JP4845734B2 - 座標測定装置、方法、コンピュータプログラム並びにデータ担体 - Google Patents
座標測定装置、方法、コンピュータプログラム並びにデータ担体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4845734B2 JP4845734B2 JP2006529746A JP2006529746A JP4845734B2 JP 4845734 B2 JP4845734 B2 JP 4845734B2 JP 2006529746 A JP2006529746 A JP 2006529746A JP 2006529746 A JP2006529746 A JP 2006529746A JP 4845734 B2 JP4845734 B2 JP 4845734B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- contact detection
- contact
- deflection
- coordinate measuring
- measuring device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 31
- 238000004590 computer program Methods 0.000 title description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 138
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 50
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 39
- 230000006870 function Effects 0.000 claims description 33
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 claims description 8
- 238000013507 mapping Methods 0.000 claims description 6
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 9
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 4
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 2
- 238000010606 normalization Methods 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000004422 calculation algorithm Methods 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 238000013178 mathematical model Methods 0.000 description 1
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 1
- 230000000284 resting effect Effects 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
- G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
- G01B21/04—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness by measuring coordinates of points
- G01B21/045—Correction of measurements
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
目的関数Q2=Σvi×ni⇒0 又は
目的関数Q3=Σ(vi×ni)2⇒Min
但し、
vi=i番目の測定点での接触探知球の偏向ベクトル、
ni=i番目の測定点での測定時の(較正基準の)部材表面上での接触探知球の接触点での法線ベクトル
である。
目的関数Q1=Σf2 n,i⇒Min
その際、fn,iは、法線方向偏差、つまり、接触点(例えば、較正球)での、部材表面上の法線方向での偏差を示す。
図1は、本発明の方法を実行することができる座標測定装置を示す図、
図2a−2cは、リニアなガイド上の座標方向zで案内されて、別の2つの座標方向でカルダン継手を介して回転運動するように案内されている接触探知ヘッド機構の略図、
図3は、図2a−2cの接触探知ヘッドの運動機構を有する種々異なる大きさの接触探知ヘッドの単純化した略図、
図4は、較正球15の接触検知の際のベクトル比を単純化した略図、
図5は、測定力FMと接触子の偏向vとの間の角度εを示す図
である。
p=pG+A・s+p0=pG+v+p0 (1)
式(1)で用いられる記号は、以下の意味を有する:
p 座標測定装置の機器の座標系(XM,YM,ZM)で測定された測定点Hの実際の座標{XH,YH,ZH}、
pG 座標測定装置によって、ゲージ8a〜8cの読み取りによって求められた、接触探知ヘッド5の領域内の予め定められた点Iに至る迄の各測定座標{XG,YG,ZG}、
p0 接触探知ヘッド5の領域内の予め定められた点Iから、接触探知球14の休止状態での当該接触探知球14の中心点へのオフセットベクトル、
v 接触探知球14の休止位置からの当該接触探知球14の偏向ベクトル、
A 接触子行列、
s 接触探知ピン6の接触探知ピン偏向を測定する接触探知ヘッド5内のセンサの信号ベクトル{u,v,w}
である。
以下の式2から、このことが分かる:
pJ=p+rt *n (2)
この際、例えば、図2a〜2c及び図3に示された接触探知ピン5の場合に必要な接触子行列Aは、以下のように形成される:
Q1=Σf2 n,i⇒Min (3)
容易に図4を用いて明らかであるように、較正される接触探知ヘッドの場合、全ての測定点piは、i=1..n、但し、n>13が半径rGes=rk+rtの球上にあり、その際、rkは、較正球15の半径であり、rtは、接触探知球14の半径である。例えば、早機の所定時点で測定された、較正球15の球中心の位置ベクトルpkを用いて、式(3)に代入されたエラーfn,iに対して、以下のようになる:
fn,i=|pi−pk|−(rk+rt)
|pGi+p0+Asi−pk|−(rk+rt) (4)
ここで、本願で使う指標iは、ランニングインデックス(Laufindex)を示し、i=1..nのi番目の測定点を示す。
Asym=0.5(A+AT) (5)
Aanti=0.5(A−AT) (6)
ATは、ここでは、Aの転置行列である。これにより、以下の行列が得られる:
A=Asym+Aanti (8)
接触子行列のこれら両成分は:
−接触子の弾性特性と共働して、接触点(J)での部材表面に対して法線方向に位置している接触子偏向の成分を記述する対称的な接触子行列Asym、及び
−結局、接触点(J)で部材表面に対して接線方向に位置している接触子偏向の回転行列成分として形成される非対称接触子行列Aanti
である。
∫半球vtdA=(0 0 0)T (9)
を形成する。
∫半球vtdA=4π/3(−b23 b13 −b12)T (10)
較正球が十分に多数且つ半球に亘って均等に分布された、同じ力の点で接触探知される場合にも、式(9)は、近似的に成り立つ。
この条件から、非対称行列の3つの係数{b12,b13,b23}の特定用の第2の目的関数を以下のように導出することができる:
・測定条件:
較正の際、較正球で、十分多数の点が、半球に亘って均等に分布されて測定することができる:
・補償条件及び目的関数:
較正球の3つの軸を中心とする各偏向ベクトルのモーメントの和は、加算されてゼロになる必要があり、又は、(近似的に)3つの軸を中心とする各モーメントの2乗和は、最小になる必要がある。
Q3=Σ(vi×ni)2⇒Min (13)
但し、
viは、接触探知球14のi番目の偏向ベクトル、
niは、i番目の測定点を通って較正球15に至るi番目の法線ベクトル
である。
Claims (15)
- 部材上の複数の測定値を、偏向可能な接触探知ピンを備えた、測定用の接触探知ヘッドを有する座標測定装置を用いて測定するための方法において、該方法は、
前記接触探知ヘッドによって単数乃至複数の偏向信号(s)を検出するステップと、
少なくとも一部分(Aanti)が、接触点における前記接触探知ピンの偏向のうち、部材の表面に対して接線方向に位置している成分を記述する、複数のパラメータ(A)を与えるステップと、
前記座標測定装置により、前記パラメータ(A)を用いて、前記測定接触探知ヘッドによって検出された前記偏向信号(s)を前記座標測定装置の座標系(XM、YM、ZM)に変換するステップと、を含み、
前記パラメータ(A)の前記一部分(Aanti)は行列をなし、
前記接触探知ピンは接触探知球を含み、
較正の際、較正体上に均等に十分多数の点を測定し、
前記パラメータ(A)の前記一部分(Aanti)を特定するために、以下の両目的関数Q2及びQ3の少なくとも一方を充足することを特徴とする方法。
目的関数Q2=Σvi×ni⇒0、
目的関数Q3=Σ(vi×ni)2⇒Min
但し、
vi=接触探知球の休止位置からの、測定点での接触探知球の偏向を表す偏向ベクトル、
ni=測定時の接触探知球の接触点で得られる、偏向ベクトルの、部材表面での法線方向成分を表す法線ベクトル
である。 - 前記パラメータ(A)の前記一部分(Aanti)を回転行列にする請求項1記載の方法。
- 前記目的関数(Q2、Q3)の少なくとも一方を解くために測定点を用い、該測定点を、前記較正体上の少なくとも1つの半円を接触検知することによって検出する請求項1又は2記載の方法。
- 前記較正体が較正リングであり、接触検知された測定点を、接触検知された半円に亘って均一に当該各測定点が分布しているようにして検出する請求項3記載の方法。
- 前記較正体が較正球であり、接触検知された測定点を、接触検知された半球に亘って均一に当該各測定点が分布しているようにして検出する請求項3記載の方法。
- 単数乃至複数の偏向信号の写像のために、接触点で、部材表面に対して法線方向に位置している接触探知ピンの偏向の各成分を記述する、前記パラメータ(A)の他の部分(Asym)を使用する請求項1から5迄の何れか1記載の方法。
- 前記付加的なパラメータ(Asym)は、行列をなしており、ガウスの補償条件を用いて以下の目的関数から特定される請求項6記載の方法。
目的関数Q1=Σf2 n,i⇒Min
但し、
fn,iは、法線方向偏差、つまり、接触点での、偏向ベクトルの、部材表面上の法線方向での偏差を示す。 - 測定用接触探知ヘッド、該接触探知ヘッドに可動に取り付けられている接触探知ピン、及び制御及び評価ユニットを有する座標測定装置において、
制御及び評価ユニットにパラメータ(A)が記憶され、
前記制御及び評価ユニットは、前記接触探知ヘッドによって検出された単数乃至複数の偏向信号(s)を、前記座標測定装置の座標系(XM,YM,ZM)に写像し、
前記パラメータ(A)の少なくとも一部分(Aanti)が、接触点における前記接触探知ピンの偏向のうち、部材の表面に対して接線方向に位置している成分を記述し、
前記パラメータ(A)の前記一部分(Aanti)は行列をなし、
前記接触探知ピンは接触探知球を含み、
較正の際、較正体上の十分多数の点を測定し、
前記パラメータ(A)の前記一部分(Aanti)を特定するために、以下の両目的関数Q2及びQ3の少なくとも一方を充足することを特徴とする座標測定装置。
目的関数Q2=Σvi×ni⇒0、
目的関数Q3=Σ(vi×ni)2⇒Min
但し、
vi=接触探知球の休止位置からの、測定点での接触探知球の偏向を表す偏向ベクトル、
ni=測定時の接触探知球の接触点で得られる、偏向ベクトルの、部材表面での法線方向成分を表す法線ベクトル
である。 - 前記パラメータ(A)の前記一部分(Aanti)を回転行列にする請求項8記載の座標測定装置。
- 制御及び評価ユニットは、測定値の検出用の座標測定装置を、前記目的関数(Q1、Q2)の少なくとも一方を解くために必要な測定点を、較正体上の少なくとも1つの半円で接触検知することによって検出するように制御する請求項8又は9記載の座標測定装置。
- 制御及び評価ユニットは、測定値の検出用の座標測定装置を、前記各測定値が、接触検知される半円乃至半球に亘って均等に分布されているように制御する請求項10記載の座標測定装置。
- 較正体は、ゲージリング又は較正球である請求項10記載の座標測定装置。
- 偏向信号(s)の写像のために、前記パラメータ(A)の他の部分(Asym)が使用され、該パラメータは、接触点で部材表面に対して法線方向に位置している接触ピンの偏向の各成分を記述する請求項8から12迄の何れか1記載の座標測定装置。
- 前記付加的なパラメータ(Asym)は行列をなす請求項13記載の座標測定装置。
- 前記付加的なパラメータ(Asym)は、ガウスの補償条件を用いて、以下の目的関数から特定される請求項13又は14記載の座標測定装置。
目的関数Q1=Σf2 n,i⇒Min
但し、
fn,iは、法線方向偏差、つまり、接触点での、偏向ベクトルの、部材表面上の法線方向の偏差を示す。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10324695.9 | 2003-05-28 | ||
DE10324695 | 2003-05-28 | ||
DE10327867.2 | 2003-06-18 | ||
DE10327867A DE10327867A1 (de) | 2003-05-28 | 2003-06-18 | Verfahren zur Kalibrierung eines Tasters |
PCT/EP2004/004805 WO2004106854A1 (de) | 2003-05-28 | 2004-05-06 | Verfahren zur kalibrierung eines tasters |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007500849A JP2007500849A (ja) | 2007-01-18 |
JP2007500849A5 JP2007500849A5 (ja) | 2011-05-19 |
JP4845734B2 true JP4845734B2 (ja) | 2011-12-28 |
Family
ID=33441520
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006529746A Expired - Lifetime JP4845734B2 (ja) | 2003-05-28 | 2004-05-06 | 座標測定装置、方法、コンピュータプログラム並びにデータ担体 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4845734B2 (ja) |
DE (1) | DE10327867A1 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4568621B2 (ja) * | 2005-02-28 | 2010-10-27 | 株式会社ミツトヨ | 表面性状測定機の真直度補正方法および表面性状測定機 |
JP4611403B2 (ja) * | 2008-06-03 | 2011-01-12 | パナソニック株式会社 | 形状測定装置及び形状測定方法 |
DE102010006382B4 (de) * | 2010-01-29 | 2013-09-26 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren und Anordnung zum Betreiben von Koordinatenmessgeräten |
DE102011008421A1 (de) * | 2011-01-12 | 2012-07-12 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren und Anordnung zum Kalibrieren von messwertgebenden Sensoren eines taktilen Koordinatenmessgerätes |
DE102015201582B4 (de) * | 2015-01-29 | 2020-10-01 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Ermittlung und Korrektur eines Fehlers einer Drehvorrichtung für ein Koordinatenmessgerät |
DE102016209547A1 (de) | 2016-06-01 | 2017-12-07 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Vermessung von Messobjekten |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57127805A (en) * | 1981-01-31 | 1982-08-09 | Osaka Kiko Co Ltd | Device for measuring three-dimensional shape |
JP2002541469A (ja) * | 1999-04-08 | 2002-12-03 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニー | 走査システムを校正する方法 |
JP2009293992A (ja) * | 2008-06-03 | 2009-12-17 | Panasonic Corp | 形状測定装置及び形状測定方法 |
-
2003
- 2003-06-18 DE DE10327867A patent/DE10327867A1/de not_active Ceased
-
2004
- 2004-05-06 JP JP2006529746A patent/JP4845734B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57127805A (en) * | 1981-01-31 | 1982-08-09 | Osaka Kiko Co Ltd | Device for measuring three-dimensional shape |
JP2002541469A (ja) * | 1999-04-08 | 2002-12-03 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニー | 走査システムを校正する方法 |
JP2009293992A (ja) * | 2008-06-03 | 2009-12-17 | Panasonic Corp | 形状測定装置及び形状測定方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007500849A (ja) | 2007-01-18 |
DE10327867A1 (de) | 2004-12-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7246448B2 (en) | Method for calibrating a probe | |
US10670383B2 (en) | Calibrating and operating rotary devices, in particular for rotating probe heads and/or probes of coordinate measuring machines | |
JP5042409B2 (ja) | 走査システムを校正する方法 | |
JP5658863B2 (ja) | プローブの較正 | |
CN109032070B (zh) | 一种采用电涡流位移传感器的非接触式R-test测量仪标定方法 | |
US9151602B2 (en) | Corrected ball diameter calculating method and form measuring instrument | |
JP5570722B2 (ja) | 計量装置の較正 | |
US20040244464A1 (en) | Calibration of a probe | |
JPH02284216A (ja) | アナログプローブ較正方法と装置 | |
CN106247914B (zh) | 一种坐标测量机触发式测头标定方法 | |
EP2990754A1 (en) | Shape measurement device | |
CN106705821B (zh) | 一种回转轴系正交性测量方法及装置 | |
CN105004254A (zh) | 一种同轴度检测方法 | |
GB2288463A (en) | Measuring conical threads | |
JP4845734B2 (ja) | 座標測定装置、方法、コンピュータプログラム並びにデータ担体 | |
KR20050016099A (ko) | 측정방법 및 측정장치 | |
JP6824798B2 (ja) | 内径測定装置およびそれを用いた内径測定方法 | |
CN111708321B (zh) | 数控机床刀轴方向动态误差检测装置及方法 | |
CN205642396U (zh) | 一种基于正弦定理的高精度水平尺检定装置 | |
JP2013079842A (ja) | 寸法測定器 | |
WO2023143170A1 (zh) | 一种磁球校准方法和磁球校准装置 | |
JP2017173288A (ja) | 真円度測定機の心ずれ量算出方法及び真円度測定機 | |
CN101166953B (zh) | 探针的校准 | |
US20150025844A1 (en) | Surface measurement apparatus and method | |
CN102095366A (zh) | 一种大梯度非球面的轮廓测量方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070219 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070219 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100422 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20100714 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20100714 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20100723 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20100723 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20100729 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101015 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110104 |
|
A524 | Written submission of copy of amendment under article 19 pct |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A524 Effective date: 20110404 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110510 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20110810 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20110817 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110909 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111004 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111011 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141021 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4845734 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |