JP2010242125A - フッ素ガス生成装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】フッ化水素を電気分解することによってフッ素ガスを生成するフッ素ガス生成装置であって、陽極7にて生成されたフッ素ガスが導かれる第1気室11aと、陰極8にて生成された水素ガスが導かれる第2気室12aとが溶融塩液面上に分離して区画された電解槽1と、第1気室11aに接続されたメイン通路15と、第1気室11aの圧力を検出する圧力計13と、メイン通路15に設けられ第1気室11aからフッ素ガスを導出して搬送するポンプ17と、ポンプ17の吐出側と吸込側を接続する還流通路18と、還流通路18に設けられポンプ17から吐出されたフッ素ガスをポンプ17の吸込側へと戻すための圧力調整弁19と、圧力計13の検出結果に基づいて、第1気室11aの圧力が設定値となるように圧力調整弁19の開度を制御する制御手段10aとを備える。
【選択図】図1
Description
図1を参照して、本発明の第1の実施の形態に係るフッ素ガス生成装置100について説明する。
図2を参照して、本発明の第2の実施の形態に係るフッ素ガス生成装置200について説明する。以下では、上記第1の実施の形態と異なる点を中心に説明し、第1の実施の形態と同様の構成には、同一の符号を付し説明を省略する。
1 電解槽
2 フッ素ガス供給系統
3 副生ガス処理系統
4 外部装置
5 原料供給系統
7 陽極
8 陰極
9 電源
10a〜10e コントローラ
11 陽極室
11a 第1気室
12 陰極室
12a 第2気室
13 第1圧力計
14 第2圧力計
15 第1メイン通路
17 第1ポンプ
18 第1還流通路
19 第1圧力調整弁
21 バッファタンク
26 流量計
30 第2メイン通路
31 第2ポンプ
32 第2還流通路
33 第2圧力調整弁
40 フッ化水素供給源
43 電流積算計
45 キャリアガス供給源
50 インバータ
51 モータ
Claims (4)
- 溶融塩中のフッ化水素を電気分解することによって、フッ素ガスを生成するフッ素ガス生成装置であって、
溶融塩が貯留され、溶融塩に浸漬された陽極にて生成されたフッ素ガスが導かれる第1気室と、溶融塩に浸漬された陰極にて生成された水素ガスが導かれる第2気室とが溶融塩液面上に分離して区画された電解槽と、
前記第1気室に接続されたメイン通路と、
前記第1気室の圧力を検出する圧力検出器と、
前記メイン通路に設けられ、前記第1気室からフッ素ガスを導出して搬送するポンプと、
前記ポンプの吐出側と吸込側を接続する還流通路と、
前記還流通路に設けられ、前記ポンプから吐出されたフッ素ガスを当該ポンプの吸込側へと戻すための圧力調整弁と、
前記圧力検出器の検出結果に基づいて、前記第1気室の圧力が設定値となるように、前記圧力調整弁の開度を制御する制御手段と、
を備えることを特徴とするフッ素ガス生成装置。 - 前記ポンプは、インバータの出力周波数にて回転速度が制御されるモータによって駆動されることを特徴とする請求項1に記載のフッ素ガス生成装置。
- 前記メイン通路に設けられ、外部装置へと供給されるフッ素ガスの流量を検出する流量検出器をさらに備え、
前記インバータは、前記流量検出器の検出結果に基づいて、前記ポンプを駆動する前記モータの回転速度を制御することを特徴とする請求項2に記載のフッ素ガス生成装置。 - 前記メイン通路に設けられ、外部装置へと供給されるフッ素ガスの流量を検出する流量検出器をさらに備え、
前記インバータは、
前記流量検出器によって検出されたフッ素ガス流量の変化速度が予め定められた所定速度未満である場合には、前記ポンプを駆動する前記モータの回転速度を一定に制御し、
前記変化速度が前記所定速度以上である場合には、前記流量検出器の検出結果に基づいて、前記ポンプを駆動する前記モータの回転速度を可変に制御する
ことを特徴とする請求項2に記載のフッ素ガス生成装置。
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JP2004124148A (ja) * | 2002-10-01 | 2004-04-22 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 発生水素の圧力制御方法及び水素発生装置 |
JP2009024222A (ja) * | 2007-07-20 | 2009-02-05 | Toyo Tanso Kk | フッ素系ガス及び水素ガス発生装置 |
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-
2010
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- 2010-03-12 TW TW99107372A patent/TW201100592A/zh unknown
Patent Citations (2)
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CN114405438B (zh) * | 2022-03-01 | 2022-11-11 | 中山大学 | 一种光电催化反应系统 |
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