RU2009126765A - Способ обработки газового потока - Google Patents

Способ обработки газового потока Download PDF

Info

Publication number
RU2009126765A
RU2009126765A RU2009126765/05A RU2009126765A RU2009126765A RU 2009126765 A RU2009126765 A RU 2009126765A RU 2009126765/05 A RU2009126765/05 A RU 2009126765/05A RU 2009126765 A RU2009126765 A RU 2009126765A RU 2009126765 A RU2009126765 A RU 2009126765A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
solution
acidity
closed loop
gas stream
scrubber
Prior art date
Application number
RU2009126765/05A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2444398C2 (ru
Inventor
Филип ЧЭНДЛЕР (US)
Филип ЧЭНДЛЕР
Кристофер Питер ДЖОУНЗ (GB)
Кристофер Питер ДЖОУНЗ
Патрик ФЛЕТЧЕР (GB)
Патрик ФЛЕТЧЕР
Кристофер ДЖЕРМЕЙН (GB)
Кристофер ДЖЕРМЕЙН
Original Assignee
Эдвардс Лимитед (Gb)
Эдвардс Лимитед
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Эдвардс Лимитед (Gb), Эдвардс Лимитед filed Critical Эдвардс Лимитед (Gb)
Publication of RU2009126765A publication Critical patent/RU2009126765A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2444398C2 publication Critical patent/RU2444398C2/ru

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D61/00—Processes of separation using semi-permeable membranes, e.g. dialysis, osmosis or ultrafiltration; Apparatus, accessories or auxiliary operations specially adapted therefor
    • B01D61/42—Electrodialysis; Electro-osmosis ; Electro-ultrafiltration; Membrane capacitive deionization
    • B01D61/44—Ion-selective electrodialysis
    • B01D61/46—Apparatus therefor
    • B01D61/48—Apparatus therefor having one or more compartments filled with ion-exchange material, e.g. electrodeionisation
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
    • B01D53/46—Removing components of defined structure
    • B01D53/68—Halogens or halogen compounds
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B7/00—Halogens; Halogen acids
    • C01B7/01—Chlorine; Hydrogen chloride
    • C01B7/07—Purification ; Separation
    • C01B7/0706—Purification ; Separation of hydrogen chloride
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B7/00—Halogens; Halogen acids
    • C01B7/19—Fluorine; Hydrogen fluoride
    • C01B7/191—Hydrogen fluoride
    • C01B7/195—Separation; Purification
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2257/00—Components to be removed
    • B01D2257/20—Halogens or halogen compounds
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2258/00—Sources of waste gases
    • B01D2258/02—Other waste gases
    • B01D2258/0216—Other waste gases from CVD treatment or semi-conductor manufacturing
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02C—CAPTURE, STORAGE, SEQUESTRATION OR DISPOSAL OF GREENHOUSE GASES [GHG]
    • Y02C20/00—Capture or disposal of greenhouse gases
    • Y02C20/30—Capture or disposal of greenhouse gases of perfluorocarbons [PFC], hydrofluorocarbons [HFC] or sulfur hexafluoride [SF6]

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Water Supply & Treatment (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Urology & Nephrology (AREA)
  • Gas Separation By Absorption (AREA)
  • Treating Waste Gases (AREA)
  • Lasers (AREA)
  • Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
  • Separation Of Particles Using Liquids (AREA)
  • Water Treatment By Electricity Or Magnetism (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)

Abstract

1. Способ обработки газового потока, содержащего кислоту и твердые частицы, включающий этапы, на которых ! циркулируют водный чистящий раствор через по существу замкнутый контур, содержащий устройство удаления кислоты для снижения кислотности раствора; ! подают, по меньшей мере, часть циркулирующего раствора в скруббер для газоочистки; ! подают газовый поток в скруббер; ! осуществляют мониторинг кислотности раствора, подлежащего подаче в скруббер; и ! регулируют уменьшение кислотности раствора в зависимости от измеренной кислотности для регулирования растворимости твердого компонента газового потока в указанной, по меньшей мере, части циркулирующего раствора. ! 2. Способ по п.1, при котором указанную, по меньшей мере, часть циркулирующего раствора отводят из замкнутого контура и позднее возвращают в замкнутый контур. ! 3. Способ по п.2, в котором устройство удаления кислоты является электрохимическим устройством. ! 4. Способ обработки газового потока, содержащего кислоту и твердые частицы, включающий этапы, на которых !циркулируют водный чистящий раствор через по существу замкнутый контур, содержащий устройство удаления кислоты для снижения кислотности раствора; ! отводят часть циркулирующего раствора из замкнутого контура в скруббер газоочистки; ! подают газовый поток в скруббер для растворения в отведенном растворе; ! возвращают отведенный раствор в замкнутый контур; ! осуществляют мониторинг кислотности циркулирующего раствора в месте, находящемся в пределах замкнутого контура; и ! регулируют уменьшение кислотности раствора в зависимости от измеренной кислотности для регулирования растворимости т

Claims (24)

1. Способ обработки газового потока, содержащего кислоту и твердые частицы, включающий этапы, на которых
циркулируют водный чистящий раствор через по существу замкнутый контур, содержащий устройство удаления кислоты для снижения кислотности раствора;
подают, по меньшей мере, часть циркулирующего раствора в скруббер для газоочистки;
подают газовый поток в скруббер;
осуществляют мониторинг кислотности раствора, подлежащего подаче в скруббер; и
регулируют уменьшение кислотности раствора в зависимости от измеренной кислотности для регулирования растворимости твердого компонента газового потока в указанной, по меньшей мере, части циркулирующего раствора.
2. Способ по п.1, при котором указанную, по меньшей мере, часть циркулирующего раствора отводят из замкнутого контура и позднее возвращают в замкнутый контур.
3. Способ по п.2, в котором устройство удаления кислоты является электрохимическим устройством.
4. Способ обработки газового потока, содержащего кислоту и твердые частицы, включающий этапы, на которых
циркулируют водный чистящий раствор через по существу замкнутый контур, содержащий устройство удаления кислоты для снижения кислотности раствора;
отводят часть циркулирующего раствора из замкнутого контура в скруббер газоочистки;
подают газовый поток в скруббер для растворения в отведенном растворе;
возвращают отведенный раствор в замкнутый контур;
осуществляют мониторинг кислотности циркулирующего раствора в месте, находящемся в пределах замкнутого контура; и
регулируют уменьшение кислотности раствора в зависимости от измеренной кислотности для регулирования растворимости твердого компонента газового потока в отведенном растворе.
5. Способ по п.4, при котором кислотность отведенного раствора поддерживают на или выше заданного значения.
6. Способ по п.5, при котором кислотой является HF и концентрацию HF в отведенном растворе поддерживают на или выше 400 ч/млн.
7. Способ по любому из пп.4-6, при котором осуществляют мониторинг кислотности раствора в месте, находящемся выше по потоку от электрохимического устройства и ниже по потоку от места, в котором раствор отводится в скруббер.
8. Способ по п.3 или 4, при котором отведенный раствор возвращают в емкость-хранилище, расположенной в замкнутом контуре и в которой отведенный раствор смешивается с раствором, выпущенным из электрохимического устройства.
9. Способ по п.3 или 4, в котором электрохимическое устройство содержит регенерируемое электрохимически ионообменное устройство.
10. Способ по п.3 или 4, причем электрохимическое устройство содержит ионообменный материал для поглощения выбранных ионов из раствора, и поперек этого материала прикладывается электрическое поле, чтобы заставить абсорбированные ионы перемещаться через ионообменный материал в отдельный раствор, и причем напряженность электрического поля корректируется в зависимости от измеренной концентрации.
11. Способ по п.1 или 4, в котором твердым компонентом газового потока является компонент на основе кремния газового потока.
12. Способ по п.1 или 4, в котором твердым компонентом газового потока является диоксид кремния.
13. Способ по п.1 или 4, при котором осуществляют мониторинг кислотности раствора путем измерения электропроводности раствора.
14. Способ по п.1 или 4, при котором кислота содержит галогенид, причем осуществляют мониторинг кислотности раствора с применением онлайнового анализатора кислотности, такого, как анализатор галогенида.
15. Способ по п.1 или 4, в котором кислота содержит, по меньшей мере, одну кислоту, выбранную из группы, содержащей HF, HCl, HNO3, H2SO4, H3BO3 и H3PO4.
16. Устройство для обработки газового потока, содержащего кислоту и твердые частицы, содержащее
скруббер для газоочистки;
циркуляционную систему с по существу замкнутым контуром, содержащую насос для циркуляции водного чистящего раствора по замкнутому контуру, электрохимическое устройство для снижения кислотности циркулирующего раствора и выходное отверстие для отведения части циркулирующего раствора из замкнутого контура в скруббер газоочистки;
скруббер газоочистки, имеющий первый вход для приема отведенного раствора, второй вход для приема газового потока для растворения в отведенном растворе, и выход, через который отведенный раствор выводится из скруббера, причем замкнутый контур имеет входное отверстие для приема раствора, выходящего из скруббера;
устройство для мониторинга кислотности раствора в месте, находящемся в пределах замкнутого контура; и
контроллер для регулирования уменьшения кислотности раствора в зависимости от измеренной концентрации для регулирования растворимости твердого компонента газового потока в отведенном растворе.
17. Устройство по п.16, в котором контроллер выполнен с возможностью поддержания кислотности отведенного раствора на или выше заданного значения.
18. Устройство по п.17, в котором контроллер выполнен с возможностью поддержания концентрации HF в отведенном растворе на или выше 400 ч/млн.
19. Устройство по любому из пп.16-18, в котором устройство находится в замкнутом контуре выше по потоку от электрохимического устройства и ниже по потоку от выходного отверстия.
20. Устройство по любому из пп.16-18, в котором входное отверстие находится в емкости-хранилище, предусмотренном в замкнутом контуре, и в этой емкости раствор, выходящий из скруббера, смешивается с раствором, выходящим из электрохимического устройства.
21. Устройство по любому из пп.16-18, в котором устройство выполнено с возможностью измерения электропроводности раствора.
22. Устройство по любому из пп.16-18, в котором устройство является онлайновым анализатором кислотности, таким, как анализатор галогенида.
23. Устройство по любому из пп.16-18, в котором электрохимическое устройство содержит регенерируемое электрохимически ионообменное устройство.
24. Устройство по любому из пп.16-18, в котором электрохимическое устройство содержит ионообменный материал для поглощения выбранных ионов из раствора, и поперек которого приложено электрическое поле, чтобы заставить абсорбированные ионы перемещаться через ионообменный материал в отдельный раствор, причем контроллер выполнен с возможностью регулировать напряженность электрического поля в зависимости от измеренной концентрации.
RU2009126765/05A 2006-12-14 2007-11-28 Способ обработки газового потока RU2444398C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GBGB0624931.2A GB0624931D0 (en) 2006-12-14 2006-12-14 Method of treating a gas stream
GB0624931.2 2006-12-14

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2009126765A true RU2009126765A (ru) 2011-01-20
RU2444398C2 RU2444398C2 (ru) 2012-03-10

Family

ID=37712109

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2009126765/05A RU2444398C2 (ru) 2006-12-14 2007-11-28 Способ обработки газового потока

Country Status (14)

Country Link
US (1) US8475563B2 (ru)
EP (1) EP2094373B1 (ru)
JP (1) JP5457193B2 (ru)
KR (1) KR101454940B1 (ru)
CN (1) CN101610831B (ru)
AT (1) ATE481153T1 (ru)
AU (1) AU2007331291B2 (ru)
BR (1) BRPI0720033A2 (ru)
DE (1) DE602007009301D1 (ru)
GB (1) GB0624931D0 (ru)
RU (1) RU2444398C2 (ru)
TW (1) TWI404564B (ru)
WO (1) WO2008072006A1 (ru)
ZA (1) ZA200904082B (ru)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9740214B2 (en) 2012-07-23 2017-08-22 General Electric Technology Gmbh Nonlinear model predictive control for chemical looping process
JP6370684B2 (ja) * 2014-11-14 2018-08-08 エドワーズ株式会社 除害装置
CN110043807B (zh) * 2019-05-23 2021-02-26 中国核电工程有限公司 一种uf6管道泄漏应急处理系统

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3475122A (en) * 1967-03-22 1969-10-28 Ionics Recovery of sulfur dioxide from gas streams
DE3533577A1 (de) * 1985-09-20 1987-03-26 Wacker Chemitronic Verfahren zur aufarbeitung von chlorsilan- und chlorwasserstoffhaltigen abgasen
US4643886A (en) * 1985-12-06 1987-02-17 The Dow Chemical Company Automatic pH control in a process for removal of hydrogen sulfide from a gas
US4795565A (en) * 1987-10-28 1989-01-03 Mobil Oil Corporation Clean up of ethanolamine to improve performance and control corrosion of ethanolamine units
US5011520A (en) * 1989-12-15 1991-04-30 Vector Technical Group, Inc. Hydrodynamic fume scrubber
DE4117382A1 (de) * 1991-05-28 1992-12-03 Metallgesellschaft Ag Verfahren zum regeln des ph-wertes einer sauren waschfluessigkeit
EP0680932B1 (en) * 1994-05-06 2001-08-08 AEA Technology plc Electrochemical deionisation
US5649985A (en) * 1995-11-29 1997-07-22 Kanken Techno Co., Ltd. Apparatus for removing harmful substances of exhaust gas discharged from semiconductor manufacturing process
JP3584146B2 (ja) * 1997-05-12 2004-11-04 高砂熱学工業株式会社 空気中可溶性ガス除去装置
EP0885648B1 (en) * 1997-06-20 2004-01-07 Hitachi, Ltd. A treatment method for decomposing fluorine compounds, and apparatus and use of a catalyst therefor
JP3698559B2 (ja) 1998-09-07 2005-09-21 高砂熱学工業株式会社 気中不純物除去装置
WO2001008786A1 (en) 1999-07-28 2001-02-08 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for catalytic conversion of fluorinated compounds in gases
WO2001040117A1 (en) * 1999-12-03 2001-06-07 Juzer Jangbarwala Fluorine removal by ion exchange
US6306197B1 (en) * 2000-04-19 2001-10-23 Seh America, Inc. Isopropyl alcohol scrubbing system
US20010048902A1 (en) * 2000-05-01 2001-12-06 Christopher Hertzler Treatment system for removing hazardous substances from a semiconductor process waste gas stream
JP2002066256A (ja) * 2000-08-31 2002-03-05 Shin Etsu Handotai Co Ltd 排気ガス処理装置及び排気ガス処理方法
JP3973353B2 (ja) * 2000-09-06 2007-09-12 大阪市 電気透析方法およびその装置
EP1583720A1 (en) * 2003-01-14 2005-10-12 The BOC Group plc Treatment of chemical waste
JP2005013788A (ja) 2003-06-24 2005-01-20 Ricoh Elemex Corp 空気清浄機および処理液ｐＨ値制御方法
JP2005334729A (ja) * 2004-05-25 2005-12-08 Canon Inc ガス処理方法

Also Published As

Publication number Publication date
EP2094373A1 (en) 2009-09-02
KR20090088955A (ko) 2009-08-20
US8475563B2 (en) 2013-07-02
EP2094373B1 (en) 2010-09-15
AU2007331291B2 (en) 2012-10-04
ZA200904082B (en) 2010-04-28
US20100139481A1 (en) 2010-06-10
AU2007331291A1 (en) 2008-06-19
KR101454940B1 (ko) 2014-10-27
JP2010512989A (ja) 2010-04-30
TWI404564B (zh) 2013-08-11
CN101610831A (zh) 2009-12-23
ATE481153T1 (de) 2010-10-15
JP5457193B2 (ja) 2014-04-02
GB0624931D0 (en) 2007-01-24
RU2444398C2 (ru) 2012-03-10
WO2008072006A1 (en) 2008-06-19
BRPI0720033A2 (pt) 2013-12-17
CN101610831B (zh) 2012-08-08
DE602007009301D1 (de) 2010-10-28
TW200838599A (en) 2008-10-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105899281B (zh) 洗涤器的海水量控制装置、洗涤器的海水量控制方法及碱量控制装置
CN104736225B (zh) 气体洗涤器的海水量控制装置、气体洗涤器的海水量控制方法、碱量控制装置及碱量控制方法
US9821268B2 (en) Exhaust gas treatment device and waste water treatment method for exhaust gas treatment device
TW201821153A (zh) 產生包含具有氨氣溶於其中的去離子水之導電液體之系統及方法
US20150210565A1 (en) De-ionization treatment device and method for operating de-ionization treatment device
JP2015208735A (ja) 排ガスの処理方法及び処理装置
RU2009126765A (ru) Способ обработки газового потока
KR101332191B1 (ko) 포토레지스트를 포함한 현상액의 농도 산출 방법 및 농도 조절 장치
JP4845909B2 (ja) 空気洗浄器
JP2000160399A (ja) めっき装置
JPH10309432A (ja) 空気中可溶性ガス除去装置
JP2010064059A (ja) 循環式オゾン水生成方法及び循環式オゾン水製造装置
JP4084778B2 (ja) 空気中可溶性ガス除去装置
JP2002292362A (ja) 比抵抗調整水製造装置
KR101968525B1 (ko) 역삼투막의 역세척 방법 및 그 시스템
JP6746739B1 (ja) 空気中汚染物質の除去システム
JP7277042B1 (ja) 排ガス処理システムおよび排ガス処理方法
JP4545329B2 (ja) 不純物除去装置
JP2023110945A (ja) 排ガス処理システムおよび排ガス処理方法
JP4070231B2 (ja) 空気清浄機
JP2004025119A (ja) 硝酸性窒素の除去方法及び装置
JPH03278814A (ja) 酸性ガス処理装置
JP2007152171A (ja) 排ガス浄化処理方法及び装置
JP2008019116A (ja) 酸処理液の自動補給方法および装置
KR20130063093A (ko) 마이크로 버블을 이용한 제염 장치 및 그의 제염 방법

Legal Events

Date Code Title Description
PD4A Correction of name of patent owner
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20191129