JP5569116B2 - フッ素ガス生成装置 - Google Patents
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Description
1 電解槽
2 フッ素ガス供給系統
3 副生ガス処理系統
4 外部装置
7 陽極
8 陰極
9 電源
10 コントローラ
11a 第1気室
12a 第2気室
13 第1圧力計
15 第1メイン通路
17 第1ポンプ
19 第1圧力調整弁
20 第1差圧計
21 バッファタンク
24 第2圧力計
26 流量計
27 流量制御弁
30 第2メイン通路
40 フッ化水素供給源
70 起動弁
71 第2差圧計
Claims (1)
- 溶融塩中のフッ化水素を電気分解することによって、フッ素ガスを生成するフッ素ガス生成装置であって、
溶融塩が貯留され、溶融塩に浸漬された陽極にて生成されたフッ素ガスを主成分とする主生ガスが導かれる第1気室と、溶融塩に浸漬された陰極にて生成された水素ガスを主成分とする副生ガスが導かれる第2気室とが溶融塩液面上に分離して区画された電解槽と、
前記第1気室に接続され、前記電解槽の前記陽極にて生成された主生ガスを外部装置へと供給するためのメイン通路と、
前記メイン通路に設けられ、前記第1気室から主生ガスを導出して搬送する搬送機器と、
前記メイン通路における前記搬送機器の上流側の圧力を検出する圧力検出器と、
前記搬送機器の吐出側と吸込側を接続する還流通路と、
前記還流通路に設けられ、前記搬送機器から吐出された主生ガスを当該搬送機器の吸込側へと戻すための圧力調整弁と、
前記圧力検出器によって検出された圧力が予め定められた設定値となるように、前記圧力調整弁の開度を制御する制御装置と、
前記メイン通路における前記圧力検出器の上流側に設けられ、フッ素ガス生成装置の起動時に開弁して前記陽極にて生成された主生ガスの流通を許容する起動弁と、
閉弁状態での前記起動弁の前後の圧力差を検出する差圧検出器と、を備え、
フッ素ガス生成装置の起動時には、前記制御装置は、前記差圧検出器によって検出された圧力差が予め定められた設定範囲内となるように前記設定値を変更し、当該圧力差が前記設定範囲内となった場合に前記起動弁を開弁することを特徴とするフッ素ガス生成装置。
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