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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011089828A1 (ja) * 2010-01-22 2011-07-28 シャープ株式会社 光照射装置、光照射方法および液晶パネルの製造方法
JP5472616B2 (ja) * 2010-01-27 2014-04-16 ウシオ電機株式会社 光照射装置
JP5373168B2 (ja) * 2012-10-09 2013-12-18 株式会社アルバック 光照射装置
JP6614795B2 (ja) * 2015-05-11 2019-12-04 Ａｉメカテック株式会社 紫外線照射装置、及び基板組立システム
CN108717250B (zh) * 2018-06-05 2021-03-23 江苏永鼎股份有限公司 一种半导体芯片生产用接触式光刻机

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3094827B2 (ja) * 1995-02-14 2000-10-03 ウシオ電機株式会社 液晶パネルの貼り合わせ方法および装置
JPH1050584A (ja) * 1996-08-07 1998-02-20 Nikon Corp マスク保持装置
JP2001059953A (ja) * 1999-08-23 2001-03-06 Seiko Epson Corp 基板圧着装置及び液晶装置の製造方法
JP3483809B2 (ja) * 1999-08-31 2004-01-06 シャープ株式会社 基板の貼り合わせ方法および貼り合わせ装置並びに液晶表示装置の製造方法
US7365822B2 (en) * 2002-02-20 2008-04-29 Lg.Philips Lcd Co., Ltd. Method for fabricating LCD
JP4039174B2 (ja) * 2002-08-12 2008-01-30 ウシオ電機株式会社 ディスプレイパネルの貼り合わせ装置
JP2004151325A (ja) * 2002-10-30 2004-05-27 Fujitsu Ltd 基板貼り合せ方法
KR100578262B1 (ko) * 2003-11-13 2006-05-11 주식회사 디엠에스 진공을 이용한 대면적 마스크 고정장치 및 그를 이용한노광장치와 노광방법
JP4380316B2 (ja) * 2003-12-17 2009-12-09 ウシオ電機株式会社 マスク取り付け治具および該マスク取り付け治具を用いたマスク取り付け方法
JP4572626B2 (ja) * 2004-08-26 2010-11-04 ウシオ電機株式会社 光照射装置
US20070070311A1 (en) * 2005-09-23 2007-03-29 Asml Netherlands B.V. Contacts to microdevices
JP4150041B2 (ja) * 2005-12-26 2008-09-17 富士通株式会社 貼合せ基板製造装置
JP4150042B2 (ja) * 2005-12-26 2008-09-17 富士通株式会社 貼合せ基板製造装置及び貼合せ基板製造方法
JP4118922B2 (ja) * 2006-03-24 2008-07-16 富士通株式会社 貼合せ基板製造装置及び貼合せ基板製造方法

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