KR20110129914A - 불소 가스 생성 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
도 2는, 정제 장치의 계통도이다.
도 3은, 정제 장치의 이너 튜브 내의 압력과 온도의 시간 변화를 나타내는 그래프도로서, 실선이 압력을 나타내고, 1점 쇄선이 온도를 나타낸다.
Claims (4)
- 용융염 중의 불화수소를 전기 분해함으로써, 불소 가스를 생성하는 불소 가스 생성 장치에 있어서,
용융염이 저류되어, 용융염에 침지된 양극에서 생성된 불소 가스를 주성분으로 하는 주생 가스가 유도되는 제1 기실(氣室)과, 용융염에 침지된 음극에서 생성된 수소 가스를 주성분으로 하는 부생 가스가 유도되는 제2 기실이 용융염 액면 상에 분리되어 구획된 전해조와,
상기 전해조의 용융염으로부터 기화하여 상기 양극으로부터 생성된 주생 가스에 혼입된 불화수소 가스를 포집하여 불소 가스를 정제하는 정제 장치와,
상기 정제 장치의 동작을 제어하는 제어 장치를 구비하고,
상기 정제 장치는, 적어도 2기(基) 이상 병렬로 배치되어,
불화수소 가스를 포함하는 주생 가스가 유입되는 가스 유입부와,
주생 가스에 혼입된 불화수소 가스가 응고되는 한편, 불소 가스는 상기 가스 유입부를 통과하도록, 불소의 비점 이상 또한 불화수소의 융점 이하의 온도로 상기 가스 유입부를 냉각하는 냉각 장치와,
상기 가스 유입부에서의 불화수소의 축적 상태를 검출하는 축적 상태 검출기를 구비하고,
상기 제어 장치는,
상기 축적 상태 검출기의 검출 결과에 기초하여, 대기 상태의 정제 장치로 불소 가스가 유도되도록 상기 정제 장치의 운전 전환을 행하고,
상기 운전 전환에 의해 정지된 정제 장치의 상기 가스 유입부로부터 불화수소를 배출하고, 당해 가스 유입부에 불소 가스를 공급함으로써 정지 중인 정제 장치를 대기 상태로 하는 불소 가스 생성 장치. - 제1항에 있어서,
상기 제1 기실에 접속되어, 상기 전해조의 상기 양극에서 생성된 불소 가스를 외부 장치로 공급하기 위한 제1 메인 통로와,
상기 제1 메인 통로에 설치되어, 불소 가스를 저류하기 위한 제1 버퍼 탱크와,
상기 제1 버퍼 탱크에 접속된 분기 통로와,
상기 분기 통로에 설치되어, 상기 제1 버퍼 탱크의 내부 압력을 제어하는 압력 조정 밸브와,
상기 압력 조정 밸브를 통해 상기 제1 버퍼 탱크로부터 배출된 불소 가스를 저류하기 위한 제2 버퍼 탱크를 구비하고,
정지 중인 정제 장치를 대기 상태로 하는 경우에는, 상기 가스 유입부에 상기 제1 버퍼 탱크 또는 상기 제2 버퍼 탱크에 저류된 불소 가스를 공급하는 불소 가스 생성 장치. - 제1항에 있어서,
운전 전환시에 상기 가스 유입부로부터 배출된 불화수소는, 상기 전해조로 되돌아가는 불소 가스 생성 장치. - 제1항에 있어서,
상기 전해조에 보충하기 위한 불화수소가 저류된 불화수소 공급원을 더 구비하고,
운전 전환시에 상기 가스 유입부로부터 배출된 불화수소는, 상기 불화수소 공급원으로 되돌아가는 불소 가스 생성 장치.
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