JP2004169184A - フッ素ガス発生装置及びその電解浴液面制御方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】フッ化水素を含む混合溶融塩からなる電解浴を電気分解してフッ素ガスを発生するためのフッ素ガス発生装置であって、隔壁によって分離された陽極室と陰極室とを有しており、フッ素ガス発生休止時に前記陽極室と前記陰極室のうち少なくともいずれか一方の電解浴液面高さを制御する電解浴液面制御手段を備える。
【選択図】図1
Description
この構成によると、フッ素ガス発生装置からフッ素ガスの発生を休止した時、即ち、陽極陰極間の電流印加をやめ、電解槽の陽極室に設けられたフッ素ガスのガス発生口が閉じられたときに、電解槽内に残留するフッ素ガスが炭素陽極気孔内に吸収され、陽極室内の圧力低下による電解浴液面の上昇が発生してもこの現象を制御することが可能となり、電気分解再開時の電解条件を安定させることができる。その結果、発生したガスが隔壁をくぐることはないので、フッ素と水素とが混合することによって発生する爆発を防止することができる。
なお、本明細書において、フッ素ガスの発生を休止したとき(フッ素ガス発生休止時)とは、フッ素ガスを発生放出する必要がない場合に、陽極、陰極の両電極間に印加されている主電解電流の供給を停止し、電解槽の陽極室に設けられたフッ素ガスの発生口が閉じられた状態のことをいう。
この構成によると、電解浴液面差の原因の一つである陽極室内の圧力変化を直接的または間接的に検知することで、正確な電解浴液面の高さ変化の検知が可能となる。これによりフッ素ガス発生装置の電解槽の陽極室に設けられたフッ素ガスのガス発生口が閉じられ、フッ素ガスの発生休止時においても、電解槽の陽陰極室間における電解浴液面の差を制御することが可能となり、電解浴液面の差を制御できるので、電気分解再開時の電解条件を安定させることができる。その結果、発生したガスが隔壁をくぐることはないので、フッ素と水素とが混合することによって発生する爆発を防止することができる。
この構成によると、フッ素ガス発生装置の電解槽の陽極室に設けられたフッ素ガスのガス発生口が閉じられ、フッ素ガスの発生休止時においても容易に圧力調整が可能である。なお、本発明でいうところの陽陰極間に印加する電流は、電流密度にして、0.1〜5A/dm2であることが好ましく、さらに0.5〜2A/dm2であることが好ましい。この際印加する電流は、主電解電源から送電されるものであってもよいし、別に設けられる補助的な電源から送電されるものであってもよい。
この構成によると、電解浴液面の差の原因である陽極室内の圧力変化を直接的または間接的に検知するので、陽陰極間の電解浴液面の差の検知が可能であり、これによりフッ素ガス発生装置が電気分解停止時においても電解槽の電解浴液面の高さを制御することが可能となり、電気分解再開時の電解条件を安定させることができる。その結果、発生したガスが隔壁をくぐることはないので、フッ素と水素とが混合することによって発生する爆発を防止することができる。
2 電解浴
3 陽極室
4 陰極室
5 第1液面検知手段
6 第2液面検知手段
7、8 圧力計
9、10、31〜34 自動弁
11 温度計
12 温水加熱装置
13 温水ジャケット
14、15 HF除去塔
16 隔壁
17 上蓋
18、19 ガスライン
20、21 パージガス出入口
22、23 ガス発生口
24 HF供給ライン
25 HF導入口
26 真空発生器
27、28 ガスライン
29、30 圧力計
35〜38 減圧弁
64〜67 手動弁
68〜71 流量計
51 陽極
52 陰極
Claims (4)
- フッ化水素を含む混合溶融塩からなる電解浴を電気分解してフッ素ガスを発生するためのフッ素ガス発生装置であって、
隔壁によって分離された陽極室と陰極室とを有しており、
フッ素ガス発生休止時に前記陽極室と前記陰極室のうち少なくともいずれか一方の電解浴液面高さを制御する電解浴液面制御手段を備えたフッ素ガス発生装置。 - 前記電解浴液面制御手段が、圧力検知手段と、
前記圧力検知手段に連動した圧力調整手段とを有する請求項1に記載のフッ素ガス発生装置。 - 前記圧力調整手段が、適正な電流を陽極に印加することにより、前記陽極室内の圧力を調整して、前記陽極室と前記陰極室との液面差を調整するものである請求項2に記載のフッ素ガス発生装置。
- 隔壁によって分離された陽極室と陰極室とを備え、フッ化水素を含む混合溶融塩からなる電解浴を電気分解してフッ素ガスを発生するためのフッ素ガス発生装置の電解浴液面制御方法であって、
フッ素ガスの発生休止時に前記陽極室と前記陰極室のうち少なくともいずれか一方の圧力を圧力検知手段によって検知し、前記圧力検知手段の検知結果によって陽陰極間に微弱電流を供給し、微量のフッ素ガスを発生させることによって前記陽極室の圧力を調整し、前記陽極室と前記陰極室との液面差を制御するフッ素ガス発生装置の電解浴液面制御方法。
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