JP2015199776A - ペリクル用粘着剤及びこれを用いたペリクル - Google Patents
ペリクル用粘着剤及びこれを用いたペリクル Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015199776A JP2015199776A JP2014077531A JP2014077531A JP2015199776A JP 2015199776 A JP2015199776 A JP 2015199776A JP 2014077531 A JP2014077531 A JP 2014077531A JP 2014077531 A JP2014077531 A JP 2014077531A JP 2015199776 A JP2015199776 A JP 2015199776A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pellicle
- adhesive
- pressure
- sensitive adhesive
- glass substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/62—Pellicles, e.g. pellicle assemblies, e.g. having membrane on support frame; Preparation thereof
- G03F1/64—Pellicles, e.g. pellicle assemblies, e.g. having membrane on support frame; Preparation thereof characterised by the frames, e.g. structure or material, including bonding means therefor
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
- C09J11/00—Features of adhesives not provided for in group C09J9/00, e.g. additives
- C09J11/02—Non-macromolecular additives
- C09J11/04—Non-macromolecular additives inorganic
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09K—MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
- C09K11/00—Luminescent, e.g. electroluminescent, chemiluminescent materials
- C09K11/06—Luminescent, e.g. electroluminescent, chemiluminescent materials containing organic luminescent materials
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/62—Pellicles, e.g. pellicle assemblies, e.g. having membrane on support frame; Preparation thereof
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09K—MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
- C09K2211/00—Chemical nature of organic luminescent or tenebrescent compounds
- C09K2211/10—Non-macromolecular compounds
- C09K2211/1003—Carbocyclic compounds
- C09K2211/1011—Condensed systems
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09K—MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
- C09K2211/00—Chemical nature of organic luminescent or tenebrescent compounds
- C09K2211/10—Non-macromolecular compounds
- C09K2211/1018—Heterocyclic compounds
- C09K2211/1025—Heterocyclic compounds characterised by ligands
- C09K2211/1029—Heterocyclic compounds characterised by ligands containing one nitrogen atom as the heteroatom
- C09K2211/1033—Heterocyclic compounds characterised by ligands containing one nitrogen atom as the heteroatom with oxygen
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
Abstract
Description
<実施例1>
実施例1では、先ず、アルミ合金製のペリクルフレーム12(外形サイズ149mm×122mm×高さ5.8mm、肉厚2mm)をクリーンルームに搬入し、中性洗剤と純水により、十分に洗浄し、乾燥させた。蛍光材料を含有した粘着剤については、シリコーン粘着剤X−40−3122(信越化学工業株式会社製シリコーン粘着剤:製品名)100質量部に、トルエンで2質量%になるように溶解したUvitex−OB(チバ・ガイギー社製:製品名)の溶液を1質量部添加し混合して、粘着剤中に含有する蛍光材料の濃度を0.02質量%となるように調製した。
実施例2では、粘着剤としてアクリル粘着剤SK−1425(綜研化学株式会社製アクリル粘着剤:製品名)100質量部に対して、蛍光材料としてトルエンで2質量%になるように溶解したUvitex−OBの溶液を1質量部添加し混合して、粘着剤中に含有する蛍光材料の濃度を0.02質量%となるように調整した。その後、この調製した粘着剤を用いた以外は、実施例1と同様の方法でペリクル1を作製した。
比較例1では、粘着剤としてX−40−3122を使用し、蛍光材料を添加しない粘着剤を調製した。その後、この調製した粘着剤を用いた以外は、実施例1と同様の方法でペリクル1を作製した。
比較例2では、粘着剤としてSK−1425を使用し、蛍光材料を添加しない粘着剤を調製した。その後、この調製した粘着剤を用いた以外は、実施例2と同様の方法でペリクル1を作製した。
照度が10ルクス以下の暗室内で、照度が40万ルクスの集光ライト(山田光学工業株式会社製)をペリクル1が貼り付けられたガラス基板の側面から粘着剤の貼り付け部分に照射し、粘着剤とガラス基板の貼り付け部分を目視にて確認した。
照度が10ルクス以下の暗室内で、340nmの近紫外線を発光するライトをペリクル1が貼り付けられたガラス基板の側面から粘着剤の貼り付け部分に照射し、粘着剤とガラス基板の貼り付け部分を目視にて確認した。なお、ペリクル粘着剤とガラス基板の貼り付け状態の差を確認するため、貼り付け方法を意図的に変えて、貼り付け状態が良好なものと不十分なもの(隙間のあるもの)について確認を行った。その結果、次の表1のような評価となった。
「○」は、貼り付け良好品では、粘着剤が蛍光を発し、貼り付き状態が良好であること、貼り付け不十分品では、張付き部分に隙間部分があることが確認できたことを示す。
「×」は、粘着剤からの反射光、屈折光、ガラス基板からの反射光で貼り付き状態が確認できなかったことを示す。
「−」は、紫外線を照射しても蛍光しないために、貼り付き状態が確認できなかったことを示す。
11 ペリクル膜
12 ペリクルフレーム
13 蛍光材料を含有した粘着剤層
14 離型層(セパレータ)
Claims (6)
- 少なくともペリクル膜とこのペリクル膜が貼り付けられたペリクルフレームとで構成されるペリクルをガラス基板に貼り付けるためのペリクル用粘着剤であって、該粘着剤が蛍光材料を含有することを特徴とするペリクル用粘着剤。
- 前記蛍光材料の濃度は、0.01質量%以上1.0質量%未満であることを特徴とする請求項1に記載のペリクル用粘着剤。
- 前記蛍光材料は、紫外線の下で蛍光を発する材料であることを特徴とする請求項1又は2に記載のペリクル用粘着剤。
- 前記蛍光材料は、オキサゾール系の材料であることを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載のペリクル用粘着剤。
- 前記粘着剤は、シリコーン系粘着剤又はアクリル系粘着剤であることを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載のペリクル用粘着剤。
- 前記請求項1〜5の何れかに記載のペリクル用粘着剤を用いたことを特徴とするペリクル。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014077531A JP6150300B2 (ja) | 2014-04-04 | 2014-04-04 | ペリクルの貼り付け部確認方法 |
KR1020150025175A KR102261472B1 (ko) | 2014-04-04 | 2015-02-23 | 펠리클용 점착제 및 이것을 사용한 펠리클 |
TW104105943A TWI596424B (zh) | 2014-04-04 | 2015-02-25 | 用於防塵薄膜組件的凝集劑及含有其的防塵薄膜組件 |
CN201510090684.3A CN104974682B (zh) | 2014-04-04 | 2015-02-28 | 防尘薄膜组件用粘着剂以及使用其的防尘薄膜组件 |
EP15157728.5A EP2927745B1 (en) | 2014-04-04 | 2015-03-05 | An agglutinant for pellicle and a pellicle including the same |
US14/658,672 US9581896B2 (en) | 2014-04-04 | 2015-03-16 | Agglutinant for pellicle and a pellicle including the same |
HK15111597.7A HK1210801A1 (en) | 2014-04-04 | 2015-11-25 | An adhesive for use in a pellicle and a pellicle using the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014077531A JP6150300B2 (ja) | 2014-04-04 | 2014-04-04 | ペリクルの貼り付け部確認方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015199776A true JP2015199776A (ja) | 2015-11-12 |
JP6150300B2 JP6150300B2 (ja) | 2017-06-21 |
Family
ID=52633119
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014077531A Active JP6150300B2 (ja) | 2014-04-04 | 2014-04-04 | ペリクルの貼り付け部確認方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9581896B2 (ja) |
EP (1) | EP2927745B1 (ja) |
JP (1) | JP6150300B2 (ja) |
KR (1) | KR102261472B1 (ja) |
CN (1) | CN104974682B (ja) |
HK (1) | HK1210801A1 (ja) |
TW (1) | TWI596424B (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019126877A (ja) * | 2018-01-24 | 2019-08-01 | 株式会社ディスコ | 研削ホイール及び研削ホイールの製造方法 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6308623B2 (ja) | 2014-12-25 | 2018-04-11 | 信越化学工業株式会社 | ペリクル用粘着剤、それを用いたペリクル、及びペリクルの評価方法 |
JP6861596B2 (ja) * | 2017-08-07 | 2021-04-21 | 信越化学工業株式会社 | ペリクルフレーム及びペリクル |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05331438A (ja) * | 1992-05-30 | 1993-12-14 | Sony Corp | 蛍光性接着剤及び接着剤の塗布状態検査方法、検査装置 |
JP2007010786A (ja) * | 2005-06-28 | 2007-01-18 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 大型ペリクルの製造方法 |
JP2010002895A (ja) * | 2008-05-19 | 2010-01-07 | Asahi Kasei E-Materials Corp | ペリクル用粘着材組成物 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2387512A (en) * | 1942-02-10 | 1945-10-23 | Du Pont | Luminescent adhesive tape |
JPS58219023A (ja) | 1982-06-15 | 1983-12-20 | Daicel Chem Ind Ltd | 樹脂薄膜の製造方法 |
JPS6083032A (ja) | 1983-10-13 | 1985-05-11 | Asahi Chem Ind Co Ltd | 光透過性に優れたフオトマスク用防塵カバ− |
JPS6327707A (ja) | 1986-07-21 | 1988-02-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 双曲面鏡検査装置 |
EP0893736A4 (en) * | 1997-02-10 | 2000-06-28 | Mitsui Chemicals Inc | METHOD FOR APPLYING A MEMBRANE COVER ON AN OBJECT TO BE PROTECTED; OBJECTS OBTAINED ACCORDING TO THIS PROCESS; MEMBRANE FOR UV RAYS AND PACKAGING INTENDED FOR THESE MEMBRANES |
US8158517B2 (en) * | 2004-06-28 | 2012-04-17 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for manufacturing wiring substrate, thin film transistor, display device and television device |
CN102511019B (zh) * | 2009-10-07 | 2014-08-13 | 三井化学株式会社 | 薄膜及其掩模粘接剂 |
KR101186893B1 (ko) * | 2010-05-28 | 2012-10-05 | 엘지이노텍 주식회사 | 대면적 포토마스크 및 그의 제조방법 |
JP5478463B2 (ja) | 2010-11-17 | 2014-04-23 | 信越化学工業株式会社 | リソグラフィー用ペリクル |
US8681310B2 (en) * | 2010-12-02 | 2014-03-25 | Globalfoundries Inc. | Mechanical fixture of pellicle to lithographic photomask |
US9310673B2 (en) * | 2011-05-18 | 2016-04-12 | Asahi Kasei E-Materials Corporation | Pellicle, pressure-sensitive adhesive for pellicle, photomask with pellicle, and method for manufacturing semiconductor device |
JP5749680B2 (ja) * | 2012-04-26 | 2015-07-15 | 信越化学工業株式会社 | ペリクル |
KR101699635B1 (ko) * | 2012-08-02 | 2017-01-24 | 미쓰이 가가쿠 가부시키가이샤 | 펠리클 |
-
2014
- 2014-04-04 JP JP2014077531A patent/JP6150300B2/ja active Active
-
2015
- 2015-02-23 KR KR1020150025175A patent/KR102261472B1/ko active IP Right Grant
- 2015-02-25 TW TW104105943A patent/TWI596424B/zh active
- 2015-02-28 CN CN201510090684.3A patent/CN104974682B/zh active Active
- 2015-03-05 EP EP15157728.5A patent/EP2927745B1/en active Active
- 2015-03-16 US US14/658,672 patent/US9581896B2/en active Active
- 2015-11-25 HK HK15111597.7A patent/HK1210801A1/xx not_active IP Right Cessation
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05331438A (ja) * | 1992-05-30 | 1993-12-14 | Sony Corp | 蛍光性接着剤及び接着剤の塗布状態検査方法、検査装置 |
JP2007010786A (ja) * | 2005-06-28 | 2007-01-18 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 大型ペリクルの製造方法 |
JP2010002895A (ja) * | 2008-05-19 | 2010-01-07 | Asahi Kasei E-Materials Corp | ペリクル用粘着材組成物 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019126877A (ja) * | 2018-01-24 | 2019-08-01 | 株式会社ディスコ | 研削ホイール及び研削ホイールの製造方法 |
JP7114167B2 (ja) | 2018-01-24 | 2022-08-08 | 株式会社ディスコ | 研削ホイール及び研削ホイールの製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US9581896B2 (en) | 2017-02-28 |
CN104974682B (zh) | 2019-03-12 |
HK1210801A1 (en) | 2016-05-06 |
EP2927745A2 (en) | 2015-10-07 |
JP6150300B2 (ja) | 2017-06-21 |
KR20150115625A (ko) | 2015-10-14 |
EP2927745B1 (en) | 2020-04-22 |
TWI596424B (zh) | 2017-08-21 |
TW201539114A (zh) | 2015-10-16 |
EP2927745A3 (en) | 2016-07-13 |
US20150286134A1 (en) | 2015-10-08 |
KR102261472B1 (ko) | 2021-06-07 |
CN104974682A (zh) | 2015-10-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI729175B (zh) | 著色組成物、彩色濾光片、圖案形成方法、固體攝像元件以及圖像顯示裝置 | |
JP7090628B2 (ja) | 着色組成物、硬化膜、パターン形成方法、カラーフィルタ、固体撮像素子及び画像表示装置 | |
KR102317381B1 (ko) | 펠리클 프레임 | |
TWI739691B (zh) | 防塵薄膜組件、附有防塵薄膜組件的曝光原版、半導體裝置的製造方法、液晶顯示板的製造方法、曝光原版的再生方法及剝離殘渣降低方法 | |
CN102652284A (zh) | 黑色可固化组合物、遮光彩色滤光片、遮光膜及其制备方法,晶片级透镜,以及固态成像器件 | |
JP2011253176A (ja) | ペリクル用粘着剤 | |
JP6669464B2 (ja) | Euv用ペリクル | |
JP6150300B2 (ja) | ペリクルの貼り付け部確認方法 | |
CN102736400B (zh) | 防尘薄膜、其制造方法以及用该膜贴付的防尘薄膜组件 | |
JP2011076042A (ja) | ペリクル | |
JP6061828B2 (ja) | 樹脂組成物、赤外線透過フィルタおよびその製造方法ならびに赤外線センサ | |
TW202020060A (zh) | 近紅外線吸收性感光性組成物、硬化膜、濾光器、圖案形成方法、積層體、固體攝像元件、圖像顯示裝置及紅外線感測器 | |
KR102322399B1 (ko) | 펠리클 | |
JPWO2019221012A1 (ja) | 感光性フィルム及び永久マスクレジストの形成方法 | |
TWI720100B (zh) | 感放射線性組成物、膜、彩色濾光片、遮光膜及固體攝像元件 | |
KR101930723B1 (ko) | 펠리클 및 그 제조 방법 | |
JP6308623B2 (ja) | ペリクル用粘着剤、それを用いたペリクル、及びペリクルの評価方法 | |
WO2023032565A1 (ja) | 感光性組成物、転写フィルム、硬化膜及びパターン形成方法 | |
KR102028579B1 (ko) | 착색 감광성 수지 조성물 | |
JP2022184080A (ja) | 転写フィルム、表示パネル用基材、表示パネル用基材の製造方法及び表示パネル | |
JP2014215572A (ja) | ペリクル |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160526 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170213 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170410 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170502 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170517 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170517 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6150300 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |