JP6614795B2 - 紫外線照射装置、及び基板組立システム - Google Patents

Description

本発明は、紫外線照射装置と、その紫外線照射装置を備える基板組立システムに関する。

特許文献１には、「パネルの貼り合せ装置の減圧室内に、シール剤を硬化する波長の光を照射するＬＥＤを内蔵した複数の光照射ユニット設け、該ＬＥＤから出射する光をパネルのシール剤に対して照射する。光照射ユニットは、パネルの上方からパネルに対して光照射ユニットを接近離間させる光照射ユニット駆動機構を介して吊り下げるように設けても良いし、パネルが載置される減圧室内のワークステージに埋め込むようにして設けても良い。」と記載されている（要約参照）。

特開２００６−１９５１２８号公報

特許文献１に記載される貼り合せ装置は、２枚の光透過性基板が貼り合わされたパネル（貼り合せ基板）の上方に光照射ユニット（第１照射部）が備わっている。そして、上方からパネルに光を照射してシール剤を硬化している。このような構造の貼り合せ装置では、パネルの下方から光を照射する必要がある場合、光を照射する前にパネルを反転させる必要がある。
また、光照射ユニットがワークステージに埋め込むようにして設けられる場合には、パネルの下方に光照射ユニットが備わることになる。この場合、パネルの上方から光を照射する必要がある場合には光を照射する前にパネルを反転させる必要がある。

光が照射される前のパネルはシール剤が硬化していないので、パネルを構成する２枚の光透過性基板が完全に固着していない。したがって、光が照射される前のパネルを反転させると、その時点で２枚の光透過性基板にずれが生じる場合がある。
このようなずれが生じた状態でシール剤が硬化すると、２枚の光透過性基板がずれた状態でパネルが形成されることになり、パネルの品質低下の要因となる。

特許文献１に記載される貼り合せ装置は、パネルの上方又は下方の一方にのみ光照射ユニットが備わるので、パネルの任意の一面から光を照射することを可能にするためには、パネルを反転させる反転装置が必要になる。
そして、反転装置でパネルを反転すると、２枚の光透過性基板にずれが生じるのでパネルの品質が低下しやすくなる。

本発明は、貼り合せ基板を反転させることなく任意の一面から紫外線を照射可能な紫外線照射装置、及び基板組立システムを提供することを課題とする。

前記課題を解決するため本発明は、第１基板と第２基板が貼り合わされた貼り合せ基板を載置する下方ステージと、前記下方ステージに載置された前記貼り合せ基板に対して前記第１基板の側から紫外線を照射可能な第１照射部と、前記下方ステージに載置された前記貼り合せ基板に対して前記第２基板の側から紫外線を照射可能な第２照射部と、を有し、前記下方ステージは、前記貼り合せ基板が載置される平面部と、当該平面部に対して上下動可能なリフタと、を備え、前記平面部には、前記リフタが下動したときに前記リフタを収納する凹溝が形成されており、前記リフタは、紫外線を透過可能な素材で形成されており、かつ、下動して前記凹溝に収納されたときに前記平面部に対して凸状にならないように、前記平面部と平行な平板状に形成されており、前記第１照射部は、前記下方ステージの上方において当該下方ステージと平行に備わる上方ステージの上方から、前記下方ステージに載置された前記貼り合せ基板に向かって紫外線を照射し、前記上方ステージが紫外線を透過可能な素材で形成されていることを特徴とする紫外線照射装置とする。また、その紫外線照射装置が備わる基板組立システムとする。

本発明によると、貼り合せ基板を反転させることなく任意の一面から紫外線を照射可能な紫外線照射装置、及び基板組立システムを提供できる。

基板組立システムの構成例を示す図である。 貼り合せ装置を示す図である。 紫外線照射装置を示す概略図である。 紫外線照射装置に備わる下方ステージの構造を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）はＳｅｃ１−Ｓｅｃ１における断面図である。 貼り合せ基板が紫外線照射装置の下方ステージに載置される状態を示す図であり、（ａ）はロボットアームによって貼り合せ基板が搬入される状態を示す図、（ｂ）はリフタが貼り合せ基板を受け取る状態を示す図、（ｃ）は貼り合せ基板が下方ステージの平面部に載置される状態を示す図である。 紫外線照射装置と検査装置を示す図である。 （ａ）は紫外線照射装置に備わる搬出装置の一例を示す図、（ｂ）はＳｅｃ２−Ｓｅｃ２における断面図である。

以下、本発明の実施例に係る基板組立装置及び基板組立システムについて、適宜図を参照して詳細に説明する。なお、以下に示す各図面では、共通する部材には同一の符号を付して重複する説明を適宜省略する。

図１は基板組立システムの構成例を示す図である。
基板組立システム１は、反転装置（Ｔ／Ｏ）２と、搬送装置（ＲＢ）３と、貼り合せ装置（ＶＡＳ）４と、紫外線照射装置（ＵＶ）５と、検査装置（ＭＡ）６と、を有する。
図１に示すように、本実施例の基板組立システム１には４台の貼り合せ装置４が備わっているが、貼り合せ装置４の台数は限定されない。
搬送装置３はロボットアーム３ａを有する。ロボットアーム３ａは、貼り合せ基板１０を２本（又は、それ以上）のアーム部に載置して搬送する。
基板組立システム１は、制御装置（ＣＯＮＴ．）７によって制御され、２枚のガラス基板（上基板１０Ｕ（第１基板），下基板１０Ｄ（第２基板））を貼り合わせて貼り合せ基板１０を生産する。

反転装置２は上基板１０Ｕや下基板１０Ｄを反転する。例えば、図示しない前工程で接着剤、シール剤、液晶、スペーサ及びペースト材など必要な物質が塗布された下基板１０Ｄに対して上基板１０Ｕを反転し、上基板１０Ｕの貼り合わせ面を下基板１０Ｄに対向させる。本実施例においては、紫外線で硬化する接着剤が下基板１０Ｄに塗布される。

上基板１０Ｕと下基板１０Ｄは貼り合せ装置４で貼り合わされる。搬送装置３は、貼り合わさった上基板１０Ｕと下基板１０Ｄ（貼り合せ基板１０）を貼り合せ装置４から搬出する。この時点で、上基板１０Ｕと下基板１０Ｄは固着しておらず、貼り合せ基板１０に大きな振動や衝撃が加わると、上基板１０Ｕと下基板１０Ｄにずれが生じる場合がある。
搬送装置３は、貼り合せ装置４から搬出した貼り合せ基板１０を紫外線照射装置５に搬入する。紫外線照射装置５は、貼り合せ基板１０に対して紫外線ＵＶを照射する。下基板１０Ｄに塗布されている接着剤が紫外線ＵＶで硬化し、貼り合せ基板１０における上基板１０Ｕと下基板１０Ｄが固着して、完成基板であるフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ１１）が生産される。

紫外線照射装置５で生産されたＦＰＤ１１は検査装置６に搬入される。検査装置６は、ＦＰＤ１１におけるキズの有無などを検査する。

このように、本実施例の基板組立システム１は、上基板１０Ｕと下基板１０Ｄを貼り合せ装置４で押圧して貼り合わせ、さらに、上基板１０Ｕと下基板１０Ｄが貼り合わさった貼り合せ基板１０に対して紫外線照射装置５で紫外線ＵＶを照射し、上基板１０Ｕと下基板１０Ｄが固着したＦＰＤ１１を生産する。

図２は貼り合せ装置を示す図である。
基板組立システム１に備わる貼り合せ装置４は、真空中で上基板１０Ｕと下基板１０Ｄを押圧して貼り合わせる装置であり、広く利用されている一般的な装置である。
図２を参照して、貼り合せ装置４の構造を簡単に説明する。
図２に示すように、貼り合せ装置４は上テーブル４０ａと下テーブル４０ｂを有する。上テーブル４０ａは下テーブル４０ｂの上方に配置され、下テーブル４０ｂと対向している。上テーブル４０ａは、搬入された上基板１０Ｕを真空吸着等で保持可能に構成されている。また、下テーブル４０ｂは、搬入された下基板１０Ｄを真空吸着等で保持可能に構成されている。

上テーブル４０ａと下テーブル４０ｂは真空状態になる真空チャンバ４１の内部に配設される。そして、上テーブル４０ａは真空チャンバ４１の内部において下テーブル４０ｂに対して上下動可能になっている。
貼り合せ装置４は、上テーブル４０ａに上基板１０Ｕが保持され、かつ下テーブル４０ｂに下基板１０Ｄが保持された状態で真空チャンバ４１の内部を真空状態にし、さらに、上テーブル４０ａを下テーブル４０ｂに向かって下動させて上基板１０Ｕと下基板１０Ｄを上テーブル４０ａと下テーブル４０ｂで押圧して貼り合わせる。

なお、貼り合せ装置４には位置合わせ機能が備わり、上基板１０Ｕと下基板１０Ｄは、精度よく位置合わせされた状態で貼り合わされて貼り合せ基板１０が生産される。
また、貼り合せ装置４には、所定の波長の光を貼り合せ基板１０に向かって照射する発光部（図示せず）が備わっている。そして、発光部が発光する光で下基板１０Ｄに塗布されている接着材を弱く硬化させる。これによって、上基板１０Ｕと下基板１０Ｄが仮止め状態になった貼り合せ基板１０（図１参照）が生産される。

図３は紫外線照射装置を示す概略図である。
図３に示すように、本実施例の紫外線照射装置５は、上部照射部５０（第１照射部），下部照射部５１（第２照射部）を有する。
上部照射部５０は、下部照射部５１の上方に備わっている。なお、本実施例における上方及び下方は、設置面Ｇに対する上方及び下方を示している（以下、同じ）。

上部照射部５０は筺体５００の内部において紫外線ＵＶを下方に向けて照射し、下部照射部５１は筺体５００の内部において紫外線ＵＶを上方に向けて照射する。上部照射部５０の発光面５０ａと下部照射部５１の発光面５１ａは互いに対向している。
紫外線照射装置５は制御装置７（図１参照）で制御され、上部照射部５０や下部照射部５１は、制御装置７から入力される制御信号（指令）に応じて紫外線ＵＶを照射する。

下部照射部５１の上方には、上基板１０Ｕと下基板１０Ｄが貼り合わさった貼り合せ基板１０を載置する下方ステージ５３が配置されている。下方ステージ５３は下部照射部５１の発光面５１ａと平行な平板である。また、下方ステージ５３と上部照射部５０の間には、下方ステージ５３と平行な上方ステージ５２が配置される。上方ステージ５２及び下方ステージ５３は、ともに紫外線ＵＶを透過可能なガラスで構成されている。

なお、上方ステージ５２及び下方ステージ５３は筺体５００にねじ止め等によって固定されている。例えば、図３に示すように、筺体５００から内側に向かって形成される係止部（テーブル係止部５０１）に上方ステージ５２及び下方ステージ５３の端部が載置され、その部分が図示しないねじ部材で締結固定される構成であればよい。なお、上方ステージ５２及び下方ステージ５３が筺体５００に取り付けられる構造は限定されない。

上方ステージ５２には遮光マスク５２Ｍが取り付けられる。遮光マスク５２Ｍは、上方ステージ５２の平面において紫外線ＵＶを遮光する部分に取り付けられる。上部照射部５０から照射される紫外線ＵＶは遮光マスク５２Ｍが配置されない部分において上方ステージ５２を透過し上基板１０Ｕに到達する。これによって、上基板１０Ｕが紫外線ＵＶを受光する部分を遮光マスク５２Ｍの配置で設定することができる。

同様にして、下方ステージ５３には遮光マスク５３Ｍが取り付けられる。遮光マスク５３Ｍは、下方ステージ５３の平面において紫外線ＵＶを遮光する部分に取り付けられる。下部照射部５１から照射される紫外線ＵＶは遮光マスク５３Ｍが配置されない部分において下方ステージ５３を透過し下基板１０Ｄに到達する。これによって、下基板１０Ｄにおいて紫外線ＵＶを受光する部分を遮光マスク５３Ｍの配置で設定することができる。

紫外線照射装置５の筺体５００の内部に搬入された貼り合せ基板１０は、下方ステージ５３に載置されて上方ステージ５２と下方ステージ５３の間に配置される。そして、上基板１０Ｕ及び下基板１０Ｄは、上部照射部５０から照射される紫外線ＵＶ、又は下部照射部５１から照射される紫外線ＵＶを受光する。これによって、上基板１０Ｕと下基板１０Ｄの間に塗布されている接着材が硬化し、上基板１０Ｕと下基板１０Ｄが固着された完成基板（ＦＰＤ１１）が生産される。

図４は紫外線照射装置に備わる下方ステージの構造を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）はＳｅｃ１−Ｓｅｃ１における断面図である。
図４の（ａ）に示すように、下方ステージ５３は上方を向く平面部５３ａを有し、この平面部５３ａに貼り合せ基板１０（図１参照）が載置される。そして、下方ステージ５３は紫外線ＵＶを透過可能なガラスで形成されている。

また、下方ステージ５３にはリフタ５３ｂが備わっている。リフタ５３ｂは、平面部５３ａと平行な長尺の平板状であって平面部５３ａに対して上下動可能に備わっている。
リフタ５３ｂは、下方に向かって移動（下動）したときに平面部５３ａに形成される凹溝（収納溝５３ｃ）に収納される。これによって、下動したリフタ５３ｂが平面部５３ａに対して凸状にならないような構成となっている。

リフタ５３ｂは、上基板１０Ｕと下基板１０Ｄが貼り合わさった貼り合せ基板１０を紫外線照射装置５（図２参照）に搬入する搬送装置３のロボットアーム３ａと平行に配置される。また、リフタ５３ｂは、平面部５３ａに向かって進入したロボットアーム３ａと干渉しない位置（例えば、ロボットアーム３ａの両側）に配置される。

リフタ５３ｂには昇降装置５３ｄが取り付けられている。
図４の（ｂ）に示すように、昇降装置５３ｄは、例えば、上下方向に延設されるボールねじ５３１と、ボールねじ５３１を軸周りに回転するモータ５３２と、回転するボールねじ５３１で上下動する昇降部５３３と、からなるボールねじ機構で構成される。
そして、昇降部５３３に支持されるリフタ５３ｂが上下動するように構成されている。 モータ５３２は、制御装置７（図１参照）から入力される制御信号（指令）に応じて駆動し、リフタ５３ｂを上下動させる。

本実施例において、リフタ５３ｂは紫外線ＵＶを透過可能なガラスで形成されている。これによって、下部照射部５１（図３参照）から照射される紫外線ＵＶがリフタ５３ｂで遮光されることなく、下方ステージ５３に載置された下基板１０Ｄまで到達する。

また、遮光マスク５３Ｍ（図３参照）は、下方ステージ５３においてリフタ５３ｂが備わらない下側（図３に示す設置面Ｇの側）の平面に取り付けられる。

図５は貼り合せ基板が紫外線照射装置の下方ステージに載置される状態を示す図であり、（ａ）はロボットアームによって貼り合せ基板が搬入される状態を示す図、（ｂ）はリフタが貼り合せ基板を受け取る状態を示す図、（ｃ）は貼り合せ基板が下方ステージの平面部に載置される状態を示す図である。

図５の（ａ）に示すように、筺体５００に開口している搬入口５００ａから、貼り合せ基板１０を載せたロボットアーム３ａ（搬送装置３）が筺体５００の内部において下方ステージ５３の上方に進入する。これによって、貼り合せ基板１０が下方ステージ５３の上方に搬入される。このとき、リフタ５３ｂは下方ステージ５３の収納溝５３ｃに収納されている。
また、貼り合せ基板１０は、上基板１０Ｕが上方に配置された状態（下基板１０Ｄが下方に配置された状態）で筺体５００の内部に搬入される。

ロボットアーム３ａが所定の位置まで進入すると、制御装置７（図１参照）はモータ５３２を駆動してリフタ５３ｂを上動する。図５の（ｂ）に示すように、リフタ５３ｂが上動して貼り合せ基板１０がリフタ５３ｂに載置される。このように、リフタ５３ｂは下方ステージ５３から上動してロボットアーム３ａ（搬送装置３）から貼り合せ基板１０を受け取る。

なお、制御装置７（図１参照）は、図示しないセンサによってロボットアーム３ａの位置を検出し、さらに、検出したロボットアーム３ａの位置にもとづいて、ロボットアーム３ａが所定の位置まで進入したと判定する。

貼り合せ基板１０がリフタ５３ｂに載置された状態で、制御装置７（図１参照）はロボットアーム３ａを筺体５００から退出させる。ロボットアーム３ａは筺体５００から退出することによって下方ステージ５３の上方からも退出する。
なお、制御装置７は、図示しないセンサによってリフタ５３ｂの位置（高さ）を検出し、リフタ５３ｂの高さが所定の高さになった時点で、貼り合せ基板１０がリフタ５３ｂに載置されたと判定する。

制御装置７（図１参照）は、ロボットアーム３ａが筺体５００から退出したらモータ５３２を駆動してリフタ５３ｂを下動して収納溝５３ｃに収納する。図５の（ｃ）に示すように、リフタ５３ｂが下動して貼り合せ基板１０が下方ステージ５３の平面部５３ａに載置される。
なお、制御装置７は、図示しないセンサによってロボットアーム３ａの位置を検出し、さらに、検出したロボットアーム３ａの位置にもとづいて、ロボットアーム３ａが筺体５００から退出したと判定する。

図５の（ｃ）に示すように、下方ステージ５３に貼り合せ基板１０が載置されると、制御装置７（図１参照）は、上部照射部５０（図３参照）か下部照射部５１に指令を与えて紫外線ＵＶを照射する。
制御装置７が上部照射部５０と下部照射部５１のどちらに指令を与えて紫外線ＵＶを照射するかは、例えば、基板組立システム１（図１参照）の操作者等によって予め設定されていることが好ましい。

制御装置７（図１参照）によって、図３に示す上部照射部５０に指令が与えられると、上部照射部５０の発光面５０ａから下方に向かって紫外線ＵＶが照射される。貼り合せ基板１０は、上部照射部５０から照射された紫外線ＵＶを上基板１０Ｕの側から受光する。
また、制御装置７によって、下部照射部５１に指令が与えられると、下部照射部５１の発光面５１ａから上方に向かって紫外線ＵＶが照射される。貼り合せ基板１０は、下部照射部５１から照射された紫外線ＵＶを下基板１０Ｄの側から受光する。

このように、本実施例の基板組立システム１（図１参照）に備わる紫外線照射装置５（図３参照）は、図３に示すように上部照射部５０と下部照射部５１を有する。上部照射部５０は下方ステージ５３に載置された貼り合せ基板１０に対して上基板１０Ｕの側から紫外線ＵＶを照射可能に配置されている。また、下部照射部５１は下方ステージ５３に載置された貼り合せ基板１０に対して下基板１０Ｄの側から紫外線ＵＶを照射可能に配置されている。
したがって、本実施例の紫外線照射装置５は、上基板１０Ｕが上方になるように下方ステージ５３に載置された貼り合せ基板１０に対して、上基板１０Ｕの側からと下基板１０Ｄの側からと、の任意の方向から紫外線ＵＶを照射可能になっている。

図２に示すように、貼り合せ装置４では、上基板１０Ｕが上方になるように上基板１０Ｕと下基板１０Ｄが貼り合わされる。そして、上基板１０Ｕと下基板１０Ｄとが貼り合わせられた貼り合せ基板１０は、上基板１０Ｕが上方になった状態で貼り合せ装置４から搬出される。

また、図３に示す紫外線照射装置５においては、貼り合せ基板１０に対して上基板１０Ｕの側からの紫外線ＵＶの照射（以下、上方照射という）が要求される場合と、下基板１０Ｄの側からの紫外線ＵＶの照射（以下、下方照射という）が要求される場合と、がある。上方照射と下方照射は、上基板１０Ｕ及び下基板１０Ｄの特性や、生産するＦＰＤ１１（図１参照）に要求される性能等に応じて適宜設定される。

上部照射部５０のみを具備する紫外線照射装置５を備える基板組立システムの場合、下方照射に対応するためには、貼り合せ装置４から搬出された貼り合せ基板１０を反転して下基板１０Ｄと上基板１０Ｕの位置を入れ替える反転装置（図示せず）が必要になる。
その際に、貼り合せ装置４から搬出された貼り合せ基板１０は上基板１０Ｕと下基板１０Ｄが完全に固着していないので、貼り合せ基板１０を反転させると上基板１０Ｕと下基板１０Ｄとの間にずれが生じる場合がある。

本実施例の紫外線照射装置５は、図３に示すように上部照射部５０と下部照射部５１を具備し、上基板１０Ｕの側からと下基板１０Ｄの側からと、の任意の方向から紫外線ＵＶを照射可能になっている。したがって、貼り合せ装置４から搬出された貼り合せ基板１０を反転させる反転装置がなくても上方照射と下方照射に対応できる。つまり、本実施例の基板組立システム１（図１参照）は、上基板１０Ｕと下基板１０Ｄとの間にずれを生じさせるおそれのある反転装置が不要なので、上基板１０Ｕと下基板１０Ｄが精度よく貼り合わされた貼り合せ基板１０を生産できる。また、本実施例の基板組立システム１は、上方照射と下方照射の両方に対応可能となっている。

このように、本実施例の基板組立システム１（図１参照）は、貼り合せ基板１０（図１参照）を反転させることなく任意の一面から紫外線ＵＶを照射可能な紫外線照射装置５を備えている。

また、図１に示すように、基板組立システム１には、紫外線照射装置５から搬出されたＦＰＤ１１を検査する検査装置６が備わっている。

図６は紫外線照射装置と検査装置を示す図である。
図６に示すように、検査装置６は移動装置６１と撮像装置６２を有する。移動装置６１は筺体６００の内部でＦＰＤ１１を移動させる。移動装置６１は、例えば載置されたＦＰＤ１１を搬送するコンベア装置であり、図示しない動力源（電動モータ等）で駆動する。移動装置６１及び撮像装置６２は制御装置７（図１参照）で制御される。

撮像装置６２は、制御装置７（図１参照）から入力される指令に応じて、筺体６００の内部で移動するＦＰＤ１１を、上方（上基板１０Ｕの側）から連続撮像する。撮像装置６２が撮像した画像（検査画像）は制御装置７に入力される。
制御装置７は、入力された検査画像を画像処理してＦＰＤ１１における異常の有無を判定する。
例えば、制御装置７は検査画像を多値化処理してキズの有無を判定し、ＦＰＤ１１にキズがあると判定した場合、当該ＦＰＤ１１に異常があると判定する。

制御装置７は、検査装置６においてＦＰＤ１１を上方（上基板１０Ｕの側）から撮像した検査画像にもとづいてＦＰＤ１１の異常を判定する。このため、ＦＰＤ１１は上基板１０Ｕが上方に配置された状態で検査装置６に搬入されることが必要になる。

紫外線照射装置５に上部照射部５０しか備わらない場合、下方照射が必要とされるＦＰＤ１１は紫外線照射装置５から搬出される時点で下基板１０Ｄが上方に配置されている。このため、紫外線照射装置５と検査装置６との間に反転装置（図示せず）が必要になる。

本実施例の紫外線照射装置５は上部照射部５０に加えて下部照射部５１を具備し、上基板１０Ｕが上方に配置された状態のＦＰＤ１１に対して下方照射が可能になっている。したがって、紫外線照射装置５と検査装置６との間に反転装置が必要なく、本実施例の基板組立システム１（図１参照）は、図６に示すように紫外線照射装置５と検査装置６を隣接して設置できる。
このため、紫外線照射装置５から検査装置６までＦＰＤ１１を搬送するための搬送装置３（図１参照）が不要になる。

図７の（ａ）は紫外線照射装置に備わる搬出装置の一例を示す図、（ｂ）はＳｅｃ２−Ｓｅｃ２における断面図である。なお、図７の（ａ）は下方ステージ５３の平面図である。
例えば、図７の（ａ）に示すように、リフタ５３ｂが配置されない位置において下方ステージ５３に入り込むように検査装置６（図６参照）の移動装置６１が配置される。移動装置６１は、平面部５３ａと同じ高さに配置される。移動装置６１は下方ステージ５３に載置される貼り合せ基板１０（ＦＰＤ１１）の少なくとも一部の下方に配置される。

また、図７の（ｂ）に示すように、下方ステージ５３の内部に空間（空気室９）が形成され、平面部５３ａに空気室９と連通する複数の空気孔９ａが形成される。
さらに、空気室９に空気を送り込むポンプ装置９ｂが備わり、ポンプ装置９ｂは制御装置７（図１参照）で制御される。

制御装置７（図１参照）は、上部照射部５０（図３参照）、又は下部照射部５１（図３参照）からの紫外線ＵＶの照射を終了した後にポンプ装置９ｂを駆動して空気室９に空気を送り込む。空気室９に送り込まれた空気は空気孔９ａから吹き出して、平面部５３ａに載置された貼り合せ基板１０（ＦＰＤ１１）を微小に浮上させる。そして、制御装置７は移動装置６１を駆動する。

貼り合せ基板１０（ＦＰＤ１１）は下方ステージ５３の平面部５３ａから微小に浮上した状態で移動装置６１によって移動する。したがって、貼り合わせ基板１０は平面部５３ａから受ける抵抗が非常に少ない状態で移動することになり、貼り合せ基板１０が滑らかに移動する。
また、移動している貼り合せ基板１０と平面部５３ａとの接触が軽減されるので、貼り合せ基板１０と平面部５３ａとの接触によるキズの発生が抑制される。

このように、本実施例の基板組立システム１（図１参照）に備わる紫外線照射装置５（図３参照）は、図３に示すように上部照射部５０と下部照射部５１を有するので、紫外線照射装置５と検査装置６の間に反転装置（図示せず）が不要となる。このため、反転装置に要する費用（コスト）が不要になりコストダウンを図ることができる。
また、図６に示すように、紫外線照射装置５と検査装置６を隣接して配置できる。したがって、反転装置を配置するスペースも不要になり、基板組立システム１（図１参照）の小型化が可能になる。

なお、本発明は前記した実施例に限定されるものではない。例えば、前記した実施例は本発明をわかりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。
また、ある実施例の構成の一部を他の実施例の構成に置き換えることも可能であり、また、ある実施例の構成に他の実施例の構成を加えることも可能である。

この他、本発明は、前記した実施例に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜設計変更が可能である。

例えば、図４の（ｂ）に示すように、本実施例においてリフタ５３ｂを上下動させる昇降装置５３ｄは、ボールねじ５３１と昇降部５３３と、を有するボールねじ機構になっている。この構成に限定されず、例えば、空気圧でロッド（図示せず）を上下動させるアクチュエータ（図示せず）を有する昇降装置であってもよい。また、リフタ５３ｂの数も３つに限定されない。

また、図６に示すように、本実施例において検査装置６の筺体６００の内部で貼り合せ基板１０（ＦＰＤ１１）を移動する移動装置６１はコンベア装置になっている。この構成に限定されず、例えば、貼り合せ基板１０を把持して移動するロボットハンドが移動装置６１として備わる検査装置６であってもよい。

また、図１に示すように、本実施例において搬送装置３は貼り合せ基板１０（上基板１０Ｕ，下基板１０Ｄ）を載置して搬送するロボットアーム３ａを有する。この構成に限定されず、例えば、貼り合せ基板１０（上基板１０Ｕ，下基板１０Ｄ）を把持して移動するロボットハンドを有する搬送装置３であってもよい。

また、本実施例において、図３に示す紫外線照射装置５に備わる上方ステージ５２、下方ステージ５３、及びリフタ５３ｂ（図４の（ａ）参照）はガラス製としたが、上方ステージ５２、下方ステージ５３、及びリフタ５３ｂは紫外線ＵＶを透過可能な素材であればガラス製に限定されない。例えば、上方ステージ５２、下方ステージ５３、及びリフタ５３ｂの一部又は全部が透明な樹脂性であってもよい。

また、本実施例の基板組立システム１（図１参照）は、ガラス基板の貼り合わせに限定されず、例えば、透明な樹脂基板の貼り合わせにも利用可能である。

１ 基板組立システム
３ 搬送装置
４ 貼り合せ装置
５ 紫外線照射装置
６ 検査装置
１０ 貼り合せ基板
１０Ｄ 下基板（第２基板）
１０Ｕ 上基板（第１基板）
１１ ＦＰＤ（完成基板）
５０ 上部照射部（第１照射部）
５１ 下部照射部（第２照射部）
５２ 上方ステージ
５３ 下方ステージ
５３ａ 平面部
５３ｂ リフタ
５３ｃ 収納溝（凹溝）
ＵＶ 紫外線

Claims (11)

1. 第１基板と第２基板が貼り合わされた貼り合せ基板を載置する下方ステージと、
   前記下方ステージに載置された前記貼り合せ基板に対して前記第１基板の側から紫外線を照射可能な第１照射部と、
   前記下方ステージに載置された前記貼り合せ基板に対して前記第２基板の側から紫外線を照射可能な第２照射部と、を有し、
   前記下方ステージは、前記貼り合せ基板が載置される平面部と、当該平面部に対して上下動可能なリフタと、を備え、
   前記平面部には、前記リフタが下動したときに前記リフタを収納する凹溝が形成されており、
   前記リフタは、紫外線を透過可能な素材で形成されており、かつ、下動して前記凹溝に収納されたときに前記平面部に対して凸状にならないように、前記平面部と平行な平板状に形成されており、
   前記第１照射部は、前記下方ステージの上方において当該下方ステージと平行に備わる上方ステージの上方から、前記下方ステージに載置された前記貼り合せ基板に向かって紫外線を照射し、
   前記上方ステージが紫外線を透過可能な素材で形成されていることを特徴とする紫外線照射装置。
2. 前記下方ステージは紫外線を透過可能な素材で形成され、
   前記第２照射部は前記下方ステージの下方から、当該下方ステージに載置された前記貼り合せ基板に向かって紫外線を照射することを特徴とする請求項１に記載の紫外線照射装置。
3. 前記リフタは、
   搬送装置によって前記下方ステージの上方に前記貼り合せ基板が搬入されたときに前記凹溝から上動して前記搬送装置から前記貼り合せ基板を受け取り、
   前記搬送装置が前記下方ステージの上方から退出した後で下動して前記凹溝に収納されて前記貼り合せ基板を前記平面部に載置することを特徴とする請求項２に記載の紫外線照射装置。
4. 前記リフタが、紫外線を透過可能なガラスで形成されていることを特徴とする請求項３に記載の紫外線照射装置。
5. 前記上方ステージと、前記下方ステージとが、紫外線を透過可能なガラスで形成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載の紫外線照射装置。
6. 第１基板と第２基板を押圧して貼り合わせて貼り合せ基板を生産する貼り合せ装置と、
   前記貼り合せ基板に対して紫外線を照射して完成基板を生産する紫外線照射装置と、
   前記完成基板を検査する検査装置と、
   前記貼り合せ装置で生産された前記貼り合せ基板を前記紫外線照射装置に搬入する搬送装置と、を有し、
   前記紫外線照射装置は、前記搬送装置で搬入された前記貼り合せ基板を載置する下方ステージと、前記下方ステージの上方において当該下方ステージと平行に備わる上方ステージの上方から、前記下方ステージに載置された前記貼り合せ基板に向かって紫外線を照射可能な第１照射部と、前記貼り合せ基板の下方から当該貼り合せ基板に向かって紫外線を照射可能な第２照射部と、を有し、
   前記上方ステージは、紫外線を透過可能な素材で形成されており、
   前記下方ステージは、前記貼り合せ基板が載置される平面部と、当該平面部に対して上下動可能なリフタと、を備え、
   前記平面部には、前記リフタが下動したときに前記リフタを収納する凹溝が形成されており、
   前記リフタは、紫外線を透過可能な素材で形成されており、かつ、下動して前記凹溝に収納されたときに前記平面部に対して凸状にならないように、前記平面部と平行な平板状に形成されており、
   前記貼り合せ装置は、前記第２基板の上方から前記第１基板を貼り合わせて前記貼り合せ基板を生産し、
   前記搬送装置は、前記第１基板が上方に配置された状態で前記貼り合せ基板を前記紫外線照射装置に搬入し、
   前記紫外線照射装置は、前記搬送装置によって搬入された前記貼り合せ基板に対して前記第１照射部と前記第２照射部の少なくとも一方から紫外線を照射して前記完成基板を生産することを特徴とする基板組立システム。
7. 前記第１照射部は、前記下方ステージに載置された前記貼り合せ基板に対して上方から紫外線を照射し、
   前記第２照射部は、前記下方ステージに載置された前記貼り合せ基板に対して下方から紫外線を照射することを特徴とする請求項６に記載の基板組立システム。
8. 前記下方ステージは紫外線を透過可能な素材で形成され、
   前記第２照射部は前記下方ステージの下方から、当該下方ステージに載置された前記貼り合せ基板に向かって紫外線を照射することを特徴とする請求項７に記載の基板組立システム。
9. 前記リフタは、
   前記搬送装置によって前記下方ステージの上方に前記貼り合せ基板が搬入されたときに前記凹溝から上動して前記搬送装置から前記貼り合せ基板を受け取り、前記搬送装置が下方ステージの上方から退出した後で下動して前記凹溝に収納されて受け取った前記貼り合せ基板を前記平面部に載置することを特徴とする請求項８に記載の基板組立システム。
10. 前記リフタが、紫外線を透過可能なガラスで形成されていることを特徴とする請求項９に記載の基板組立システム。
11. 前記上方ステージと、前記下方ステージとが、紫外線を透過可能なガラスで形成されていることを特徴とする請求項６乃至請求項１０のいずれか一項に記載の基板組立システム。

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