JP2010170994A - 光源装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】内部に発光物質が封入されたプラズマ発生容器1と、一方の焦点F1にプラズマ発生容器1が配置された楕円反射鏡2と、集光されたレーザ光を楕円反射鏡2の開口側からプラズマ発生容器1に導入するレーザ光導入手段3とを備え、プラズマ発生容器1内の発光物質に導入されたレーザ光を照射して発光物質を励起し、プラズマ発生容器1から放射光を放射し、放射光が楕円反射鏡2によって反射されて反射光となる光源装置であって、レーザ光導入手段3が、プラズマ発生容器1によって楕円反射鏡2からの反射光が遮られる反射光阻害領域L1−L2に設けられていることを特徴とする光源装置である。
【選択図】図1
Description
しかし、高圧放電ランプへの入力電力を大きくすると、電極への負荷が増大し、電極からの蒸発物が原因となって、高圧放電ランプが黒化し、短寿命となる問題が発生する。
同図に示すように、この光源装置100は、上記の問題を解決するために、無電極のプラズマ発生容器104を楕円反射鏡101内に配置し、楕円反射鏡101の側面に設けられた穴部102を通して、レーザ光をプラズマ発生容器104内に入射させ、プラズマ発生容器104内に封入されたプラズマ発生ガスを励起し、発光させる装置である。この光源装置100によれば、放電ランププラズマ発生容器104中に電極が無いので上記の問題を解決することができる。
同図に示すように、この光源装置200は、上記の問題を解決するために、プラズマ発生容器を反射鏡201内に配置し、反射鏡201の頂部の開口202を通して、レーザ光をプラズマ発生容器203内に入射させ、プラズマ発生容器203内に封入されたプラズマ発生ガスを励起し、発光させる装置である。この光源装置200によれば、プラズマ発生容器中に電極が無いので上記の問題を解決することができる。
図18に示された構成によれば、反射鏡205から光出射する開口側から、入射されたレーザ光を、反射鏡206で反射させて、反射鏡205内に照射し、反射鏡205内に充填されたプラズマ発生ガスを励起してプラズマを発生させ、プラズマによって生成された放射光を反射鏡206を透過させて放射するものである。また、図19に示された構成によれば、反射鏡205から光出射する開口側から、入射されたレーザ光を、反射鏡208を透過させて、反射鏡205内に照射し、反射鏡205内に充填されたプラズマ発生ガスを励起してプラズマを発生させ、プラズマによって生成された放射光を反射鏡208で反射させて放射するものである。
第1の手段は、内部に発光物質が封入されたプラズマ発生容器と、一方の焦点に前記プラズマ発生容器が配置された楕円反射鏡と、集光されたレーザ光を前記楕円反射鏡の開口側から前記プラズマ発生容器に導入するレーザ光導入手段とを備え、前記プラズマ発生容器内の発光物質に前記導入されたレーザ光を照射して該発光物質を励起し、前記プラズマ発生容器から放射光を放射し、前記放射光が前記楕円反射鏡によって反射されて反射光となる光源装置であって、前記レーザ光導入手段が、前記プラズマ発生容器によって前記楕円反射鏡からの反射光が遮られる反射光阻害領域に設けられていることを特徴とする光源装置である。
第2の手段は、第1の手段において、前記レーザ光導入手段は、レーザ光発生器から出射するレーザ光を前記プラズマ発生容器に導く光ファイバーと、該光ファイバーの出射端と前記プラズマ発生容器の間に配置された集光レンズとからなることを特徴とする光源装置である。
第3の手段は、第1の手段において、前記レーザ光導入手段は、レーザ光発生器から出射するレーザ光を前記プラズマ発生容器に向けて反射する反射鏡と、該反射鏡と前記プラズマ発生容器の間に配置された集光レンズとからなることを特徴とする光源装置である。
第4の手段は、第1の手段において、前記レーザ光導入手段は、レーザ光発生器から出射するレーザ光を前記プラズマ発生容器に向けて集光して反射する集光反射鏡であることを特徴とする光源装置である。
第5の手段は、第1の手段において、前記レーザ光導入手段は、レーザ光発生器から出射し集光レンズによって集光されたレーザ光を前記プラズマ発生容器に向けて反射する反射鏡であることを特徴とする光源装置である。
第6の手段は、第1の手段において、前記レーザ光導入手段は、レーザ光発生器から出射するレーザ光を前記プラズマ発生容器に導く光ファイバーと、該光ファイバーから出射したレーザ光を集光する前記プラズマ発生容器の一部に形成された集光レンズ部分とからなることを特徴とする光源装置である。
第7の手段は、第1の手段において、前記プラズマ発生容器は、プラズマ発生容器の内部に電極を有しない無電極プラズマ発生容器であることを特徴とする光源装置である。
第8の手段は、第1の手段において、前記プラズマ発生容器は、プラズマ発生容器の内部に一対の電極を有する有電極プラズマ発生容器であることを特徴とする光源装置である。
第9の手段は、第7の手段において、前記プラズマ発生容器に導入されるレーザ光は、パルスレーザからなるプラズマ始動用レーザ光とパルスレーザ又はCWレーザからなるプラズマ維持用レーザ光であることを特徴とする光源装置である。
第10の手段は、第8の手段において、前記プラズマ発生容器に導入されるレーザ光は、パルスレーザ又はCWレーザからなるプラズマ維持用レーザ光であることを特徴とする光源装置である。
第11の手段は、第1の手段ないし第8の手段のいずれか1つの手段において、前記プラズマ発生容器は、加熱手段を有することを特徴とする光源装置である。
第12の手段は、第11の手段において、前記加熱手段は、プラズマ発生容器内に埋設されたレーザ光を吸収して発熱する発熱体であることを特徴とする光源装置である。
更に、レーザ光を楕円反射鏡の開口側からプラズマ発生容器に向けて照射するので、照射面の被処理物には、レーザ光が直接照射されることがなく、被処理物がレーザ光によって、損傷されることがない。
図1は、本実施形態の発明に係る光源装置の構成を示す図である。
同図に示すように、プラズマ発生容器1は、石英ガラス製で発光部11と封止部12からなり、発光部11には、発光物質として、例えば、4.5mg/cm3の水銀とキセノンが2気圧封入されている。プラズマ発生容器1は、内部に電極が存在しない無電極プラズマ発生容器である。楕円反射鏡2は、頂部開口21を有し、頂部開口21にプラズマ発生容器1の封止部12が挿入され、封止部12が楕円反射鏡2の背後で保持され、楕円反射鏡2の一方の焦点F1にプラズマ発生容器1が配置される。楕円反射鏡2の外部には、レーザ光発生器4が設けられ、レーザ光発生器4から、例えば、20kHzのパルスレーザ又はCW(Continuous Wave)レーザからなるレーザ光がレーザ光導入手段3によりプラズマ発生容器1に導入される。
図2は、本実施形態の発明に係る光源装置の構成を示す図である。
同図に示すように、レーザ光導入手段3は、レーザ光発生器4から出射するレーザ光をプラズマ発生容器1に向けて反射する反射鏡33と、反射鏡33とプラズマ発生容器1との間に配置された集光レンズ32とからなり、反射光阻害領域L1−L2に設けられる。反射鏡33によって反射されて導入されたレーザ光は、集光レンズ32によって集光されてプラズマ発生容器1に照射されるので、集光点でエネルギー密度を高めることができ、発光物質を励起させ、放射光を発生させることができる。なお、その他の構成は図1に示した同符号の構成に対応する。
図3は、本実施形態の発明に係る光源装置の構成を示す図である。
同図に示すように、レーザ光導入手段3は、レーザ光発生器4から出射するレーザ光をプラズマ発生容器1に向けて集光して反射する集光反射鏡34からなり、反射光阻害領域L1−L2に設けられる。集光反射鏡34によって集光して反射されたレーザ光は、プラズマ発生容器1に照射され、レーザ光が集光されているので、集光点でエネルギー密度を高めることができ、発光物質を励起させ、放射光を発生させることができる。なお、その他の構成は図1に示した同符号の構成に対応する。
図4は、本実施形態の発明に係る光源装置の構成を示す図である。
同図に示すように、レーザ光導入手段3は、レーザ光発生器4から出射し集光レンズ5によって集光されたレーザ光をプラズマ発生容器1に向けて反射する反射鏡33であり、反射光阻害領域L1−L2に設けられる。反射鏡33によって反射されて導入されたレーザ光は、プラズマ発生容器1に照射され、レーザ光が集光されているので、集光点でエネルギー密度を高めることができ、発光物質を励起させ、放射光を発生させることができる。なお、その他の構成は図1に示した同符号の構成に対応する。
図5は、本実施形態の発明に係る光源装置の構成を示す図である。
同図に示すように、レーザ光導入手段3は、レーザ光発生器4から出射するレーザ光をプラズマ発生容器1に導く光ファイバー31と、光ファイバー31から出射したレーザ光を集光するプラズマ発生容器1の一部に形成された集光レンズ部分35とからなり、反射光阻害領域L1−L2に設けられる。レーザ光は、集光レンズ部分35によって集光されてプラズマ発生容器1内に導入され照射されるので、集光点でエネルギー密度を高めることができ、発光物質を励起させ、放射光を発生させることができる。なお、その他の構成は図1に示した同符号の構成に対応する。
図6は、本実施形態の発明に係る光源装置の構成を示す図である。
同図に示すように、レーザ光導入手段3は、レーザ光発生器4Aから出射するレーザ光Aを導く光ファイバー31Aと、レーザ光発生器4Bから出射するレーザ光Bを導く光ファイバー31Bと、光ファイバー31Aと光ファイバー31Bの出射端とプラズマ発生容器1との間に配置された集光レンズ32とからなり、レーザ光導入手段3は、反射光阻害領域L1−L2に設けられる。レーザ光AはCWレーザからなるプラズマ維持用レーザ光であり、レーザ光Bは、例えば、20kHzのパルスレーザからなるプラズマ始動用レーザ光である。レーザ光Bをレーザ光Aに重畳することにより、プラズマ発生容器1内の発光物質の励起を助長し、レーザ光Aのみを照射した場合に比べて、確実にプラズマを発生させることができる。なお、プラズマが発生して安定化後、レーザ光Bを停止する。また、レーザ光Aとレーザ光Bの印加時期は、同時でもよいし、両者が前後してもよい。また、レーザ光Aとレーザ光Bとは、上記の組み合わせの他に、レーザ光A及びレーザ光Bを共にパルスレーザとしてもよい。なお、本実施形態の他の構成及び効果は、第1の実施形態の場合と同様であるので、説明を省略する。
図7は、本実施形態の発明に係る光源装置の構成を示す図である。
同図に示すように、レーザ光導入手段3は、レーザ光発生器4Aから出射して反射鏡6を透過したレーザ光A及びレーザ光発生器4Bから出射して反射鏡6によって反射されたレーザ光Bをプラズマ発生容器1に向けて反射する反射鏡33と、反射鏡33とプラズマ発生容器1との間に配置された集光レンズ32とからなり、レーザ光導入手段3は、反射光阻害領域L1−L2に設けられる。レーザ光AはCWレーザからなるプラズマ維持用レーザ光であり、レーザ光Bはパルスレーザからなるプラズマ始動用レーザ光である。レーザ光Bをレーザ光Aに重畳することにより、プラズマ発生容器1内の発光物質の励起を助長し、レーザ光Aのみを照射する場合に比べて、確実にプラズマを発生させることができる。なお、プラズマが発生して安定化後、レーザ光Bを停止する。また、レーザ光Aとレーザ光Bの印加時期は、同時でもよいし、両者が前後してもよい。レーザ光Aとレーザ光Bとは、上記の組み合わせの他に、レーザ光A及びレーザ光B共にパルスレーザとしてもよい。なお、本実施形態の他の構成及び効果は、第2の実施形態の場合と同様であるので、説明を省略する。
図8は、本実施形態の発明に係る光源装置の構成を示す図である。
同図に示すように、レーザ光導入手段3は、レーザ光発生器4Aから出射したレーザ光Aをプラズマ発生容器1に向けて反射する反射鏡33Aと、レーザ光発生器4Bから出射したレーザ光Bをプラズマ発生容器1に向けて反射する反射鏡33Bと、反射鏡33A及び反射鏡33Bとプラズマ発生容器1との間に配置された集光レンズ32とからなり、レーザ光導入手段3は、反射光阻害領域L1−L2に設けられる。レーザ光AはCWレーザからなるプラズマ維持用レーザ光であり、レーザ光Bはパルスレーザからなるプラズマ始動用レーザ光である。レーザ光Bをレーザ光Aに重畳することにより、プラズマ発生容器1内の発光物質の励起を助長し、レーザ光Aのみを照射する場合に比べて、確実にプラズマを発生させることができる。なお、プラズマが発生しての安定化後、レーザ光Bを停止する。また、レーザ光Aとレーザ光Bの印加時期は、同時でもよいし、両者が前後してもよい。レーザ光Aとレーザ光Bとは、上記の組み合わせの他に、レーザ光A及びレーザ光B共にパルスレーザとしてもよい。なお、本実施形態の他の構成及び効果は、第2の実施形態の場合と同様であるので、説明を省略する。
図9は、本実施形態の発明に係る光源装置の構成を示す図である。
同図に示すように、レーザ光導入手段3は、レーザ光発生器4Aから出射したレーザ光Aをプラズマ発生容器1に向けて反射する反射鏡33Aと、反射鏡33Aとプラズマ発生容器1との間に配置された集光レンズ32Aとからなり、レーザ光導入手段3は、反射光阻害領域L1−L2に設けられる。一方、楕円反射鏡2の頂部開口21付近に設けられたレーザ光発生器4Bから出射するレーザ光Bを集光レンズ7で集光してプラズマ発生容器1に照射する。レーザ光AはCWレーザからなるプラズマ維持用レーザ光であり、レーザ光Bはパルスレーザからなるプラズマ始動用レーザ光である。レーザ光Bをレーザ光Aに重畳することにより、プラズマ発生容器1内の発光物質の励起を助長し、レーザ光Aのみを照射する場合に比べて、確実にプラズマを発生させることができる。なお、プラズマが発生して安定化後、レーザ光Bを停止する。また、レーザ光Aとレーザ光Bの印加時期は、同時でもよいし、両者が前後してもよい。レーザ光Aとレーザ光Bとは、上記の組み合わせの他に、レーザ光A及びレーザ光B共にパルスレーザとしてもよい。なお、本実施形態の他の構成及び効果は、第2の実施形態の場合と同様であるので、説明を省略する。
図10は、本実施形態の発明に係る光源装置の構成を示す図である。
同図に示すように、レーザ光導入手段3は、レーザ光発生器4Aから出射して反射鏡6を透過したレーザ光A及びレーザ光発生器4Bから出射して反射鏡6によって反射されたレーザ光Bをプラズマ発生容器1に向けて集光し反射する集光反射鏡34からなり、レーザ光導入手段3は、反射光阻害領域L1−L2に設けられる。レーザ光AはCWレーザからなるプラズマ維持用レーザ光であり、レーザ光Bはパルスレーザからなるプラズマ始動用レーザ光である。レーザ光Bをレーザ光Aに重畳することにより、プラズマ発生容器1内の発光物質の励起を助長し、レーザ光Aのみを照射する場合に比べて、確実にプラズマを発生させることができる。なお、プラズマが発生して安定化後、レーザ光Bを停止する。また、レーザ光Aとレーザ光Bの印加時期は、同時でもよいし、両者が前後してもよい。レーザ光Aとレーザ光Bとは、上記の組み合わせの他に、レーザ光A及びレーザ光Bを共にパルスレーザとしてもよい。なお、本実施形態の他の構成及び効果は、第3の実施形態の場合と同様であるので、説明を省略する。
図11は、本実施形態の発明に係る光源装置の構成を示す図である。
同図に示すように、レーザ光導入手段3は、レーザ光発生器4Aから出射するレーザ光Aを導く光ファイバー31Aと、レーザ光発生器4Bから出射するレーザ光Bを導く光ファイバー31Bと、光ファイバー31Aと光ファイバー31Bから出射したレーザ光A及びレーザ光Bを集光するプラズマ発生容器1の一部に形成された集光レンズ部分35とからなり、レーザ光導入手段3は、反射光阻害領域L1−L2に設けられる。レーザ光AはCWレーザからなるプラズマ維持用レーザ光であり、レーザ光Bはパルスレーザからなるプラズマ始動用レーザ光である。レーザ光Bをレーザ光Aに重畳することにより、プラズマ発生容器1内の発光物質の励起を助長し、レーザ光Aのみを照射した場合に比べて、確実にプラズマを発生させることができる。なお、プラズマが発生して安定化後、レーザ光Bを停止する。また、レーザ光Aとレーザ光Bの印加時期は、同時でもよいし、両者が前後してもよい。また、レーザ光Aとレーザ光Bとは、上記の組み合わせの他に、レーザ光A及びレーザ光Bを共にパルスレーザとしてもよい。なお、本実施形態の他の構成及び効果は、第1の実施形態の場合と同様であるので、説明を省略する。
同図に示すように、プラズマ発生容器1は、プラズマ発生容器1内部に電極を有しない無電極プラズマ発生容器であり、プラズマ発生容器1の封止部12は、加熱手段であるヒータ13とレーザ光を吸収して発熱する発熱体14が配置されている。発熱体14は、純カーボンやカーボン混合体、アルミニウム、金属やセラミクス上に酸化三鉄を被覆したものである。また、ヒータ13と発熱体14のどちらか一方でもよい。プラズマ発生容器1に加熱手段を設けることにより、プラズマ発生容器1の温度を上げ、発光物質の励起を助長することができる。
同図に示すように、プラズマ発生容器1には、レーザ光を集光するプラズマ発生容器1の一部に形成された集光レンズ部分35が形成されている。その他の構成及び効果は、図12において説明したプラズマ発生容器1と同様であるので、説明を省略する。
同図に示すように、プラズマ発生容器1は、プラズマ発生容器1の内部に一対の電極15、16を有する有電極プラズマ発生容器であり、電極15、16は、封止部12に埋設された金属箔17に接続されており、金属箔17に繋がる外部リード18が封止部12から外部に突出している。
第1ないし第4の各実施形態の場合は、外部リード17に不図示の電源から放電開始用の電圧が供給され、電極15、16間に電圧が印加されると、プラズマ発生容器1内の発光物質の励起が助長され、レーザ光が照射されるだけの場合に比べて、プラズマを確実に発生させることができる。なお、プラズマが発生して安定した後は、電極15、16間への給電を停止する。
第6ないし第10の各実施形態の場合は、プラズマ始動用のパルスレーザからなるレーザ光Bを照射すると共に、放電始動用の電圧を電極15、16に印加してその後停止し、プラズマ維持用のパルスレーザ又はCWレーザからなるレーザ光Aを照射する。又は、プラズマ始動用のパルスレーザからなるレーザ光Bを照射し、放電維持用の電圧を電極15、16に印加すると共に、プラズマ維持用のパルスレーザ又はCWレーザからなるレーザ光Aを照射するようにしてもよい。
同図に示すように、プラズマ発生容器1には、レーザ光を集光するプラズマ発生容器1の一部に集光レンズ部分35が形成されている。その他の構成及び効果は、図14において説明したプラズマ発生容器1と同様であるので、説明を省略する。
11 発光部
12 封止部
13 ヒータ
14 発熱体
15、16 一対の電極
17 金属箔
18 外部リード
2 楕円反射鏡
21 頂部開口
3 レーザ光導入手段
31 光ファイバー
31A 光ファイバー
31B 光ファイバー
32 集光レンズ
32A 集光レンズ
33 反射鏡
33A 反射鏡
33B 反射鏡
34 集光反射鏡
35 集光レンズ部分
4 レーザ光発生器
4A レーザ光発生器
4B レーザ光発生器
5 集光レンズ
6 反射鏡
L1、L2 境界線
L1−L2 反射光阻害領域
Claims (12)
- 内部に発光物質が封入されたプラズマ発生容器と、一方の焦点に前記プラズマ発生容器が配置された楕円反射鏡と、集光されたレーザ光を前記楕円反射鏡の開口側から前記プラズマ発生容器に導入するレーザ光導入手段とを備え、
前記プラズマ発生容器内の発光物質に前記導入されたレーザ光を照射して該発光物質を励起し、前記プラズマ発生容器から放射光を放射し、前記放射光が前記楕円反射鏡によって反射されて反射光となる光源装置であって、
前記レーザ光導入手段が、前記プラズマ発生容器によって前記楕円反射鏡からの反射光が遮られる反射光阻害領域に設けられていることを特徴とする光源装置。 - 前記レーザ光導入手段は、レーザ光発生器から出射するレーザ光を前記プラズマ発生容器に導く光ファイバーと、該光ファイバーの出射端と前記プラズマ発生容器の間に配置された集光レンズとからなることを特徴とする請求項1に記載の光源装置。
- 前記レーザ光導入手段は、レーザ光発生器から出射するレーザ光を前記プラズマ発生容器に向けて反射する反射鏡と、該反射鏡と前記プラズマ発生容器の間に配置された集光レンズとからなることを特徴とする請求項1に記載の光源装置。
- 前記レーザ光導入手段は、レーザ光発生器から出射するレーザ光を前記プラズマ発生容器に向けて集光して反射する集光反射鏡であることを特徴とする請求項1に記載の光源装置。
- 前記レーザ光導入手段は、レーザ光発生器から出射し集光レンズによって集光されたレ
ーザ光を前記プラズマ発生容器に向けて反射する反射鏡であることを特徴とする請求項1に記載の光源装置。 - 前記レーザ光導入手段は、レーザ光発生器から出射するレーザ光を前記プラズマ発生容器に導く光ファイバーと、該光ファイバーから出射したレーザ光を集光する前記プラズマ発生容器の一部に形成された集光レンズ部分とからなることを特徴とする請求項1に記載の光源装置。
- 前記プラズマ発生容器は、プラズマ発生容器の内部に電極を有しない無電極プラズマ発生容器であることを特徴とする請求項1に記載の光源装置。
- 前記プラズマ発生容器は、プラズマ発生容器の内部に一対の電極を有する有電極プラズマ発生容器であることを特徴とする請求項1に記載の光源装置。
- 前記プラズマ発生容器に導入されるレーザ光は、パルスレーザからなるプラズマ始動用レーザ光とパルスレーザ又はCWレーザからなるプラズマ維持用レーザ光であることを特徴とする請求項7に記載の光源装置。
- 前記プラズマ発生容器に導入されるレーザ光は、パルスレーザ又はCWレーザからなるプラズマ維持用レーザ光であることを特徴とする請求項8に記載の光源装置。
- 前記プラズマ発生容器は、加熱手段を有することを特徴とする請求項1ないし請求項8のいずれか1つの請求項に記載の光源装置。
- 前記加熱手段は、プラズマ発生容器内に埋設されたレーザ光を吸収して発熱する発熱体であることを特徴とする請求項11に記載の光源装置。
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