JP5556047B2 - フッ素ガス生成装置 - Google Patents
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Description
図1を参照して、本発明の第1の実施の形態に係るフッ素ガス生成装置100について説明する。
図2を参照して、本発明の第2の実施の形態に係るフッ素ガス生成装置200について説明する。以下では、上記第1の実施の形態と異なる点を中心に説明し、第1の実施の形態と同様の構成には、同一の符号を付し説明を省略する。
1 電解槽
2 フッ素ガス供給系統
3 副生ガス処理系統
4 外部装置
5 原料供給系統
7 陽極
8 陰極
9 電源
10a〜10e コントローラ
11 陽極室
11a 第1気室
12 陰極室
12a 第2気室
13 第1圧力計
14 第2圧力計
15 第1メイン通路
17 第1ポンプ
18 第1還流通路
19 第1圧力調整弁
21 バッファタンク
26 流量計
30 第2メイン通路
31 第2ポンプ
32 第2還流通路
33 第2圧力調整弁
40 フッ化水素供給源
43 電流積算計
45 キャリアガス供給源
50 インバータ
51 モータ
Claims (4)
- 溶融塩中のフッ化水素を電気分解することによって、フッ素ガスを生成するフッ素ガス生成装置であって、
溶融塩が貯留され、溶融塩に浸漬された陽極にて生成されたフッ素ガスが導かれる第1気室と、溶融塩に浸漬された陰極にて生成された水素ガスが導かれる第2気室とが溶融塩液面上に分離して区画された電解槽と、
前記第1気室に接続されたメイン通路と、
前記第1気室の圧力を検出する圧力検出器と、
前記メイン通路に設けられ、前記第1気室からフッ素ガスを導出して搬送するポンプと、
前記ポンプの吐出側と吸込側を接続し、径が前記メイン通路の経よりも小さい還流通路と、
前記還流通路に設けられ、前記ポンプから吐出されたフッ素ガスを当該ポンプの吸込側へと戻すための圧力調整弁と、
前記圧力検出器の検出結果に基づいて、前記第1気室の圧力が設定値となるように、前記圧力調整弁の開度を制御する制御手段と、
を備えることを特徴とするフッ素ガス生成装置。 - 前記ポンプは、インバータの出力周波数にて回転速度が制御されるモータによって駆動されることを特徴とする請求項1に記載のフッ素ガス生成装置。
- 前記メイン通路に設けられ、外部装置へと供給されるフッ素ガスの流量を検出する流量検出器をさらに備え、
前記インバータは、前記流量検出器の検出結果に基づいて、前記ポンプを駆動する前記モータの回転速度を制御することを特徴とする請求項2に記載のフッ素ガス生成装置。 - 前記メイン通路に設けられ、外部装置へと供給されるフッ素ガスの流量を検出する流量検出器をさらに備え、
前記インバータは、
前記流量検出器によって検出されたフッ素ガス流量の変化速度が予め定められた所定速度未満である場合には、前記ポンプを駆動する前記モータの回転速度を一定に制御し、
前記変化速度が前記所定速度以上である場合には、前記流量検出器の検出結果に基づいて、前記ポンプを駆動する前記モータの回転速度を可変に制御する
ことを特徴とする請求項2に記載のフッ素ガス生成装置。
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