JP4994424B2 - 基板処理装置及び半導体装置の形成方法 - Google Patents
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Description
ある。また、ガス供給ラインは、上記処理空間にガスを供給する手段である。ガス排出ラインは、上記処理空間のガスを排出する手段である。排ガス圧力制御手段は、ガス排出ラインの排ガス圧力を制御する手段である。この排ガス圧力制御手段は、ガス排出ラインに挿入されている。バイパスラインは、装置の非常停止状態が発生したときに導通状態に設定される手段である。このバイパスラインは、上記ガス排出ラインに排ガス圧力制御手段と並列に接続されている。
高くなることが防止される。その結果、反応炉11の炉口111からガスが漏れることが防止される。
111 炉口
112 ガス導入部
113 ガス排出部
12 ボート
13 ヒータ
14 ガス供給ライン
141(1),141(2),141(3)…ガスタンク
142(1),142(2),142(3)…ガス供給配管
144(1),144(2),144(3)…ハンドバルブ
145(1),145(2),145(3)…マスフローコントローラ
146(1),146(2),146(3)…エアバルブ
147 燃焼管
151 ガス排出配管
152 ハンドバルブ
153 スクラバ
16 APCバルブ
171 バイパス配管
172 エアバルブ
Claims (2)
- 基板に対して所定の処理を施すための処理空間を提供する処理容器と、
前記処理空間に処理用ガス及び不活性ガスを供給するガス供給手段と、
前記処理空間のガスを排出するガス排出手段と、
前記ガス排出手段に挿入され、このガス排出手段の排ガス圧力を制御する排ガス圧力制御手段と、
前記ガス排出手段に挿入され、前記排ガス圧力制御手段の上流側および下流側で、前記排ガス圧力制御手段と並列に接続されるバイパス手段と、
を備えた基板処理装置であって、
前記ガス供給手段は、前記基板処理装置に非常事態が発生した場合、前記処理用ガスの供給を停止するとともに前記不活性ガスを供給して前記処理空間を浄化する様構成され、
前記バイパス手段は、前記非常事態が発生した場合、導通状態となり、前記処理空間から排出された前記処理用ガス及び前記不活性ガスを前記排ガス圧力制御手段の前記上流側から流しつつ前記排ガス圧力制御手段の前記下流側で前記ガス排出手段に前記ガスを排出する様構成されることを特徴とする基板処理装置。 - 基板処理装置を用いて処理する半導体装置の形成方法であって、
処理空間を提供する処理容器にガス供給手段から処理用ガスを供給しつつ、前記処理空間にて基板に対して所定の処理を施し、ガス排出手段に挿入される排ガス圧力制御手段の上流側および下流側で前記排ガス圧力制御手段と並列に接続されるバイパス手段が非導通状態で、前記排ガス圧力制御手段が前記ガス排出手段の排ガス圧力を制御しつつ前記処理空間のガスを前記ガス排出手段から排出する第一工程と、
前記基板処理装置に非常事態が発生した場合、前記処理用ガスの供給を停止し、前記ガス供給手段から不活性ガスを供給して前記処理空間を浄化するとともに、前記バイパス手段を導通状態にして、前記処理空間から排出された前記ガスを前記排ガス圧力制御手段の前記上流側から前記バイパス手段に流しつつ前記排ガス圧力制御手段の前記下流側で前記ガス排出手段に前記ガスを排出する第二工程と
を有することを特徴とする半導体装置の形成方法。
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JP2849255B2 (ja) * | 1991-11-29 | 1999-01-20 | 東洋エンジニアリング株式会社 | 高性能半導体製造用の排気システムおよびその制御方法 |
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