JP2009544486A - リソグラフ印刷プレート基板用のストリップ - Google Patents
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Abstract
Description
ストリップのミクロ結晶表面の表面領域のマッピング法(Mapping-Verfahren)による二次元マイクロプローブ解析において、測定されたミクロ結晶表面層の酸素のX線発光スペクトルのKα1線のスペクトル領域で、3を越える強度比(Intensitaetsverhaeltnis)I/Ibulk(avg)を有する表面部分が、10%未満、好ましくは7%未満であることによって達成され、
ここで、前記二次元マイクロプローブ解析の間で、電子ビーム用のステップサイズ(Schrittweite)16.75μmのために、励起電圧15kV、ビーム電流50nA、及びビーム断面1μmを使用することとする。
アルミニウムストリップが、合金成分の以下の比率(重量%で表示):
0.05% ≦ Si ≦ 0.1 %,
0.4 % ≦ Fe ≦ 1 %,
Cu ≦ 0.04%,
Mn ≦ 0.3 %,
0.05% ≦ Mg ≦ 0.3 %,
Ti ≦ 0.04%,
それぞれ最大0.005%であって、合計で最大0.15%の不可避の不純物、及び
残余Al
を有するアルミニウム合金からなることにおいて、提供することができる。
ミクロ結晶表面層の二次元マイクロプローブ解析をマッピング法に従って実施して、そして、酸素のX線発光スペクトルのKα1線のスペクトル領域で測定された強度分布を使用して、ストリップ表面の品質を評価する、前記方法により達成される。
Claims (9)
- リソグラフ印刷プレート基板の製造用の、アルミニウム又はアルミニウム合金からなるストリップであって、
ここで、前記ストリップは、熱間及び/又は冷間圧延パスの結果、少なくともある程度までミクロ結晶表面層を有しているものとし、
前記ストリップにおいて、
前記ストリップのミクロ結晶表面の表面領域のマッピング法による二次元マイクロプローブ解析において、測定されたミクロ結晶表面層の酸素のX線発光スペクトルのKα1線のスペクトル領域で、3を越える強度比I/Ibulk(avg)を有する表面部分が、10%未満、好ましくは7%未満であることを特徴とし、
ここで、前記二次元マイクロプローブ解析の間に、電子ビーム用のステップサイズ16.75μmのために、励起電圧15kV、ビーム電流50nA、及びビーム断面1μmを使用することとする、
前記ストリップ。 - ストリップの表面部分のマッピング法による二次元マイクロプローブ解析において、測定されたミクロ結晶表面層の酸素のX線発光スペクトルのKα1線のスペクトル領域で、4を越える強度比I/Ibulk(avg)を有する表面部分が、3%未満、好ましくは2%未満であることを特徴とする、請求項1に記載のストリップ。
- タイプAA1050、AA1100、又はAA3103のアルミニウム合金からなることを特徴とする、請求項1又は2に記載のストリップ。
- アルミニウムストリップが、合金成分の以下の割合(重量%で表示):
0.05% ≦ Si ≦ 0.1 %,
0.4 % ≦ Fe ≦ 1 %,
Cu ≦ 0.04%,
Mn ≦ 0.3 %,
0.05% ≦ Mg ≦ 0.3 %,
Ti ≦ 0.04%,
それぞれ最大0.005%であって、合計で最大0.15%の不可避の不純物、及び
残余Al
を有するアルミニウム合金からなることを特徴とする、請求項1又は2に記載のストリップ。 - ミクロ結晶表面層の二次元マイクロプローブ解析をマッピング法に従って実施し、そして、酸素のX線発光スペクトルのKα1線のスペクトル領域で測定された強度分布を使用して、ストリップ表面の品質を評価することを特徴とする、アルミニウム又はアルミニウム合金のストリップ(特に、請求項1〜4に記載のストリップ)の表面の特性決定方法。
- 強度比I/Ibulk(avg)のための特定値を有する表面部分を、表面層の測定された強度分布から決定することを特徴とする、請求項5に記載の方法。
- 電子ビームの、励起電圧5〜20kV(好ましくは、15kV)、ビーム電流10〜100nA(好ましくは、50nA)、及び、ビーム断面0.2〜1.5μm(好ましくは、1μm)を使用することを特徴とする、請求項5又は6に記載の方法。
- 測定点あたりの測定期間0.3〜1秒、好ましくは、0.6秒を選択することを特徴とする、請求項5〜7のいずれか一項に記載の方法。
- 6nmの格子面間隔2dを有する結晶(好ましくは、LDE1H結晶)をもつ線形集束スペクトロメーターを使用することを特徴とする、請求項5〜8のいずれか一項に記載の方法。
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