JP2011035042A - 発光素子 - Google Patents
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Abstract
【課題】発光のバラツキを抑えた発光素子を提供する。
【解決手段】
本発明の発光素子は、一導電型を示す第1半導体層2aと、第1半導体層2a上に設けられた活性層2bと、活性層2b上に設けられ、逆導電型を示し、Alx1Ga(1−x1−y1)Iny1N(0≦x1≦1、0≦y1≦1、x1+y1≦1)からなる第2半導体層2cと、第2半導体層2cの主面2Aに、平面透視した状態で、活性層2bと少なくとも一部が重なるように設けられ、前記第2半導体層より大きなバンドギャップを有するAlx2Ga(1−x2−y2)Iny2N(0≦x2≦1、0≦y2≦1、x2+y2≦1)からなる第3半導体層3と、第1半導体層2aに設けられた第1電極4と、第2半導体層2cの主面2Aに設けられた第2電極5と、を備える。
【選択図】図2
【解決手段】
本発明の発光素子は、一導電型を示す第1半導体層2aと、第1半導体層2a上に設けられた活性層2bと、活性層2b上に設けられ、逆導電型を示し、Alx1Ga(1−x1−y1)Iny1N(0≦x1≦1、0≦y1≦1、x1+y1≦1)からなる第2半導体層2cと、第2半導体層2cの主面2Aに、平面透視した状態で、活性層2bと少なくとも一部が重なるように設けられ、前記第2半導体層より大きなバンドギャップを有するAlx2Ga(1−x2−y2)Iny2N(0≦x2≦1、0≦y2≦1、x2+y2≦1)からなる第3半導体層3と、第1半導体層2aに設けられた第1電極4と、第2半導体層2cの主面2Aに設けられた第2電極5と、を備える。
【選択図】図2
Description
この発明は、発光のバラツキを抑えた発光素子に関するものである。
現在、紫外光、青色光、緑色光等を発光する発光素子の開発が行われている。特に、III−V族半導体を有する発光素子は、半導体層の電気抵抗値が高いことから、半導体層の横方向に電流を拡散させにくかった(例えば、特許文献1参照)。
しかしながら、特許文献1の構成では、p型半導体層の横方向に電流拡散しにくいため、活性層で発光する光にバラツキが生じていた。
本発明は、以上のような諸事情を鑑みて案出されたものであり、横方向への電流拡散が大きい発光素子を提供することを目的とする。
本発明にかかる発光素子は、一導電型を示す第1半導体層と、前記第1半導体層上に設けられた活性層と、前記活性層上に設けられ、逆導電型を示し、Alx1Ga(1−x1−y1)Iny1N(0≦x1≦1、0≦y1≦1、x1+y1≦1)からなる第2半導体層と、前記第2半導体層の主面に、平面透視した状態で、前記活性層と少なくとも一部が重なるように設けられ、前記第2半導体層より大きなバンドギャップを有するAlx2Ga(1−x2−y2)Iny2N(0≦x2≦1、0≦y2≦1、x2+y2≦1)からなる第3半導体層と、前記第1半導体層に設けられた第1電極と、前記第2半導体層の前記主面に設けられた第2電極と、を有する。
本発明の発光素子によれば、Alx1Ga(1−x1−y1)Iny1N(0≦x1≦1、0≦y1≦1、x1+y1≦1)からなる第2半導体層の主面に、前記第2半導体層より大きなバンドギャップを有するAlx2Ga(1−x2−y2)Iny2N(0≦x2≦1、0≦y2≦1、x2+y2≦1)からなる第3半導体層と、第2電極と、を有することにより、横方向へ電流拡散を大きくすることができる。
以下に図面を参照して、本発明にかかる発光素子の実施形態について詳細に説明する。
本発明は以下の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々変更を施すことができる。
図1は本実施形態に係る発光素子20の斜視図、図2は図1に示す発光素子20の模式的な断面図であり、図1のA−A´線で切断したときの断面に相当する。
本発明にかかる発光素子20は、図2に示すように基板1、半導体層2、第3半導体層3、第1電極4、第2電極5を有している。
基板1は、半導体層2を成長させることが可能な基材であればよい。具体的に、基板1としては、サファイア(Al2O3)、窒化ガリウム(GaN)、窒化アルミニウム(AlN)、酸化亜鉛(ZnO)、シリコンカーバイド(SiC)、シリコン(Si)、二ホウ化ジルコニウム(ZrB2)などが挙げられる。基板1の厚みとしては、100〜1000μm程度である。基板1上における半導体層2の成長方法および半導体層2上の第3半導体層3の成長方法としては、分子線エピタキシー(Molecular Beam Epitaxy、略称MBE)法、有機金属エピタキシー(Metal Organic Vapor Phase Epitaxy、略称MOVPE)法、ハイドライド気相成長(Hydride Vapor Phase Epitaxy、略称HVPE)法、パルスレーザデポジション(Pulse Laser Deposition、略称PLD)法などが用いられる。なお、半導体層2のいずれかの層を順次成長させる工程の間に、基板1の一部ないし全部を従来のエッチング手法で除去する工程を経てもよい。その場合、半導体層2の活性層2bで発光した光を、基板1を除去した半導体層2の面からも効率よく取出すことができる。
半導体層2は、基板1上に形成され、第1半導体層2aと活性層2bと第2半導体層2cとから構成されている。第1半導体層2aおよび活性層2bとしては、III−V族半導体を用いることができる。具体的なIII−V族半導体としては、III族窒化物半導体、ガリウム燐(GaP)、ガリウムヒ素(GaAs)、酸化亜鉛(ZnO)などを例示することができる。第2半導体層2cとしてはIII族窒化物半導体を用いることができる。具体的なIII族窒化物半導体としては、窒化ガリウム(GaN)、窒化アルミニウム(AlN)、窒化インジウム(InN)などを例示することができ、化学式で例示するとAlx1Ga(1−x1−y1)Iny1N(0≦x1≦1、0≦y1≦1、x1+y1≦1)と表すことができる。
また、半導体層2は、一導電型としてn型半導体の性質を示す第1半導体層2aと、活性層2bと、逆導電型としてp型半導体の性質を示す第2半導体層2cとが、順次基板1上に形成された積層構造を有している。本実施形態において、第1半導体層2aおよび第2半導体層2cはIII族窒化物半導体であるGaNにより形成されている。
GaNからなる第1半導体層2aをn型GaNとするには、例えば元素周期律表においてIV族の元素であるシリコン(Si)などをドーパントとして層中に混入させればよい。第1半導体層2aの厚みは、例えば2〜3μmである。また、III族窒化物半導体であるGaNの第2半導体層2cをp型GaNとするには、例えば元素周期律表においてII族の元素であるマグネシウム(Mg)などをドーパントとして層中に混入させればよい。なお、第2半導体層2cの厚みは、例えば200〜500nmである。
活性層2bは、第1半導体層2aと第2半導体層2cとの間に設けられている。活性層2bは、禁制帯幅の広い活性層側障壁層と禁制帯幅の狭い活性層側井戸層(図示せず)とからなる量子井戸構造が複数回(例えば、2〜10回)繰り返し規則的に積層された多層量子井戸構造(MQW)としてもよい。なお、前述の活性層側障壁層としては、In0.01Ga0.99N層などが例示できる。また、前述の活性層側井戸層としては、In0.11Ga0.89N層などが例示できる。この場合、活性層側障壁層の厚みは例えば5〜15nm、活性層側井戸層の厚みは例えば2〜10nmに設定でき、活性層2b全体の厚みは例えば25〜150nmである。
このような半導体層2の第1半導体層2aには第1半導体層2aと電気的に接続される第1電極4が設けられ、第2半導体層2cの主面2Aには第2半導体層2cと電気的に接続される第2電極5が設けられている。
第1電極4および第2電極5としては、アルミニウム(Al)、チタン(Ti)、ニッケル(Ni)、クロム(Cr)、インジウム(In)、錫(Sn)、モリブデン(Mo)、銀(Ag)、金(Au)、ニオブ(Nb)、タンタル(Ta)、バナジウム(V)、白金(Pt)、鉛(Pb)、ベリリウム(Be)、酸化錫(SnO2)、酸化インジウム(In2O3)、酸化インジウム錫(ITO)、金−シリコン(Au−Si)合金、金−ゲルマニウム(Au−Ge)合金、金−亜鉛(Au−Zn)合金、金−ベリリウム(Au−Be)合金などの薄膜を好適に用いることができる。また、第1電極4および第2電極5は、上記材質の中から選択した層を複数層積層したものとしても構わない。また、例えば第1電極4に金(Au)を用いた場合には、第1電極4と第1半導体層2aとの間にオーミックコンタクト層としてアルミニウム(Al)を間に介在させたチタン(Ti)を設けることができる。さらに、第2電極5に金(Au)を用いた場合には、第2電極5と第2半導体層2cとの間にオーミックコンタクト層としてニッケル(Ni)を設けることができる。なお、第1電極4は、基板1が導電性を有する場合、基板1の裏面側に設けてもよい。
さらに、第2半導体層2cの主面2Aには、第3半導体層3が形成されている。このような第3半導体層3は、第2半導体層2cを平面透視した状態で、活性層2bと少なくとも一部が重なるように設けられる。
第3半導体層3は、そのバンドギャップが第2半導体層2cのバンドギャップよりも大きくなるように、材料選定される。例えば、第2半導体層2cをGaNで形成した場合、第3半導体層3は、GaNよりバンドギャップの大きいAlGaNを用いることができる。AlをGaNにドープしたAlGaNは、GaNより格子定数が小さくなり、GaNより大きなバンドギャップをもつようになるからである。
このようにGaNからなる第2半導体層2c上にGaNより大きなバンドギャップを有するAlGaNからなる第3半導体層3を形成することから、第2半導体層2cと第3半導体層3との接合面近傍において、第2半導体層2cの主面2Aと略平行な2次元方向に正孔ガスのチャネルが形成される。この原理を図3を用いて説明する。
図3(a)は、GaNからなる第2半導体層2cの主面2Aに、AlGaNからなる第3半導体層3が形成された熱非平衡状態のエネルギーバンド図を示す。図3(b)は、熱平衡状態となった状態のエネルギーバンド図を指す。なお、図3のエネルギーバンド図は第2半導体層2cと第3半導体層3の価電子帯13、フェルミ準位8、伝導帯12を模式的に表した図である。このように第2半導体層2cと、第2半導体層2cよりバンドギャップの大きな第3半導体層3とが接するように形成されることにより、第2半導体層2cのエネルギーバンドと第3半導体層3のエネルギーバンドとの接合面近傍のエネルギーバンドが歪む。このようなエネルギーバンドの歪みは、第2半導体層2cのエネルギーバンドと第3半導体層3のエネルギーバンドとの不連続性と、第2半導体層2cの格子定数と第3半導体層3の格子定数との差から生じる結晶の歪みによるピエゾ電界と、によるものである。このようなエネルギーバンドの歪みにより、第2半導体層2cと第3半導体層3との接合面近傍にエネルギーバンドの溝9が形成され、このエネルギーバンドの溝9に正孔ガスが蓄積されて、チャネルが形成される。
このチャネルにより、第2半導体層2cと第3半導体層3との接合面近傍での正孔の移動度を向上させることができる。その結果、第2電極5から流れる電流が第2半導体層2cの横方向にも電流拡散しやすくなり、平面透視して、第2半導体層2cと第3半導体層3との接合面近傍すなわちチャネルと重なる部分の活性層2bで発光した光のバラツキを抑えることができる。
このように第2半導体層2cと第3半導体層3との接合面近傍にチャネルを形成するためには、第2半導体層2cの主面2Aに、第2半導体層2cより大きなバンドギャップを有する第3半導体層3を形成すればよい。
上述の説明では、第2半導体層2cをGaNとし、第3半導体層3をAlGaNとしたが、これに限られるものではなくAlGaInN系化合物半導体同士で第2半導体層2cより第3半導体層3のバンドギャップを大きくすればよい。AlGaInN系化合物半導体は、Alの組成比を増やすか、Inの組成比を減らすことによりバンドギャップを大きくすることができる。具体的には、第2半導体層2cがAlx1Ga(1−x1−y1)Iny1N(0≦x1≦1、0≦y1≦1、x1+y1≦1)により形成されている場合、第3半導体層3は第2半導体層2cより大きなバンドギャップを有するAlx2Ga(1−x2−y2)Iny2N(0≦x2≦1、0≦y2≦1、x2+y2≦1、x2>x1、y1>y2)により形成することができる。例えば、第2半導体層2cとしてx1=0.1、y1=0.3としたAl0.1Ga0.6In0.3Nを用いた場合には、第3半導体層3としてx2>x1となるx2=0.2かつy1>y2となるy2=0.1としたAl0.2Ga0.7In0.1Nを用いることができる。
このような第3半導体層3の厚みは、2〜80nmに設定される。より好ましくは、第3半導体層3の厚みを20〜50nmに設定することにより、十分なチャネルを形成するとともに、活性層2bで発光した光が第3半導体層3によって吸収されることを少なくすることができる。なお、第3半導体層3の好適な膜厚は、第3半導体層3の組成と、第2半導体層2cと第3半導体層3との接合面でエネルギーバンドが歪む第3半導体層3の臨界膜厚と、により決めることができる。例えば、第2半導体層2cがGaNで形成され、第3半導体層3がAl0.1Ga0.9Nで形成されている場合、第3半導体層3の膜厚は40nmに設定することができる。
また第3半導体層3は、第2半導体層2cの電気抵抗値よりも大きくすることが好ましい。このような第3半導体層3は、第3半導体層3に対し、導電型を付与するための不純物をドープしない、いわゆる真性半導体などを用いることができる。このように、第3半導体層3の電気抵抗値を第2半導体層2cより大きくすることによって、チャネルに流れる電流を第2半導体層2cへ流れやすくすることができる。
さらに、第3半導体層3は、第2半導体層2cの主面2Aに形成することが好ましい。本実施形態のように、第2半導体層2cがp型半導体の性質を有している場合、n型半導体の性質を有する第2半導体層2aと比較して、第2半導体層2cは第2半導体層2aより大きい電気抵抗値を持つ。そのため、第3半導体層3を第2半導体層2cに形成することにより、第2半導体層2aに第3半導体層3を形成した場合と比較して、横方向への電流拡散をより多くすることができる。
また、第2電極5は第3半導体層3と第2半導体層2cの主面2Aで接する部分を有するように形成することが好ましい。このように、第2電極5と第3半導体層3とが、第2半導体層2cの主面2Aで接する部分を有することから、第2電極5から流れる電流を電気抵抗値の低いチャネルに流れやすくすることができる。
本実施形態は、第2半導体層2cの主面2Aに、第3半導体層3と、第2電極5とを併設しているため、第2電極5を第3半導体層3上に設けた場合と比較して、活性層2bで発光した光が第2電極5で吸収されにくい。さらに、第3半導体層3に電気抵抗値が大きい真性半導体を用いた場合でも、本実施形態は従来の発光素子と同じ発光輝度を維持しつつ、電力の増加を招きにくい。
また、第3半導体層3を第2半導体層2cの厚み方向に1層以上介在させた場合には、第2半導体層2cと第3半導体層3上面との接合面近傍にかかるピエゾ電界と、第2半導体層2cと第3半導体層3下面との接合面近傍にかかるピエゾ電界と、が打ち消し合いやすくなりチャネルが形成されにくくなる。これに対し本実施形態は、第2半導体層2cの主面2Aに、第3半導体層3と、第2電極5とを有するため、第2半導体層2cの厚み方向に介在させた場合と比較してチャネルを形成しやすい。
なお、半導体層2および第3半導体層3が形成された状態は、例えば、ダイナミック二次イオン質量分析法(D−SIMS)を用いて、半導体層2の積層方向に対する元素分析をすることにより確認することができる。具体的には、測定の際に発光素子20に照射する一次イオン源として、ガリウム(Ga)および窒素(N)の場合は酸素イオン(O2+)やセシウムイオン(Cs+)、マグネシウム(Mg)の場合は酸素イオン(O2+)、シリコン(Si)の場合はセシウムイオン(Cs+)を用いることができる。また、一次イオンの照射方向は、検出器などの配置等によっても変わるが、例えば第2半導体層2cの主面2Aに対して60°方向に設定することができる。さらに、装置による測定結果の違いは、標準試料を用いて補正してもよい。例えば、第3半導体層3は導電型を決める不純物をドープしていないため、Mgの量をD−SIMSで測定することにより、第3半導体層3が第2半導体層2cに形成されていることを確認することができる。例えば、第3半導体層3を製造する際に、第2半導体層2cと第3半導体層3との間に、第2半導体層2cまたは第3半導体層3を構成する主成分量に対してその他の成分量が増加するなどして形成された層が数nm程度、存在することもあるが、この場合でもチャネルが形成されることから上述の効果を有するものである。
さらに、発光素子20をシリコーン樹脂により封止してもよい。シリコーン樹脂は、例えば屈折率1.4〜1.7のものを用いることができる。また、活性層2bが300〜500nmの波長の光を発光する場合、このようなシリコーン樹脂の中に蛍光体や燐光体を混ぜて活性層2bからの光を白色光に変換してもよい。
(変形例1)
図4は上述した実施形態にかかる発光素子20の変形例を示す断面図である。この変形例にかかる発光素子20は、第2半導体層2cは、第1領域10と、第1領域10よりも高い電気抵抗値を有する第2領域11と、を含み、第2領域11は、第2半導体層2cの厚み方向において、第1領域10よりも第2電極5に近い側に設けられている。このような第2領域11を第2半導体層2cに設ける方法としては、第2領域11を設ける第2半導体層2cにArをプラズマ照射する方法がある。他の方法としては、第2領域11を設ける第2半導体層2cをエッチングした後、スパッタによりSiO2で第2領域11を設ける方法や第2領域11を設ける第2半導体層2cにSiイオンを注入してn型半導体の性質を付与する方法などを用いることができる。図4に示すように第2電極5と接する第2領域11の電気抵抗値を第2半導体層2cの第1領域10より高くすることによって、第2電極5から流れる電流を第2半導体層2cの横方向へ拡散することができ、より多くの電流をチャネルに流すことができる。
図4は上述した実施形態にかかる発光素子20の変形例を示す断面図である。この変形例にかかる発光素子20は、第2半導体層2cは、第1領域10と、第1領域10よりも高い電気抵抗値を有する第2領域11と、を含み、第2領域11は、第2半導体層2cの厚み方向において、第1領域10よりも第2電極5に近い側に設けられている。このような第2領域11を第2半導体層2cに設ける方法としては、第2領域11を設ける第2半導体層2cにArをプラズマ照射する方法がある。他の方法としては、第2領域11を設ける第2半導体層2cをエッチングした後、スパッタによりSiO2で第2領域11を設ける方法や第2領域11を設ける第2半導体層2cにSiイオンを注入してn型半導体の性質を付与する方法などを用いることができる。図4に示すように第2電極5と接する第2領域11の電気抵抗値を第2半導体層2cの第1領域10より高くすることによって、第2電極5から流れる電流を第2半導体層2cの横方向へ拡散することができ、より多くの電流をチャネルに流すことができる。
(変形例2)
図5は上述した実施形態にかかる発光素子20の変形例を示す断面図である。この変形例にかかる発光素子20は、第3半導体層3の厚み方向に対する側面と第2半導体層2cの厚み方向に対する側面とが面一になる部分を有するように第3半導体層3を第2半導体層2cの主面2Aに形成している。また、このように第2半導体層2cと第3半導体層3とが面一になった側面には第2電極5が形成されている。このように第2電極5が発光素子20の厚み方向に対して側面に形成されていることから、活性層2bで発光した光を半導体層2の積層方向に取出す際に、第2半導体層2cの横方向への電流拡散を多くしつつ、第2電極5による光の吸収を招きにくくすることができる。また、このように第2電極5を配置することにより、第3半導体層3を第2半導体層2cの主面2Aの全面に形成することができる。なお、第2電極5を第3半導体層3、半導体層2、基板1の側面に設けてもよい。その場合、第2電極5から第1半導体層2aと活性層2bに電流が流れにくくなるように、第2電極5と半導体層2との間に絶縁層を設けてもよい。
図5は上述した実施形態にかかる発光素子20の変形例を示す断面図である。この変形例にかかる発光素子20は、第3半導体層3の厚み方向に対する側面と第2半導体層2cの厚み方向に対する側面とが面一になる部分を有するように第3半導体層3を第2半導体層2cの主面2Aに形成している。また、このように第2半導体層2cと第3半導体層3とが面一になった側面には第2電極5が形成されている。このように第2電極5が発光素子20の厚み方向に対して側面に形成されていることから、活性層2bで発光した光を半導体層2の積層方向に取出す際に、第2半導体層2cの横方向への電流拡散を多くしつつ、第2電極5による光の吸収を招きにくくすることができる。また、このように第2電極5を配置することにより、第3半導体層3を第2半導体層2cの主面2Aの全面に形成することができる。なお、第2電極5を第3半導体層3、半導体層2、基板1の側面に設けてもよい。その場合、第2電極5から第1半導体層2aと活性層2bに電流が流れにくくなるように、第2電極5と半導体層2との間に絶縁層を設けてもよい。
1 基板
2 半導体層
2a 第1半導体層
2b 活性層
2c 第2半導体層
3 第3半導体層
4 第1電極
5 第2電極
8 フェルミ準位
9 溝
10 第1領域
11 第2領域
12 伝導帯
13 価電子帯
20 発光素子
2 半導体層
2a 第1半導体層
2b 活性層
2c 第2半導体層
3 第3半導体層
4 第1電極
5 第2電極
8 フェルミ準位
9 溝
10 第1領域
11 第2領域
12 伝導帯
13 価電子帯
20 発光素子
Claims (3)
- 一導電型を示す第1半導体層と、
前記第1半導体層上に設けられた活性層と、
前記活性層上に設けられ、逆導電型を示し、Alx1Ga(1−x1−y1)Iny1N(0≦x1≦1、0≦y1≦1、x1+y1≦1)からなる第2半導体層と、
前記第2半導体層の主面に、平面透視した状態で、前記活性層と少なくとも一部が重なるように設けられ、前記第2半導体層より大きなバンドギャップを有するAlx2Ga(1−x2−y2)Iny2N(0≦x2≦1、0≦y2≦1、x2+y2≦1)からなる第3半導体層と、
前記第1半導体層に設けられた第1電極と、前記第2半導体層の前記主面に設けられた第2電極と、を備えた発光素子。 - 前記第2電極と前記第3半導体層とが、前記第2半導体層の前記主面で接する部分を有する請求項1に記載の発光素子。
- 前記第2半導体層は、第1領域と、前記第1領域よりも高い電気抵抗値を有する第2領域と、を含み、
前記第2領域は、前記第2半導体層の厚み方向において、前記第1領域よりも前記第2電極に近い側に設けられている請求項1または2に記載の発光素子。
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013084707A (ja) * | 2011-10-07 | 2013-05-09 | Nichia Chem Ind Ltd | 窒化物半導体素子 |
JP2018064061A (ja) * | 2016-10-14 | 2018-04-19 | 株式会社リコー | 半導体発光素子、照明装置、ヘッドライト、移動体、イルミネーション装置、映像装置、投射型映像装置及びプロジェクター。 |
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2009
- 2009-07-30 JP JP2009177633A patent/JP2011035042A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013084707A (ja) * | 2011-10-07 | 2013-05-09 | Nichia Chem Ind Ltd | 窒化物半導体素子 |
JP2018064061A (ja) * | 2016-10-14 | 2018-04-19 | 株式会社リコー | 半導体発光素子、照明装置、ヘッドライト、移動体、イルミネーション装置、映像装置、投射型映像装置及びプロジェクター。 |
JP7005890B2 (ja) | 2016-10-14 | 2022-01-24 | 株式会社リコー | 半導体発光素子、照明装置、ヘッドライト、移動体、イルミネーション装置、映像装置、投射型映像装置及びプロジェクター。 |
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