JP5375673B2 - フッ素ガス生成装置 - Google Patents
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Description
1 電解槽
2 フッ素ガス供給系統
3 副生ガス処理系統
4 外部装置
5 原料供給系統
7 陽極
8 陰極
13 液面計
15 第1メイン通路
23 遮断弁
24 排出弁
25 排出通路
40 フッ化水素供給源
41 原料供給通路
50 水分濃度測定装置
51 サンプリング通路
60 制御装置
61 記憶部
62 判定部
63 指令部
Claims (2)
- 溶融塩中のフッ化水素を電気分解することによって、フッ素ガスを生成するフッ素ガス生成装置であって、
溶融塩が貯留され、溶融塩に浸漬された陽極にて生成されたフッ素ガスを主成分とする主生ガスが導かれる第1気室と、溶融塩に浸漬された陰極にて生成された水素ガスを主成分とする副生ガスが導かれる第2気室とが溶融塩液面上に分離して区画された電解槽と、
前記陽極と前記陰極との間に電流を供給する電源と、
前記電解槽の溶融塩中の水分濃度を測定する水分濃度測定装置と、
前記水分濃度測定装置によって測定された水分濃度が予め定められた基準値よりも高いと判定した場合には、前記陽極と前記陰極との間に供給される電流が低下するように前記電源を制御する制御装置と、
を備えることを特徴とするフッ素ガス生成装置。 - 前記第1気室に接続され、主成ガスを外部装置へと供給するための第1メイン通路と、
前記第1メイン通路に設けられ、主生ガスの流通と遮断を切り替える遮断弁と、
前記第1メイン通路における前記遮断弁の上流から分岐して設けられ、主生ガスを排気するための排気通路と、
前記排気通路に設けられ、主生ガスの排出と遮断を切り替える排出弁と、をさらに備え、
前記制御装置は、溶融塩中の水分濃度が前記基準値よりも高いと判定した場合には、前記遮断弁を閉弁すると共に、前記排出弁を開弁することを特徴とする請求項1に記載のフッ素ガス生成装置。
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