JP2017173288A - 真円度測定機の心ずれ量算出方法及び真円度測定機 - Google Patents
真円度測定機の心ずれ量算出方法及び真円度測定機 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017173288A JP2017173288A JP2016133414A JP2016133414A JP2017173288A JP 2017173288 A JP2017173288 A JP 2017173288A JP 2016133414 A JP2016133414 A JP 2016133414A JP 2016133414 A JP2016133414 A JP 2016133414A JP 2017173288 A JP2017173288 A JP 2017173288A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- shape data
- misalignment
- detector
- amount
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 72
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 117
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims abstract description 69
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 65
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 42
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 47
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 21
- 238000012795 verification Methods 0.000 abstract 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 60
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 32
- 230000006870 function Effects 0.000 description 21
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 230000002457 bidirectional effect Effects 0.000 description 8
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 7
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 3
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- 230000002706 hydrostatic effect Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000010297 mechanical methods and process Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
Description
まず、図1を参照しながら、本実施形態の真円度測定機10の構成について説明する。図1は、本実施形態の真円度測定機10の構成を示した概略図である。
次に、本実施形態の真円度測定機10を用いた心ずれ量算出方法について説明する。
まず、図6A及び図6Bに示すように、ワークWに対して一方側(右側)からワークWの表面(右側面)に検出器26の測定子28を接触させた状態で、回転テーブル14によりワークWと検出器26とを相対的に回転させながら検出器26で測定子28の変位を検出する。このとき、演算処理部34は第1形状データ取得部38として機能し、ワークWの表面1周分の第1形状データAを取得する。
次に、図7A及び図7Bに示すように、アーム22の移動により検出器26をX方向(測定母線Mと平行な方向)に移動させ、ワークWに対して他方側(左側)からワークWの表面(左側面)に検出器26の測定子28を接触させた状態で、回転テーブル14によりワークWと検出器26とを相対的に回転させながら検出器26で測定子28の変位を検出する。このとき、演算処理部34は第2形状データ取得部40として機能し、ワークWの表面1周分の第2形状データBを取得する。
次に、演算処理部34は心ずれ量算出部42として機能し、第1形状データAと第2形状データBとを照合し、その照合した結果に基づいて真円度測定機10の心ずれ量σを算出する。
次に、他の発明について説明する。以下、他の発明の実施形態(以下、他実施形態という。)について説明する前に、他の発明に関する背景技術及び課題ついて説明する。
従来より、測定物(ワーク)の表面形状を測定する表面形状測定装置として、ワークの真円度等を測定する真円度測定機が知られている(例えば、特開平1−259211号公報(以下、「特許文献2」という)参照)。
しかしながら、特許文献2に開示された直径測定方法では、ワークの直径方向(回転台の回転軸心に対して垂直な径方向)に対向した2点の位置に接触子を接触させることで測定を行っているが、ワークを回転させずに測定を行うため2点のデータしかなく、真円でないものを測定した場合には、真の値(直径)を測定しているとはいえず、測定誤差が大きくなる要因となる。特にワークの真円度が低い場合には、ワークの直径を測定する方向(ワークに対して接触子を接触させる位置)によって測定結果にバラツキが生じやすく、ワークの直径を高精度かつ再現性高く測定することは困難であり、汎用性に欠けるものである。
次に、他の発明の実施形態(以下、「他実施形態」という)について説明する。なお、上述した本発明の実施形態と重複する部分もあるが、あらためて全体を通して説明する。
マスタワークMWを回転テーブル114の上に載置する。そして、ワーク中心が回転テーブル114の回転中心に正確に一致するように偏心を調整した後、図14Aに示すように、マスタワークMWの表面のX方向の一方側(0度位置)に測定子128が接触するように、アーム22をX方向に移動させる。そして、演算処理部134は、検出器126の出力が0点からプラス側(図において右側)にずれた値+α(α>0)を示したときの検出器26のX方向位置r1を検出器位置検出部160から取得する。次に、図14Bに示すように、検出器126をマスタワークMWを挟んで反対側に移して、マスタワークMWの表面のX方向の他方側(180度位置)に測定子128が接触するように、アーム122をX方向に移動させる。そして、演算処理部134は、検出器126の出力が0点からマイナス側にずれた値−αを示したときの検出器126のX方向位置r2を検出器位置検出部160から取得する。
上記処理が終了すると、第1形状データ取得ステップが実施される。
次に、図4Dに示すように、検出器126をワークWを挟んで反対側に移して、ワークWの表面のX方向の他方側(180度位置)に測定子128が接触するように、アーム122をX方向に移動させる。そして、演算処理部134は第2形状データ取得部140として機能し、検出器126の出力が0点からマイナス側(図において左側)にずれた値−αを示したときの検出器126のX方向位置を示す検出器位置データR2を検出器位置検出部160から取得する。さらにこの状態で、図14Eに示すように、モータ116により回転テーブル114を回転駆動してワークWを回転させながら、ワークWの表面に接触する測定子128の変位を示す変位データT2を検出器26から取得するとともに、測定子128の変位を検出したときのワークWの回転角度を示す回転角度データθ2を回転角度検出部162から取得する。このとき、ワークWを1回転させる間に多数の測定点(例えば14400点)を測定し、各測定点において検出器126の出力(変位データ)T2を回転角度検出部162の出力(回転角度データ)θ2に関連付けて記憶しておく。なお、これらのデータR2、T2、θ2をまとめて第2形状データBと呼ぶことにする。
次に、演算処理部134は形状パラメータ算出部142として機能し、ステップS110及びステップS112で取得した2つの形状データ(第1形状データA及び第2形状データB)を照合し、その照合した結果に基づいて、ワークWの表面形状を規定する形状パラメータであるワークWの直径を算出する。具体的には以下のようにして行われる。
次に、演算処理部134は、演算処理結果として、ステップS114で算出した形状パラメータ(ワークWの直径D)を表示部136に出力する。これにより、表示部136にはワークWの直径Dが表示され、本フローチャートは終了となる。
上述した各実施形態では、検出器26、126の種類としては差動トランス方式に限定されず、少なくともワークWの表面の変位を検出することができるものであれば、接触式あるいは非接触式の種々の検出器が用いられてもよい。例えば、レーザー式の変位センサ等も使用することができる。
Claims (5)
- ワークと検出器とを回転中心の周りに相対的に回転させ、前記ワークの表面に接触する測定子の変位を前記検出器で検出する真円度測定機の心ずれ量算出方法であって、
前記ワークに対して一方側から前記ワークの表面に前記測定子を接触させ、前記ワークと前記検出器とを相対的に回転させることにより、前記ワークの表面形状を示す第1形状データを取得する第1形状データ取得ステップと、
前記ワークに対して他方側から前記ワークの表面に前記測定子を接触させ、前記ワークと前記検出器とを相対的に回転させることにより、前記ワークの表面形状を示す第2形状データを取得する第2形状データ取得ステップと、
前記回転中心を通り前記検出器の変位方向に平行な直線を測定母線とし、前記測定子が前記ワークに当接する位置を検出点としたとき、前記第1形状データと前記第2形状データとを照合し、前記照合した結果に基づいて前記測定母線に対する前記検出点の距離を示す心ずれ量を算出する心ずれ量算出ステップと、
を備える真円度測定機の心ずれ量算出方法。 - 前記心ずれ量算出ステップは、前記第1形状データ及び前記第2形状データのいずれか一方を他方に対して180度位相をずらす位相反転処理を行い、前記位相反転処理後の前記第1形状データ及び前記第2形状データのずれ角度を算出し、前記ずれ角度に基づいて前記心ずれ量を算出する、
請求項1に記載の真円度測定機の心ずれ量算出方法。 - 前記心ずれ量算出ステップによって算出された前記心ずれ量と予め設定した基準値とを比較し、前記心ずれ量が前記基準値以下である場合には心ずれがないと判断し、前記心ずれ量が前記基準値を超える場合には心ずれがあると判断する心ずれ判断ステップを備える、
請求項1又は2に記載の真円度測定機の心ずれ量算出方法。 - 前記心ずれ量算出ステップによって算出された前記心ずれ量に基づいて、前記ワークの表面形状を規定する形状パラメータを算出する形状パラメータ算出ステップを備える、
請求項1〜3のいずれか1項に記載の真円度測定機の心ずれ量算出方法。 - ワークと検出器とを回転中心の周りに相対的に回転させ、前記ワークの表面に接触する測定子の変位を前記検出器で検出する真円度測定機であって、
前記ワークに対して一方側から前記ワークの表面に前記測定子を接触させ、前記ワークと前記検出器とを相対的に回転させることにより、前記ワークの表面形状を示す第1形状データを取得する第1形状データ取得部と、
前記ワークに対して他方側から前記ワークの表面に前記測定子を接触させ、前記ワークと前記検出器とを相対的に回転させることにより、前記ワークの表面形状を示す第2形状データを取得する第2形状データ取得部と、
前記回転中心を通り前記検出器の変位方向に平行な直線を測定母線とし、前記測定子が前記ワークに当接する位置を検出点としたとき、前記第1形状データと前記第2形状データとを照合し、前記照合した結果に基づいて前記測定母線に対する前記検出点の距離を示す心ずれ量を算出する心ずれ量算出部と、
を備える真円度測定機。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016052678 | 2016-03-16 | ||
JP2016052678 | 2016-03-16 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017173288A true JP2017173288A (ja) | 2017-09-28 |
JP6743351B2 JP6743351B2 (ja) | 2020-08-19 |
Family
ID=59970892
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016133414A Active JP6743351B2 (ja) | 2016-03-16 | 2016-07-05 | 真円度測定機の心ずれ量算出方法及び真円度測定機 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6743351B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113310439A (zh) * | 2021-05-08 | 2021-08-27 | 中国工程物理研究院材料研究所 | 一种基于白光共焦传感器的球壳类零件表面粗糙度检测方法及系统 |
CN115900509A (zh) * | 2023-03-03 | 2023-04-04 | 山东柏远复合材料科技股份有限公司 | 一种圆形缸筒变形度检测工装 |
CN117592313A (zh) * | 2024-01-18 | 2024-02-23 | 成都飞机工业(集团)有限责任公司 | 一种形位误差测量不确定度仿真优化方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS589011A (ja) * | 1981-07-08 | 1983-01-19 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 円弧形状測定方法と装置 |
JP2000501505A (ja) * | 1995-12-07 | 2000-02-08 | テイラー ホブソン リミテッド | 表面形状測定 |
JP2008281542A (ja) * | 2007-04-11 | 2008-11-20 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 回転体の芯ずれ算出方法及び芯ずれ算出システム |
WO2011069219A1 (en) * | 2009-12-09 | 2011-06-16 | Nikola Dimitrov Panchev | A system for the measurement of the deviations from form and position of the surfaces and axes of rotational work-pieces towards a virtual primary datum |
JP2014130154A (ja) * | 2014-02-18 | 2014-07-10 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 真円度測定装置における心ずれ量算出方法 |
-
2016
- 2016-07-05 JP JP2016133414A patent/JP6743351B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS589011A (ja) * | 1981-07-08 | 1983-01-19 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 円弧形状測定方法と装置 |
JP2000501505A (ja) * | 1995-12-07 | 2000-02-08 | テイラー ホブソン リミテッド | 表面形状測定 |
JP2008281542A (ja) * | 2007-04-11 | 2008-11-20 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 回転体の芯ずれ算出方法及び芯ずれ算出システム |
WO2011069219A1 (en) * | 2009-12-09 | 2011-06-16 | Nikola Dimitrov Panchev | A system for the measurement of the deviations from form and position of the surfaces and axes of rotational work-pieces towards a virtual primary datum |
JP2014130154A (ja) * | 2014-02-18 | 2014-07-10 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 真円度測定装置における心ずれ量算出方法 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113310439A (zh) * | 2021-05-08 | 2021-08-27 | 中国工程物理研究院材料研究所 | 一种基于白光共焦传感器的球壳类零件表面粗糙度检测方法及系统 |
CN113310439B (zh) * | 2021-05-08 | 2022-11-04 | 中国工程物理研究院材料研究所 | 一种基于白光共焦传感器的球壳类零件表面粗糙度检测方法及系统 |
CN115900509A (zh) * | 2023-03-03 | 2023-04-04 | 山东柏远复合材料科技股份有限公司 | 一种圆形缸筒变形度检测工装 |
CN115900509B (zh) * | 2023-03-03 | 2023-04-28 | 山东柏远复合材料科技股份有限公司 | 一种圆形缸筒变形度检测工装 |
CN117592313A (zh) * | 2024-01-18 | 2024-02-23 | 成都飞机工业(集团)有限责任公司 | 一种形位误差测量不确定度仿真优化方法 |
CN117592313B (zh) * | 2024-01-18 | 2024-05-14 | 成都飞机工业(集团)有限责任公司 | 一种形位误差测量不确定度仿真优化方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6743351B2 (ja) | 2020-08-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6149337B1 (ja) | 表面形状測定装置 | |
JP4968600B1 (ja) | 真円度測定装置及びその心ずれ量補正方法 | |
JP6503282B2 (ja) | 形状測定・校正装置 | |
JP6664074B2 (ja) | 平面度測定装置 | |
JP6657552B2 (ja) | 平面度測定方法 | |
JP6671011B2 (ja) | 真円度測定装置 | |
JP5652631B2 (ja) | 真円度測定装置における心ずれ量算出方法 | |
CN105473981A (zh) | 接触式探针的校准 | |
JP2017161252A (ja) | 表面形状測定方法及び表面形状測定装置 | |
JP6743351B2 (ja) | 真円度測定機の心ずれ量算出方法及び真円度測定機 | |
JP5716427B2 (ja) | 真円度測定装置及びその心ずれ量補正方法 | |
JP5489017B2 (ja) | 真円度測定装置における心ずれ量算出方法 | |
JP5297749B2 (ja) | 自動寸法測定装置 | |
JP2015068740A (ja) | 真円度測定装置 | |
JP6893850B2 (ja) | 転がり軸受直角度測定装置および転がり軸受の直角度測定方法 | |
JP5742078B2 (ja) | 真円度測定装置及びその心ずれ量補正方法、並びに心ずれ量算出方法 | |
US20150025844A1 (en) | Surface measurement apparatus and method | |
JP6137544B2 (ja) | 真円度測定装置 | |
JP2018169266A (ja) | 表面形状測定装置の角度補正方法及び角度補正装置 | |
JP2002090133A (ja) | シャフトの測定装置およびその測定方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190404 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200218 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200227 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200421 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200629 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200712 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6743351 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |