JP2009293992A - 形状測定装置及び形状測定方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】移動ベクトル算出部は、スタイラス32が測定面5aを走査中、前記スタイラス変位ベクトルと、スタイラス32と測定面5aとの摩擦力によって発生するスタイラス変位ベクトルDの方向変化角度θとに基づいて、プローブの移動量と移動方向とを示す移動ベクトルMを算出する。スタイラス変位ベクトルDはプローブ6に対するスタイラス32の位置の変位量と変位方向とを含むベクトルである。移動ベクトルMに従ってプローブ6が移動するようにXYステージ7の移動を制御する。
【選択図】図1
Description
図1は本発明の実施の形態1の三次元形状測定装置1(以下、単に形状測定装置という。)の全体構成を示す。この形状測定装置1は、三次元計測器2と、この三次元計測器2の制御装置3と、コンピュータで構成される演算装置4とに大別できる。
実施の形態2ではスタイラス変位ベクトルDの絶対値が一定になるような制御を追加している。以下、図7及び図8を参照して説明する。実施の形態1と同様にサーボオン(符号i)の後、プローブ6を移動ベクトルM1でほぼ距離Cだけ最初のプローブ位置Pまで動かす(図8のステップS8−1〜S8−3)。
実施の形態3では、スタイラス32と測定面5aの動摩擦係数μが不明である場合や、より正確に動摩擦係数μを求めたいときに、動摩擦係数μを実測する測定手順を説明する。以下の測定手順で得られた動摩擦係数μを使用した後、実施の形態1,2で説明したように移動ベクトルMに従ってプローブ6を移動させて測定面5aの走査測定を実行する。つまり、本実施形態で説明する動摩擦係数μの実測は走査測定の前に実行される。本実施形態のように動摩擦係数μを実測する場合、演算装置4は動摩擦計数記憶部26を備えない構成となる。
2 三次元計測器
3 制御装置
4 演算装置
5 測定物
5a 測定面
6 プローブ
7 XYステージ
8 Zステージ
11 X座標検出部
12 Y座標検出部
13 Z座標検出部
14 傾き検出部
15 フォーカス誤差信号検出部
17 X軸駆動部
18 Y軸駆動部
19
21 測定点位置演算部
22 誤差演算出力部
23 スタイラス変位ベクトル検出部
23a X成分検出部
23b Y成分検出部
23c Y成分検出部
24 移動ベクトル算出部
25 移動指示部
26 動摩擦係数記憶部
27 サーボ情報記憶部
28 走査情報記憶部
31A,31B 可撓性部材
32 スタイラス
33 スタイラス軸
34 ミラー
35 揺動部材
36 支点部材
36a 支点
37 載置台
38,39 磁石
41 発振周波数安定化レーザ
42 X参照ミラー
43y,43z レーザ光
44 Y参照ミラー
45〜47
47 フォーカス及び傾き検出部
48 半導体レーザ
49 レーザ光
50 コリメートレンズ
51 絞り
52 ビームスプリッタ
53 ダイクロックミラー
54 偏光プリズム
55 ダイクロックミラー
56 レンズ
59 受光素子
61 一体化素子
62 レーザ光
63 回折格子
64 コリメートレンズ
66 プリンタ
67 表示部
68 X軸モータ
69 Y軸モータ
Claims (14)
- スタイラスを測定面からの測定力によって変位可能に支持するプローブと、
前記スタイラスが前記測定面を走査するように前記プローブと前記測定面の相対位置を移動させる移動部と、
前記プローブに対する前記スタイラスの位置の変位量と変位方向とを含むスタイラス変位ベクトルを検出するスタイラス変位ベクトル検出部と、
前記スタイラスが前記測定面を走査中、前記スタイラス変位ベクトルと、前記スタイラスと前記測定面との摩擦力によって発生する前記スタイラス変位ベクトルの方向変化角度とに基づいて、前記プローブの移動量と移動方向とを示す移動ベクトルを算出する移動ベクトル算出部と、
前記移動ベクトルに従って前記プローブが移動するように前記移動部の移動を制御する移動制御部と
を備える形状測定装置。 - 前記移動ベクトル算出部は、前記スタイラス変位ベクトルを前記方向変化角度に90度を加えた角度だけ回転させたベクトルとして前記移動ベクトルを算出する、請求項1に記載の形状測定装置。
- 前記移動ベクトル算出部は、
前記スタイラス変位ベクトルを前記方向変化角度に90度を加えた角度だけ回転させた第1のベクトルを算出し、
前記スタイラス変位ベクトルを前記方向変化角度だけ回転させて得られる前記測定面に対してほぼ直角方向を向いたベクトルに、予め定められた係数と前記スタイラス変位ベクトルの大きさから予め定められた所定値を減じた差とを乗じた第2のベクトルを算出し、かつ
前記第1のベクトルと前記第2のベクトルの和として前記移動ベクトルを算出する、請求項1に記載の形状測定装置。 - 前記方向変化角度は前記スタイラスと前記測定面との動摩擦係数の逆正接である、請求項2又は請求項3に記載の形状測定装置。
- 前記移動ベクトル算出部は、前記スタイラスが測定面上の経路を第1の方向に走査した時の第1の前記スタイラス変位ベクトルと、前記経路と同一経路を前記第1の方向とは逆向きの第2の方向に走査した時の第2の前記スタイラス変位ベクトルとの差に基づいて、前記方向変化角度を算出する、請求項2又は請求項3に記載の形状測定装置。
- 前記移動制御部は、前記スタイラスによる前記測定面の走査開始時に、前記スタイラスが前記測定面に接触し、かつ前記スタイラス変位ベクトルの大きさが予め定められた一定値となる初期位置まで前記プローブを移動させた後、前記初期位置における前記スタイラス変位ベクトルに対して直角な方向に予め定められた一定距離だけ前記プローブを移動させる、請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の形状測定装置。
- 前記初期位置からの前記予め定められた一定距離は、前記初期位置まで前記プローブが移動する際の前記一定値と同一値に設定される、請求項6に記載の形状測定装置。
- 測定面からの測定力によってプローブに対して変位可能に支持されたスタイラスが前記測定面を走査するように前記プローブと前記測定面の相対位置を移動させ、
前記プローブに対する前記スタイラスの位置の変位量と変位方向とを含むスタイラス変位ベクトルを算出し、
前記スタイラスが前記測定面を走査中、前記スタイラス変位ベクトルと、前記スタイラスと前記測定面との摩擦力によって発生する前記スタイラス変位ベクトルの方向変化角度とに基づいて、前記プローブの移動量と移動方向とを示す移動ベクトルを算出し、
前記移動ベクトルに従って前記プローブが移動するように前記相対位置を移動させる、
形状測定方法。 - 前記移動ベクトルは、前記スタイラス変位ベクトルを前記方向変化角度に90度を加えた角度だけ回転させたベクトルである、請求項8に記載の形状測定方法。
- 前記スタイラス変位ベクトルを前記方向変化角度に90度を加えた角度だけ回転させた第1のベクトルを算出し、
前記スタイラス変位ベクトルを前記方向変化角度だけ回転させて得られる前記測定面に対してほぼ直角方向を向いたベクトルに、予め定められた係数と前記スタイラス変位ベクトルの大きさから予め定められた所定値を減じた差とを乗じた第2のベクトルを算出し、 前記第1のベクトルと前記第2のベクトルの和として前記移動ベクトルを算出する、請求項8に記載の形状測定方法。 - 前記方向変化角度は前記スタイラスと前記測定面との動摩擦係数の逆正接である、請求項9又は請求項10に記載の形状測定方法。
- 前記スタイラスが測定面上の経路を第1の方向に走査した時の第1の前記スタイラス変位ベクトルと、前記経路と同一経路を前記第1の方向とは逆向きの第2の方向に走査した時の第2の前記スタイラス変位ベクトルとの差に基づいて、前記方向変化角度を算出する、請求項9又は請求項10に記載の形状測定方法。
- 前記スタイラスによる前記測定面の走査開始時に、前記スタイラスが前記測定面に接触し、かつ前記スタイラス変位ベクトルの大きさが予め定められた一定値となる初期位置まで前記プローブを移動させた後、前記初期位置における前記スタイラス変位ベクトルに対して直角な方向に予め定められた一定距離だけ前記プローブを移動させる、請求項8から請求項12のいずれか1項に記載の形状測定方法。
- 前記初期位置から前記予め定められた一定距離は、前記初期位置まで前記プローブが移動する際の前記一定値と同一値に設定される、請求項13に記載の形状測定方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008145945A JP4611403B2 (ja) | 2008-06-03 | 2008-06-03 | 形状測定装置及び形状測定方法 |
US12/476,518 US8006402B2 (en) | 2008-06-03 | 2009-06-02 | Shape measuring apparatus and shape measuring method |
EP09161712.6A EP2131141B1 (en) | 2008-06-03 | 2009-06-02 | Shape measuring apparatus and shape measuring method |
CN2009101453239A CN101598535B (zh) | 2008-06-03 | 2009-06-03 | 形状测定装置和形状测定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008145945A JP4611403B2 (ja) | 2008-06-03 | 2008-06-03 | 形状測定装置及び形状測定方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
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---|---|---|---|
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---|---|
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CN (1) | CN101598535B (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007500849A (ja) * | 2003-05-28 | 2007-01-18 | カール ツァイス インドゥストリエレ メステヒニク ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 座標測定装置、方法、コンピュータプログラムプロダクト |
EP2527782A2 (en) | 2011-05-27 | 2012-11-28 | Mitutoyo Corporation | Cross-sectional profile measuring method |
JP2012237686A (ja) * | 2011-05-12 | 2012-12-06 | Canon Inc | 測定装置 |
JP2013242292A (ja) * | 2012-04-24 | 2013-12-05 | Fuji Seiki Co Ltd | レンズ鏡筒用カム筒のカム溝測定方法及び製造方法 |
JP2015531853A (ja) * | 2012-04-18 | 2015-11-05 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニーRenishaw Public Limited Company | 工作機械を使用してフィーチャを発見する方法 |
CN106989712A (zh) * | 2017-06-06 | 2017-07-28 | 长春晟博光学技术开发有限公司 | 一种高精度自复位探针式位移测量装置及测量方法 |
US9726481B2 (en) | 2012-04-18 | 2017-08-08 | Renishaw Plc | Method of analogue measurement scanning on a machine tool |
US10037017B2 (en) | 2012-04-18 | 2018-07-31 | Renishaw Plc | Method of measurement on a machine tool and corresponding machine tool apparatus |
Families Citing this family (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4611403B2 (ja) * | 2008-06-03 | 2011-01-12 | パナソニック株式会社 | 形状測定装置及び形状測定方法 |
DE102009020294A1 (de) * | 2009-05-07 | 2010-11-18 | Mahr Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Messung eines Oberflächenprofils |
US8650939B2 (en) * | 2009-10-13 | 2014-02-18 | Mitutoyo Corporation | Surface texture measuring machine and a surface texture measuring method |
JP5557620B2 (ja) * | 2010-06-29 | 2014-07-23 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定装置 |
KR101330468B1 (ko) * | 2010-09-09 | 2013-11-15 | 파나소닉 주식회사 | 삼차원 형상 측정장치 |
JP5713660B2 (ja) * | 2010-12-21 | 2015-05-07 | キヤノン株式会社 | 形状測定方法 |
JP5796998B2 (ja) * | 2011-04-28 | 2015-10-21 | 株式会社トプコン | 測設点指示装置及び測量システム |
TW201341756A (zh) * | 2011-11-30 | 2013-10-16 | 尼康股份有限公司 | 形狀測定裝置、形狀測定方法、及記錄有其程式之記錄媒體 |
CN102590077A (zh) * | 2012-02-02 | 2012-07-18 | 东华大学 | 一种皮肤纺织品生物摩擦动态测量装置 |
CN102788560A (zh) * | 2012-07-24 | 2012-11-21 | 清华大学 | 一种用于检测木工pcd刀具形状的非接触式测量系统 |
JP5834171B2 (ja) * | 2012-09-12 | 2015-12-16 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 形状測定装置 |
JP5747180B2 (ja) * | 2012-12-06 | 2015-07-08 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 形状測定方法および形状測定装置 |
JP6436707B2 (ja) * | 2014-09-26 | 2018-12-12 | キヤノン株式会社 | 算出方法、計測装置、プログラム及び情報処理装置 |
CN105973153B (zh) * | 2016-06-16 | 2018-08-17 | 浙江万克新能源科技有限公司 | 一种圆柱体电池检测平台 |
JP6680643B2 (ja) * | 2016-08-03 | 2020-04-15 | 株式会社Soken | 面圧計測装置 |
JP7272743B2 (ja) * | 2017-09-05 | 2023-05-12 | 株式会社ミツトヨ | 表面性状測定装置の制御方法 |
JP2019066418A (ja) * | 2017-10-04 | 2019-04-25 | 株式会社ミツトヨ | 測定装置および測定システム |
CN108279344A (zh) * | 2018-01-30 | 2018-07-13 | 京东方科技集团股份有限公司 | 用于显示模组的静电测试装置 |
CN108692644B (zh) * | 2018-03-26 | 2019-09-27 | 华中科技大学 | 一种复杂曲面三坐标测量装置及误差补偿方法 |
CN109084722B (zh) * | 2018-06-20 | 2019-08-13 | 华中科技大学 | 一种自适应采样的复杂曲面接触式测量方法 |
EP4001827A1 (de) * | 2020-11-11 | 2022-05-25 | Klingelnberg GmbH | Verfahren zum vermessen eines werkstücks |
CN116952099B (zh) * | 2023-09-20 | 2023-12-01 | 常州全瑞机电科技有限公司 | 一种齿轮检测装置及检测方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03251346A (ja) * | 1990-02-28 | 1991-11-08 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 倣い制御装置 |
JP2007500849A (ja) * | 2003-05-28 | 2007-01-18 | カール ツァイス インドゥストリエレ メステヒニク ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 座標測定装置、方法、コンピュータプログラムプロダクト |
JP2008101991A (ja) * | 2006-10-18 | 2008-05-01 | Olympus Corp | 形状測定機 |
JP2008268118A (ja) * | 2007-04-24 | 2008-11-06 | Makino Milling Mach Co Ltd | 形状測定方法及び装置 |
JP2009025024A (ja) * | 2007-07-17 | 2009-02-05 | Canon Inc | 形状測定装置および方法 |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2858071A (en) | 1956-01-16 | 1958-10-28 | Stokes John Arthur | Arrangement for computing the total deflection of a stylus |
JPS5733301A (en) | 1980-08-08 | 1982-02-23 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | Copying probe for coordinate measuring machine |
JPH03101322A (ja) | 1989-09-13 | 1991-04-26 | Nec Corp | 同一セル内移動無線通話方式 |
GB9111382D0 (en) | 1991-05-25 | 1991-07-17 | Renishaw Metrology Ltd | Improvements in measuring probes |
JPH10170243A (ja) * | 1996-12-11 | 1998-06-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 形状測定装置及び方法 |
JP3647378B2 (ja) * | 2001-03-02 | 2005-05-11 | キヤノン株式会社 | マルチプローブを用いた形状測定装置及び測定方法 |
JP3827549B2 (ja) * | 2001-10-04 | 2006-09-27 | 株式会社ミツトヨ | プローブの校正方法および校正プログラム |
JP3818928B2 (ja) | 2002-02-14 | 2006-09-06 | 株式会社ミツトヨ | 表面形状測定方法および表面形状測定装置 |
WO2004106854A1 (de) | 2003-05-28 | 2004-12-09 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren zur kalibrierung eines tasters |
US7376261B2 (en) * | 2003-11-25 | 2008-05-20 | Mitutoyo Corporation | Surface scan measuring device and method of forming compensation table for scanning probe |
JP4436665B2 (ja) * | 2003-12-24 | 2010-03-24 | パナソニック株式会社 | 測定用プローブ及び形状測定方法 |
JP4417121B2 (ja) * | 2004-01-19 | 2010-02-17 | 株式会社ミツトヨ | 被測定物の通り出し方法、及び表面性状測定装置 |
JP4782990B2 (ja) | 2004-05-31 | 2011-09-28 | 株式会社ミツトヨ | 表面倣い測定装置、表面倣い測定方法、表面倣い測定プログラムおよび記録媒体 |
JP2006003164A (ja) * | 2004-06-16 | 2006-01-05 | Fuji Photo Film Co Ltd | ロール状物の周面形状測定装置 |
JP4570437B2 (ja) * | 2004-10-20 | 2010-10-27 | 株式会社東京精密 | 表面粗さ/輪郭形状測定装置 |
GB0508395D0 (en) | 2005-04-26 | 2005-06-01 | Renishaw Plc | Method for scanning the surface of a workpiece |
EP2037211B1 (en) * | 2007-06-29 | 2017-05-10 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Surface shape measuring device, and surface shape measuring method |
JP4611403B2 (ja) * | 2008-06-03 | 2011-01-12 | パナソニック株式会社 | 形状測定装置及び形状測定方法 |
-
2008
- 2008-06-03 JP JP2008145945A patent/JP4611403B2/ja active Active
-
2009
- 2009-06-02 US US12/476,518 patent/US8006402B2/en active Active
- 2009-06-02 EP EP09161712.6A patent/EP2131141B1/en active Active
- 2009-06-03 CN CN2009101453239A patent/CN101598535B/zh active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03251346A (ja) * | 1990-02-28 | 1991-11-08 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 倣い制御装置 |
JP2007500849A (ja) * | 2003-05-28 | 2007-01-18 | カール ツァイス インドゥストリエレ メステヒニク ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 座標測定装置、方法、コンピュータプログラムプロダクト |
JP2008101991A (ja) * | 2006-10-18 | 2008-05-01 | Olympus Corp | 形状測定機 |
JP2008268118A (ja) * | 2007-04-24 | 2008-11-06 | Makino Milling Mach Co Ltd | 形状測定方法及び装置 |
JP2009025024A (ja) * | 2007-07-17 | 2009-02-05 | Canon Inc | 形状測定装置および方法 |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4845734B2 (ja) * | 2003-05-28 | 2011-12-28 | カール・ツアイス・インダストリーエレ・メステクニク・ゲーエムベーハー | 座標測定装置、方法、コンピュータプログラム並びにデータ担体 |
JP2007500849A (ja) * | 2003-05-28 | 2007-01-18 | カール ツァイス インドゥストリエレ メステヒニク ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 座標測定装置、方法、コンピュータプログラムプロダクト |
JP2012237686A (ja) * | 2011-05-12 | 2012-12-06 | Canon Inc | 測定装置 |
US9739607B2 (en) | 2011-05-27 | 2017-08-22 | Mitutoyo Corporation | Cross-sectional profile measuring method |
EP2527782A2 (en) | 2011-05-27 | 2012-11-28 | Mitutoyo Corporation | Cross-sectional profile measuring method |
JP2015531853A (ja) * | 2012-04-18 | 2015-11-05 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニーRenishaw Public Limited Company | 工作機械を使用してフィーチャを発見する方法 |
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