JP2010242127A - フッ素ガス生成装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】溶融塩から気化して陽極7から生成されたフッ素ガスに混入したフッ化水素ガスを除去する精製装置16を備え、精製装置16は、少なくとも2つの系統を有し、フッ化水素ガスを含むフッ素ガスが流入するガス流入部61aと、フッ素ガスに混入したフッ化水素ガスが凝固する一方、フッ素ガスはガス流入部61aを通過するようにガス流入部61aを冷却する冷却装置70aとを備え、制御手段は、ガス流入部61aでのフッ化水素の蓄積状態を検出する蓄積状態検出手段86aの検出結果に基づいて、待機状態の精製装置16へとフッ素ガスが導かれるように精製装置16の運転切り換えを行い、運転切り換えにて停止した精製装置16のガス流入部61aからフッ化水素を排出し、ガス流入部61aにフッ素ガスを供給することによって停止中の精製装置16を待機状態とする。
【選択図】図2
Description
1 電解槽
2 フッ素ガス供給系統
3 副生ガス処理系統
4 外部装置
5 原料供給系統
7 陽極
8 陰極
11a 第1気室
12a 第2気室
15 第1メイン通路
17 第1ポンプ
21 第1バッファタンク
22 分岐通路
50 第2バッファタンク
61a,61b インナーチューブ
64a,64b 入口弁
66a,66b 出口弁
68a,68b 温度計
69a,69b 圧力計
70a,70b 冷却装置
71a,71b ジャケットチューブ
72a,72b 液体窒素給排系統
74a,74b 液面計
76 液体窒素供給源
86a,86b 差圧計
92 窒素ガス供給源
96 排出ポンプ
Claims (2)
- 溶融塩中のフッ化水素を電気分解することによって、フッ素ガスを生成するフッ素ガス生成装置であって、
溶融塩が貯留され、溶融塩に浸漬された陽極にて生成されたフッ素ガスが導かれる第1気室と、溶融塩に浸漬された陰極にて生成された水素ガスが導かれる第2気室とが溶融塩液面上に分離して区画された電解槽と、
前記電解槽の溶融塩から気化して前記陽極から生成されたフッ素ガスに混入したフッ化水素ガスを除去してフッ素ガスを精製する精製装置と、
前記精製装置の動作を制御する制御手段と、を備え、
前記精製装置は、少なくとも2つの系統を有し、
フッ化水素ガスを含むフッ素ガスが流入するガス流入部と、
フッ素ガスに混入したフッ化水素ガスが凝固する一方、フッ素ガスは前記ガス流入部を通過するように、フッ素の沸点以上かつフッ化水素の融点以下の温度で前記ガス流入部を冷却する冷却装置と、
前記ガス流入部でのフッ化水素の蓄積状態を検出する蓄積状態検出手段と、を備え、
前記制御手段は、
前記蓄積状態検出手段の検出結果に基づいて、待機状態の精製装置へとフッ素ガスが導かれるように前記精製装置の運転切り換えを行い、
前記運転切り換えによって停止した精製装置の前記ガス流入部からフッ化水素を排出し、当該ガス流入部にフッ素ガスを供給することによって停止中の精製装置を待機状態とすることを特徴とするフッ素ガス生成装置。 - 前記第1気室に接続され、前記電解槽の前記陽極にて生成されたフッ素ガスを外部装置へと供給するための第1メイン通路と、
前記第1メイン通路に設けられ、フッ素ガスを貯留するための第1バッファタンクと、
前記第1バッファタンクに接続された分岐通路と、
前記分岐通路に設けられ、前記第1バッファタンクの内部圧力を制御する圧力調整弁と、
前記圧力調整弁を通じて前記第1バッファタンクから排出されたフッ素ガスを貯留するための第2バッファタンクと、を備え、
停止中の精製装置を待機状態とする場合には、前記ガス流入部に前記第2バッファタンクに貯留されたフッ素ガスを供給することを特徴とする請求項1に記載のフッ素ガス生成装置。
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