JP2022060309A - 照明源及びプラズマ光源 - Google Patents
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Abstract
Description
本願は、「NOVEL LAMP IGNITION SCHEME AND LAMP DESIGN FOR LASER PUMPED LAMPS USED ON BRIGHTFIELD WAFER INSPECTION TOOLS」と題され、Anant Chimmalgi, Rudolf Brunner, Anatoly Shchemelinin, Ilya Bezel, Erik Kim, Rajeev Patilを発明者として、2015年10月4日に出願された米国仮特許出願第62/236,904号の、米国特許法第119条(e)の下での優先権を主張するものであり、その全体を本明細書の一部として援用する。
Claims (24)
- 無電極プラズマ点火のための照明源であって、
プラズマランプ内に収容されたガスにプラズマを点火するように構成される1つ以上の点火レーザと、
前記プラズマを維持するように構成される1つ以上の維持レーザと、
デリバリ光ファイバと、
前記1つ以上の点火レーザの出力と前記1つ以上の維持レーザの出力とを前記デリバリ光ファイバに選択的に光学結合するように構成される、1つ以上の光学素子と、
プロセス光ファイバと、
前記デリバリ光ファイバの出力と前記プロセス光ファイバの入力とを光学結合させるファイバカプラと、
を含む照明源。 - 請求項1に記載の照明源であって、前記1つ以上の点火レーザの前記出力は、前記デリバリ光ファイバへの入力前に、前記1つ以上の維持レーザの前記出力とインライン結合される、照明源。
- 請求項1に記載の照明源であって、前記1つ以上の点火レーザは、1つ以上のパルスレーザを含む、照明源。
- 請求項1に記載の照明源であって、前記1つ以上の点火レーザは、変調モードで動作する、1つ以上の連続波レーザを含む、照明源。
- 請求項1に記載の照明源であって、前記1つ以上の維持レーザは、1つ以上の連続波レーザを含む、照明源。
- 請求項5に記載の照明源であって、前記1つ以上の連続波レーザは、1つ以上のダイオードレーザを含む、照明源。
- 請求項1に記載の照明源であって、前記1つ以上の点火レーザの出力と前記1つ以上の維持レーザの出力とを前記デリバリ光ファイバにインラインで選択的に光学結合させるように構成される前記1つ以上の光学素子は、1つ以上のダイクロイックミラー、1つ以上の偏光コンバイナ、1つ以上のブロッキングミラー、または、1つ以上のフリップミラーの少なくともいずれかを含む、照明源。
- プラズマ光源であって、
所定体積のガスを収容するプラズマランプと、
1つ以上の点火レーザと、
1つ以上の維持レーザと、
デリバリ光ファイバと、
前記1つ以上の点火レーザの出力と前記1つ以上の維持レーザの出力とを、前記デリバリ光ファイバに選択的に光学結合するように構成される1つ以上の光学素子と、
プロセス光ファイバと、
前記デリバリ光ファイバの出力と前記プロセス光ファイバの入力とを光学結合させるファイバカプラと、
前記プロセス光ファイバからの出力を前記プラズマランプ内の所定体積のガスへ方向付けるように構成され、前記プラズマランプ内の前記所定体積のガスにプラズマを点火および維持する、1つ以上のランプ光学部品と、を含む、プラズマ光源。 - 請求項8に記載のプラズマ光源であって、前記1つ以上の点火レーザの前記出力は、前記デリバリ光ファイバへの入力前に、前記1つ以上の維持レーザの前記出力とインライン結合される、プラズマ光源。
- 請求項8に記載のプラズマ光源であって、前記1つ以上の点火レーザは、1つ以上のパルスレーザを含む、プラズマ光源。
- 請求項8に記載のプラズマ光源であって、前記1つ以上の点火レーザは、変調モードで動作する、1つ以上の連続波レーザを含む、プラズマ光源。
- 請求項8に記載のプラズマ光源であって、前記1つ以上の維持レーザは、1つ以上の連続波レーザを含む、プラズマ光源。
- 請求項12に記載のプラズマ光源であって、前記1つ以上の連続波レーザは、1つ以上のダイオードレーザを含む、プラズマ光源。
- 請求項8に記載のプラズマ光源であって、前記1つ以上の点火レーザの出力と前記1つ以上の維持レーザの出力とを、前記デリバリ光ファイバにインラインで選択的に光学結合させるように構成される前記1つ以上の光学素子は、1つ以上のダイクロイックミラー、1つ以上の偏光コンバイナ、1つ以上のブロッキングミラー、または、1つ以上のフリップミラーの少なくともいずれかを含む、プラズマ光源。
- 請求項14に記載のプラズマ光源であって、前記1つ以上のランプ光学部品は、生成されたプラズマによって発せられる広帯域放射のうち少なくとも一部分を集光し、前記広帯域放射を1つ以上の別の光学素子へ方向付けるように構成される、プラズマ光源。
- 請求項8に記載のプラズマ光源であって、前記1つ以上のランプ光学部品は、集光素子を含む、プラズマ光源。
- 請求項16に記載のプラズマ光源であって、前記集光素子は、楕円面集光ミラー、放物面集光ミラー、または球面集光ミラーのうち少なくとも1つを含む、プラズマ光源。
- 請求項8に記載のプラズマ光源であって、前記1つ以上のランプ光学部品は、
前記デリバリ光ファイバからの出力を前記プラズマランプ内の前記所定体積のガスへ方向付けるように構成される反射素子のセットと、
生成されたプラズマによって発せられる広帯域放射の少なくとも一部分を集光し、前記広帯域放射を1つ以上の別の光学素子へ方向付けるように構成される集光素子のセットと、
を含む、プラズマ光源。 - 請求項8に記載のプラズマ光源であって、前記プラズマランプは、プラズマ電球を含む、プラズマ光源。
- 請求項19に記載のプラズマ光源であって、前記プラズマ電球は、円筒形、または、球形のうち少なくとも1つを有する、プラズマ光源。
- 請求項19に記載のプラズマ光源であって、前記プラズマ電球は、カージオイド形を有する、プラズマ光源。
- 請求項21に記載のプラズマ光源であって、前記プラズマ電球は、前記プラズマ電球内の対流を方向付けるように構成され、前記プラズマ電球の内面に配置されるピークを有する、プラズマ光源。
- 請求項8に記載のプラズマ光源であって、前記プラズマランプは、無電極である、プラズマ光源。
- 請求項19に記載のプラズマ光源であって、前記プラズマ電球の前記ガスは、不活性ガス、非不活性ガス、または2種類以上のガスの混合物のうち少なくとも1つを含む、プラズマ光源。
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