JP2010064059A - 循環式オゾン水生成方法及び循環式オゾン水製造装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】循環ポンプ4にてオゾン水1を循環させ、その途中にオゾンガス7、及び純水3を注入する循環式オゾン水生成であり、排オゾンガス11、及び純水3をオゾンガス接触機構10に供給し、オゾンガス接触機構10を介して供給オゾン水11となって循環するオゾン水1に供給することで、オゾン水濃度が安定し、オゾンガス生成を抑制することが可能になった。
【選択図】図2
Description
前記純水をオゾンガス接触機構に供給し、
前記オゾンガス接触機構を介してオゾン水となって前記循環するオゾン水に供給されることを特徴とする循環式オゾン水生成方法である。
前記純水をオゾンガス接触機構に供給し、
前記オゾンガス接触機構を介してオゾン水となって前記注入ラインから前記オゾン水循環ラインに供給されることを特徴とする循環式オゾン水製造装置である。
フッ素樹脂で形成された膜を有し、
一方に前記純水を、他方に前記オゾンガスを導入して前記膜を介して前記オゾンガスが 前記純水に溶け込み、前記純水を前記オゾン水にする構造であることを特徴とする請求項6または請求項7に記載の循環式オゾン水製造装置である。
前記測定したオゾン水濃度に基づき演算をして前記オゾン水循環ラインに注入されるオゾンガスのオゾンガス量、及び/またはオゾンガス濃度をコントロールする制御手段と、
を有することを特徴とする請求項6乃至請求項8のいずれか1項に記載の循環式オゾン水製造装置である。
前記測定したオゾンガス濃度に基づき演算をして前記オゾン水循環ラインに注入される 前記オゾンガスのオゾンガス量、及び/またはオゾンガス濃度をコントロールする制御手段と、
を有することを特徴とする請求項6乃至請求項8のいずれか1項に記載の循環式オゾン水製造装置である。
図1は、一般的なポンプによる循環式オゾン水生成の概念図であり、図2は、この発明の実施の形態に係わる循環式オゾン水生成で供給純水にオゾンガス接触機構が組み込まれた概念図である。図3は、この発明の実施の形態に係わる循環式オゾン水生成で供給純水にオゾン水接触機構、及びオゾンガス濃度測定手段、制御手段が組み込まれた概念図である。又、図4は、この発明の実施の形態に係わる循環式オゾン水生成で供給純水にオゾン水接触機構、及びオゾン水濃度測定手段、制御手段が組み込まれた概念図である。
10L/minの純水を供給して、オゾン水生成を行った。供給するオゾンガス量は3L/min、オゾンガス濃度を250mg/Lとした。
供給される純水にオゾンガス接触機構を設け、排オゾンガスを導いたこと以外は実施例1と同一条件にてオゾン水生成を行った。
実施例1と同様の条件でオゾン水生成を行った。オゾン水濃度は同様に33mg/Lであった。
比較例1と同様の条件で、排オゾンガスの導管にオゾンガス測定機構を取り付け、オゾン水濃度が実施例2と同じになるように供給されるオゾンガス量を調整した。オゾンガス量は2L/minになり、供給するオゾンガス量を2/3にすることができた。
2 吐出オゾン水
3 純水
4 循環ポンプ
5 オゾンガス混合機構
6 ガス分離タンク
7 オゾンガス
8 導管
9 オゾンガス処理部
10 オゾンガス接触機構
11 供給オゾン水
12 オゾンガス濃度測定手段
13 オゾン水濃度測定手段
20,30 制御手段
Claims (10)
- ポンプにてオゾン水を循環させ、その途中にオゾンガス、及び純水を注入する循環式オゾン水生成方法において、
前記純水をオゾンガス接触機構に供給し、
前記オゾンガス接触機構を介してオゾン水となって前記循環するオゾン水に供給されることを特徴とする循環式オゾン水生成方法。 - 前記オゾンガス接触機構に供給されるオゾンガスは、一度使用されたオゾンガスであることを特徴とする請求項1に記載の循環式オゾン水生成方法。
- 前記オゾンガス接触機構を介して前記純水が前記オゾン水となる構造は、フッ素樹脂で形成された膜を有し、一方に前記純水を、他方に前記オゾンガスを導入して前記膜を介して前記オゾンガスが前記純水に溶け込み、前記純水を前記オゾン水にする構造であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の循環式オゾン水生成方法。
- 前記一度使用されたオゾンガスのオゾンガス濃度を測定することにより、演算をして前記循環するオゾン水に注入される前記オゾンガスのオゾンガス量、及び/またはオゾンガス濃度をコントロールすることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の循環式オゾン水生成方法。
- 前記オゾンガス接触機構によりオゾン水になったオゾン水濃度を測定することにより、演算をして前記循環するオゾン水に注入される前記オゾンガスのオゾンガス量、及び/またはオゾンガス濃度をコントロールすることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の循環式オゾン水生成方法。
- ポンプにてオゾン水を循環するオゾン水循環ラインを有し、その途中にオゾンガス、及び純水を注入する注入ラインを有する循環式オゾン水製造装置において、
前記純水をオゾンガス接触機構に供給し、
前記オゾンガス接触機構を介してオゾン水となって前記注入ラインから前記オゾン水循環ラインに供給されることを特徴とする循環式オゾン水製造装置。 - 前記オゾンガスは一度使用されたオゾンガスであることを特徴とする請求項6に記載の循環式オゾン水製造装置。
- 前記オゾンガス接触機構を介して前記純水が前記オゾン水となる構造は、
フッ素樹脂で形成された膜を有し、
一方に前記純水を、他方に前記オゾンガスを導入して前記膜を介して前記オゾンガスが前記純水に溶け込み、前記純水を前記オゾン水にする構造であることを特徴とする請求項6または請求項7に記載の循環式オゾン水製造装置。 - 前記オゾンガス接触機構により前記オゾン水になったオゾン水濃度を測定するオゾン水濃度測定手段と、
前記測定したオゾン水濃度に基づき演算をして前記オゾン水循環ラインに注入されるオゾンガスのオゾンガス量、及び/またはオゾンガス濃度をコントロールする制御手段と、
を有することを特徴とする請求項6乃至請求項8のいずれか1項に記載の循環式オゾン水製造装置。 - 前記一度使用されたオゾンガスのオゾンガス濃度を測定するオゾンガス濃度測定手段と、
前記測定したオゾンガス濃度に基づき演算をして前記オゾン水循環ラインに注入される 前記オゾンガスのオゾンガス量、及び/またはオゾンガス濃度をコントロールする制御手段と、
を有することを特徴とする請求項6乃至請求項8のいずれか1項に記載の循環式オゾン水製造装置。
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Cited By (4)
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---|---|---|---|---|
JP2012176359A (ja) * | 2011-02-25 | 2012-09-13 | Kurita Water Ind Ltd | ガス溶解水の製造装置 |
JP2014091094A (ja) * | 2012-11-05 | 2014-05-19 | Panasonic Corp | オゾン水生成装置 |
JP2014176837A (ja) * | 2013-03-14 | 2014-09-25 | Cavitatorsystems Gmbh Mediale Mischsysteme & Anlagen | 衛生的に製造するべき流体混合物用のキャビテーションミキサの流量適合方法 |
JP2021122798A (ja) * | 2020-02-06 | 2021-08-30 | 株式会社荏原製作所 | ガス溶解液製造装置 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08196879A (ja) * | 1995-01-30 | 1996-08-06 | Ebara Corp | オゾン水製造方法及び装置 |
JP2001113268A (ja) * | 1999-10-15 | 2001-04-24 | Sasakura Engineering Co Ltd | 間歇使用対応型オゾン水供給装置 |
JP2005021798A (ja) * | 2003-07-01 | 2005-01-27 | Teeiku Wan Sogo Jimusho:Kk | オゾン水製造方法、オゾン水製造装置 |
JP2005161163A (ja) * | 2003-12-01 | 2005-06-23 | Sekisui Chem Co Ltd | オゾン水処理装置 |
JP2009112979A (ja) * | 2007-11-08 | 2009-05-28 | Nomura Micro Sci Co Ltd | オゾン水の製造装置及び製造方法 |
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2008
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08196879A (ja) * | 1995-01-30 | 1996-08-06 | Ebara Corp | オゾン水製造方法及び装置 |
JP2001113268A (ja) * | 1999-10-15 | 2001-04-24 | Sasakura Engineering Co Ltd | 間歇使用対応型オゾン水供給装置 |
JP2005021798A (ja) * | 2003-07-01 | 2005-01-27 | Teeiku Wan Sogo Jimusho:Kk | オゾン水製造方法、オゾン水製造装置 |
JP2005161163A (ja) * | 2003-12-01 | 2005-06-23 | Sekisui Chem Co Ltd | オゾン水処理装置 |
JP2009112979A (ja) * | 2007-11-08 | 2009-05-28 | Nomura Micro Sci Co Ltd | オゾン水の製造装置及び製造方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012176359A (ja) * | 2011-02-25 | 2012-09-13 | Kurita Water Ind Ltd | ガス溶解水の製造装置 |
JP2014091094A (ja) * | 2012-11-05 | 2014-05-19 | Panasonic Corp | オゾン水生成装置 |
JP2014176837A (ja) * | 2013-03-14 | 2014-09-25 | Cavitatorsystems Gmbh Mediale Mischsysteme & Anlagen | 衛生的に製造するべき流体混合物用のキャビテーションミキサの流量適合方法 |
JP2021122798A (ja) * | 2020-02-06 | 2021-08-30 | 株式会社荏原製作所 | ガス溶解液製造装置 |
JP7412200B2 (ja) | 2020-02-06 | 2024-01-12 | 株式会社荏原製作所 | ガス溶解液製造装置 |
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