JP2010094976A5

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Info

Publication number: JP2010094976A5
Application number: JP2009186811A
Authority: JP
Filing date: 2009-08-11
Publication date: 2012-09-27
Anticipated expiration: 2029-08-11

Description

上記目的を達成するために、本発明のターゲット支持装置は、表面と裏面とに開口するように複数の第１の吸引孔が形成されると共に、該第１の吸引孔と連通する凹部が前記表面に形成された第１の支持部材と、前記第１の吸引孔よりも開口断面積が小さな第２の吸引孔が複数形成されると共に、前記第１の支持部材の表面側に積層状態に固定される第２の支持部材と、前記複数の第１の吸引孔内を吸引して該各第１の吸引孔と連通する前記第２の吸引孔内を吸引するための吸引手段とを備え、該吸引手段を駆動させることにより、前記第２の支持部材の支持面上に液体を付着可能に支持されたターゲットを吸着保持する。

この構成によれば、第１の吸引孔が形成された第１の支持部材上に、第１の吸引孔よりも開口断面積の小さな第２の吸引孔が形成された第２の支持部材を積層状態に固定し、該第２の支持部材によりターゲットを支持する。そのため、ターゲットにおいて第２の支持部材における１つの第２の吸引孔上に位置する領域を、第１の支持部材によって直接ターゲットを支持するとした場合の第１の支持部材における１つの第１の吸引孔上に位置する領域（以下、「非接触領域」という。）よりも狭くすることができる。すなわち、ターゲットに付着した液体の流れは、乾燥速度の遅い領域において、乾燥速度の速い領域に向かって生じるため、第２の支持部材によって非接触領域を小さく分割することで、液体の流れる範囲を小さくすることができる。そのため、溶液とともに移動する溶媒の移動を狭い範囲で限定することにより、乾燥後のターゲットに現れる濃淡を目立たなくすることができ、画像品質の低下を抑制することができる。
さらに、第１の吸引孔が形成された第１の支持部材の表面側に、第１の吸引孔よりも開口断面積の小さな第２の吸引孔が形成された第２の支持部材を積層状態に固定し、該第２の支持部材によりターゲットを支持する。そのため、ターゲットに付着して溶液とともに移動する溶媒の移動を狭い範囲で限定することにより、乾燥後のターゲットに現れる濃淡を目立たなくすることができ、画像品質の低下を抑制することができる。さらに、第１の支持部材の表面に第１吸引孔と連通する凹部を形成することにより、第１の吸引孔と連通する第２の吸引孔を増やすことができる。すなわち、吸引手段が第１の吸引孔内を吸引すると、凹部を介して第１の吸引孔と連通する第２の吸引孔内が吸引される。したがって、ターゲットに吸引力を及ぼす第２吸引孔の数を容易に増やすことができ、ターゲットにおいてより広い領域に吸引力を作用させて支持面からのターゲットのうき上がりを抑制することができる。

本発明のターゲット支持装置において、前記凹部は、複数の前記第１の吸引孔同士を連通させる。
この構成によれば、第１の支持部材の表面に形成された凹部は、複数の第１吸引孔に連通している。そのため、第１の支持部材の表面側に固定される第２の支持部材に形成された第２の吸引孔は、凹部を介して複数の第１の吸引孔に連通する。したがって、凹部を介して吸引される第２の吸引孔において吸引力のばらつきを抑制することができる。
本発明のターゲット支持装置において、前記第２の支持部材は、剛性を有している。
この構成によれば、第１の支持部材に剛性を有した第２の支持部材を固着することで、第１の支持部材の剛性を補うと共に、ターゲットを第２の支持部材上に安定的に支持することができる。

Claims

表面と裏面とに開口するように複数の第１の吸引孔が形成されると共に、該第１の吸引孔と連通する凹部が前記表面に形成された第１の支持部材と、
前記第１の吸引孔よりも開口断面積が小さな第２の吸引孔が複数形成されると共に、前記第１の支持部材の表面側に積層状態に固定される第２の支持部材と、
前記複数の第１の吸引孔内を吸引して該各第１の吸引孔と連通する前記第２の吸引孔内を吸引するための吸引手段と
を備え、
該吸引手段を駆動させることにより、前記第２の支持部材の支持面上に液体を付着可能に支持されたターゲットを吸着保持することを特徴とするターゲット支持装置。
前記凹部は、複数の前記第１の吸引孔同士を連通させることを特徴とする請求項１に記載のターゲット支持装置。
前記第２の支持部材は、剛性を有していることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のターゲット支持装置。
１つの前記第１の吸引孔は、複数の前記第２の吸引孔に対して連通していることを特徴とする請求項１〜請求項３のうち何れか一項に記載のターゲット支持装置。
前記第１の支持部材の厚みよりも前記第２の支持部材の厚みの方が薄いことを特徴とする請求項１〜請求項４のうちいずれか一項に記載のターゲット支持装置。
前記第１の支持部材を加熱するための加熱手段をさらに備えたことを特徴とする請求項１〜請求項５のうちいずれか一項に記載のターゲット支持装置。
前記第２の支持部材は、金属により形成されることを特徴とする請求項６に記載のターゲット支持装置。
搬送方向における上流側から前記第１の支持部材及び前記第２の支持部材の下流側へ前記ターゲットを搬送する搬送手段と、
請求項１〜請求項７のうち何れか一項に記載のターゲット支持装置とを備えたターゲット搬送機構。
前記第２の支持部材の支持面上に支持されたターゲットに対して液体を噴射する液体噴射ヘッドと、
請求項１〜請求項７のうち何れか一項に記載のターゲット支持装置又は請求項８に記載のターゲット搬送機構を備えた液体噴射装置。