニットにおける前記成長工程とを、行い、
    各ユニットの炉内空間が接続部によって空間的に接続されており、前記ガス混入防止手段を用いて各ユニットの炉内空間内へガスが相互に混入することを防止することを特徴とする、カーボンナノチューブ配向集合体の製造方法。
  2. 前記ガス混入防止手段を用いて、前記還元ガス環境中の炭素原子個数濃度を５×１０ ２２ 個／ｍ ３ 以下に保つことを特徴とする請求項１に記載のカーボンナノチューブ配向集合体の製造方法。
  3. 前記原料ガス環境が高炭素濃度環境であり、前記高炭素濃度環境は全流量に対する原料ガスの割合が２〜２０％の成長雰囲気であることを特徴とする請求項１又は２に記載のカーボンナノチューブ配向集合体の製造方法。
  4. 搬送ユニットを用いて前記フォーメーションユニットから前記成長ユニットまで基板を搬送する工程をさらに有することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のカーボンナノチューブ配向集合体の製造方法。
  5. 基材入口から装置炉内へ外部空気が混入することを、入口パージ部を用いて防止することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のカーボンナノチューブ配向集合体の製造方法。
  6. 基材出口から装置炉内へ外部空気が混入することを、出口パージ部を用いて防止することを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のカーボンナノチューブ配向集合体の製造方法。
  7. 表面に触媒を有する基材上にカーボンナノチューブ配向集合体を成長させるカーボンナノチューブ配向集合体の製造方法であって、前記触媒の周囲環境を還元ガス環境とすると共に前記触媒及び前記還元ガスのうち少なくとも一方を加熱するフォーメーション工程を実現するフォーメーションユニットと、前記触媒の周囲環境を触媒賦活物質を含む原料ガス環境とすると共に前記触媒及び前記原料ガスのうち少なくとも一方を加熱して前記カーボンナノチューブ配向集合体を成長させる成長工程を実現する成長ユニットとを用い、
    前記フォーメーション工程と、前記成長工程とを、行うことを特徴とする、カーボンナノチューブ配向集合体の製造方法。
  8. 前記触媒賦活物質は、酸素を含む物質であることを特徴とする請求項７に記載のカーボンナノチューブ配向集合体の製造方法。
  9. 前記成長工程を４００℃から１１００℃の範囲で行うことを特徴とする請求項７又は８に記載のカーボンナノチューブ配向集合体の製造方法。
JP2010180044A 2008-04-16 2010-08-11 カーボンナノチューブ配向集合体の製造装置及び製造方法 Active JP5471959B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010180044A JP5471959B2 (ja) 2008-04-16 2010-08-11 カーボンナノチューブ配向集合体の製造装置及び製造方法

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008107327 2008-04-16
JP2008107327 2008-04-16
JP2009029129 2009-02-10
JP2009029129 2009-02-10
JP2010180044A JP5471959B2 (ja) 2008-04-16 2010-08-11 カーボンナノチューブ配向集合体の製造装置及び製造方法

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010508170A Division JP4581146B2 (ja) 2008-04-16 2009-04-02 カーボンナノチューブ配向集合体の製造装置及び製造方法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2010248073A JP2010248073A (ja) 2010-11-04
JP2010248073A5 true JP2010248073A5 (ja) 2012-03-22
JP5471959B2 JP5471959B2 (ja) 2014-04-16

Family

ID=41199047

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010508170A Active JP4581146B2 (ja) 2008-04-16 2009-04-02 カーボンナノチューブ配向集合体の製造装置及び製造方法
JP2010180044A Active JP5471959B2 (ja) 2008-04-16 2010-08-11 カーボンナノチューブ配向集合体の製造装置及び製造方法

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010508170A Active JP4581146B2 (ja) 2008-04-16 2009-04-02 カーボンナノチューブ配向集合体の製造装置及び製造方法

Country Status (6)

Country Link
US (2) US7897209B2 (ja)
EP (1) EP2263974B1 (ja)
JP (2) JP4581146B2 (ja)
KR (2) KR101460398B1 (ja)
CN (1) CN102741161B (ja)
WO (1) WO2009128349A1 (ja)

Families Citing this family (74)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2383225A4 (en) * 2008-12-30 2015-12-09 Nat Inst Of Advanced Ind Scien ARRANGEMENT OF EQUALIZED, UNIFORM CARBON NANOTUBES, BULK ARRANGEMENT OF EQUIPPED, UNILATED CARBON NANOTUBES, POWDERY ARRANGEMENT OF ORIENTED, CARBONIZED CARBON NANOTUBES AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR
JP5574264B2 (ja) * 2009-02-10 2014-08-20 日本ゼオン株式会社 カーボンナノチューブ配向集合体生産用基材及びカーボンナノチューブ配向集合体の製造方法
JP2010192581A (ja) * 2009-02-17 2010-09-02 National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology 電磁波放射体・電磁波吸収体
CA2758694C (en) 2009-04-17 2017-05-23 Seerstone Llc Method for producing solid carbon by reducing carbon oxides
US9013144B2 (en) 2010-12-21 2015-04-21 Fastcap Systems Corporation Power system for high temperature applications with rechargeable energy storage
DE102010005560A1 (de) * 2010-01-22 2011-07-28 Bayer MaterialScience AG, 51373 Herstellung von CNT
CN102781828B (zh) * 2010-03-01 2015-09-09 日本瑞翁株式会社 碳纳米管取向集合体的制造方法
KR101221979B1 (ko) 2010-08-19 2013-01-15 고려대학교 산학협력단 수퍼캐패시터용 탄소나노튜브 제조 방법 및 이를 포함하는 수퍼캐패시터
US10526628B2 (en) 2010-10-06 2020-01-07 United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Enzyme-mediated assimilation of DNA-functionalized single-walled carbon nanotubes (SWNTs)
WO2012081601A1 (ja) * 2010-12-15 2012-06-21 独立行政法人産業技術総合研究所 カーボンナノチューブ集合体、３次元形状カーボンナノチューブ集合体、それを用いたカーボンナノチューブ成形体、組成物及びカーボンナノチューブ分散液
JP5622101B2 (ja) * 2010-12-15 2014-11-12 日本ゼオン株式会社 カーボンナノチューブ配向集合体の製造方法
WO2012081600A1 (ja) * 2010-12-15 2012-06-21 独立行政法人産業技術総合研究所 カーボンナノチューブの製造装置および製造方法
US8760851B2 (en) 2010-12-21 2014-06-24 Fastcap Systems Corporation Electrochemical double-layer capacitor for high temperature applications
US9214709B2 (en) 2010-12-21 2015-12-15 CastCAP Systems Corporation Battery-capacitor hybrid energy storage system for high temperature applications
US9001495B2 (en) 2011-02-23 2015-04-07 Fastcap Systems Corporation High power and high energy electrodes using carbon nanotubes
JP5700819B2 (ja) * 2011-05-31 2015-04-15 日本ゼオン株式会社 カーボンナノチューブ配向集合体の製造方法
EP2716600A4 (en) * 2011-05-31 2015-03-04 Zeon Corp APPARATUS AND METHOD FOR MANUFACTURING AN ORIENTED CARBON NANOTUBE AGGREGATE
US9218917B2 (en) * 2011-06-07 2015-12-22 FastCAP Sysems Corporation Energy storage media for ultracapacitors
KR102413496B1 (ko) 2011-07-08 2022-06-24 패스트캡 시스템즈 코포레이션 고온 에너지 저장 장치
US9558894B2 (en) 2011-07-08 2017-01-31 Fastcap Systems Corporation Advanced electrolyte systems and their use in energy storage devices
US9017634B2 (en) 2011-08-19 2015-04-28 Fastcap Systems Corporation In-line manufacture of carbon nanotubes
JP5995108B2 (ja) * 2011-08-24 2016-09-21 日本ゼオン株式会社 カーボンナノチューブ配向集合体の製造装置及び製造方法
WO2013039156A1 (ja) 2011-09-14 2013-03-21 株式会社フジクラ カーボンナノファイバ形成用構造体、カーボンナノファイバ構造体及びその製造方法並びにカーボンナノファイバ電極
CN103796950A (zh) 2011-09-16 2014-05-14 英派尔科技开发有限公司 石墨烯缺陷的改性
US20130071565A1 (en) * 2011-09-19 2013-03-21 Applied Nanostructured Solutions, Llc Apparatuses and Methods for Large-Scale Production of Hybrid Fibers Containing Carbon Nanostructures and Related Materials
CA3115288A1 (en) 2011-11-03 2013-05-10 Fastcap Systems Corporation Production logging instrument
FR2985739B1 (fr) * 2012-01-12 2014-02-28 Centre Nat Rech Scient Renforcement de l'adhesion ou de la fixation de nanotubes de carbone a la surface d'un materiau par une couche de carbone
JP2013205052A (ja) * 2012-03-27 2013-10-07 Yazaki Corp 気体サンプル室及びガス濃度測定装置
NO2749379T3 (ja) 2012-04-16 2018-07-28
US9221685B2 (en) 2012-04-16 2015-12-29 Seerstone Llc Methods of capturing and sequestering carbon
WO2013158158A1 (en) 2012-04-16 2013-10-24 Seerstone Llc Methods for treating an offgas containing carbon oxides
MX354529B (es) 2012-04-16 2018-03-07 Seerstone Llc Métodos para producir carbono sólido mediante la reducción de dióxido de carbono.
MX2014012548A (es) 2012-04-16 2015-04-10 Seerstone Llc Metodos y estructuras para reducir oxidos de carbono con catalizadores no ferrosos.
US9896341B2 (en) 2012-04-23 2018-02-20 Seerstone Llc Methods of forming carbon nanotubes having a bimodal size distribution
US10815124B2 (en) 2012-07-12 2020-10-27 Seerstone Llc Solid carbon products comprising carbon nanotubes and methods of forming same
CN107651667A (zh) 2012-07-12 2018-02-02 赛尔斯通股份有限公司 包含碳纳米管的固体碳产物以及其形成方法
MX2015000580A (es) 2012-07-13 2015-08-20 Seerstone Llc Metodos y sistemas para formar productos de carbono solido y amoniaco.
US9779845B2 (en) 2012-07-18 2017-10-03 Seerstone Llc Primary voltaic sources including nanofiber Schottky barrier arrays and methods of forming same
WO2014039509A2 (en) 2012-09-04 2014-03-13 Ocv Intellectual Capital, Llc Dispersion of carbon enhanced reinforcement fibers in aqueous or non-aqueous media
MX2015006893A (es) 2012-11-29 2016-01-25 Seerstone Llc Reactores y metodos para producir materiales de carbono solido.
CN103011133B (zh) * 2013-01-09 2015-01-07 华北电力大学 一种低成本的碳纳米管阵列的制备方法
US20160023905A1 (en) * 2013-01-17 2016-01-28 Saudi Basic Industries Corporation Carbon nano-tube production from carbon dioxide
WO2014151138A1 (en) 2013-03-15 2014-09-25 Seerstone Llc Reactors, systems, and methods for forming solid products
WO2014151144A1 (en) 2013-03-15 2014-09-25 Seerstone Llc Carbon oxide reduction with intermetallic and carbide catalysts
EP3129133A4 (en) 2013-03-15 2018-01-10 Seerstone LLC Systems for producing solid carbon by reducing carbon oxides
US9206672B2 (en) 2013-03-15 2015-12-08 Fastcap Systems Corporation Inertial energy generator for supplying power to a downhole tool
US10115844B2 (en) 2013-03-15 2018-10-30 Seerstone Llc Electrodes comprising nanostructured carbon
US9783416B2 (en) 2013-03-15 2017-10-10 Seerstone Llc Methods of producing hydrogen and solid carbon
US9499904B2 (en) * 2013-06-27 2016-11-22 Zeon Corporation Method of manufacturing carbon nanotubes
EP3053876A4 (en) * 2013-09-30 2017-06-21 Zeon Corporation Method for producing carbon nanostructure, and carbon nanotube
US10872737B2 (en) 2013-10-09 2020-12-22 Fastcap Systems Corporation Advanced electrolytes for high temperature energy storage device
CN103673590A (zh) * 2013-12-06 2014-03-26 湖北大清捷能环保窑炉有限公司 一种蜂窝式scr脱硝催化剂煅烧炉和scr脱硝催化剂的干燥方法
US11270850B2 (en) 2013-12-20 2022-03-08 Fastcap Systems Corporation Ultracapacitors with high frequency response
WO2015095858A2 (en) 2013-12-20 2015-06-25 Fastcap Systems Corporation Electromagnetic telemetry device
GB201412656D0 (en) * 2014-07-16 2014-08-27 Imp Innovations Ltd Process
EP3204955B1 (en) 2014-10-09 2022-01-05 Fastcap Systems Corporation Nanostructured electrode for energy storage device
CN116092839A (zh) 2015-01-27 2023-05-09 快帽系统公司 宽温度范围超级电容器
CN105070619B (zh) * 2015-07-17 2017-05-03 兰州空间技术物理研究所 一种铁基金属合金衬底上碳纳米管阵列阴极的制备方法
JP6685727B2 (ja) * 2016-01-05 2020-04-22 リンテック株式会社 引出装置および引出方法
JP6754573B2 (ja) 2016-01-05 2020-09-16 リンテック株式会社 引出装置
WO2018022999A1 (en) 2016-07-28 2018-02-01 Seerstone Llc. Solid carbon products comprising compressed carbon nanotubes in a container and methods of forming same
EP4243122A3 (en) 2016-12-02 2023-11-15 Fastcap Systems Corporation Composite electrode
JP6912904B2 (ja) * 2017-03-09 2021-08-04 大陽日酸株式会社 カーボンナノチューブの製造方法、カーボンナノチューブ、及び配向カーボンナノチューブ付き基材
JP7015641B2 (ja) * 2017-04-26 2022-02-15 大陽日酸株式会社 炭素系微細構造物、及び炭素系微細構造物の製造方法
CN110382414A (zh) * 2017-03-09 2019-10-25 大阳日酸株式会社 碳纳米管、碳类微细结构体及带碳纳米管的基材以及这些的制造方法
JP6476245B2 (ja) * 2017-08-08 2019-02-27 株式会社アルバック 炭素ナノ構造体成長用のｃｖｄ装置及び炭素ナノ構造体の製造方法
WO2019211280A2 (de) 2018-04-30 2019-11-07 Aixtron Se Vorrichtung zum beschichten eines substrates mit einer kohlenstoffhaltigen beschichtung
FI129565B (en) * 2019-04-24 2022-04-29 Canatu Oy Equipment and method for oriented deposition
US11557765B2 (en) 2019-07-05 2023-01-17 Fastcap Systems Corporation Electrodes for energy storage devices
CN114929621B (zh) * 2020-02-28 2024-02-20 日本瑞翁株式会社 碳纳米管集合体的制造方法
US10840032B1 (en) * 2020-03-24 2020-11-17 Yazaki Corporation Supercapacitor cell with high-purity binder-free carbonaceous electrode
EP4108632A1 (en) * 2021-06-24 2022-12-28 Aida AS Device, in particular pe cvd apparatus for continuous production of high_performance carbon thread
CN114803540B (zh) * 2022-06-01 2023-03-24 詹亚鹏 一种基于机器人装炉系统工作站的无人车间
CN116395673B (zh) * 2023-03-07 2023-09-15 青岛昊鑫新能源科技有限公司 一种碳纳米管生产反应器

Family Cites Families (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5747119A (en) * 1993-02-05 1998-05-05 Kabushiki Kaisha Toshiba Vapor deposition method and apparatus
US5810928A (en) * 1994-11-21 1998-09-22 Mitsubishi Corporation Method of measuring gas component concentrations of special material gases for semiconductor, a semiconductor equipment, and an apparatus for supplying special material gases for semiconductor
US6352592B1 (en) * 1998-01-16 2002-03-05 Silicon Valley Group, Thermal Systems Llc Free floating shield and semiconductor processing system
JP3913442B2 (ja) 1999-12-02 2007-05-09 株式会社リコー カーボンナノチューブ及びその作製方法、電子放出源
EP1149932A3 (en) * 2000-01-26 2003-09-10 Iljin Nanotech Co., Ltd. Thermal chemical vapor deposition apparatus and method of synthesizing carbon nanotubes using the same
JP2001288572A (ja) * 2000-01-31 2001-10-19 Canon Inc 堆積膜形成装置および堆積膜形成方法
US6423565B1 (en) * 2000-05-30 2002-07-23 Kurt L. Barth Apparatus and processes for the massproduction of photovotaic modules
US6413487B1 (en) 2000-06-02 2002-07-02 The Board Of Regents Of The University Of Oklahoma Method and apparatus for producing carbon nanotubes
AUPR421701A0 (en) * 2001-04-04 2001-05-17 Commonwealth Scientific And Industrial Research Organisation Process and apparatus for the production of carbon nanotubes
US7160531B1 (en) * 2001-05-08 2007-01-09 University Of Kentucky Research Foundation Process for the continuous production of aligned carbon nanotubes
JP3768867B2 (ja) 2001-12-03 2006-04-19 株式会社リコー カーボンナノチューブの作製方法
JP3772754B2 (ja) * 2002-02-13 2006-05-10 東レ株式会社 カーボンナノチューブの連続製造方法および製造装置
US7250148B2 (en) 2002-07-31 2007-07-31 Carbon Nanotechnologies, Inc. Method for making single-wall carbon nanotubes using supported catalysts
CN1290763C (zh) * 2002-11-29 2006-12-20 清华大学 一种生产碳纳米管的方法
FI121334B (fi) * 2004-03-09 2010-10-15 Canatu Oy Menetelmä ja laitteisto hiilinanoputkien valmistamiseksi
US20050238810A1 (en) 2004-04-26 2005-10-27 Mainstream Engineering Corp. Nanotube/metal substrate composites and methods for producing such composites
JP4548014B2 (ja) 2004-06-30 2010-09-22 日立造船株式会社 カーボンナノチューブの連続製造方法およびその装置
US7780821B2 (en) * 2004-08-02 2010-08-24 Seagate Technology Llc Multi-chamber processing with simultaneous workpiece transport and gas delivery
CN1288076C (zh) * 2004-10-26 2006-12-06 中国科学院长春应用化学研究所 一种碳纳米管材料的制备方法
JPWO2006052009A1 (ja) * 2004-11-10 2008-05-29 株式会社ニコン カーボンナノチューブ集合体及びその製造方法
CN1323029C (zh) * 2004-12-10 2007-06-27 中国科学院长春应用化学研究所 燃烧聚烯烃合成碳纳米管的方法
AU2006312250B2 (en) * 2005-06-28 2011-07-07 The Board Of Regents Of The University Of Oklahoma Methods for growing and harvesting carbon nanotubes
JP4832046B2 (ja) 2005-09-30 2011-12-07 日立造船株式会社 連続熱ｃｖｄ装置
JP2007091556A (ja) 2005-09-30 2007-04-12 Hitachi Zosen Corp カーボン系薄膜の連続製造装置
JP2007112677A (ja) * 2005-10-21 2007-05-10 Takao Kamiyama ナノカーボンの連続製造装置及びその連続製造方法
JP4811712B2 (ja) * 2005-11-25 2011-11-09 独立行政法人産業技術総合研究所 カーボンナノチューブ・バルク構造体及びその製造方法
CN100434360C (zh) * 2005-12-09 2008-11-19 中国科学院理化技术研究所 多壁碳纳米管、栗子状碳纳米管集合体和碳纳米管球的制备方法
JP4973208B2 (ja) * 2006-03-29 2012-07-11 東レ株式会社 気相反応装置
US20080175993A1 (en) * 2006-10-13 2008-07-24 Jalal Ashjaee Reel-to-reel reaction of a precursor film to form solar cell absorber
US8182608B2 (en) * 2007-09-26 2012-05-22 Eastman Kodak Company Deposition system for thin film formation

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2010248073A5 (ja)
JP2009144158A (ja) カーボンナノチューブ複合材料の製造方法
JP2014523652A5 (ja)
MX2012000075A (es) Procedimiento de tratamiento termico de carbon.
TW200724711A (en) Apparatus and method for compounding carbon nanotubes
CN103204492A (zh) 一种提高单壁碳纳米管产率的新方法
Fu et al. Investigation of low and mild temperature for synthesis of high quality carbon nanotubes by chemical vapor deposition
Li et al. The effect of substrate positions in chemical vapor deposition reactor on the growth of carbon nanotube arrays
Yuge et al. Boron-and nitrogen-doped single-walled carbon nanohorns with graphite-like thin sheets prepared by CO2 laser ablation method
WO2021172077A1 (ja) カーボンナノチューブ集合体の製造方法
JP6492598B2 (ja) カーボンナノチューブの製造方法
Su et al. Selective growth of boron nitride nanotubes by the plasma-assisted and iron-catalytic CVD methods
JP2009155176A (ja) 窒化ホウ素ナノ繊維及びその製造方法
Yousefi et al. Possible high efficiency platform for biosensors based on optimum physical chemistry of carbon nanotubes
CN108059150A (zh) 掺杂碳纳米管及其制备方法
WO2012165514A1 (ja) カーボンナノチューブ配向集合体の製造装置及び製造方法
JP2013193916A (ja) カーボンナノチューブ造粒物の製造方法
CN107858663B (zh) 一种利用cvd方法直接在铜粉表面包覆石墨烯的方法
CN109573982A (zh) 一种三维结构碳材料
Xiang et al. Large area growth of aligned CNT arrays on spheres: cost performance and product control
JP5768232B2 (ja) 垂直配向したカーボンナノチューブの製造方法
JP2005279624A5 (ja)
JP2012036046A (ja) 窒化ホウ素ナノチューブ誘導体、その分散液、及び該窒化ホウ素ナノチューブ誘導体の製造方法
JP2012126598A (ja) 噴出装置、カーボンナノチューブ配向集合体の製造装置及び製造方法
JP5793803B2 (ja) ガス浸炭方法及びガス浸炭装置