JP2010093674A5 - - Google Patents

Claims (6)

1. 振動部と、
   当該振動部の周囲を囲む枠部と、
   前記振動部と前記枠部とを接続する接続部と、
   を有する振動基板と、
   前記振動基板の一方の主面に前記振動部を覆うように積層されベースと、
   を備え、
   前記ベースは前記枠部と接合され、
   前記枠部は、前記一方の主面側に突起部を有し、
   前記突起部の表面には、前記振動部から延在された配線パターンと電気的に接続された接続電極が設けられ、
   前記ベースは、
   前記振動基板との積層側とは反対側に設けられた実装端子と、
   前記ベースの前記振動基板との接合側に設けられた第１の開口部と、
   前記実装端子に設けられた第２の開口部と、
   前記第１の開口部と前記第２の開口部とを連通するように前記ベースに設けられた貫通孔と、
   当該貫通孔の内壁に設けられ、前記実装端子と電気的に接続された内面電極と、
   を有し、
   前記第１の開口部は、前記突起部と対向し、
   前記貫通孔は、
   導電性封止部材により塞がれ、
   前記接続電極は、
   前記第１の開口部を塞ぐ前記導電性封止部材と電気的に接続されている
   ことを特徴する振動デバイス。
2. 前記突起部の外形は、
   前記第１の開口部の内径よりも小さいことを特徴する請求項１に記載の振動デバイス。
3. 前記突起部は、可撓性を有することを特徴する請求項１又は２に記載の振動デバイス。
4. 前記突起部の材質は、樹脂であることを特徴する請求項１乃至３のうち何れか一項に記載の振動デバイス。
5. 前記振動基板の他方の主面は、
   前記振動片を覆うように蓋が積層され、前記枠部と接合されていることを特徴する請求項１乃至４のうち何れか一項に記載の振動デバイス。
6. 前記振動基板は水晶基板であることを特徴とする請求項１乃至５のうちいずれか一項に記載の振動デバイス。