JP4084778B2 - 空気中可溶性ガス除去装置 - Google Patents
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Description
って、補給水は供給されずガスの除去性能は低下してしまう。このため、循環水の比抵抗値による水質管理は余り有効な手段とは言えない。
第1の参考の形態の空気中可溶性ガス除去装置(以下、「除去装置」と記す。)を図1を用いて説明する。図1は除去装置の構成図であり、この参考の形態は、屋外の外気から可溶性ガスを除去してクリーンルームに給気するエアウォッシャーに適用した態様である。
L/G=0.01〜0.03 (1)
にした場合、制御弁17の弁の開度を大きくした時の補給水量Lを0.03Gとする。そして、この補給水量Lの増加によりpH値が所定範囲内に戻ったことをpH検出器21が検出したならば、pH制御ユニット23によりこの検出値を処理した後に制御弁調整ユニット25に送信し、制御弁調整ユニット25は水供給系15からピット5に供給される水の流量を少なくするように制御弁17の開度を小さくなるように制御する。即ち、制御弁調整ユニット25は制御弁17の弁の開度を小さくして水の補給水量Lを0.01G(以下、「最低設定水量」と記す。)にする。
次に、本発明に係る第2の参考の形態の空気中可溶性ガス除去装置を図2を用いて説明する。
次に、本発明に係る第3の参考の形態の空気中可溶性ガス除去装置を図3を用いて説明する。
29と還り管31を有し、水供給系15に流量調整器33を有する点で、水排出系19にpH検出器21を有し、水供給系15に制御弁21を有し、排出ポンプ29と還り管31と流量調整器33を有しない第1の参考の形態の除去装置と相違する。
次に、本発明に係る第1の実施の形態の空気中可溶性ガス除去装置を図4を用いて説明する。
弁27と還り管31を有しない点で、この液供給系43を有さず、三方弁27と還り管31を有する第3の参考の形態の除去装置と相違する。
次に、本発明に係る第2の実施の形態の空気中可溶性ガス除去装置を図5を用いて説明
する。
本発明は排水のpH値を検出し、この検出値に基づいて排水の排水量を制御して吸収液のpH値を所定の範囲内にしてもよい。
3 水循環系(吸収液循環系)
15 水供給系(吸収液供給系)
17 制御弁(制御手段)
19 水排出系(吸収液排出系)
21 pH検出器(pH検出手段)
23 pH制御ユニット(制御手段)
25 制御弁調整ユニット(制御手段)
51 ポンプ制御ユニット(制御手段)
Claims (4)
- 空気中に含まれる可溶性ガスを気液接触により除去する空気中可溶性ガス除去装置であって、
(イ)可溶性ガスを含む被処理空気が流通する空気流路と、
(ロ)吸収液を空気流路に供給し、吸収液と被処理空気とを気液接触させて被処理空気中の可溶性ガスを吸収液中に溶解させ、可溶性ガスが溶在する吸収液を回収して再び空気流路内に供給する吸収液循環系と、
(ハ)吸収液循環系に新しい吸収液を供給する吸収液供給系と、
(ニ)吸収液循環系から吸収液を排出する吸収液排出系と、
(ホ)流通する吸収液のpH値を検出するpH検出手段と、
(へ)前記pH検出手段により検出されたpH値に基づいて、流通する吸収液のpH値を所定の範囲内にする制御手段と、
を備え、
被処理空気は屋外からクリーンルームへ給気される外気であり、
前記吸収液は純水であり、
前記pH検出手段は、吸収液循環系を流通する吸収液のpH値を検出し、
前記制御手段は、pH検出手段により検出されたpH値に基づいて、吸収液循環系の吸収液内の水素イオン濃度を変化させる液の供給を制御して吸収液循環系の吸収液のpH値を所定の範囲内にすることを特徴とする空気中可溶性ガス除去装置。 - 前記液はアルカリ性溶液と酸性溶液であり、前記制御手段は前記pH検出手段により検出されたpH値に基づいて中性よりも偏りのある側と反対側のアルカリ性溶液又は酸性溶液のいずれかの液を選択し、この選択された液を吸収液循環系の吸収液に供給することを特徴とする請求項1に記載の空気中可溶性ガス除去装置。
- 前記pH検出手段は、吸収液排出系に三方弁と排出ポンプと還り管を有すると共に吸収液供給系に流量調整器を有することを特徴とする請求項1に記載の空気中可溶性ガス除去装置。
- 前記pH値は、4.5〜9.5の範囲下であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の空気中可溶性ガス除去装置。
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