JP2010002895A - ペリクル用粘着材組成物 - Google Patents
ペリクル用粘着材組成物 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010002895A JP2010002895A JP2009121095A JP2009121095A JP2010002895A JP 2010002895 A JP2010002895 A JP 2010002895A JP 2009121095 A JP2009121095 A JP 2009121095A JP 2009121095 A JP2009121095 A JP 2009121095A JP 2010002895 A JP2010002895 A JP 2010002895A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pellicle
- meth
- weight
- acrylic acid
- alkyl ester
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 title claims abstract description 52
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 title claims abstract description 52
- 239000000203 mixture Substances 0.000 title claims abstract description 49
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims abstract description 28
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 claims abstract description 39
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 32
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 claims abstract description 30
- 239000000178 monomer Substances 0.000 claims abstract description 28
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 claims abstract description 13
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 claims abstract description 9
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 claims abstract description 6
- 239000004820 Pressure-sensitive adhesive Substances 0.000 claims description 30
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 claims description 10
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims description 7
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 claims description 6
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 claims description 6
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 23
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 17
- 239000010453 quartz Substances 0.000 abstract description 17
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 17
- 239000011651 chromium Substances 0.000 abstract description 13
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 abstract description 13
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract description 11
- 239000010409 thin film Substances 0.000 abstract description 11
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 27
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 24
- 229940048053 acrylate Drugs 0.000 description 24
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 23
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 description 14
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 11
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 11
- 239000010408 film Substances 0.000 description 10
- -1 specifically Chemical group 0.000 description 10
- 229920006243 acrylic copolymer Polymers 0.000 description 9
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 9
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 7
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000010992 reflux Methods 0.000 description 6
- OZAIFHULBGXAKX-UHFFFAOYSA-N 2-(2-cyanopropan-2-yldiazenyl)-2-methylpropanenitrile Chemical compound N#CC(C)(C)N=NC(C)(C)C#N OZAIFHULBGXAKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical class CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 4
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 4
- HASUCEDGKYJBDC-UHFFFAOYSA-N 1-[3-[[bis(oxiran-2-ylmethyl)amino]methyl]cyclohexyl]-n,n-bis(oxiran-2-ylmethyl)methanamine Chemical compound C1OC1CN(CC1CC(CN(CC2OC2)CC2OC2)CCC1)CC1CO1 HASUCEDGKYJBDC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229940114077 acrylic acid Drugs 0.000 description 3
- CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N butyl acrylate Chemical compound CCCCOC(=O)C=C CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 3
- 239000003431 cross linking reagent Substances 0.000 description 3
- 239000012948 isocyanate Substances 0.000 description 3
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 3
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 3
- 125000000954 2-hydroxyethyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])O[H] 0.000 description 2
- SXIFAEWFOJETOA-UHFFFAOYSA-N 4-hydroxy-butyl Chemical group [CH2]CCCO SXIFAEWFOJETOA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 2
- 125000000484 butyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 2
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 2
- 125000000959 isobutyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(C([H])([H])[H])C([H])([H])* 0.000 description 2
- 150000002513 isocyanates Chemical class 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 125000002347 octyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 2
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- OUPZKGBUJRBPGC-UHFFFAOYSA-N 1,3,5-tris(oxiran-2-ylmethyl)-1,3,5-triazinane-2,4,6-trione Chemical compound O=C1N(CC2OC2)C(=O)N(CC2OC2)C(=O)N1CC1CO1 OUPZKGBUJRBPGC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KQSMCAVKSJWMSI-UHFFFAOYSA-N 2,4-dimethyl-1-n,1-n,3-n,3-n-tetrakis(oxiran-2-ylmethyl)benzene-1,3-diamine Chemical compound CC1=C(N(CC2OC2)CC2OC2)C(C)=CC=C1N(CC1OC1)CC1CO1 KQSMCAVKSJWMSI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JAHNSTQSQJOJLO-UHFFFAOYSA-N 2-(3-fluorophenyl)-1h-imidazole Chemical compound FC1=CC=CC(C=2NC=CN=2)=C1 JAHNSTQSQJOJLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GOXQRTZXKQZDDN-UHFFFAOYSA-N 2-Ethylhexyl acrylate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)C=C GOXQRTZXKQZDDN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AOBIOSPNXBMOAT-UHFFFAOYSA-N 2-[2-(oxiran-2-ylmethoxy)ethoxymethyl]oxirane Chemical compound C1OC1COCCOCC1CO1 AOBIOSPNXBMOAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KUAUJXBLDYVELT-UHFFFAOYSA-N 2-[[2,2-dimethyl-3-(oxiran-2-ylmethoxy)propoxy]methyl]oxirane Chemical compound C1OC1COCC(C)(C)COCC1CO1 KUAUJXBLDYVELT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OMIGHNLMNHATMP-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxyethyl prop-2-enoate Chemical compound OCCOC(=O)C=C OMIGHNLMNHATMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CFVWNXQPGQOHRJ-UHFFFAOYSA-N 2-methylpropyl prop-2-enoate Chemical compound CC(C)COC(=O)C=C CFVWNXQPGQOHRJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QOXOZONBQWIKDA-UHFFFAOYSA-N 3-hydroxypropyl Chemical group [CH2]CCO QOXOZONBQWIKDA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- LCFVJGUPQDGYKZ-UHFFFAOYSA-N Bisphenol A diglycidyl ether Chemical compound C=1C=C(OCC2OC2)C=CC=1C(C)(C)C(C=C1)=CC=C1OCC1CO1 LCFVJGUPQDGYKZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XDTMQSROBMDMFD-UHFFFAOYSA-N Cyclohexane Chemical compound C1CCCCC1 XDTMQSROBMDMFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FBPFZTCFMRRESA-FSIIMWSLSA-N D-Glucitol Natural products OC[C@H](O)[C@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)CO FBPFZTCFMRRESA-FSIIMWSLSA-N 0.000 description 1
- FBPFZTCFMRRESA-JGWLITMVSA-N D-glucitol Chemical compound OC[C@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)[C@H](O)CO FBPFZTCFMRRESA-JGWLITMVSA-N 0.000 description 1
- SNRUBQQJIBEYMU-UHFFFAOYSA-N Dodecane Natural products CCCCCCCCCCCC SNRUBQQJIBEYMU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 1
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Propanedioic acid Natural products OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007983 Tris buffer Substances 0.000 description 1
- 239000012963 UV stabilizer Substances 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 239000012711 adhesive precursor Substances 0.000 description 1
- 150000004703 alkoxides Chemical class 0.000 description 1
- 229920003180 amino resin Polymers 0.000 description 1
- 230000003712 anti-aging effect Effects 0.000 description 1
- 150000001541 aziridines Chemical class 0.000 description 1
- JRPRCOLKIYRSNH-UHFFFAOYSA-N bis(oxiran-2-ylmethyl) benzene-1,2-dicarboxylate Chemical compound C=1C=CC=C(C(=O)OCC2OC2)C=1C(=O)OCC1CO1 JRPRCOLKIYRSNH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUCHXOAWJMEFLF-UHFFFAOYSA-N bisphenol F diglycidyl ether Chemical compound C1OC1COC(C=C1)=CC=C1CC(C=C1)=CC=C1OCC1CO1 XUCHXOAWJMEFLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000013522 chelant Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000007334 copolymerization reaction Methods 0.000 description 1
- LDHQCZJRKDOVOX-NSCUHMNNSA-N crotonic acid Chemical compound C\C=C\C(O)=O LDHQCZJRKDOVOX-NSCUHMNNSA-N 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 125000002704 decyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- GPLRAVKSCUXZTP-UHFFFAOYSA-N diglycerol Chemical compound OCC(O)COCC(O)CO GPLRAVKSCUXZTP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GYZLOYUZLJXAJU-UHFFFAOYSA-N diglycidyl ether Chemical compound C1OC1COCC1CO1 GYZLOYUZLJXAJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007865 diluting Methods 0.000 description 1
- 239000003085 diluting agent Substances 0.000 description 1
- 238000010790 dilution Methods 0.000 description 1
- 239000012895 dilution Substances 0.000 description 1
- 239000000539 dimer Substances 0.000 description 1
- 125000003438 dodecyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 1
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 125000004051 hexyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 125000002768 hydroxyalkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 125000001972 isopentyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(C([H])([H])[H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- PBOSTUDLECTMNL-UHFFFAOYSA-N lauryl acrylate Chemical compound CCCCCCCCCCCCOC(=O)C=C PBOSTUDLECTMNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N maleic acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N 0.000 description 1
- 239000011976 maleic acid Substances 0.000 description 1
- 150000007974 melamines Chemical class 0.000 description 1
- LVHBHZANLOWSRM-UHFFFAOYSA-N methylenebutanedioic acid Natural products OC(=O)CC(=C)C(O)=O LVHBHZANLOWSRM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 229940065472 octyl acrylate Drugs 0.000 description 1
- ANISOHQJBAQUQP-UHFFFAOYSA-N octyl prop-2-enoate Chemical compound CCCCCCCCOC(=O)C=C ANISOHQJBAQUQP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- 229920001083 polybutene Polymers 0.000 description 1
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 1
- 125000002924 primary amino group Chemical group [H]N([H])* 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 239000013464 silicone adhesive Substances 0.000 description 1
- 239000000600 sorbitol Substances 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N trans-butenedioic acid Natural products OC(=O)C=CC(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LDHQCZJRKDOVOX-UHFFFAOYSA-N trans-crotonic acid Natural products CC=CC(O)=O LDHQCZJRKDOVOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003672 ureas Chemical class 0.000 description 1
- 238000005303 weighing Methods 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
Abstract
【解決手段】(メタ)アクリル酸アルキルエステル共重合体100重量部と多官能性エポキシ化合物0.005〜3重量部との反応生成物を含んでなる組成物であって、該(メタ)アクリル酸アルキルエステル共重合体が、炭素数4〜14のアルキル基を有する(メタ)アクリル酸アルキルエステルと、エポキシ基との反応性を有する官能基を有するモノマーとの少なくとも2つのモノマー成分を共重合させることによって得られる共重合体であることを特徴とするペリクル用粘着材組成物。
【選択図】なし
Description
ペリクルをマスク上に固定する方法としては、粘着材で剥離可能に固定する方法が通常使用され、そのための粘着材としては、アクリル系、ゴム系、ポリブテン系、ポリウレタン系、シリコーン系等のものが知られている。(特許文献1参照)粘着材層は一端面にペリクル膜が張設されたペリクル枠の他端面に形成されるのであるが、ペリクル膜またはマスクが汚れた場合には、マスクから一度ペリクルを剥離して汚れを除去しペリクルを再度マスクに貼り替える必要がある。
本発明の二は、ペリクル枠の一端面に接着されたペリクル膜を有し、該ペリクル枠の他端面に本発明の一のペリクル用粘着材組成物からなる粘着材層を有することを特徴とするペリクルである。
かかる架橋剤としては、多官能性エポキシ化合物以外にも、金属塩、金属アルコキシド、アルデヒド系化合物、非アミノ樹脂系アミノ化合物、尿素系化合物、イソシアネート系化合物、金属キレート系化合物、メラミン系化合物、アジリジン系化合物など、通常の粘着材に使用される架橋剤をあげることができるが、(メタ)アクリル酸アルキルエステル共重合体が有する官能基成分との反応性の点から、多官能性エポキシ化合物が好ましい。
また、本発明のペリクル用粘着材組成物には、上記の反応生成物以外に、必要に応じて、充填剤、顔料、希釈剤、老化防止剤、紫外線安定剤などの従来公知の添加剤を含んでいてもよい。これらの添加剤は、1種類または2種以上を使用することが可能である。ただし、所望する物性が得られるように、添加量は適時設定することが好ましい。
第一に、上述の(メタ)アクリル酸アルキルエステル共重合体溶液と多官能性エポキシ化合物溶液とを混合し粘着材前駆体組成物を得る。この場合、所定の厚み・幅のマスク粘着材層を塗布するために、粘着材前駆体組成物をさらに溶媒で希釈し、溶液濃度(粘度)を調整する。希釈のための溶媒は、溶解性、蒸発速度などの観点から選ばれる。好ましい溶媒の具体例としては、アセトン、酢酸エチル、トルエンがあげられるが、これらに限定されるものではない。
かかる乾燥温度については、溶媒および残存モノマーの沸点、(メタ)アクリル酸アルキルエステル共重合体の分解温度を考慮し、50〜200℃であることが好ましく、60〜190℃であることが好ましい。
また、双方の基材に対して粘着力のバランスが良く、剥離時の糊残りが少ないものが好ましい。粘着力バランス比(「対クロム基材に対する粘着力/対石英基材に対する粘着力」で定義する。)は0.33〜3.0の範囲が好ましく、0.5〜2.0の範囲がより好ましい。
ここで、粘着力は、ペリクルを石英、またはクロムからなるマスク被着面に対して貼付後、マスクを水平に固定し、ペリクルのひとつの角を引張試験機により、マスク面に対し垂直に5mm/minの速度で引き上げた時の最大力によって表すものとする。
また、剥離性は、上記剥離力を測定した後の各被着体表面の様子を観察し、以下の基準で評価した。
○:糊残り面積が全体の貼付け面積の0〜5%
△:糊残り面積が全体の貼付け面積の6〜20%
×:糊残り面積が全体の貼付け面積の21〜100%
(メタ)アクリル酸アルキルエステル共重合体1は、周知の方法により調整した。具体的には、攪拌機、温度計、還流冷却器、滴下装置、窒素導入管を備えた反応容器に酢酸エチル(30重量部)を入れ、イソブチルアクリレート/ブチルアクリレート/アクリル酸/2−ヒドロキシエチルアクリレート/2、2’−アゾビスイソブチロニトリルの混合物(32重量部)を48/48/1.5/2.5/0.5の重量比で仕込み、窒素雰囲気下中、この反応溶液を還流温度で8時間反応する。反応終了後、トルエン(38重量部)を添加して、不揮発分濃度32重量% のアクリル共重合体溶液を得た。次いで得られたアクリル共重合体溶液100重量部に多官能性エポキシ化合物溶液(溶媒をトルエンとし、多官能性エポキシ化合物溶液中には1,3−ビス(N,N−ジグリシジルアミノメチル)シクロヘキサンを不揮発成分として5重量%含む)を1.5重量部添加した。この時、多官能性エポキシ化合物は(メタ)アクリル酸アルキルエステル共重合体100重量部あたり0.23重量部であった。その後攪拌混合し、粘着材前駆体組成物を得た。
ペリクルを貼り付けた基材を、室温(20±3℃)にて2時間放置後、粘着力と剥離性を前述の方法で評価した。
(メタ)アクリル酸アルキルエステル共重合体2は、実施例1と同様に調整した。具体的には、攪拌機、温度計、還流冷却器、滴下装置、窒素導入管を備えた反応容器に酢酸エチル(32重量部)を入れ、ブチルアクリレート/2−エチルヘキシルアクリレート/アクリル酸/2、2’−アゾビスイソブチロニトリルの混合物(38重量部)を52/41/7/0.5の重量比で仕込み、窒素雰囲気下中、この反応溶液を還流温度で8時間反応する。反応終了後、トルエン(30重量部)を添加して、不揮発分濃度38重量% のアクリル共重合体溶液を得た。次いで、得られたアクリル共重合体溶液100重量部に多官能性エポキシ化合物溶液(溶媒をトルエンとし、多官能性エポキシ化合物溶液中には1,3−ビス(N,N−ジグリシジルアミノメチル)シクロヘキサンを不揮発成分として5重量%含む)を3重量部添加した。この時、多官能性エポキシ化合物は(メタ)アクリル酸アルキルエステル共重合体100重量部あたり0.39重量部であった。その後攪拌混合し、粘着材前駆体組成物を得た。
以下、実施例1と同様にして、実施例2のペリクル用粘着材組成物からなる粘着材層を形成した実施例2のペリクルを作成し、ペリクルの基材に対する粘着力および剥離性を評価して結果を表1に記載した。
シリコーン粘着材(東レダウコーニング(株)製、SD4580(商品名)不揮発分濃度40重量%、トルエン/キシレン溶液)100重量部に対して硬化剤(東レダウコーニング(株)製、SRX212)を0.9重量部添加し、比較例1の粘着材組成物とペリクルを得た。
以下実施例1と同様にして、比較例1のペリクル用粘着材組成物からなる粘着材層を形成した比較例1のペリクルを作成し、ペリクルのクロム基材に対する剥離性を評価したところ、剥離後にマスクに残る付着物が多いものであった。
(メタ)アクリル酸アルキルエステル共重合体3は、実施例1と同様に調整した。具体的には、攪拌機、温度計、還流冷却器、滴下装置、窒素導入管を備えた反応容器に酢酸エチル(23重量部)を入れ、ブチルアクリレート/オクチルアクリレート/アクリル酸/2、2’−アゾビスイソブチロニトリルの混合物(35重量部)を75/20/5/0.5の重量比で仕込み、窒素雰囲気下中、この反応溶液を還流温度で8時間反応する。反応終了後、トルエン(42重量部)を添加して、不揮発分濃度35重量% のアクリル共重合体溶液を得た。次いで、得られたアクリル共重合体溶液100重量部に多官能エポキシ化合物溶液(溶媒をトルエンとし、多官能性エポキシ化合物溶液中には1,3−ビス(N,N−ジグリシジルアミノメチル)シクロヘキサンを不揮発成分として5重量%含む)を4重量部添加した。この時、多官能性エポキシ化合物は(メタ)アクリル酸アルキルエステル共重合体100重量部あたり0.57重量部であった。その後攪拌混合し、粘着材前駆体組成物を得た。
以下、実施例1と同様にして、実施例3のペリクル用粘着材組成物からなる粘着材層を形成した実施例3のペリクルを作成し、ペリクルの基材に対する粘着力、および剥離性を評価して結果を表1に記載した。
実施例3記載のアクリル共重合体溶液100重量部にイソシアネート硬化剤(日本ポリウレタン(株)製、コロネートL、不揮発分濃度75重量%、酢酸エチル溶液)を4重量部添加した。この時、不揮発成分は(メタ)アクリル酸アルキルエステル共重合体100重量部あたり8.57重量部であった。その後攪拌混合し、粘着材前駆体組成物を得た。
以下、実施例1と同様にして、比較例2のペリクル用粘着材組成物からなる粘着材層を形成した比較例2のペリクルを作成し、ペリクルの基材に対する粘着力、および剥離性を評価して結果を表1に記載した。
表1の結果から分かるように,本発明のペリクル用粘着材組成物を塗布したペリクルは、石英からなる基材とクロムからなる基材の双方に対して、粘着力、剥離性の特性に優れる。特に、(メタ)アクリル酸アルキルエステル共重合体のA2成分が9〜59重量%である単量体混合物の共重合体である実施例1及び実施例2においては、石英からなる基材とクロムからなる基材の双方に対して、粘着力のバランスに優れる。
実施例3記載のアクリル共重合体溶液100重量部にイソシアネート硬化剤液(日本ポリウレタン(株)製、コロネートL、不揮発分濃度75重量%、酢酸エチル溶液)を0.4重量部添加した。この時、不揮発成分は(メタ)アクリル酸アルキルエステル共重合体100重量部あたり0.86重量部であった。その後攪拌混合し、粘着材前駆対組成物を得た。
以下、実施例1と同様にして比較例3のペリクル用粘着材組成物からなる粘着材層を形成した比較例3のペリクルを作成し、ペリクルの基材に対する粘着力、及び剥離性を評価して結果を表1に記載した。
Claims (4)
- (メタ)アクリル酸アルキルエステル共重合体100重量部と多官能性エポキシ化合物0.005〜3重量部との反応生成物を含んでなる組成物であって、該(メタ)アクリル酸アルキルエステル共重合体が、炭素数4〜14のアルキル基を有する(メタ)アクリル酸アルキルエステルと、エポキシ基との反応性を有する官能基を有するモノマーとの少なくとも2つのモノマー成分を共重合させることによって得られる共重合体であることを特徴とするペリクル用粘着材組成物。
- 多官能性エポキシ化合物が2〜4個のエポキシ基を有する含窒素エポキシ化合物であることを特徴とする請求項1記載のペリクル用粘着材組成物。
- (メタ)アクリル酸アルキルエステル共重合体を構成するモノマー総量の9〜59重量%が炭素数4〜14の分岐したアルキル基を有する(メタ)アクリル酸アルキルエステルであることを特徴とする請求項1〜2のいずれかに記載のペリクル用粘着材組成物。
- ペリクル枠の一端面に接着されたペリクル膜を有し、該ペリクル枠の他端面に請求項1〜3のいずれかに記載のペリクル用粘着材組成物からなる粘着材層を有することを特徴とするペリクル。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009121095A JP5484785B2 (ja) | 2008-05-19 | 2009-05-19 | ペリクル用粘着材組成物 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008131245 | 2008-05-19 | ||
JP2008131245 | 2008-05-19 | ||
JP2009121095A JP5484785B2 (ja) | 2008-05-19 | 2009-05-19 | ペリクル用粘着材組成物 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010002895A true JP2010002895A (ja) | 2010-01-07 |
JP5484785B2 JP5484785B2 (ja) | 2014-05-07 |
Family
ID=41584633
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009121095A Active JP5484785B2 (ja) | 2008-05-19 | 2009-05-19 | ペリクル用粘着材組成物 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5484785B2 (ja) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011128605A (ja) * | 2009-11-18 | 2011-06-30 | Asahi Kasei E-Materials Corp | ペリクル |
JP2012093518A (ja) * | 2010-10-26 | 2012-05-17 | Asahi Kasei E-Materials Corp | ペリクル |
JP2012108277A (ja) * | 2010-11-17 | 2012-06-07 | Shin Etsu Chem Co Ltd | リソグラフィー用ペリクル |
WO2012157759A1 (ja) * | 2011-05-18 | 2012-11-22 | 旭化成イーマテリアルズ株式会社 | ペリクル、ペリクル用粘着剤、ペリクル付フォトマスク及び半導体素子の製造方法 |
JP2013134481A (ja) * | 2011-12-27 | 2013-07-08 | Asahi Kasei E-Materials Corp | ペリクル |
JP2013134482A (ja) * | 2011-12-27 | 2013-07-08 | Asahi Kasei E-Materials Corp | ペリクル用粘着剤組成物 |
JP2015199776A (ja) * | 2014-04-04 | 2015-11-12 | 信越化学工業株式会社 | ペリクル用粘着剤及びこれを用いたペリクル |
JP2018021182A (ja) * | 2016-07-11 | 2018-02-08 | 信越化学工業株式会社 | ペリクル用粘着剤、ペリクル、ペリクル用粘着剤の選択方法 |
JP2019066848A (ja) * | 2017-09-29 | 2019-04-25 | 旭化成株式会社 | ペリクル |
WO2020213659A1 (ja) * | 2019-04-16 | 2020-10-22 | 信越化学工業株式会社 | ペリクル、ペリクル付露光原版、半導体装置の製造方法、液晶表示板の製造方法、露光原版の再生方法及び剥離残渣低減方法 |
WO2023149347A1 (ja) * | 2022-02-04 | 2023-08-10 | 三井化学株式会社 | ペリクル、露光原版、及び露光装置、並びにペリクルの作製方法、及びマスク用粘着剤層の試験方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05163468A (ja) * | 1991-12-13 | 1993-06-29 | Nitto Denko Corp | 表面保護フィルム用粘着剤 |
JPH10282640A (ja) * | 1997-02-10 | 1998-10-23 | Mitsui Chem Inc | マスク等の基板へのペリクルの貼付方法及び該方法によって得られるペリクル貼付基板 |
JP2007156397A (ja) * | 2005-05-09 | 2007-06-21 | Mitsui Chemicals Inc | 汚染の少ないペリクル及びその製造方法 |
-
2009
- 2009-05-19 JP JP2009121095A patent/JP5484785B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05163468A (ja) * | 1991-12-13 | 1993-06-29 | Nitto Denko Corp | 表面保護フィルム用粘着剤 |
JPH10282640A (ja) * | 1997-02-10 | 1998-10-23 | Mitsui Chem Inc | マスク等の基板へのペリクルの貼付方法及び該方法によって得られるペリクル貼付基板 |
JP2007156397A (ja) * | 2005-05-09 | 2007-06-21 | Mitsui Chemicals Inc | 汚染の少ないペリクル及びその製造方法 |
Cited By (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011128605A (ja) * | 2009-11-18 | 2011-06-30 | Asahi Kasei E-Materials Corp | ペリクル |
JP2012093518A (ja) * | 2010-10-26 | 2012-05-17 | Asahi Kasei E-Materials Corp | ペリクル |
JP2012108277A (ja) * | 2010-11-17 | 2012-06-07 | Shin Etsu Chem Co Ltd | リソグラフィー用ペリクル |
US9310673B2 (en) | 2011-05-18 | 2016-04-12 | Asahi Kasei E-Materials Corporation | Pellicle, pressure-sensitive adhesive for pellicle, photomask with pellicle, and method for manufacturing semiconductor device |
WO2012157759A1 (ja) * | 2011-05-18 | 2012-11-22 | 旭化成イーマテリアルズ株式会社 | ペリクル、ペリクル用粘着剤、ペリクル付フォトマスク及び半導体素子の製造方法 |
CN103443706A (zh) * | 2011-05-18 | 2013-12-11 | 旭化成电子材料株式会社 | 表膜、表膜用粘合剂、带表膜的光掩膜及半导体元件的制造方法 |
JPWO2012157759A1 (ja) * | 2011-05-18 | 2014-07-31 | 旭化成イーマテリアルズ株式会社 | ペリクル、ペリクル付フォトマスク及び半導体素子の製造方法 |
JP5638693B2 (ja) * | 2011-05-18 | 2014-12-10 | 旭化成イーマテリアルズ株式会社 | ペリクル、ペリクル付フォトマスク及び半導体素子の製造方法 |
KR101514591B1 (ko) | 2011-05-18 | 2015-04-22 | 아사히 가세이 이-매터리얼즈 가부시키가이샤 | 펠리클, 펠리클용 점착제, 펠리클 부착 포토마스크 및 반도체 소자의 제조 방법 |
JP2013134481A (ja) * | 2011-12-27 | 2013-07-08 | Asahi Kasei E-Materials Corp | ペリクル |
JP2013134482A (ja) * | 2011-12-27 | 2013-07-08 | Asahi Kasei E-Materials Corp | ペリクル用粘着剤組成物 |
JP2015199776A (ja) * | 2014-04-04 | 2015-11-12 | 信越化学工業株式会社 | ペリクル用粘着剤及びこれを用いたペリクル |
JP2018021182A (ja) * | 2016-07-11 | 2018-02-08 | 信越化学工業株式会社 | ペリクル用粘着剤、ペリクル、ペリクル用粘着剤の選択方法 |
JP2022043086A (ja) * | 2016-07-11 | 2022-03-15 | 信越化学工業株式会社 | ペリクル用粘着剤、ペリクル、ペリクル用粘着剤の選択方法 |
JP2022126717A (ja) * | 2016-07-11 | 2022-08-30 | 信越化学工業株式会社 | ペリクル用粘着剤、ペリクル、ペリクル用粘着剤の選択方法 |
JP7352689B2 (ja) | 2016-07-11 | 2023-09-28 | 信越化学工業株式会社 | 粘着剤付ペリクルフレーム、ペリクル、ペリクル付フォトマスク、露光方法、半導体の製造方法及び液晶ディスプレイの製造方法 |
JP2019066848A (ja) * | 2017-09-29 | 2019-04-25 | 旭化成株式会社 | ペリクル |
WO2020213659A1 (ja) * | 2019-04-16 | 2020-10-22 | 信越化学工業株式会社 | ペリクル、ペリクル付露光原版、半導体装置の製造方法、液晶表示板の製造方法、露光原版の再生方法及び剥離残渣低減方法 |
JP6793894B1 (ja) * | 2019-04-16 | 2020-12-02 | 信越化学工業株式会社 | ペリクル、ペリクル付露光原版、半導体装置の製造方法、液晶表示板の製造方法、露光原版の再生方法及び剥離残渣低減方法 |
US20220214612A1 (en) * | 2019-04-16 | 2022-07-07 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Agglutinant for Pellicle, Pellicle, Exposure Original Plate with Pellicle, Method for Producing Semiconductor Device, Method for Producing Liquid Crystal Display Board, Method for Regenerating Exposure Original Plate, and Peeling Residue Reduction Method |
EP3958060A4 (en) * | 2019-04-16 | 2023-07-12 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | FILM, ORIGINAL EXPOSURE PLATE WITH FILM, METHOD FOR PRODUCING SEMICONDUCTOR DEVICE, METHOD FOR PRODUCING LIQUID CRYSTAL DISPLAY PANEL, METHOD FOR RECYCLING ORIGINAL EXPOSURE PLATES, AND METHOD FOR RELEASE RESIDUE REDUCTION |
WO2023149347A1 (ja) * | 2022-02-04 | 2023-08-10 | 三井化学株式会社 | ペリクル、露光原版、及び露光装置、並びにペリクルの作製方法、及びマスク用粘着剤層の試験方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5484785B2 (ja) | 2014-05-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5484785B2 (ja) | ペリクル用粘着材組成物 | |
JP5319500B2 (ja) | ペリクル | |
JP5785489B2 (ja) | ペリクル | |
TWI740799B (zh) | 附有黏著劑層的防塵薄膜框架、防塵薄膜組件、附有防塵薄膜組件的曝光原版、曝光方法、半導體裝置的製造方法、及液晶顯示板的製造方法 | |
JP5639438B2 (ja) | 感温性粘着剤 | |
JP6105188B2 (ja) | ペリクル | |
CN113861928A (zh) | 一种具有抗静电效果的uv减粘胶及其减粘膜的制备方法 | |
JP5319501B2 (ja) | ペリクル | |
KR101861931B1 (ko) | 펠리클 | |
JP5756744B2 (ja) | ペリクル用粘着剤組成物 | |
JP2020160466A (ja) | ペリクル | |
WO2023149347A1 (ja) | ペリクル、露光原版、及び露光装置、並びにペリクルの作製方法、及びマスク用粘着剤層の試験方法 | |
JP2005023114A (ja) | 感圧型両面接着テープ又はシート | |
JP7274636B2 (ja) | ペリクル | |
JP6350845B1 (ja) | 粘着剤組成物、粘着シート、及び粘着剤の製造方法 | |
JP2017090718A (ja) | ペリクル | |
WO2023149343A1 (ja) | ペリクル、露光原版、及び露光装置、並びにペリクルの作製方法、及びマスク用粘着剤層の試験方法 | |
WO2023038139A1 (ja) | ペリクル、露光原版、露光装置、及びペリクルの製造方法 | |
JP2005023115A (ja) | 感圧型両面接着テープ又はシート | |
JP2022107295A (ja) | ペリクル | |
JP2002053820A (ja) | 硬化性粘着材料、それを用いて作製した硬化性粘着テープ・シート及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120517 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130722 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130730 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20130902 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140218 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140219 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5484785 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |