JP5457193B2 - ガス流を処理する方法 - Google Patents
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- 酸及び固体粒子を含有したガス流を処理する方法であって、
水性スクラビング液を、該液体の酸性度を減少させる酸除去ユニットを有する本質的に閉じられたループ中に循環させるステップと、
前記循環中の液体の少なくとも一部分をガススクラビングユニットに供給するステップと、
前記ガス流を前記スクラビングユニットに供給するステップと、
前記スクラビングユニットに供給されるべき前記液体の酸性度をモニタするステップと、
モニタした酸性度に応じて前記液体の酸性度の減少度を制御して、前記循環中の液体の前記少なくとも一部分中の前記ガス流の固体成分の溶解度を制御するステップとを有する、方法。 - 前記循環中の液体の前記少なくとも一部分は、前記閉ループからそらされ、次に前記閉ループに戻される、請求項1記載の方法。
- 前記酸除去ユニットは、電気化学ユニットである、請求項1又は2記載の方法。
- 酸及び固体粒子を含有したガス流を処理する方法であって、
水性スクラビング液を、該液体の酸性度を減少させる酸除去ユニットを有する本質的に閉じられたループ中に循環させるステップと、
前記循環中の液体の一部を前記閉ループからガススクラビングユニットにそらすステップと、
前記ガス流を前記そらされた液体中に溶かすために前記スクラビングユニットに供給するステップと、
前記そらされた液体を前記閉ループに戻すステップと、
前記閉ループ内の所与の場所における前記循環中の液体の酸性度をモニタするステップと、
モニタした酸性度に応じて前記液体の酸性度の減少度を制御して、前記そらされた液体中の前記ガス流の固体成分の溶解度を制御するステップとを有する、方法。 - 前記そらされた液体の酸性度は、所定値以上に維持される、請求項4記載の方法。
- 前記酸は、HFであり、前記そらされた液体中のHFの濃度は、400ppm以上に維持される、請求項5記載の方法。
- 前記液体の酸性度は、前記そらされる場所を通過してから前記酸除去ユニットに到達するまでの間にモニタされる、請求項4〜6のうちいずれか一に記載の方法。
- 前記そらされた液体は、前記閉ループ内に配置された貯蔵容器に戻され、前記そらされた液体は、前記貯蔵容器内で、前記酸除去ユニットから排出された液体と混ざり合う、請求項4〜7のうちいずれか一に記載の方法。
- 前記電気化学ユニットは、電気化学的再生型イオン交換ユニットで構成される、請求項3〜8のうちいずれか一に記載の方法。
- 前記電気化学ユニットは、前記液体から選択されたイオンを吸収するイオン交換物質を有し、電界を前記イオン交換物質にかけて前記吸収されたイオンが前記イオン交換物質を通って別の溶液中に移動するようにし、前記電界の強度は、前記モニタされた濃度に応じて調節される、請求項3〜9のうちいずれか一に記載の方法。
- 前記ガス流の前記固体成分は、前記ガス流の珪素含有成分である、請求項1〜10のうちいずれか一に記載の方法。
- 前記ガス流の前記固体成分は、二酸化珪素である、請求項1〜11のうちいずれか一に記載の方法。
- 前記液体の酸性度は、前記液体の導電率を測定することによりモニタされる、請求項1〜12のうちいずれか一に記載の方法。
- 前記酸は、ハロゲン化物を含み、前記液体の酸性度は、オンライン型酸性度分析器を用いてモニタされる、請求項1〜12のうちいずれか一に記載の方法。
- 前記酸は、HF、HCL、HNO3、H2SO4、H3BO3、及びH3PO4から成る群から選択された少なくとも1種類の酸を含む、請求項1〜14のうちいずれか一に記載の方法。
- 酸及び固体粒子を含有したガス流を処理する装置であって、
ガススクラビングユニットを有し、
本質的に閉じられたループの循環システムを有し、前記閉ループ循環システムは、水性スクラビング液を閉ループ周りに循環させるポンプと、前記循環中の液体の酸性度を減少させる電気化学ユニットと、前記循環中の液体の一部を前記閉ループから前記ガススクラビングユニットにそらす出口ポートとを有し、
前記ガススクラビングユニットは、前記そらされた液体を受け入れる第1の入口と、前記そらされた液体中に溶かすよう前記ガス流を受け取る第2の入口と、前記そらされた液体を前記スクラビングユニットから排出させる出口とを有し、前記閉ループは、前記スクラビングユニットから排出された液体を受け入れる入口ポートを有し、
前記閉ループ内の所与の場所における前記液体の酸性度をモニタする装置を有し、
前記モニタした濃度に応じて前記液体の酸性度の減少度を制御して、前記そらされた液体中の前記ガス流の固体成分の溶解度を制御するコントローラを有する、装置。 - 前記コントローラは、前記そらされた液体の酸性度を所定値以上に維持するよう構成されている、請求項16記載の装置。
- 前記コントローラは、前記そらされた液体中のHFの濃度を400ppm以上に維持するよう構成されている、請求項17記載の装置。
- 前記液体の酸性度をモニタする装置は、前記液体が前記出口ポートでそらされた後、且つ前記液体が前記電気化学ユニットに到達する前に前記液体の酸性度をモニタできる位置で前記閉ループ内に配置されている、請求項16〜18のうちいずれか一に記載の装置。
- 前記入口ポートは、前記閉ループ内に設けられた貯蔵容器内に設けられ、前記スクラビングユニットから排出された前記液体は、前記貯蔵容器内で、前記電気化学ユニットから排出された液体と混ざり合う、請求項16〜19のうちいずれか一に記載の装置。
- 前記装置は、前記液体の導電率を測定するよう構成されている、請求項16〜20のうちいずれか一に記載の装置。
- 前記装置は、オンライン型酸性度分析器である、請求項16〜20のうちいずれか一に記載の装置。
- 前記電気化学ユニットは、電気化学的再生型イオン交換ユニットで構成される、請求項16〜22のうちいずれか一に記載の装置。
- 前記電気化学ユニットは、前記液体から選択されたイオンを吸収するイオン交換物質を有し、電界を前記イオン交換物質にかけて前記吸収されたイオンが前記イオン交換物質を通って別の溶液中に移動するようにし、前記コントローラは、前記モニタされた濃度に応じて前記電界の強度を調節するよう構成されている、請求項16〜23のうちいずれか一に記載の装置。
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