JP2010094976A - ターゲット支持装置、ターゲット搬送機構及び液体噴射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】支持部材上に複数の吸引孔を介して吸着保持された状態で液体を付着されることにより画像が形成されるターゲットにおける画像品質の低下を抑制することができるターゲット支持装置、ターゲット搬送機構及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】表面２７ａと裏面２７ｂとに開口するように複数の吸引孔４４が形成されたプラテン２７と、吸引孔４４よりも開口断面積が小さな貫通孔５６が複数形成されると共に、プラテン２７上に積層状態に固定されるカバー部材５４と、複数の吸引孔４４内を吸引して該各吸引孔４４と連通する貫通孔５６内を吸引するためのファンとを備え、ファンを駆動させることにより、カバー部材５４の支持面５４ａ上にインクを付着可能に支持された連続紙１２を吸着保持する。
【選択図】図３

Description

本発明は、液体が噴射されるターゲットを支持するターゲット支持装置、該ターゲット支持装置を備えたターゲット搬送機構、及び該ターゲット支持装置又はターゲット搬送機構を備えた液体噴射装置に関する。

一般に、液体をターゲットに対して噴射する液体噴射装置として、インクジェット式プリンタ（以下、「プリンタ」という。）が広く知られている（例えば、特許文献１）。この特許文献１に記載のプリンタには、連続紙（ターゲット）を支持するためのプラテン（支持部材）と、プラテン上に支持される連続紙にインク（液体）を噴射するための記録ヘッド（流体噴射ヘッド）とが設けられている。また、プラテンには、連続紙をプラテン上に吸着保持するための複数の吸引孔が貫通形成されている。

そして、プラテンよりも搬送方向における上流側からプラテン上に連続紙が搬送されると、連続紙は、その搬送が一時停止されると共に、吸引孔を介してプラテン上に吸着され、その状態において、記録ヘッドが連続紙上を移動しながら連続紙の印刷領域に対してインクを噴射するようになっている。その後、プラテン上の連続紙に対するインクの噴射が完了すると、連続紙は、プラテン上への吸着状態が解消されて、プラテンよりも搬送方向における下流側に搬送されるようになっている。

また、プラテン内には、プラテンを加熱するための加熱手段（例えばヒータ）が設けられており、この加熱手段からの熱は、プラテンを介して該プラテン上の連続紙に伝わるようになっている。その結果、連続紙は、記録ヘッドから連続紙上に噴射されたインクがプラテン上において少し乾燥された状態で、プラテンよりも搬送方向における下流側に搬送されるようになっていた。

特開２００６−１５０７２３号公報

ところで、特許文献１のプリンタでは、図６に示すように、プラテン２７上に吸着された連続紙１２のうち、加熱されたプラテン２７と直に接している領域（以下、「接触領域」という。）Ｂの温度Ｔ１に比べて、吸引孔４４上に位置する領域（以下、「非接触領域」という。）Ｃの温度Ｔ２が低くなっていた（図６（ａ）参照）。そのため、プラテン２７上に停止した連続紙１２上においては、裏面側がプラテン２７と直に接触した接触領域Ｂの方が、裏面側が吸引孔４４上に位置する非接触領域Ｃに比べてインク溶媒の蒸発が活発に行われるため、インクの乾燥速度にばらつきが生じていた。

特に吸水性に乏しい連続紙１２を用いた場合、乾燥速度が遅い吸引孔４４上の非接触領域Ｃのインクには、乾燥速度が速いプラテン２７上の接触領域Ｂに向かう流れが発生する。そのため、液体としてのインクに含まれる溶質としての色素成分もプラテン２７と直に接している接触領域Ｂに向かって移動する。なお、こうした連続紙１２上での非接触領域Ｃから接触領域Ｂに向かうインクの流れは、非接触領域Ｃと接触領域Ｂとの温度差に基づき生じるものであり、たとえプラテン２７が加熱されていない場合でも、吸引孔４４上に位置する非接触領域Ｃの方が接触領域Ｂよりも温度低下するために同様に発生することになる。

したがって、図６（ｂ），（ｃ）に示すように、インクが乾燥した後の連続紙１２の表面には、吸引孔４４の周縁と対応した付近に色素成分が集中し、吸引孔４４の中央部と対応した領域との間に濃淡が生じてしまい、印刷品質（画像品質）を低下させる虞があった。なお、このような濃淡は、非接触領域Ｃの周縁部と中央部との間で生じるため、吸引孔４４の開口断面積が大きなものほどより顕著に生じていた。

本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、支持部材上に複数の吸引孔を介して吸着保持された状態で液体を付着されることにより画像が形成されるターゲットにおける画像品質の低下を抑制することができるターゲット支持装置、ターゲット搬送機構及び液体噴射装置を提供することにある。

上記目的を達成するために、本発明のターゲット支持装置は、表面と裏面とに開口するように複数の第１の吸引孔が形成された第１の支持部材と、前記第１の吸引孔よりも開口断面積が小さな第２の吸引孔が複数形成されると共に、前記第１の支持部材上に積層状態に固定される第２の支持部材と、前記複数の第１の吸引孔内を吸引して該各第１の吸引孔と連通する前記第２の吸引孔内を吸引するための吸引手段とを備え、該吸引手段を駆動させることにより、前記第２の支持部材の支持面上に液体を付着可能に支持されたターゲットを吸着保持する。

この構成によれば、第１の吸引孔が形成された第１の支持部材上に、第１の吸引孔よりも開口断面積の小さな第２の吸引孔が形成された第２の支持部材を積層状態に固定し、該第２の支持部材によりターゲットを支持する。そのため、ターゲットにおいて第２の支持部材における１つの第２の吸引孔上に位置する領域を、第１の支持部材によって直接ターゲットを支持するとした場合の第１の支持部材における１つの第１の吸引孔上に位置する領域（以下、「非接触領域」という。）よりも狭くすることができる。すなわち、ターゲットに付着した液体の流れは、乾燥速度の遅い領域において、乾燥速度の速い領域に向かって生じるため、第２の支持部材によって非接触領域を小さく分割することで、液体の流れる範囲を小さくすることができる。そのため、溶液とともに移動する溶媒の移動を狭い範囲で限定することにより、乾燥後のターゲットに現れる濃淡を目立たなくすることができ、画像品質の低下を抑制することができる。

本発明のターゲット支持装置において、前記第２の支持部材は、剛性を有している。
この構成によれば、第１の支持部材に剛性を有した第２の支持部材を固着することで、第１の支持部材の剛性を補うと共に、ターゲットを第２の支持部材上に安定的に支持することができる。

本発明のターゲット支持装置において、１つの前記第１の吸引孔は、複数の前記第２の吸引孔に対して連通している。
この構成によれば、１つの第１の吸引孔に対して複数の第２の吸引孔を連通させることにより、第１の吸引孔及び該第１の吸引孔と連通する第２の吸引孔全体の流路抵抗を、第１の吸引孔と第２の吸引孔とを１対１で連通させる場合と比べて小さくすることができる。そのため、吸引能力の低い吸引手段を用いた場合でも、ターゲットに対して十分な吸引力を付与することができる。

本発明のターゲット支持装置は、前記第１の支持部材の厚みよりも前記第２の支持部材の厚みの方が薄い。
一般に、厚みを有する部材ほど小さな孔を形成するのは困難である。この構成によれば、第２の支持部材の厚みが薄いため、開口断面積が小さな第２の吸引孔を容易に形成することができる。さらに、第２の吸引孔の開口断面積が小さくても、該第２の吸引孔の長さが厚みに合わせて短くなるため、第２の吸引孔の流路抵抗を小さくすることができる。

本発明のターゲット支持装置は、前記第１の支持部材を加熱するための加熱手段をさらに備えた。
この構成によれば、加熱手段により第１の支持部材が加熱されると、ターゲットは第２の支持部材を介して熱を受けるため該ターゲットに付着した液体の乾燥を促進させることができる。このとき、ターゲットにおいて第１の支持部材の第１の吸引孔が形成されていない領域上に位置する領域（以下、「接触領域」という。）と非接触領域との温度差が大きくなるため、ターゲットの液体の付着面と平行な方向へ液体は流れやすくなる。しかし、この流れは狭い範囲に限定されているため、画像品質の低下を抑制することができる。

本発明のターゲット支持装置において、前記第２の支持部材は、金属により形成される。
この構成によれば、第２の支持部材を熱伝導性に優れた金属により形成することで、加熱手段によって加熱された第１の支持部材の熱を第２の支持部材を介して効率よくターゲットに伝達することができる。さらに、第１の吸引孔上に位置する第２の支持部材へも熱が伝達されやすくなるため、非接触領域に付着した液体の乾燥を促進させることができる。

本発明のターゲット支持装置は、表面と裏面とに開口するように複数の第１の吸引孔が形成されると共に、該第１の吸引孔と連通する凹部が前記表面に形成された第１の支持部材と、前記第１の吸引孔よりも開口断面積が小さな第２の吸引孔が複数形成されると共に、前記第１の支持部材の表面側に積層状態に固定される第２の支持部材と、前記複数の第１の吸引孔内を吸引して該各第１の吸引孔と連通する前記第２の吸引孔内を吸引するための吸引手段とを備え、該吸引手段を駆動させることにより、前記第２の支持部材の支持面上に液体を付着可能に支持されたターゲットを吸着保持する。

この構成によれば、第１の吸引孔が形成された第１の支持部材の表面側に、第１の吸引孔よりも開口断面積の小さな第２の吸引孔が形成された第２の支持部材を積層状態に固定し、該第２の支持部材によりターゲットを支持する。そのため、ターゲットに付着して溶液とともに移動する溶媒の移動を狭い範囲で限定することにより、乾燥後のターゲットに現れる濃淡を目立たなくすることができ、画像品質の低下を抑制することができる。さらに、第１の支持部材の表面に第１吸引孔と連通する凹部を形成することにより、第１の吸引孔と連通する第２の吸引孔を増やすことができる。すなわち、吸引手段が第１の吸引孔内を吸引すると、凹部を介して第１の吸引孔と連通する第２の吸引孔内が吸引される。したがって、ターゲットに吸引力を及ぼす第２吸引孔の数を容易に増やすことができ、ターゲットにおいてより広い領域に吸引力を作用させて支持面からのターゲットのうき上がりを抑制することができる。

本発明のターゲット支持装置において、前記凹部は、複数の前記第１の吸引孔同士を連通させる。
この構成によれば、第１の支持部材の表面に形成された凹部は、複数の第１吸引孔に連通している。そのため、第１の支持部材の表面側に固定される第２の支持部材に形成された第２の吸引孔は、凹部を介して複数の第１の吸引孔に連通する。したがって、凹部を介して吸引される第２の吸引孔において吸引力のばらつきを抑制することができる。

本発明のターゲット搬送機構は、搬送方向における上流側から前記第１の支持部材及び前記第２の支持部材の下流側へ前記ターゲットを搬送する搬送手段と、上記構成のターゲット支持装置とを備えた。

この構成によれば、搬送手段によって上流側から下流側に向けて搬送されるターゲットは、第１の支持部材に積層状態に固定された第２の支持部材上において吸着状態で支持される。そして、第２の支持部材上に吸着状態で支持されたターゲットに対して液体が噴射され、その後、搬送手段がターゲットを下流側へ搬送する。そのため、ターゲットの画像品質を良好に維持する液体の乾燥と搬送を連続して行うことができる。

本発明の液体噴射装置は、前記第２の支持部材の支持面上に支持されたターゲットに対して液体を噴射する液体噴射ヘッドと、上記構成のターゲット支持装置又はターゲット搬送機構を備えた。

この構成によれば、液体噴射ヘッドは、第２の支持部材上に吸着状態で支持されて停止したターゲットに対して液体を噴射する。すなわち、液体噴射ヘッドが液体をターゲットに噴射する間、ターゲットは第２の支持部材上に吸着された状態で、先にターゲットに噴射された液体から蒸発する。このとき、ターゲットにおける非接触領域で生じるターゲットの液体が付着した面と平行な方向で生じる液体の流れは狭い範囲に限定されるため、ターゲットが第１の支持部材及び第２の支持部材上に滞留する時間が長く、その分多くの溶媒成分が蒸発した場合でも、溶質の偏りを抑えて画像品質の低下を抑制することができる。

第１の実施形態のインクジェット式プリンタの正面模式図。 同プリンタのプラテンの平面図。 図２における３−３矢視断面模式図。 第２の実施形態におけるプリンタのプラテンの平面拡大図。 プラテン及びカバー部材の断面模式図。 （ａ）は従来のプリンタにおける印刷時の温度グラフ、（ｂ）は印刷状態の説明図、（ｃ）はインク乾燥後の連続紙の平面図。

（第１の実施形態）
以下、本発明の液体噴射装置をインクジェット式プリンタに具体化した第１の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、以下の説明において、「上下方向」、「左右方向」をいう場合は、図１に矢印で示した方向を基準として示すものとする。また、「前後方向」をいう場合は、図１において紙面に直交する方向であり、図２に矢印で示した方向を示すものとする。

図１に示すように、液体噴射装置としてのインクジェット式プリンタ１１は、ターゲットとしての長尺状の連続紙１２を繰り出す繰り出し部１３と、該繰り出し部１３から繰り出された連続紙１２に順次印刷を行う本体部１４と、該本体部１４で印刷が行われた連続紙１２を巻き取る巻き取り部１５とを備えている。すなわち、本体部１４は直方体状の本体ケース１６を備えており、連続紙１２の搬送方向において上流側となる本体ケース１６の左側に繰り出し部１３が配設されると共に下流側となる本体ケース１６の右側に巻き取り部１５が配設されている。

繰り出し部１３は、本体ケース１６の左面下端部から左方に延びる支持板１７を備えており、該支持板１７の左端部には前方（図１において紙面と直交する方向の手前側）に向かって延びる巻き軸１８が支持板１７に対して回転可能に支持されている。そして、巻き軸１８には予めロール状に巻かれた連続紙１２が該巻き軸１８と一体回転可能に支持されている。なお、本実施形態の連続紙１２には、吸水性に乏しい、もしくは撥水性などを有して、着弾したインク（液体）が表面付近で乾燥する用紙が用いられている。

また、繰り出し部１３は本体ケース１６の左面中央部から左方に向かって水平に延びる平板状の繰り出し台１９を備えている。そして、繰り出し台１９の先端部には巻き軸１８から繰り出される連続紙１２を巻き掛けて繰り出し台１９の上面に導くための中継ローラ２０が回転可能に設けられており、連続紙１２は繰り出し台１９の上面に沿って右側（本体部１４側）に向かって搬送される。

本体部１４の本体ケース１６内における上下方向の中央部よりやや上寄りの位置には、本体ケース１６内を上下に区画する平板状の基台２１が設けられており、本体ケース１６内における基台２１よりも上側の領域は連続紙１２に印刷を行うための印刷室２２となっている。

本体ケース１６の左壁には繰り出し台１９の上面から本体ケース１６内に連続紙１２を搬入するための図示しない搬入口が設けられており、本体部１４には上記搬入口と近傍位置で対向するように搬送手段としての引き込み駆動ローラ２３が回転駆動可能に設けられている。なお、引き込み駆動ローラ２３の回転駆動は、図示しない制御装置の制御信号に基づき制御される。

また、本体ケース１６内における引き込み駆動ローラ２３の右斜め下方には中継ローラ２５が回転可能に設けられている。そして、引き込み駆動ローラ２３の駆動によって本体ケース１６内に引き込まれた連続紙１２は、印刷室２２の左端部寄りの位置に向かうように中継ローラ２５に巻き掛けられている。

印刷室２２内における中継ローラ２５の右斜め上方には中継ローラ２６が設けられており、該中継ローラ２６には連続紙１２が左側下方から巻き掛けられて右方向に水平に搬送されるようになっている。

印刷室２２内における中継ローラ２６の右側の領域には、基台２１上に支持された矩形板状の第１の支持部材としてのプラテン２７が設けられている。また、プラテン２７上には矩形状の第２の支持部材としてのカバー部材５４が積層状態に固定されている。なお、このカバー部材５４の具体的構成については後述する。プラテン２７の右側には、該プラテン２７を挟んで中継ローラ２６と対向するように転換ローラ２８が設けられている。この場合、中継ローラ２６の上面、カバー部材５４の上面、及び転換ローラ２８の上面は、互いに同一高さで同一平面内に位置するようになっている。

転換ローラ２８には中継ローラ２６からプラテン２７の上面に沿って水平右方向に搬送される連続紙１２が左側上方から巻き掛けられて連続紙１２の搬送方向が水平右方向から鉛直下方向に転換されている。そして、転換ローラ２８によって搬送方向が鉛直下方向に転換された連続紙１２は、基台２１に設けられた図示しない挿通孔を通って鉛直下方に搬送されるようになっている。

印刷室２２内におけるプラテン２７の前後両側には左右方向に延びるガイドレール２９（図１では二点鎖線で示す）が対をなすように設けられており、該ガイドレール２９の上面はプラテン２７上に積層されたカバー部材５４の上面よりも高くなっている。両ガイドレール２９の上面には、矩形板状のキャリッジ３０が該両ガイドレール２９に沿って左右方向へ往復移動可能な状態で支持されている。そして、キャリッジ３０は、制御装置（図示略）の制御信号に基づき両ガイドレール２９上を左右方向に移動するようになっている。

そして、キャリッジ３０の下面には、図示しないスライド板がキャリッジ３０に対して前後方向にスライド移動可能に支持されている。スライド板の下面には、液体噴射ヘッドとしての記録ヘッド３１が支持されている。また、印刷室２２内における本体ケース１６の上壁には、インクを一時貯留するためのバルブユニット３４が設けられている。各バルブユニット３４には、互いに色の異なるインクが一時貯留されている。

そして、各バルブユニット３４は、記録ヘッド３１とそれぞれ図示しないインク供給チューブを介して接続されており、該各インク供給チューブを介して記録ヘッド３１に各インクを供給するようになっている。記録ヘッド３１の下面には図示しない複数のノズル開口が設けられており、各バルブユニット３４から供給されたインクを該各ノズル開口からプラテン２７上に搬送されて停止された状態の連続紙１２に向かって噴射することで印刷が行われるようになっている。

したがって、連続紙１２の搬送経路の途中位置であって連続紙１２の印刷が行われるプラテン２７の左端から右端までの領域は印刷領域Ａとされており、連続紙１２は該連続紙１２の搬送経路を印刷領域Ａと対応した領域単位で間欠的に搬送されるようになっている。

そして、記録ヘッド３１は、キャリッジ３０の左右方向への移動に伴って連続紙１２の印刷領域Ａを左右方向に移動しながらインクを噴射すると共に、スライド板によって前後方向に位置をずらすことにより移動経路を変更して印刷領域Ａの全域に対してインクを噴射するようになっている。

図１に示すように、転換ローラ２８に巻き掛けられて鉛直下方向に搬送された連続紙１２は、本体ケース１６内における転換ローラ２８の鉛直下方となる位置に回転可能に配設された反転ローラ３８に左側上方から巻き掛けられ、やや右斜め上方に向かって搬送される。そして、反転ローラ３８から搬送された連続紙１２は、本体ケース１６内における反転ローラ３８の右方に回転可能に設けられた中継ローラ３９に左側下方から巻き掛けられ、本体ケース１６内を本体ケース１６の右壁に沿うように上方に向かって搬送される。なお、印刷領域Ａに印刷が施された後の連続紙１２は、本体ケース１６内を搬送される過程で自然乾燥されることとなる。

また、本体ケース１６の右壁における基台２１の近傍位置には連続紙１２を巻き取り部１５側へ搬出するための図示しない搬出口が設けられると共に、本体ケース１６内における上記搬出口と近傍位置で対向するように搬送手段としての送り出し駆動ローラ４０が回転駆動可能に設けられている。そして、制御装置（図示略）の制御信号に基づいて送り出し駆動ローラ４０を駆動することで、連続紙１２が上記搬出口を介して巻き取り部１５側へ送り出されるようになっている。

巻き取り部１５は、直方体状の巻き取りフレーム４１を備えており、巻き取りフレーム４１の高さは送り出し駆動ローラ４０の高さとほぼ同じになっている。また、巻き取りフレーム４１の上端部には中継ローラ４２が回転可能に設けられており、上記搬出口から送り出された連続紙１２は、中継ローラ４２に左側上方から巻き掛けられ、右斜め下方に向けて搬送される。

巻き取りフレーム４１における中継ローラ４２の右斜め下方には前方に向かって延びる搬送手段としての巻き取り駆動軸４３が巻き取りフレーム４１に対して回転駆動可能に支持されている。巻き取り駆動軸４３には中継ローラ４２から右斜め下方に向かって搬送された連続紙１２が巻き付けられており、制御装置（図示略）の制御信号に基づき該巻き取り駆動軸４３を回転駆動することで巻き取り駆動軸４３に連続紙１２が順次巻き取られるようになっている。

次に、プラテン２７の構成について図２に基づき以下説明する。
図２に示すように、プラテン２７には、該プラテン２７を上下方向（プラテン２７の厚み方向）に貫通する多数の第１の吸引孔としての吸引孔４４が形成されている。すなわち、吸引孔４４は、プラテン２７の上側の面となる表面２７ａ、及び下側の面となる裏面２７ｂ（図３参照）上に開口するように形成される。なお、吸引孔４４における表面２７ａ側及び裏面２７ｂ側の各開口径は等しくなっているため、各開口断面積も等しくなっている。

さらに、各吸引孔４４は、複数（図２では１６個）の吸引孔４４が前後方向に沿う複数列の吸引孔列４５を左右方向に所定間隔をおいて形成するように規則的に配列されている。また、プラテン２７の下側（即ち、プラテン２７と基台２１との間の領域）には、各吸引孔４４内の空気を吸引するための吸引手段としてのファン４６が裏面２７ｂに形成された吸引孔４４の開口を囲繞する囲い部材（図示略）と共に設けられている。そして、各ファン４６を駆動することで各吸引孔４４内に負圧が発生するようになっている。

次に、上記プラテン２７を加熱するための加熱装置について図２に基づき以下説明する。
図２に示すように、加熱装置４７は、プラテン２７内に埋設される加熱手段としての複数（本実施形態では３つ）のヒータ４８，４９，５０と、各ヒータ４８，４９，５０に発熱させるべくヒータ４８，４９，５０毎に個別に電流を供給するための装置本体５１とを備えている。これら各ヒータ４８，４９，５０は、それぞれ同じ形状をしており、プラテン２７内において左右方向に並ぶように（即ち、左右方向における位置が異なるように）配置されている。そして、装置本体５１から個別に電流が供給されることにより各ヒータ４８，４９，５０はそれぞれ発熱するようになっている。また、プラテン２７は、各ヒータ４８，４９，５０からの熱量を保持し、連続紙１２に付着したインクの乾燥を促進させるに十分な厚み（本実施形態では約２５ｍｍ）を有するように構成されている。

各ヒータ４８，４９，５０は、一本の長尺部材の複数箇所に曲げ加工を施すことによりそれぞれ形成されている。すなわち、各ヒータ４８，４９，５０は、前後方向に延びると共に、左右方向において互いに隣り合う吸引孔列４５間毎に配置される複数（本実施形態では６つ）の第１加熱部５２と、左右方向において一つの吸引孔列４５を挟んだ配置態様の第１加熱部５２同士を連結するための複数（本実施形態では５つ）の第２加熱部５３とを備えた構成とされている。

各第１加熱部５２は、それぞれの前後方向における長さが吸引孔列４５の前後方向における長さよりも長くなるようにそれぞれ形成されている。また、各第１加熱部５２は、左右両側に位置する両吸引孔列４５の左右方向における中央にそれぞれ配置されている。

そのため、プラテン２７においては、各吸引孔４４が貫通形成された領域（以下、「低温領域」という。）の温度と、各吸引孔４４が貫通形成されていない領域（以下、「高温領域」という。）の温度との間に温度差ができることになる。

図２及び図３に示すように、プラテン２７の上には、矩形状の第２の支持部材としてのカバー部材５４が、該プラテン２７の表面２７ａを覆うように積層されて、複数（本実施形態では６本）のビス５５により固定されている。そして、プラテン２７上に搬送される連続紙１２は、カバー部材５４の上側の面となる支持面５４ａに支持されるようになっている。なお、前述したように、カバー部材５４の支持面５４ａと、中継ローラ２６の上面及び転換ローラ２８の上面は、互いに同一高さで同一平面内に位置するようになっている。

カバー部材５４は、剛性を有して熱伝導率が高い金属（本実施形態ではアルミニウム）製の板材であり、該カバー部材５４には、その支持面５４ａと下面５４ｂとに開口を形成するように多数の第２の吸引孔としての貫通孔５６が上下方向（カバー部材５４の厚み方向）に打抜形成されている。

貫通孔５６の支持面５４ａ側と下面５４ｂ側の開口の口径は等しくなっており、該貫通孔５６の開口断面積（本実施形態では開口径が約０．５ｍｍ）は、吸引孔４４の開口断面積（本実施形態では開口径が約４ｍｍ）よりも小さくなっている。さらに、隣り合う貫通孔５６同士の間隔（ピッチ）は、隣り合う吸引孔４４同士の間隔（ピッチ）よりも狭くなっている。

そして、カバー部材５４とプラテン２７とは、カバー部材５４の下面５４ｂとプラテン２７の表面２７ａとが面接触した状態で固着された際に１つの吸引孔４４と複数の貫通孔５６とが連通するようになっている。そして、ファン４６の駆動に伴って各吸引孔４４内に発生した負圧は、該吸引孔４４とそれぞれ連通する貫通孔５６内に伝達されると共に、該負圧の発生によりプラテン２７及びカバー部材５４越しに各吸引孔４４及び貫通孔５６を介して連続紙１２が吸引され、カバー部材５４の支持面５４ａに連続紙１２が吸着されるようになっている。なお、図３では吸引孔４４及び貫通孔５６の開口径の比較を容易にするために、吸引孔４４及び貫通孔５６を誇張して図示している。

また、カバー部材５４の厚み（本実施形態では約０．４ｍｍ）は、メッシュ状の加工を可能とする程度に薄くなっていると共に、貫通孔５６内に負圧が発生した際にも支持面５４ａの平面性が保たれるようになっている。そして、ヒータ４８，４９，５０が加熱されてプラテン２７が暖められると、カバー部材５４と接触するプラテン２７の高温領域から該カバー部材５４へ熱が伝達されると共に、カバー部材５４上に位置する連続紙１２にも熱が伝達されるようになっている。

ここで、カバー部材５４は、熱伝導効率の良い金属によって形成されているため、該カバー部材５４において、プラテン２７の低温領域となる吸引孔４４上に位置する領域にも熱は伝達され、カバー部材５４全体が略同じ温度に暖められる。すなわち、連続紙１２では、非接触領域Ｃがカバー部材５４上に位置して直接熱が伝えられる領域と該領域よりも熱が伝えられない領域に分断される。そのため、連続紙１２上に付着したインクには、非接触領域Ｃにおいて、カバー部材５４の支持面５４ａと接触して乾燥が促進される領域に向かうような流れが生じることとなるが、この領域は非接触領域Ｃに比べて狭いので発生する色むら（濃淡）の発生が抑制される。

本実施形態では、以上のようなプラテン２７、ファン４６、カバー部材５４によってターゲット支持装置としての連続紙支持装置５７が構成されている。また、該連続紙支持装置５７、引き込み駆動ローラ２３，送り出し駆動ローラ４０，巻き取り駆動軸４３によってターゲット搬送装置が構成されている。

次に、インクジェット式プリンタ１１の作用について、ヒータ４８，４９，５０により加熱されたプラテン２７上において、連続紙１２に付着したインクを乾燥させる際の作用を中心に記載する。なお、プラテン２７上に配置される連続紙１２は、その前後方向における両端部（両縁部）がカバー部材５４よりも内側に位置するものとする。

さて、インクジェット式プリンタ１１による連続紙１２に対する印刷が開始される場合、印刷領域Ａに搬送された連続紙１２は、プラテン２７の下方に配置された各ファン４６が駆動することにより、各吸引孔４４内の空気が吸引される。すると、貫通孔５６を介して連続紙１２のうちカバー部材５４に支持される部分が、カバー部材５４の支持面５４ａに吸着される。

また、装置本体５１の駆動に基づきヒータ４８，４９，５０が発熱すると、カバー部材５４にはプラテン２７を介してヒータ４８，４９，５０の熱が伝えられる。
連続紙１２のうちプラテン２７上に位置する部分に対して印刷が実行される（即ち、上下方向及び左右方向に移動する記録ヘッド３１からインクが噴射される）と、連続紙１２に着弾したインクは、連続紙１２に浸透せずに表面付近に留まる。そのため、プラテン２７に連続紙１２が吸着された状態のまま、インクはプラテン２７及びカバー部材５４を介して付与された熱に基づいて、先に着弾したインクからインク溶媒（例えば、水や有機溶剤）が蒸発する。このとき、非接触領域Ｃにおいてインクの流れる範囲が狭くなっているため、非接触領域Ｃにおいてインクの流れが生じたとしても、その流れる範囲は狭いものとなる。したがって、印刷領域Ａ内に噴射されたインクは、非接触領域Ｃから接触領域Ｂに向かう大きな流れの発生が抑えられる。そのため、インク中の色素成分（例えば、顔料や染料）は、噴射された位置もしくは該噴射された位置から若干ずれた位置において定着することになる。

その後、印刷領域Ａへの印刷が完了すると、図示しない制御装置によって、ファン４６の駆動が停止されて連続紙１２のカバー部材５４への吸着状態が解除されると共に、引き込み駆動ローラ２３、送り出し駆動ローラ４０、巻き取り駆動軸４３が駆動されて、連続紙１２は巻き取り部１５側に搬送される。

上記第１の実施形態によれば、以下のような効果を得ることができる。
（１）吸引孔４４が形成されたプラテン２７上に、吸引孔４４よりも開口断面積の小さな貫通孔５６が形成されたカバー部材５４を積層状態で固定し、該カバー部材５４により連続紙１２を支持する構成となっている。そのため、連続紙１２においてカバー部材５４における１つの貫通孔５６上に位置する領域を、プラテン２７によって直接連続紙１２を支持するとした場合のプラテン２７における１つの吸引孔４４上に位置する領域（非接触領域Ｃ）よりも狭くすることができる。すなわち、連続紙１２に付着したインクの流れは、乾燥速度の遅い領域において、乾燥速度の速い領域に向かって生じるため、カバー部材５４によって非接触領域Ｃを小さく分割することで、インクの流れる範囲を小さくすることができる。そのため、溶液とともに移動する溶媒の移動を狭い範囲で限定することにより、乾燥後の連続紙１２に現れる濃淡を目立たなくすることができ、画像品質の低下を抑制することができる。

（２）プラテン２７に剛性を有したカバー部材５４を固着することで、プラテン２７の剛性を補うと共に、連続紙１２をカバー部材５４上に安定的に支持することができる。
（３）１つの吸引孔４４に対して複数の貫通孔５６を連通させることにより、吸引孔４４及び該吸引孔４４と連通する貫通孔５６全体の流路抵抗を、吸引孔４４と貫通孔５６とを１対１で連通させる場合と比べて小さくすることができる。そのため、吸引能力の低い吸引手段を用いた場合でも、連続紙１２に対して十分な吸引力を付与することができる。

（４）一般に、厚みを有する部材ほど小さな孔を形成するのは困難である。それに対し、カバー部材５４の厚みが薄いため、開口断面積が小さな貫通孔５６を容易に形成することができる。さらに、貫通孔５６の開口断面積が小さくても、該貫通孔５６の長さが厚みに合わせて短くなるため、貫通孔５６の流路抵抗を小さくすることができる。

（５）ヒータ４８，４９，５０によりプラテン２７が加熱されると、連続紙１２はカバー部材５４を介して熱を受けるため該連続紙１２に付着したインクの乾燥が促進される。このとき、連続紙１２においてプラテン２７の吸引孔４４が形成されていない領域（接触領域Ｂ）と非接触領域Ｃとの温度差が大きくなるため、連続紙１２のインクの付着面と平行な方向へインクは流れやすくなる。しかし、この流れはカバー部材５４によって狭い範囲に限定されているため、画像品質の低下を抑制することができる。

（６）カバー部材５４を熱伝導性に優れた金属により形成することで、ヒータ４８，４９，５０によって加熱されたプラテン２７の熱をカバー部材５４を介して効率よく連続紙１２に伝達することができる。さらに、吸引孔４４上に位置するカバー部材５４へ熱が伝達されやすくなるため、非接触領域Ｃに付着したインクの乾燥を促進させることができる。

（７）引き込み駆動ローラ２３、送り出し駆動ローラ４０、巻き取り駆動軸４３によって搬送方向の上流側から下流側に向けて搬送される連続紙１２は、プラテン２７に積層状態で固定されたカバー部材５４上において吸着状態で支持される。そして、カバー部材５４上に吸着状態で支持された連続紙１２に対してインクが噴射され、その後、搬送手段が連続紙１２を下流側へ搬送する。そのため、連続紙１２の画像品質を良好に維持するインクの乾燥と搬送を連続して行うことができる。

（８）記録ヘッド３１は、カバー部材５４上に吸着状態で支持されて停止した連続紙１２に対してインクを噴射する。すなわち、記録ヘッド３１がインクを連続紙１２に噴射する間、連続紙１２はカバー部材５４上に吸着された状態となっているため、先に連続紙１２に噴射されたインクから蒸発する。このとき、連続紙１２における非接触領域Ｃで生じる連続紙１２のインクが付着した面と平行な方向で生じるインクの流れは狭い範囲に限定されるため、連続紙１２がプラテン２７及びカバー部材５４上に滞留する時間が長く、その分多くの溶媒成分が蒸発した場合でも、溶質の偏りを抑えて画像品質の低下を抑制することができる。

（第２の実施形態）
次に、本発明の第２の実施形態を図４，図５に従って説明する。なお、第２の実施形態は、第１の実施形態とはプラテン２７の表面形状を変更した点でのみ構成が相違しており、その他の構成は共通しているため、同様の構成部分については同一符号を付すことにして、その詳細な重複説明を省略する。

図４に示すように、プラテン２７の表面２７ａには、該表面２７ａに開口する吸引孔４４に連通するように溝状の凹部６０が形成されている。すなわち、凹部６０は、各吸引孔列４５を構成する吸引孔４４同士を連通させるように前後方向に沿って形成された複数の第１の凹部６１と、左右方向に隣り合う吸引孔４４同士を連通させるように左右方向に沿って形成された複数の第２の凹部６２によって格子状に形成されている。

そして、第１の凹部６１の幅と第２の凹部６２の幅は、それぞれカバー部材５４に形成された貫通孔５６の開口径よりも大きく、且つ吸引孔４４の開口径よりも小さくなっている。

そのため、図５に示すように、プラテン２７の表面２７ａ側に積層状態にカバー部材５４を固定すると、凹部６０の開口がカバー部材５４によって閉塞されると共に、凹部６０上に位置する貫通孔５６が凹部６０を介して複数の吸引孔４４と連通する。そのため、ファン４６の駆動に伴って各吸引孔４４内に発生した負圧は、該吸引孔４４上に形成された貫通孔５６、及び凹部６０を介して連通する貫通孔５６内に伝達される。なお、図５では吸引孔４４、貫通孔５６、凹部６０の開口径及び開口幅の比較を容易にするために、吸引孔４４、貫通孔５６、凹部６０を誇張して図示している。

また、カバー部材５４は、熱伝導性の良い金属によって形成されている。そのため、ヒータ４８，４９，５０が加熱されてプラテン２７が暖められると、該カバー部材５４において、プラテン２７の低温領域となる吸引孔４４上に位置する領域と同様に、凹部６０上に位置する領域にも熱は伝達され、カバー部材５４全体が略同じ温度に暖められる。

すなわち、連続紙１２では、吸引孔４４上に位置する第１の非接触領域Ｃ１及び凹部６０上に位置する第２の非接触領域Ｃ２において、カバー部材５４上に位置して直接熱が伝えられる領域と、貫通孔５６上に位置してカバー部材５４から直接熱が伝えられない領域に分断される。そのため、連続紙１２上に付着したインクには、第１の非接触領域Ｃ１及び第２の非接触領域Ｃ２において、貫通孔５６上に位置する領域では、カバー部材５４の支持面５４ａと接触して乾燥が促進される領域に向かうような流れが生じることとなるが、この領域は第１の非接触領域Ｃ１及び第２の非接触領域Ｃ２に比べて狭いので、色むら（濃淡）の発生が抑制される。

次に、本実施形態のインクジェット式プリンタ１１の作用について、ファン４６の駆動に伴って支持面５４ａ上に吸着される連続紙１２にインクを付着させて乾燥させる際の作用を中心に記載する。なお、プラテン２７上に配置される連続紙１２は、その前後方向における両端部（両縁部）がカバー部材５４の両端部よりも内側に位置するものとする。

さて、印刷領域Ａに連続紙１２が搬送された状態で各ファン４６を駆動すると、各吸引孔４４内の空気が吸引される。すると、吸引孔４４上に位置する貫通孔５６、及び凹部６０を介して吸引孔４４と連通する貫通孔５６内が吸引されて、連続紙１２における第１の非接触領域Ｃ１と第２の非接触領域Ｃ２とに吸引力が付与される。

すなわち、連続紙１２は、該連続紙１２において吸引力が作用する面積が、吸引孔４４上に位置する貫通孔５６によって第１の非接触領域Ｃ１にのみ吸引力を作用させる場合に比べて大きい。そのため、例えば、加熱された連続紙１２が膨張した場合であっても、該連続紙１２は支持面５４ａからのうき上がりが抑制されてより安定した状態で支持される。

また、装置本体５１の駆動に基づきヒータ４８，４９，５０が発熱すると、カバー部材５４にはプラテン２７を介してヒータ４８，４９，５０の熱が伝えられる。そして、カバー部材５４を介して該カバー部材５４上に支持された連続紙１２が加熱された状態において、記録ヘッド３１からインクが噴射されると、連続紙１２に先に着弾したインクからインク溶媒が蒸発する。

このとき、第１の非接触領域Ｃ１と第２の非接触領域Ｃ２において、貫通孔５６上に位置してインクの流れる範囲が、第１の非接触領域Ｃ１及び第２の非接触領域Ｃ２に比べて狭くなっている。そのため、第１の非接触領域Ｃ１及び第２の非接触領域Ｃ２においてインクの流れが生じたとしても、その流れる範囲は狭いものとなる。したがって、印刷領域Ａ内に噴射されたインクは、第１の非接触領域Ｃ１及び第２の非接触領域Ｃ２から接触領域Ｂに向かう大きな流れの発生が抑制される。そのため、インク中の色素成分は、噴射された位置もしくは、該噴射された位置から若干ずれた位置において定着することになる。

上記第２の実施形態によれば、第１の実施形態における（１）〜（８）の効果に加えて、さらに以下のような効果を得ることができる。
（９）プラテン２７の表面２７ａに吸引孔４４と連通する凹部６０を形成することにより、吸引孔４４と連通する貫通孔５６を増やすことができる。すなわち、ファン４６が吸引孔４４内を吸引すると、凹部６０を介して吸引孔４４と連通する貫通孔５６内が吸引される。したがって、連続紙１２に吸引力を及ぼす貫通孔５６の数を容易に増やすことができ、連続紙１２においてより広い領域に吸引力を作用させて支持面５４ａからの連続紙１２のうき上がりを抑制することができる。

（１０）プラテン２７の表面２７ａに形成された凹部６０は、複数の吸引孔４４に連通している。そのため、プラテン２７の表面２７ａ側に固定されるカバー部材５４に形成された貫通孔５６は、凹部６０を介して複数の吸引孔４４に連通する。したがって、凹部６０を介して吸引される貫通孔５６において吸引力のばらつきを抑制することができる。

なお、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・上記実施形態において、記録ヘッド３１からのインクの噴射によらずに孔版印刷等の他の印刷処理により表面にインクが付着した連続紙１２をプラテン２７上に搬送して乾燥させるようにしてもよい。

・上記実施形態において、引き込み駆動ローラ２３，送り出し駆動ローラ４０，巻き取り駆動軸４３を用いずに、手動で連続紙１２をプラテン２７及びカバー部材５４上に位置させるようにしてもよい。また、矩形状の用紙をベルト上に載置してプラテン２７及びカバー部材５４上を搬送するようにしてもよい。

・上記実施形態において、カバー部材５４はアルミニウムや鉄、銅、それらの合金といった金属に限らず、貫通孔５６を形成することができれば樹脂やガラス製でもよい。なお、カバー部材５４は熱伝導性に優れた材料で構成するのが好ましいが、スポンジやフェルトのような通気性を有する材料を用いてもカバー部材５４上に連続紙１２を吸着保持しつつ、非接触領域Ｃの中央部から接触領域Ｂとの境界付近へ向かうインクの大きな流れを抑制することができる。なお、弾性を有するスポンジを用いる場合には、吸引孔４４内の負圧がスポンジ内で分散されて連続紙１２へ作用する力が、スポンジを変形させない程度の力であることが望ましい。

・上記実施形態において、ヒータ４８，４９，５０を設けない構成としてもよい。すなわち、ファン４６を吸引駆動すると吸引孔４４を通過する空気によって熱が奪われる。そのため、プラテン２７において吸引孔４４及び該吸引孔４４付近の温度と、吸引孔４４から離れた領域では温度差が生じる。そのため、カバー部材５４を介して連続紙１２を支持することで、この温度差に基づいて生じる濃淡を抑制することができる。

・上記実施形態において、プラテン２７とカバー部材５４とが、連続紙１２に付着したインクを乾燥させることができる程度の熱量を保持することができれば、カバー部材５４の厚みをプラテン２７の厚みよりも厚くしてもよい。すなわち、プラテン２７とカバー部材５４の双方でヒータ４８，４９，５０の熱量を保存する。さらに、プラテン２７とカバー部材５４を積層して厚みを稼いでいるため、１枚のプラテン２７に貫通孔５６を形成するのに比べてカバー部材５４へ貫通孔５６を容易に形成することができる。

・上記第１の実施形態において、カバー部材５４には、吸引孔４４と同じピッチで貫通孔５６を形成するようにしてもよい。このようなカバー部材５４をプラテン２７上に積層すると、吸引孔４４には、１つの貫通孔５６が連通することになり、該貫通孔５６を介して連続紙１２を支持面５４ａ上に吸着することができる。また、積層した際に吸引孔４４上に位置する領域にのみ貫通孔５６を形成してもよい。これにより、形成する貫通孔５６の数を減らすことができるため、カバー部材５４の形成を容易にすることができる。

・上記第２の実施形態において、カバー部材５４には、該カバー部材５４をプラテン２７上に積層した際に、吸引孔４４及び凹部６０上に位置する領域にのみ貫通孔５６を形成してもよい。これにより、形成する貫通孔５６の数を減らすことができるため、カバー部材５４の形成を容易にすることができる。

・上記実施形態において、カバー部材５４の下面５４ｂ側に、貫通孔５６同士を連通する凹部を形成してもよい。これにより、吸引孔４４内に発生させた負圧をより多くの貫通孔５６へ作用させることができるため、連続紙１２をより安定的に支持面５４ａに吸着することができる。

・上記実施形態において、カバー部材５４を金属板に多数の貫通孔５６を打抜形成したパンチングメタルとしたが、針金を編むもしくは織ることで形成された通気性を有する金網としてもよい。このとき、針金と針金との隙間が吸引孔４４の開口断面積よりも小さくなっている。

・上記実施形態において、ターゲットには、樹脂製、金属製といった吸水性を有しないシートを用いることもできる。
・上記実施形態において、吸引手段は、ファン４６に限らず、プラテン２７の下面側から吸引孔４４内に負圧を発生させるポンプを用いてもよい。

・上記第２の実施形態において、凹部６０は、１つの吸引孔４４に連通するように形成してもよい。
・上記第２の実施形態において、凹部６０が形成される方向は、前後方向又は左右方向に限らず、斜め方向に沿って延びるように形成してもよい。また、凹部６０の形状は、渦巻き形状や環状としてもよい。さらに、吸引孔４４の開口縁に沿って窪みを形成し、平面視円形状、楕円形状、矩形状などの凹部を形成してもよい。

・上記第２の実施形態において、凹部６０は、断面視矩形状に限らず、壁面を斜めに形成した断面視三角形状のＶ字溝としてもよい。また、凹部６０の断面視形状は、半円形、楕円形など任意に設定することができる。

・上記実施形態では、液体噴射装置をインクジェット式プリンタ１１に具体化したが、インク以外の他の液体を噴射したり吐出したりする液体噴射装置を採用してもよい。微小量の液滴を吐出させる液体噴射ヘッド等を備える各種の液体噴射装置に流用可能である。なお、液滴とは、上記液体噴射装置から吐出される液体の状態をいい、粒状、涙状、糸状に尾を引くものも含むものとする。また、ここでいう液体とは、液体噴射装置が噴射させることができるような材料であればよい。例えば、物質が液相であるときの状態のものであればよく、粘性の高い又は低い液状体、ゾル、ゲル水、その他の無機溶剤、有機溶剤、溶液、液状樹脂、液状金属（金属融液）のような流状態、また物質の一状態としての液体のみならず、顔料や金属粒子などの固形物からなる機能材料の粒子が溶媒に溶解、分散又は混合されたものなどを含む。また、液体の代表的な例としては上記実施形態で説明したようなインクや液晶等が挙げられる。ここで、インクとは一般的な水性インク及び油性インク並びにジェルインク、ホットメルトインク等の各種液体組成物を包含するものとする。液体噴射装置の具体例としては、例えば液晶ディスプレイ、ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）ディスプレイ、面発光ディスプレイ、カラーフィルタの製造などに用いられる電極材や色材などの材料を分散又は溶解のかたちで含む液体を噴射する液体噴射装置、バイオチップ製造に用いられる生体有機物を噴射する液体噴射装置、精密ピペットとして用いられ試料となる液体を噴射する液体噴射装置、捺染装置やマイクロディスペンサ等であってもよい。さらに、時計やカメラ等の精密機械にピンポイントで潤滑油を噴射する液体噴射装置、光通信素子等に用いられる微小半球レンズ（光学レンズ）などを形成するために紫外線硬化樹脂等の透明樹脂液を基板上に噴射する液体噴射装置、基板などをエッチングするために酸又はアルカリ等のエッチング液を噴射する液体噴射装置を採用してもよい。そして、これらのうちいずれか一種の液体噴射装置に本発明を適用することができる。

１１…インクジェット式プリンタ（液体噴射装置）、１２…連続紙（ターゲット）、２３…引き込み駆動ローラ（搬送手段）、２７…プラテン（第１の支持部材）、２７ａ…表面、２７ｂ…裏面、３１…記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、４０…送り出し駆動ローラ（搬送手段）、４３…巻き取り駆動軸（搬送手段）、４４…吸引孔（第１の吸引孔）、４６…ファン（吸引手段）、４８，４９，５０…ヒータ（加熱手段）、５４…カバー部材（第２の支持部材），５４ａ…支持面、５６…貫通孔（第２の吸引孔）、５７…連続紙支持装置（ターゲット支持装置）、６０…凹部。

Claims (10)

1. 表面と裏面とに開口するように複数の第１の吸引孔が形成された第１の支持部材と、
   前記第１の吸引孔よりも開口断面積が小さな第２の吸引孔が複数形成されると共に、前記第１の支持部材上に積層状態に固定される第２の支持部材と、
   前記複数の第１の吸引孔内を吸引して該各第１の吸引孔と連通する前記第２の吸引孔内を吸引するための吸引手段と
   を備え、
   該吸引手段を駆動させることにより、前記第２の支持部材の支持面上に液体を付着可能に支持されたターゲットを吸着保持することを特徴とするターゲット支持装置。
2. 前記第２の支持部材は、剛性を有していることを特徴とする請求項１に記載のターゲット支持装置。
3. １つの前記第１の吸引孔は、複数の前記第２の吸引孔に対して連通していることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のターゲット支持装置。
4. 前記第１の支持部材の厚みよりも前記第２の支持部材の厚みの方が薄いことを特徴とする請求項１〜請求項３のうちいずれか一項に記載のターゲット支持装置。
5. 前記第１の支持部材を加熱するための加熱手段をさらに備えたことを特徴とする請求項１〜請求項４のうちいずれか一項に記載のターゲット支持装置。
6. 前記第２の支持部材は、金属により形成されることを特徴とする請求項５に記載のターゲット支持装置。
7. 表面と裏面とに開口するように複数の第１の吸引孔が形成されると共に、該第１の吸引孔と連通する凹部が前記表面に形成された第１の支持部材と、
   前記第１の吸引孔よりも開口断面積が小さな第２の吸引孔が複数形成されると共に、前記第１の支持部材の表面側に積層状態に固定される第２の支持部材と、
   前記複数の第１の吸引孔内を吸引して該各第１の吸引孔と連通する前記第２の吸引孔内を吸引するための吸引手段と
   を備え、
   該吸引手段を駆動させることにより、前記第２の支持部材の支持面上に液体を付着可能に支持されたターゲットを吸着保持することを特徴とするターゲット支持装置。
8. 前記凹部は、複数の前記第１の吸引孔同士を連通させることを特徴とする請求項７に記載のターゲット支持装置。
9. 搬送方向における上流側から前記第１の支持部材及び前記第２の支持部材の下流側へ前記ターゲットを搬送する搬送手段と、
   請求項１〜請求項８のうち何れか一項に記載のターゲット支持装置とを備えたターゲット搬送機構。
10. 前記第２の支持部材の支持面上に支持されたターゲットに対して液体を噴射する液体噴射ヘッドと、
    請求項１〜８のうち何れか一項に記載のターゲット支持装置又は請求項９に記載のターゲット搬送機構を備えた液体噴射装置。

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