JP2010098151A - 半導体発光素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明の窒化物半導体発光素子1は、n型窒化物半導体層11とp型窒化物半導体層13との間に活性層12を備える。活性層12は、第1の井戸層14と、井戸層の中で最も外側に設けられ、第1の井戸層14を挟む第2の井戸層15と、各井戸層間に設けられた障壁層16、17と、を有し、第2の井戸層15は第1の井戸層14を構成する窒化物半導体よりもバンドギャップエネルギーの大きい窒化物半導体からなり、第1の井戸層14及び第2の井戸層15のそれぞれに対応した発光スペクトルのピークを有する。
【選択図】 図1
Description
図1は、本発明の実施形態1に係る窒化物半導体発光素子を模式的に示す断面図である。窒化物半導体発光素子1は、基板10上に順に積層された、n型窒化物半導体層11、活性層12、p型窒化物半導体層13を有し、p型窒化物半導体層13の一部が除去されて露出されたn型窒化物半導体層11にn電極18が設けられ、p型窒化物半導体層13にp電極19が設けられている。活性層12は、第1の井戸層14と、第1の井戸層14を挟む第2の井戸層15と、障壁層16、17とを有する。第2の井戸層15は井戸層の中で最も外側、つまり最もn型窒化物半導体層11側と最もp型窒化物半導体層13側に1層ずつ設けられており、第2の井戸層15は第1の井戸層14を構成する窒化物半導体よりもバンドギャップエネルギーの大きい窒化物半導体からなる。このような窒化物半導体発光素子1は、第1の井戸層14及び第2の井戸層15のそれぞれに対応した発光スペクトルのピークを有する。
基板10は、半導体層をエピタキシャル成長させることができる基板で、基板の大きさや厚さ等は特に限定されない。窒化物半導体における基板としては、C面、R面、及びA面のいずれかを主面とするサファイヤやスピネル(MgAl2O4)のような絶縁性基板、また炭化珪素(6H、4H、3C)、シリコン、ZnS、ZnO、Si、GaAs、ダイヤモンド、及び窒化物半導体と格子接合するニオブ酸リチウム、ガリウム酸ネオジウム等の酸化物基板、GaNやAlN等の窒化物半導体基板があり、そのオフアングルした基板(例えば、サファイヤC面で0.01°〜3.0°)も用いることができる。
n型窒化物半導体層11及びp型窒化物半導体層13としては、一般式InxAlyGa1−x−yN(0≦x≦1、0≦y≦1、0≦x+y≦1)のものを用いることができる。これに加えて、III族元素としてBが一部に置換されたものを用いてもよいし、V族元素としてNの一部をP、Asで置換されたものを用いてもよい。n型窒化物半導体層11及びp型窒化物半導体層13としてはAldGa1−dN(0<d≦1)が例示される。n側半導体層は、n型不純物として、Si、Ge、Sn、S、O、Ti、Zr、CdなどのIV族元素又はVI族元素等のいずれか1つ以上を含有していてもよい。p側半導体層は、p型不純物として、Mg、Zn、Be、Mn、Ca、Sr等を含有していてもよい。不純物は、例えば、5×1016/cm3〜1×1021/cm3程度の濃度範囲で含有されていることが好ましい。
活性層12は、第1の井戸層14と、第2の井戸層15と、障壁層16、17とを有する。井戸層14、15と障壁層16、17は、一般式InxAlyGa1−x−yN(0≦x≦1、0≦y≦1、0≦x+y≦1)のものを用いることができる。また、活性層12は多重量子井戸構造とすることもできる。
第1の井戸層14と第2の井戸層15はそれぞれ、組成の異なる窒化物半導体からなり、窒化物半導体発光素子の発光スペクトルが各井戸層に対応した2種のピークを有するものとなる組成で形成される。2種のピークを有する発光スペクトルとは、例えば、発光ピークの山が2つあり、その間に谷が存在する状態や、2種の波長のピーク間に変曲点が存在する状態がある。具体的な組成としては、例えば、少なくともInを含む窒化物半導体の場合、第2の井戸層15のIn組成比が第1の井戸層14のIn組成比よりも小さいものとし、より具体的には、第1の井戸層をInaGa1−aN(0<a<1)、第2の井戸層をInbGa1−bN(0<b<1、b<a)とする。また、2種の発光ピークの波長差が10nm程度以上とすると、2種のピークを有する発光スペクトルが得られやすいと考えられる。具体的な組成としては、第1の井戸層をInaGa1−aN(0<a<1)、第2の井戸層をInbGa1−bN(0<b<1、a−b≧0.02)とすることができる。また、井戸層の組成が異なると最適な成長条件も異なってくるため、例えば第1の井戸層であるInaGa1−aNと第2の井戸層であるInbGa1−bNのIn組成比の差は、0.10以下、さらには0.04以下とすることが好ましい。
障壁層16、17は、各井戸層14、15間に少なくとも設けられる。具体的な組成としては、例えば井戸層14、15が近紫外領域または紫外領域の発光ピークとなる組成で形成される場合には、障壁層をAlcGa1−cN(0<c≦0.4)とすることが好ましい。図1において、障壁層16は各井戸層14、15の間に設けられており、障壁層17は井戸層の中で最も外側に設けられた第2の井戸層15のさらに外側に設けられている。このような障壁層17は、n型窒化物半導体層11側またはp型窒化物半導体層13側のいずれか一方もしくは両方を省略することもできる。第2の井戸層15のキャリア閉じ込めを考慮すると、このような障壁層17を設けることが好ましい。
n電極18及びp電極19は、各々の導電型の窒化物半導体層とオーミック接触が可能な電極材料であれば、特に限定されない。例えば、ニッケル(Ni)、白金(Pt)、パラジウム(Pd)、ロジウム(Rh)、ルテニウム(Ru)、オスミウム(Os)、イリジウム(Ir)、チタン(Ti)、ジルコニウム(Zr)、ハフニウム(Hf)、バナジウム(V)、ニオブ(Nb)、タンタル(Ta)、コバルト(Co)、鉄(Fe)、マンガン(Mn)、モリブデン(Mo)、クロム(Cr)、タングステン(W)、ランタン(La)、銅(Cu)、銀(Ag)、イットリウム(Y)からなる群から選択された少なくとも一種を含む金属材料や合金材料により形成することができる。また、これらの材料の酸化物又は窒化物も、電極40の材料として利用できる。これらの材料からなる単層膜であってもよいが、2種以上の材料を積層した多層膜が好ましい。また、n電極18とp電極19は同じ構成で形成できる。
図6は、本発明の実施形態2に係る窒化物半導体発光素子を模式的に示す断面図である。窒化物半導体発光素子2は、支持基板200上に、導電性接着層201を介して、p型窒化物半導体層23、活性層22、n型窒化物半導体層21が順に積層された積層構造を有し、その積層構造の両面にはn電極28とp電極29が設けられている。このように、実施形態2の窒化物半導体発光素子2は、p電極29とn電極28が積層構造の対向する面側にそれぞれ設けられた対向電極構造であり、p電極29側が支持基板200に接合されている。活性層、半導体層、電極などの実施形態1と共通する部材は実施形態1と同じものを用いることができる。このような対向電極構造の窒化物半導体発光素子2においても、上述の活性層とすることで、安定した2種のピークの発光スペクトルを得ることができる。
支持基板200には、例えば、Si、SiC等の半導体から成る半導体基板、または、金属単体基板、または相互に非固溶あるいは固溶限界の小さい2種以上の金属の複合体から成る金属基板を用いることができる。さらに、金属基板としては、Cu−WあるいはCu−Moの複合体を用いることが好ましい。また、Cu−ダイヤ等の金属とセラミックスの複合体などを用いることもできる。
導電性接着層201は導電性の材料が選択され、支持基板200とp電極29とを接合している。導電性接着層201は、例えば、Au、Sn、Pd、Inから成る群から選ばれる少なくとも1つを含有する合金から選択することができる。p電極29側に第1金属層を形成し、支持基板200側に第2金属層を形成して、この2つの金属層を共晶接合することによって導電性接着層を形成することもできる。各金属層は、密着層、バリア層、共晶層から成る構造が好ましい。
実施例1の窒化物半導体発光素子は、図6に示すように、CuとWの合金からなる支持基板200上に、導電性接着層201を介して、p型窒化物半導体層23、活性層22、n型窒化物半導体層21が積層された積層構造を有し、p型窒化物半導体層23側にp電極、n型窒化物半導体層21側にn電極28が設けられている。
まず、成長用基板として、サファイヤ(C面)よりなる基板を用い、その基板上に、膜厚200オングストロームのGaNよりなるバッファ層と、膜厚4μmのアンドープGaNよりなる下地層を順に成長させる。次に、n型窒化物半導体層21として、Siをドープしたn型Al0.07Ga0.93Nからなるn型コンタクト層を約2μmの膜厚で形成する。
比較例1の窒化物半導体発光素子は、活性層22を以下の構成とする他は実施例1と同様に作製する。
比較例2の窒化物半導体発光素子は、活性層22を以下の構成とする他は実施例1と同様に作製する。
比較例3の窒化物半導体発光素子は、活性層22を以下の構成とする他は実施例1と同様に作製する。
実施例2の窒化物半導体発光素子は、第1の井戸層をアンドープのIn0.06Ga0.94Nとする他は実施例1と同様に作製する。
実施例3の窒化物半導体発光素子は、第1の井戸層をアンドープのIn0.08Ga0.92N、第2の井戸層をアンドープのIn0.06Ga0.94Nとする他は実施例1と同様に作製する。
実施例4の窒化物半導体発光素子は、第1の井戸層をアンドープのIn0.08Ga0.92Nとする他は実施例1と同様に作製する。
10 基板
11、21 n型窒化物半導体層
12、22 活性層
13、23 p型窒化物半導体層
14 第1の井戸層
15、15a、15b 第2の井戸層
16、17 障壁層
18、28 n電極
19、29 p電極
200 支持基板
Claims (9)
- n型窒化物半導体層とp型窒化物半導体層との間に活性層を備え、
前記活性層は、第1の井戸層と、井戸層の中で最も外側に設けられ、前記第1の井戸層を挟む第2の井戸層と、各井戸層間に設けられた障壁層と、を有し、
前記第2の井戸層は前記第1の井戸層を構成する窒化物半導体よりもバンドギャップエネルギーの大きい窒化物半導体からなり、前記第1の井戸層及び前記第2の井戸層のそれぞれに対応した発光スペクトルのピークを有する窒化物半導体発光素子。 - 最も外側に設けられた前記第2の井戸層間において、前記第1の井戸層を複数有する請求項1に記載の窒化物半導体発光素子。
- 最も外側に設けられた前記第2の井戸層間において、前記p型半導体層側に前記第2の井戸層を一層以上有し、前記第2の井戸層よりも前記n型半導体層側に前記第1の井戸層を一層以上有する請求項1または2に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記第2の井戸層の積層数は、前記第1の井戸層の積層数よりも多い請求項2または3に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記第1の井戸層と前記第2の井戸層が交互に複数積層されている請求項1に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記第1の井戸層及び前記第2の井戸層のそれぞれに対応した発光スペクトルのピークは、近紫外領域または紫外領域である請求項1〜5のいずれか1項に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記第1の井戸層はInaGa1−aN(0<a<1)であり、前記第2の井戸層はInbGa1−bN(0<b<1、a−b≧0.02)である1〜6のいずれか1項に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記第1の井戸層はInaGa1−aN(0<a≦0.1)であり、前記第2の井戸層はInbGa1−bN(0<b<0.1、a−b≧0.02)であり、前記障壁層はAlcGa1−cN(0<c≦0.4)である請求項1〜7のいずれか1項に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記n型窒化物半導体層及び前記p型窒化物半導体層はAldGa1−dN(0<d≦1)である請求項8に記載の窒化物半導体発光素子。
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