JP5188851B2 - フッ素ガス発生装置 - Google Patents
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Description
上記実施形態と同構成のフッ素ガス発生装置を作製して、このフッ素ガス発生装置を運転させた。ここで、電解槽における陽極は、フッ素電解用電極(FE−5)(東洋炭素株式会社製)を用いた。そして、コンプレッサーのフランジシール部材の温度、コンプレッサーからのガス漏れ、フッ素ガス発生装置の一ヶ月の連続運転の可否、及び、第2区画内における加圧器外部の四フッ化炭素ガスの濃度を調べた。なお、フッ素ガス発生装置の運転中に筐体内の排気は行わなかった。
次に、上記実施形態と同構成のフッ素ガス発生装置を作製して、このフッ素ガス発生装置を運転させ、運転中に、第1区画の天井に設けられた吸引口から、筐体内の排気を行った。なお、筐体内の排気を排気風速2.5〜3.3m3/minの連続運転にて行ったことを除いて、実施例1と同様の条件でフッ素ガス発生装置の運転を行い、同様に測定した。
次に、筐体内を隔壁によって区画していない、図4に示した従来のフッ素ガス発生装置を作製して、このフッ素ガス発生装置を運転させた。そして、コンプレッサーのフランジシール部材の温度、コンプレッサーからのガス漏れ、及び、フッ素ガス発生装置の一ヶ月の連続運転の可否を調べた。また、筐体内における加圧器外部の四フッ化炭素ガスの濃度を測定した。なお、フッ素ガス発生装置の運転中に筐体内の排気は行わなかった。
次に、図4に示したフッ素ガス発生装置を作製して、このフッ素ガス発生装置を運転させ、筐体の天井に設けた図示しない吸引口から筐体内の排気を排気風速2.5〜3.3m3/minの連続運転にて行ったことを除いて、実施例1と同様の条件でフッ素ガス発生装置の運転を行い、同様に測定した。なお、本実施形態におけるフッ素ガス発生装置1000における符号1、14、15、20、21、31、32がふられている各部と、図3に示したフッ素ガス発生装置2000において符号201、214、215、220、221、231、232がふられている各部は、順に同様のものであるので、説明を省略することがある。結果を下記表1に示す。
2 電解浴
3 陽極室
4 陰極室
5 陽極
6 陰極
12 温水加熱装置
13 温水ジャケット
14 HF吸着塔(第2吸着手段)
14a,14b 各々のHF吸着塔
15 HF吸着塔(第1吸着手段)
15a,15b 各々のHF吸着塔
20 バッファタンク(貯留手段)
21 コンプレッサー(加圧手段)
22 フッ素ガス発生口
23 水素ガス発生口
24 HF供給ライン
25 HF導入口
31 インテグレーテッドガスシステム
32 電気制御部
51 入口
52 出口
53 バルブ
54 O−リング
55 送風機
56 ガスケット
100 筐体
101 第1区画
102 第2区画
104、105、106 隔壁
1000 フッ素ガス発生装置
Claims (2)
- フッ化水素を含む混合溶融塩からなる電解浴が形成された電解槽と、
前記電解浴を電気分解させて発生したフッ素ガスを含有したフッ素含有ガスが前記電解槽から排出され、前記フッ素含有ガス中に含まれたフッ化水素を吸着する吸着手段と、
前記フッ化水素が吸着されたフッ素含有ガスのフッ素ガスを加圧する加圧器と、
前記電解槽と、前記吸着手段と、前記加圧器とが収容された筐体とを備えたフッ素ガス発生装置であって、
前記加圧器が、前記加圧器の内部を通過するガスの純度を維持するために、前記加圧器の前記内部と前記加圧器の外部とを遮断するための合成樹脂製のシール部材を有しているものであり、
前記筐体内において、前記加圧器と、発熱源である前記電解槽及び前記吸着手段とが、熱伝導を抑止可能な隔壁により区画されていることを特徴とするフッ素ガス発生装置。 - 前記合成樹脂が、フッ素を40〜75%含んでいるフッ素樹脂であり、前記加圧器が30℃以下の温度下で使用されることを特徴とする請求項1記載のフッ素ガス発生装置。
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