JP5570722B2 - 計量装置の較正 - Google Patents
計量装置の較正 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5570722B2 JP5570722B2 JP2008526548A JP2008526548A JP5570722B2 JP 5570722 B2 JP5570722 B2 JP 5570722B2 JP 2008526548 A JP2008526548 A JP 2008526548A JP 2008526548 A JP2008526548 A JP 2008526548A JP 5570722 B2 JP5570722 B2 JP 5570722B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measurement
- calibration
- data
- points
- point
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000005303 weighing Methods 0.000 title claims description 38
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 456
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 99
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 92
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 26
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 claims description 7
- 230000005484 gravity Effects 0.000 claims description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 3
- 238000004590 computer program Methods 0.000 claims 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 2
- 241001422033 Thestylus Species 0.000 description 42
- 230000006870 function Effects 0.000 description 14
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 8
- 238000013500 data storage Methods 0.000 description 7
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 7
- 230000008859 change Effects 0.000 description 5
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 4
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 4
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 230000004044 response Effects 0.000 description 3
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 2
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 238000012512 characterization method Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000012552 review Methods 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
- G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
- G01B21/04—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness by measuring coordinates of points
- G01B21/042—Calibration or calibration artifacts
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Seal Device For Vehicle (AREA)
- Mechanical Operated Clutches (AREA)
- Orthopedics, Nursing, And Contraception (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Soil Working Implements (AREA)
- Paper (AREA)
Description
ti=R2−(Xci−A)2−(Zci−B)2
になる時点を決定することにより数2を最小にする。
ここで、ZTは、測定プローブの全または最大Z測定範囲であり、すでに説明したように、計算装置のメモリから、またはこのデータを入力するようにユーザ・インタフェースによりプロンプトされているユーザの結果としてS11のところで入手される。
S15のところで、プロセッサ13のプログラミングにより提供されたデータ適合装置303の機能は、下式により大きな円の測定経路の中心(a,b)に対する初期値を計算する。
ti=R2−(Xci−A)2−(Zci−B)2
になる時点を決定することにより下式を最小にする。
Claims (45)
- 測定する対象物を収容するための支持体と、
測定プローブが前記支持体に対して移動することができるように、前記測定プローブを保持するための搬送装置と、
前記測定プローブが、測定経路に沿って表面特性を追従する場合に第1の方向を横切る第2の方向に移動するように、前記搬送装置が保持する前記測定プローブを、前記支持体により支持されている対象物の表面に沿って前記測定経路を横断させるために、第1の方向に前記支持体と前記搬送装置の間に相対移動を行わせるために動作することができる移動装置と、
前記第1の方向の前記測定プローブの位置を表す第1の位置データを提供するために、前記支持体と前記搬送装置の間の相対移動に応じる第1の位置トランスジューサと、
前記第2の方向の前記測定プローブの位置を表す第2の位置データを提供するために、前記第2の方向の前記測定プローブの移動に応じる第2の位置トランスジューサと、
前記測定経路に沿った複数の各測定点に対する前記第1および第2の位置データを含む前記第1および第2の位置トランスジューサ測定データから入手するために動作することができる測定データ入手装置と、
前記測定データ入手装置により入手した前記測定データを使用して、前記表面の少なくとも1つの表面特性に関連するデータを決定するために動作することができる表面特性決定装置と、
較正手順を実行するために動作することができる較正装置であって、
前記測定経路を横断中に前記測定プローブが較正する測定範囲に亘って移動するように、前記搬送装置が保持する前記測定プローブに基準対象物の表面上の較正測定経路を横断させるために、前記移動装置を制御することにより、前記測定データ入手装置に、前記基準対象物の既知の表面形状を表す較正測定データを入手させるように動作することができるコントローラと、
補正後の測定データとして前記基準対象物の既知の表面形状を使用し、そして、前記測定データの範囲内の、離間し、しかも、前記測定点の数より少ない測定点を選択し、該選択された測定点の較正係数を変化させることにより、前記補正後の測定データと前記選択された測定データの間の関係を表す少なくとも1つの式が、較正係数を決定するために、前記補正後のデータに適合するまで動作するようにしているデータ適合装置と、
較正手順の結果を使用して、作業片の表面上で行った測定を表す測定データを補正するために動作することができる測定データ補正装置と、
を備える較正装置と、
を備える対象物の表面の表面特性を測定するための計量装置。 - 前記測定データ補正装置が、前記決定した較正係数を有する前記少なくとも1つの式を使用して、補正後の測定データを計算することにより、作業片の表面上で行った測定を表す測定データを補正するために動作することができる、請求項1に記載の装置。
- 前記データ適合装置が、前記決定した較正係数を有する前記少なくとも1つの式を使用して補正後の測定データを計算し、前記補正後の測定データを対応する測定データと関連付けるルックアップ・テーブルを格納するために動作することができる、請求項1または2に記載の装置。
- 前記測定データ補正装置が、前記ルックアップ・テーブルを使用して作業片の表面上で行った測定を表す測定データを補正するために動作することができる、請求項3に記載の装置。
- 前記データ適合装置が、前記較正測定データの範囲の、離間した、前記測定点より数が少ないいくつかの点を較正点とし、較正点としてチェビシェフ点を使用するために動作することができる、請求項1〜4のいずれかに記載の装置。
- 前記データ適合装置が、前記較正測定データの範囲の、離間した、前記測定点より数が少ないたいくつかの点を較正点とし、較正点について、zj=ZT.cos(nπ/N)(但し、nが、0,1,2,...,Nであり、N+1が、較正点の数であり、ZTが、前記測定プローブの測定範囲である)により決定した第2のタイプの前記較正点のチェビシェフ点として使用するために動作することができる、請求項1〜5のいずれかに記載の装置。
- 前記データ適合装置が、前記少なくとも1つの式を重み付け係数を持つラグランジェ多項式として使用するために動作することができる、請求項1〜6のいずれか1項に記載の装置。
- 前記データ適合装置が、前記少なくとも1つの式を下式として使用するために動作することができる、請求項1〜4のいずれかに記載の装置:
但し、Zは、第2の方向であり、Zcmは、m番目の測定点に対する前記補正後のZ位置測定データであり、Zmは、m番目の測定点のZ座標であり、BZjは、j番目のチェビシェフ点のZ座標に対する前記較正係数であり、Zjは、j番目のチェビシェフ点のZ座標であり、wjは、j番目のチェビシェフ点の重心加重であり、ここで、N+1は、較正点の数である。 - 前記データ適合装置が、前記第1および第2の方向に対する各式に対する較正係数を決定するために動作することができる、請求項1〜7のいずれかに記載の装置。
- 前記データ適合装置が、前記第1および第2の方向に対する各重み付け係数を持つラグランジェ多項式に対する較正係数を決定するために動作することができる、請求項1〜4のいずれかに記載の装置:
但し、XおよびZは、それぞれ前記第1および第2の方向であり、Zcmは、m番目の測定点に対する補正後のZ位置測定データであり、Zmは、m番目の測定点のZ座標であり、BZjは、j番目のチェビシェフ点のZ座標に対する較正係数であり、Zjは、j番目のチェビシェフ点のZ座標であり、Xcmは、m番目の測定点に対する前記補正後のX位置測定データであり、Xmは、m番目の測定点のX座標であり、BXjは、j番目のチェビシェフ点のX座標に対する前記較正係数であり、wjは、j番目のチェビシェフ点の前記重心加重であり、ここで、N+1は、較正点の数である。 - 前記データ適合装置が、
zj=ZT.cos(nπ/N)(但し、nが、0,1,...,Nであり、N+1が、較正点の数であり、ZTが、前記測定プローブの前記測定範囲である)により与えられる第2のタイプの前記較正点のチェビシェフ点として使用するために動作することができる、請求項8または10に記載の装置。 - 前記重心加重wjが、
wj=(−1)jδj(但し、δjは、j=0またはN(ここで、N+1は較正点の数)に対して1/2であり、それ以外は、1である)
により表される、請求項11に記載の装置。 - 前記データ適合装置が、前記較正測定データの範囲の、離間した、前記測定点より数が少ないいくつかの点を較正点とし、奇数のチェビシェフ点を較正点として使用するために動作することができる、請求項1〜12のいずれか1項に記載の装置。
- 前記データ適合装置が、前記較正測定データの範囲の、離間した、前記測定点より数が少ないいくつかの点を較正点とし、奇数のチェビシェフ点を較正点として使用するために動作することができ、中央の較正点が、前記測定点の中央のものと一致するように固定される、請求項1〜12のいずれかに記載の装置。
- 前記データ適合装置が、前記中央の較正点に対する前記較正係数をゼロに設定するために動作することができる、請求項13または14に記載の装置。
- 前記データ適合装置が、最小二乗適合手順を使用するために動作することができる、請求項1〜15のいずれか1項に記載の装置。
- 前記データ適合装置が、ガウス−ニュートン最小二乗適合手順を使用するために動作することができる、請求項16に記載の装置。
- 前記基準対象物が、基準球体であり、前記較正測定経路が、大きな円経路であり、前記データ適合装置が下式を最小にする最小二乗適合手順を使用するために動作することができる、請求項1〜15のいずれかに記載の装置:
但し、XおよびZは、それぞれ第1および第2の方向であり、XciおよびZciは、i番目の測定点に対する前記補正後の第1および第2の位置測定データの現在値であり、AおよびBは、前記基準球体の中心に対する現在値であり、Rは、前記大きな円の実効半径である。 - 前記データ適合装置が、前記少なくとも1つの式が、許容範囲tが所定の値、
ti=R2−(Xci−A)2−(Zci−B)2になった場合の前記基準球体の既知の形状に適合させることを決定するために動作することができる、請求項18に記載の装置。 - 前記データ適合装置が、下式により前記大きな円測定経路の中心(a,b)に対する初期値を計算するために動作することができる、請求項18または19に記載の装置:
但し、Z1は、前記測定点のうちの第1の測定点に対する第2の方向の測定位置データまたは座標値であり、Z2は、前記測定点のうちの中央の測定点に対する第2の方向の測定位置データまたは座標値であり、Z3は、前記測定点のうちの最後の測定点に対する第2の方向の測定位置データまたは座標値であり、X3およびX1は、それぞれ最後および最初の測定点に対する前記第1の方向の測定位置データまたは座標値である。 - 較正手順を実行するために動作することができるコントローラを有する計量装置であって、前記コントローラが、
既知の形状体の表面上の測定経路に沿って測定プローブの異なる位置を表す一組の測定点に対する測定データを受信し、
較正後の測定データとして基準面の既知の形状を使用し、そして、離間し、しかも、測定範囲内の、前記測定点の数より少ない測定点を選択し、該選択された測定点について、較正係数を変化させることにより、前記補正後の測定データと前記選択された測定データの間の関係を表す少なくとも1つの式の較正係数を決定し、それにより前記少なくとも1つの式が前記補正後のデータに適合するように、動作することができる計量装置。 - 測定する対象物を収容するための支持体と、測定プローブが測定プローブ支持体に対して移動することができるように、前記測定プローブを保持するための搬送装置と、前記測定プローブが、測定経路に沿って表面特性を追従する場合に、第1の方向を横切る第2の方向に移動するように、前記搬送装置が保持する前記測定プローブを、前記支持体により支持されている対象物の表面に沿って前記測定経路を横断させるために、第1の方向に前記支持体と前記搬送装置の間で相対移動を行うために動作することができる移動装置と、
前記第1の方向の前記測定プローブの位置を表す第1の位置データを提供するために、前記支持体と前記搬送装置の間の相対移動に応じる第1の位置検出手段と、前記第2の方向の前記測定プローブの前記位置を表す第2の位置データを提供するために、前記第2の方向の前記測定プローブの移動に応じる第2の位置検出手段とを備える計量装置を較正するための方法であって、
前記方法が、
前記測定経路を横断中に、前記測定プローブが較正する測定範囲を通して移動するように、前記搬送装置が保持する前記測定プローブに、基準対象物の表面上の較正測定経路を横断させるために、前記移動装置を制御することにより、前記基準対象物の既知の表面形状を表す較正測定データを入手するステップと、
補正後の測定データとして、前記基準面の前記既知の形状を使用することにより、また作業片の表面上で行った測定を表す測定データを補正することができるようにするための較正係数を提供するために、前記少なくとも1つの式が前記データに適合するまで、前記較正測定データの範囲の、離間した、前記測定点より数が少ないたいくつかの較正点について、前記較正係数を変化させることにより、前記補正後の測定データと前記較正測定データの間の関係を表す少なくとも1つの式の較正係数を決定するステップと、
を含む方法。 - 前記決定した較正係数と一緒に前記少なくとも1つの式を使用して、補正後の測定データを計算することにより、作業片の表面上で行った測定を表す測定データを補正するためのステップをさらに含む、請求項22に記載の方法。
- 前記決定した較正係数と一緒に前記少なくとも1つの式を使用して補正後の測定データを計算するステップと、前記補正後の測定データを対応する測定データと関連付けるルックアップ・テーブルを格納するステップとをさらに含む、請求項22に記載の方法。
- 前記ルックアップ・テーブルを使用して作業片の表面上で行った測定を表す測定データを補正するステップをさらに含む、請求項24に記載の方法。
- チェビシェフ点が、前記較正点として使用される、請求項22〜25のいずれかに記載の方法。
- 前記較正点が、チェビシェフ点が、zj=ZT.cos(nπ/N)(但し、nは、0,1,...,Nであり、N+1は、較正点の数であり、ZTは、前記測定プローブの前記測定範囲である)により決定した第2のタイプのものである、請求項22〜25のいずれかに記載の方法。
- 前記少なくとも1つの式が、重み付け係数を持つラグランジェ多項式である、請求項22〜27のいずれかに記載の方法。
- 前記少なくとも1つの式が、下式である、請求項22〜25のいずれかに記載の方法:
但し、Zは、前記第2の方向であり、Zcmは、m番目の測定点に対する補正後のZ位置測定データであり、Zmは、m番目の測定点のZ座標であり、BZjは、j番目のチェビシェフ点のZ座標に対する較正係数であり、Zjは、j番目のチェビシェフ点のZ座標であり、wjは、j番目のチェビシェフ点の重心加重であり、ここで、N+1は、較正点の数である。 - 前記第1および第2の方向に対する各式に対する較正係数が決定される、請求項22〜28のいずれかに記載の方法。
- 前記第1および第2の方向に対する各重み付け係数を持つラグランジェ多項式に対する前記較正係数が下式により決定される、請求項22〜25のいずれかに記載の方法:
但し、XおよびZは、それぞれ第1および第2の方向であり、Zcmは、m番目の測定点に対する補正後のZ位置測定データであり、Zmは、m番目の測定点のZ座標であり、BZjは、j番目のチェビシェフ点のZ座標に対する較正係数であり、Zjは、j番目のチェビシェフ点のZ座標であり、Xcmは、m番目の測定点に対する補正後のX位置測定データであり、Xmは、m番目の測定点のX座標であり、BXjは、j番目のチェビシェフ点のX座標に対する較正係数であり、wjは、j番目のチェビシェフ点に対する重心加重であり、ここで、N+1は、較正点の数である。 - 前記較正点が、
zj=ZT.cos(nπ/N)(但し、nは、0,1,...,Nであり、ここで、N+1は、較正点の数であり、ZTは、前記測定プローブの測定範囲である)が表す前記第2のタイプのチェビシェフ点である、請求項29または31に記載の方法。 - 前記重心加重wjが、
wj=(−1)jδj(但し、δjは、j=0またはN(ここで、N+1は較正点の数)に対して1/2であり、それ以外は、1である)
により表される、請求項31に記載の方法。 - 較正点が奇数のチェビシェフ点である、請求項22〜33のいずれかに記載の方法。
- 較正点が奇数のチェビシェフ点であり、前記中央の較正点が、前記測定点のうちの中央の測定点に一致するように固定される、請求項22〜33のいずれかに記載の方法。
- 前記中央の較正点に対する前記較正係数がゼロである、請求項34または35に記載の方法。
- 前記データ適合装置が、最小二乗適合手順を使用するために動作することができる、請求項22〜36のいずれかに記載の方法。
- 最小二乗適合が、ガウス−ニュートン最小二乗適合手順である、請求項37に記載の方法。
- 前記基準対象物が、基準球体であり、前記較正測定経路が、大きな円経路であり、前記適合ステップが、下式を最小にする最小二乗適合手順を使用する、請求項22〜36のいずれかに記載の装置:
但し、XおよびZは、それぞれ第1および第2の方向であり、XciおよびZciは、i番目の測定点に対する前記補正後の第1および第2の位置測定データの現在値であり、AおよびBは、前記基準球体の中心に対する現在値であり、Rは、前記大きな円の実効半径である。 - 前記少なくとも1つの式が、許容範囲tが所定の値、
ti=R2−(Xci−A)2−(Zci−B)2
になった場合の前記基準球体の前記既知の形状に適合する、請求項39に記載の方法。 - 前記大きな円測定経路の中心(a,b)に対する初期値が下式により計算される、請求項39または40に記載の方法:
但し、Z1は、前記測定点のうちの第1の測定点に対する前記第2の方向の測定位置データまたは座標値であり、Z2は、前記測定点のうちの中央の測定点に対する前記第2の方向の測定位置データまたは座標値であり、Z3は、前記測定点のうちの前記最後の測定点に対する前記第2の方向の測定位置データまたは座標値であり、X3およびX1は、それぞれ最後および最初の測定点に対する前記第1の方向の測定位置データまたは座標値である。 - 測定経路を横断中に、測定プローブが較正する測定範囲を通して移動するように、測定プローブに基準対象物の表面上の較正測定経路を横断させるために、移動装置を制御することにより、前記基準対象物の既知の表面形状を表す較正測定データを入手するように動作することができるコントローラと、
前記補正後の測定データとして、前記基準面の前記既知の形状を使用することにより、また前記少なくとも1つの式が前記データに適合するまで、前記較正測定データ内の離間したいくつかの較正点、および前記測定点より数が少ない較正係数を変化させることにより、補正後の測定データと前記較正測定データの間の関係を表す少なくとも1つの式の較正係数を決定するために動作することができるデータ適合装置と、
前記較正手順の結果を使用して、作業片の表面上で行った測定を表す測定データを補正するために動作することができる測定データ補正装置と、
を備える対象物の表面の表面特性を測定するための計量装置で使用するための較正装置。 - 測定する対象物を収容するための支持手段と、
測定プローブ手段が前記支持手段に対して移動することができるように、前記測定プローブ手段を保持するための搬送手段と、
前記測定プローブ手段が、測定経路に沿って表面特性を追従する場合に第1の方向を横切る第2の方向に移動するように、前記搬送手段が保持する前記測定プローブ手段を、前記支持手段により支持されている対象物の表面に沿って前記測定経路を横断させるために、前記第1の方向に前記支持手段と前記搬送手段の間に相対移動を行うための移動手段と
前記第1の方向の前記測定プローブ手段の位置を表す第1の位置データを提供するために、前記支持手段と前記搬送手段の間の相対移動に応じる第1の位置検出手段と、
前記第2の方向の前記測定プローブ手段の位置を表す第2の位置データを提供するために、前記第2の方向の前記測定プローブ手段の移動に応じる第2の位置検出手段と、
前記測定経路に沿った複数の各測定点に対する前記第1および第2の位置データを含む前記第1および第2の位置検出手段測定データから入力するための測定データ入力手段と、
前記測定データ入力手段により入力した前記測定データを使用して、前記表面の少なくとも1つの表面特性に関連するデータを決定するための表面特性決定手段と、
較正手順を実行するための較正手段であって、
前記測定経路を横断中に、前記測定プローブ手段が較正する測定範囲を通して移動するように、前記搬送手段が保持する前記測定プローブが、前記基準対象物の表面上の較正測定経路を横断するように前記移動手段を制御することにより、前記基準対象物の前記既知の表面形状を表す較正測定データを入力するように、前記測定データ入力手段を動作するための制御手段と、
前記補正後の測定データとして、前記基準面の既知の形状を使用することにより、また前記少なくとも1つの式が前記データに適合するまで、前記較正測定データ範囲内の離間した、前記測定点より数が少ない較正データの測定点について前記較正係数を変化させることにより、前記補正後の測定データと前記較正測定データの間の関係を表す少なくとも1つの式の較正係数を決定するためのデータ適合手段と、
前記較正手順の結果を使用して、作業片の表面上で行った測定を表す測定データを補正するための測定データ補正手段と、
を備える較正手段と、
を備える対象物の表面の表面特性を測定するための計量装置。 - 計量装置を請求項1〜21のいずれかに記載の計量装置として構成するために、プロセッサ手段をプログラミングするためのプロセッサが実施可能な命令を含むコンピュータ・プログラム。
- プロセッサ手段を請求項22〜41に記載の方法を実行するようにプログラミングするためのプロセッサが実施可能な命令を含むコンピュータ・プログラム。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GB0516990A GB2429291B (en) | 2005-08-18 | 2005-08-18 | A metrological apparatus |
GB0516990.9 | 2005-08-18 | ||
PCT/GB2006/003067 WO2007020441A1 (en) | 2005-08-18 | 2006-08-16 | Calibration of a metrological apparatus |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009505092A JP2009505092A (ja) | 2009-02-05 |
JP5570722B2 true JP5570722B2 (ja) | 2014-08-13 |
Family
ID=35097930
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008526548A Active JP5570722B2 (ja) | 2005-08-18 | 2006-08-16 | 計量装置の較正 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7668678B2 (ja) |
EP (1) | EP1929240B1 (ja) |
JP (1) | JP5570722B2 (ja) |
AT (1) | ATE464536T1 (ja) |
DE (1) | DE602006013662D1 (ja) |
GB (1) | GB2429291B (ja) |
WO (1) | WO2007020441A1 (ja) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SE529606C2 (sv) * | 2006-02-10 | 2007-10-02 | Tj Utveckling Ab | Verktygsinställare för en slipmaskin |
JP5155533B2 (ja) | 2006-02-16 | 2013-03-06 | 株式会社ミツトヨ | 補正プログラム、及び測定装置 |
JP5687820B2 (ja) * | 2008-10-21 | 2015-03-25 | 株式会社ミツトヨ | 測定器 |
GB2474893A (en) * | 2009-10-30 | 2011-05-04 | Taylor Hobson Ltd | Surface measurement instrument and method |
JP5415974B2 (ja) * | 2010-01-27 | 2014-02-12 | 株式会社ミツトヨ | 基準器、及び座標測定機 |
JP6254456B2 (ja) * | 2014-02-21 | 2017-12-27 | 株式会社ミツトヨ | 三次元測定機及び三次元測定機による補正行列算出方法 |
US10193979B2 (en) | 2014-03-17 | 2019-01-29 | General Electric Company | System architecture for wireless metrological devices |
GB2529131B (en) * | 2014-05-06 | 2019-06-05 | Taylor Hobson Ltd | Method and apparatus for characterising instrument error |
US9952044B2 (en) * | 2015-02-02 | 2018-04-24 | Rolls-Royce North American Technologies, Inc. | Multi-axis calibration block |
CN113513968A (zh) * | 2021-06-17 | 2021-10-19 | 银峰铸造(芜湖)有限公司 | 重卡支架铸造件校验方法 |
CN113917202B (zh) * | 2021-09-23 | 2023-09-12 | 合肥欣奕华智能机器股份有限公司 | 探针安装高度校准设备、方法、控制器及计算机存储介质 |
DE102022204922A1 (de) | 2022-05-18 | 2023-11-23 | MICRO-EPSILON-MESSTECHNIK GmbH & Co. K.G. | Vorrichtung und Verfahren zur messtechnischen Erfassung von Eigenschaften von Messobjekten |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3452273A (en) | 1965-12-22 | 1969-06-24 | Reliance Electric & Eng Co | Non-contact displacement transducer with feedback controlled vibration amplitude and a probe having a sensing means disposed transversely of the direction of vibration |
US3509135A (en) | 1968-07-26 | 1970-04-28 | Searle & Co | 3-oxygenated 4'-5 - dihydrospiro(estra-4,9-diene-17,2'(3'h)-furans) and congeners |
GB2070276B (en) | 1980-02-21 | 1983-10-12 | Rank Organisation Ltd | Polarising optical system |
GB8605324D0 (en) | 1986-03-04 | 1986-04-09 | Rank Taylor Hobson Ltd | Metrological apparatus |
US5189806A (en) | 1988-12-19 | 1993-03-02 | Renishaw Plc | Method of and apparatus for scanning the surface of a workpiece |
NZ234087A (en) | 1989-06-19 | 1991-08-27 | Teikoku Hormone Mfg Co Ltd | 2-(3-aryloxy(2-hydroxy-propylamino))-2-methylpropyl- aminophenyl pyridazine derivatives |
JPH03115902A (ja) * | 1989-06-23 | 1991-05-16 | Rank Taylor Hobson Ltd | 度量衡装置およびその校正の方法 |
GB2256476B (en) | 1991-05-30 | 1995-09-27 | Rank Taylor Hobson Ltd | Positional measurement |
DE4439578C1 (de) * | 1994-11-05 | 1996-02-08 | Leitz Mestechnik Gmbh | Verfahren zum Auswerten von Sensorsignalen sowie Tastkopf zur Durchführung des Verfahrens |
JP3763124B2 (ja) * | 2001-05-31 | 2006-04-05 | 株式会社ミツトヨ | タッチ信号プローブの信号処理装置および信号処理方法 |
JP4794753B2 (ja) * | 2001-06-04 | 2011-10-19 | パナソニック株式会社 | 形状測定方法 |
GB0126232D0 (en) * | 2001-11-01 | 2002-01-02 | Renishaw Plc | Calibration of an analogue probe |
GB0215478D0 (en) * | 2002-07-04 | 2002-08-14 | Renishaw Plc | Method of scanning a calibrating system |
JP4323212B2 (ja) * | 2003-05-08 | 2009-09-02 | 株式会社ミツトヨ | 表面性状測定機の校正方法、表面性状測定機の校正プログラム、この校正プログラムを記録した記録媒体および表面性状測定機 |
US7036238B2 (en) | 2003-12-22 | 2006-05-02 | Mitutoyo Corporation | Width-measuring method and surface texture measuring instrument |
-
2005
- 2005-08-18 GB GB0516990A patent/GB2429291B/en not_active Expired - Fee Related
-
2006
- 2006-08-16 WO PCT/GB2006/003067 patent/WO2007020441A1/en active Application Filing
- 2006-08-16 EP EP06779139A patent/EP1929240B1/en active Active
- 2006-08-16 DE DE602006013662T patent/DE602006013662D1/de active Active
- 2006-08-16 AT AT06779139T patent/ATE464536T1/de not_active IP Right Cessation
- 2006-08-16 JP JP2008526548A patent/JP5570722B2/ja active Active
- 2006-08-16 US US12/063,963 patent/US7668678B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2007020441A1 (en) | 2007-02-22 |
EP1929240B1 (en) | 2010-04-14 |
US7668678B2 (en) | 2010-02-23 |
EP1929240A1 (en) | 2008-06-11 |
US20080234963A1 (en) | 2008-09-25 |
GB0516990D0 (en) | 2005-09-28 |
DE602006013662D1 (de) | 2010-05-27 |
GB2429291B (en) | 2008-08-20 |
GB2429291A (en) | 2007-02-21 |
ATE464536T1 (de) | 2010-04-15 |
JP2009505092A (ja) | 2009-02-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5570722B2 (ja) | 計量装置の較正 | |
JP4504818B2 (ja) | 加工物検査方法 | |
JP6149337B1 (ja) | 表面形状測定装置 | |
JP5277033B2 (ja) | 補正ボール径算出方法および形状測定装置 | |
CN105588533B (zh) | 形状测定装置以及形状测定方法 | |
US6594532B2 (en) | Movement control by a metrological instrument | |
CN109964098B (zh) | 坐标定位设备以及操作方法 | |
JP6657552B2 (ja) | 平面度測定方法 | |
TWI417512B (zh) | Linear measurement method and linear measuring device | |
JP2005055282A (ja) | 測定方法及び測定装置 | |
JP6394970B2 (ja) | 測定機の校正方法及び校正用ゲージユニット | |
JP6570543B2 (ja) | 機器誤差を特徴付けるための方法及び装置 | |
JP2021092432A (ja) | 三次元測定機 | |
JPH07129209A (ja) | 数値制御装置およびその測定原点出し方法 | |
JPH08233687A (ja) | 非球面の偏心測定方法および測定装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090812 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120116 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120131 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20120423 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20120501 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20120629 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20120706 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120710 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130305 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20130531 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20130607 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20130703 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20130710 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20130801 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20130808 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130829 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140603 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140625 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5570722 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |