CN104948946B - 照射装置 - Google Patents
照射装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN104948946B CN104948946B CN201510114274.8A CN201510114274A CN104948946B CN 104948946 B CN104948946 B CN 104948946B CN 201510114274 A CN201510114274 A CN 201510114274A CN 104948946 B CN104948946 B CN 104948946B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- holding member
- masking cover
- light
- irradiation unit
- masking
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 claims abstract description 106
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 54
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 7
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 16
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 11
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 11
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 11
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 10
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 7
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 5
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 5
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 3
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004411 aluminium Substances 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000001447 compensatory effect Effects 0.000 description 1
- 230000006837 decompression Effects 0.000 description 1
- 235000013399 edible fruits Nutrition 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 238000012216 screening Methods 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- 238000007514 turning Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F21—LIGHTING
- F21S—NON-PORTABLE LIGHTING DEVICES; SYSTEMS THEREOF; VEHICLE LIGHTING DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR VEHICLE EXTERIORS
- F21S2/00—Systems of lighting devices, not provided for in main groups F21S4/00 - F21S10/00 or F21S19/00, e.g. of modular construction
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F21—LIGHTING
- F21V—FUNCTIONAL FEATURES OR DETAILS OF LIGHTING DEVICES OR SYSTEMS THEREOF; STRUCTURAL COMBINATIONS OF LIGHTING DEVICES WITH OTHER ARTICLES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F21V1/00—Shades for light sources, i.e. lampshades for table, floor, wall or ceiling lamps
- F21V1/02—Frames
- F21V1/08—Frames adjustable
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F21—LIGHTING
- F21V—FUNCTIONAL FEATURES OR DETAILS OF LIGHTING DEVICES OR SYSTEMS THEREOF; STRUCTURAL COMBINATIONS OF LIGHTING DEVICES WITH OTHER ARTICLES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F21V1/00—Shades for light sources, i.e. lampshades for table, floor, wall or ceiling lamps
- F21V1/14—Covers for frames; Frameless shades
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Heating, Cooling, Or Curing Plastics Or The Like In General (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
Abstract
本发明提供一种照射装置，其在不使用掩蔽罩的情况下，能够抑制掩蔽罩保持部件上的反射或者折射的影响。照射装置(1)在射出光源(10)的光的光射出开口(3A)内配置掩蔽罩保持部件(40)，并在该掩蔽罩保持部件(40)上保持对光源(10)的光进行遮光的遮光掩蔽罩(50)，其中，掩蔽罩保持部件(40)被支承为升降自如。
Description
技术领域
本发明涉及照射装置，所述照射装置具备对遮光掩蔽罩进行保持的掩蔽罩保持部件。
背景技术
以往，作为照射装置，已知一种如下照射装置，在两张透光性基板之间设置由紫外线固化性树脂构成的密封材料，并对在密封材料内密封了液晶的液晶面板照射紫外线，从而使密封材料固化并贴合两张基板(例如，参照专利文献1)。在对密封材料照射紫外线时，如果对液晶照射紫外线，则导致液晶的特性产生变化，因此，在该紫外线固化装置中，在与液晶对应的位置上配置对光源的光进行遮光的遮光掩蔽罩，并将该遮光掩蔽罩保持在保持杆(掩蔽罩保持部件)上。使用透光性材料(石英)来形成保持杆，该保持杆设在整个光射出开口。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2004-77583号公报
发明内容
本发明要解决的问题
关于照射装置，有时不使用遮光掩蔽罩而进行照射，在该情况下，如果保持杆存在于光射出开口，则受到在保持杆上进行反射或折射的光的影响，导致被照射面的照度分布变差。但是，如果在不使用遮光掩蔽罩时装卸保持杆，不仅装卸作业繁杂，而且在装卸时有可能损坏比较昂贵的保持杆，另外，需要保持杆的安全的保管空间。
本发明是鉴于上述情况而完成的，其目的是提供在不使用遮光掩蔽罩的情况下能够抑制掩蔽罩保持部件上的反射或折射的影响的照射装置。
用于解决问题的方法
为了达到上述目的，本发明的照射装置在射出光源的光的光射出开口内配置掩蔽罩保持部件，在该掩蔽罩保持部件上保持对所述光源的光进行遮光的遮光掩蔽罩，其特征在于，所述照射装置具备使所述掩蔽罩保持部件进行升降的升降单元。
在上述的结构中，所述掩蔽罩保持部件也可以具备：由透光性材料构成的保持部；以及支承该保持部的缘部的框体，所述框体被支承为升降自如。
在上述的结构中，也可以具备使所述掩蔽罩保持部件自动升降的驱动单元。
在上述的结构中，也可以具有如下结构，将所述光源设为线状光源，具备使朝向所述线状光源的周围的光反射到被照射体上的主反射镜，并且在所述掩蔽罩保持部件和所述线状光源之间设有包围所述被照射体的辅助反射镜，在所述辅助反射镜和所述被照射体之间设有供所述掩蔽罩保持部件进行升降的空间。
在上述的结构中，在不使用所述遮光掩蔽罩而进行照射时，也可以使所述掩蔽罩保持部件从使用所述遮光掩蔽罩进行照射的位置上升20mm以上。
在上述的结构中，也可以使所述掩蔽罩保持部件相对于被照射面沿着铅垂方向升降自如。
在上述的结构中，所述保持部的被照射面侧的面也可以形成为平面。
发明效果
根据本发明，由于升降自如地支承掩蔽罩保持部件，因此，在不使用遮光掩蔽罩时，通过使掩蔽罩保持部件与被照射面分离，能够抑制掩蔽罩保持部件上的反射或者折射的影响。
附图说明
图1是示意性表示本发明的实施方式的照射装置的图。
图2是示意性表示仅由紫外线灯及主反射板进行照射的工件的照度分布的图。
图3是表示工件及遮光掩蔽罩的图，(A)是工件的剖视图，(B)是表示工件及遮光掩蔽罩的立体图。
图4是表示掩蔽罩保持部件的立体图。
图5是表示保持杆的立体图。
图6是表示保持杆的图，(A)是俯视图，(B)是(A)的A-A剖视图。
图7是图6的B-B剖视图。
图8是示意性表示使掩蔽罩保持部件上升的照射装置的图。
图9是表示掩蔽罩保持部件的提升位置和照度之间的关系的图，(A)是表示计测部位的图，(B)是表示计测部位B上的最大照度Max及最小照度Min的曲线图，(C)是表示计测部位C上的最大照度Max及最小照度的曲线图，(D)是表示计测部位D上的最大照度Max及最小照度Min的曲线图。
附图标记说明
1：照射装置，3A：光射出开口，10：紫外线灯(光源)，12：主反射镜，14：辅助反射板(辅助反射镜)，40：掩蔽罩保持部件，41：掩蔽罩支架(框体)，42：保持杆(保持部)，42A：缘部，44：升降机构(驱动单元)，50：遮光掩蔽罩，60：控制装置，S2：空间。
具体实施方式
以下参照附图，对本发明的实施方式进行说明。
图1是示意性表示本实施方式的照射装置的图。图2是示意性表示仅由紫外线灯及主反射板进行照射的工件的照度分布的图。
如图1所示，照射装置1是内置紫外线灯10并且能够以均等的照度(即良好的均匀度)照射作为照射区域的工件2的整个区域的装置。另外，照射装置1也可以作为光固化装置而使用，所述光固化装置将液晶面板等基板作为工件2，通过对该工件2照射光来使工件2中使用的光固化性树脂固化。照射装置1利用至少一个以上(在本实施方式中是五个)的线状光源来照射工件2，在该照射装置1中，作为紫外线光源使用直管型的高输出的上述紫外线灯10。
照射装置1在下表面具有光射出开口3A的筐体3内，具备至少一个以上(在本实施方式中是五个)的照射器1A～1E。各照射器1A～1E在壳体11内具有一个紫外线灯10和对紫外线灯10的放射光进行控制的主反射板(主反射镜)12，并沿着与紫外线灯10的轴线方向正交的灯宽度方向(光源并列方向)W并列地排列。另外，照射装置1在照射器1A～1E的下方具备四角筒状的辅助反射板(辅助反射镜)14。这些主反射板12及辅助反射板14构成照射装置1的反射镜。并且，照射装置1在辅助反射板14的下方具备掩蔽罩保持部件40，对紫外线灯10的紫外线进行遮光的遮光掩蔽罩50被保持于该掩蔽罩保持部件40。
工件2载置于能够升降地构成的照射台4，在照射台4上升到照射位置时，工件2配置在筐体3的光射出开口3A的正下方的、隔着间隙δ(在本实施方式中是2mm)的位置上，是与光射出开口3A大致相同大小的区域。在该照射装置1中，工件2设定在离光射出开口3A比较接近的位置上。
紫外线灯10在工件2的正上方并列地延伸，两端的紫外线灯10配置在工件2的缘部的正上方。此外，工件2的长边La被设定为与紫外线灯10的管长大致相同的长度或者管长以下的长度，并通过将管长较长的长弧灯用于紫外线灯10，实现了工件2的大面积化。
如上所述，照射装置1具备主反射板12和辅助反射板14，并利用紫外线灯10的直射光和主反射板12及辅助反射板14的反射光能够以均等的照度照射工件2。
在此，在只利用紫外线灯10的直射光照射工件2的情况下，在包括工件2的长轴K(图2)的附近的照度分布中，大致直接反映紫外线灯10的灯管轴方向(长度方向)的亮度分布。
于是，利用主反射板12及辅助反射板14反射从紫外线灯10放射并脱离工件2的光，并以补偿工件2中的直射光的照度分布的方式进行照射，从而提高工件2的均匀度。
主反射板12将向紫外线灯10的周围(更准确地说是上方及水平方向)放射的光朝向工件2反射，从而提高被照射面2A的照度，并且实现了照度的均等化。主反射板12形成为沿着紫外线灯10的管轴延伸的槽状，与紫外线灯10对置的面形成为反射面。如图2所示，通过该主反射板12的反射，对于工件2，在向紫外线灯10的正下方延伸的区域Xa的两侧，出现与该区域Xa一起延伸且具有同等的照度的区域Xb。由此，在工件2的短边Lb的方向上，以分配紫外线灯10的正下方的照度的方式进行照射。
如图1所示，关于壳体11，在紫外线灯10的正下方形成有俯视时为矩形的照射开口11A，所述照射开口11A设置为其长度方向与紫外线灯10的长度方向(轴方向)一致。在照射开口11A的内侧，设置有选择透过的光的波长的波长选择滤光器13，通过该波长选择滤光器13，照射装置1照射所期望的波长的光。此外，在本实施方式中，虽然设置了波长选择滤光器13，但在紫外线灯10自身能够射出所期望的波长的光的情况下，也可以省略波长选择滤光器13。另外，也可以将一个波长选择滤光器配置在从紫外线灯10到光射出开口3A之间的位置上。另外，也可以省略壳体11。
辅助反射板14设置在主反射板12和工件2之间，通过将向工件2之外透出的光朝向工件2进行反射，从而补偿由紫外线灯10及主反射板12进行照射的照度分布。
详细而言，在该照射装置1中，在只利用紫外线灯10及主反射板12来照射的情况下，如图2所示，在与紫外线灯10的两端部对应的区域Xc及紫外线灯10的灯宽度方向W上的区域Xa的两侧的区域Xd中照度不足。在该照射装置1中，以利用反射光来补偿这些区域Xc、区域Xd的照度不足的方式构成辅助反射板14。
具体而言，如图1所示，辅助反射板14具有：一对辅助端板20，其面对紫外线灯10的两端；以及一对辅助侧板21，其面对紫外线灯10的两侧。这些辅助端板20及辅助侧板21被组装成包围工件2的四周的四角筒状，其内壁面作为反射面而构成。在辅助反射板14的基端部14A侧，隔着预定距离(约50mm)的空间S1设置有照射器1A～1E。辅助反射板14的前端部14B侧以俯视时为矩形的方式设置开口，在该开口的正下方，隔着预定距离(约50～70mm)的空间S2设置有掩蔽罩保持部件40。
基于该结构，一对辅助端板20朝向上述区域Xc反射光，并且一对辅助侧板21朝向上述区域Xd反射光，通过这些反射光来补偿区域Xc、Xd的照度。
图3是表示工件2及遮光掩蔽罩50的图，图3(A)是工件2的剖视图，图3(B)是表示工件2及遮光掩蔽罩50的立体图。
如图3所示，工件2是在两张基板2B之间设置由紫外线固化性树脂构成的密封材料(液晶密封材料)2C并且在密封材料2C内密封了液晶2D的液晶面板。如下形成工件2，通过向密封材料2C照射紫外线，使密封材料2C固化，从而贴合两张基板2B。一个基板2B是在与液晶2D对应的位置上具有TFT(薄膜晶体管)电路(未图示)的阵列基板，另一个基板2B是在与液晶2D对应的位置上具有滤色器(未图示)的滤色器基板。图3表示以具有TFT电路的基板2B成为被照射面2A的方式进行配置的工件2。在此，在向密封材料2C照射紫外线时，如果向液晶2D照射紫外线，则导致液晶2D的特性产生变化。于是，在照射装置1中设置有对朝向液晶2D的光进行遮光的遮光掩蔽罩50。
遮光掩蔽罩50构成为具备：遮光部51，其形成在与液晶2D对应的位置上；以及透光部52，其形成在与密封材料2C对应的位置上。遮光掩蔽罩50通过在一个遮光材料(例如，金属板)上形成一个以上(在本实施方式中是四个)的开口50A，从而由形成开口50A的缘部构成遮光部51，由开口50A的内部构成透光部52。如图1所示，该遮光掩蔽罩50被吸附于掩蔽罩保持部件40的下表面而被保持。
图4是表示掩蔽罩保持部件40的立体图。图5是表示保持杆的立体图。图6是表示保持杆的图，图6(A)是俯视图，图6(B)是图6(A)的A-A剖视图。图7是图6的B-B剖视图。图8是示意性表示使掩蔽罩保持部件40上升的照射装置1的图。
如图4所示，掩蔽罩保持部件40具备形成为俯视时大致矩形的框状的掩蔽罩支架(框体)41，并在该掩蔽罩支架41上支承多个(在本实施方式中是八个)棒状的保持杆(保持部)42。掩蔽罩支架41使用具有能够支承保持杆42的刚性的材料(例如，铝、不锈钢、铁等的金属，在本实施方式中使用铝)，并形成为其内表面41A的大小成为光射出开口3A的大小以上。
多个保持杆42使用透光性材料(优选透明部件，在本实施方式中使用石英)形成为遍及光射出开口3A的长度，并沿着灯宽度方向W排列，从而缘部42A被支承于掩蔽罩支架41。
如此，通过使用多个保持杆42来构成掩蔽罩保持部件40，无需使用一个加工精度高的较大的石英板，因此，能够小型化构成掩蔽罩保持部件40的部件，其结果，能够实现轻型化和降低成本。此外，也可以由一个石英板构成多个保持杆42。另外，在本实施方式中，等间隔地配置有保持杆42，但排列间隔不限于等间隔，根据工件2的大小及工件2内部的液晶单元的配置而适当地设定。
如图5及图6所示，保持杆42形成为大致角筒状，在下表面(被照射面2A侧的面)具备吸附槽43A。如图5所示，本实施方式的吸附槽43A沿着保持杆42的长度方向设置两列，并且各列在保持杆42的长度方向大致中央被分割成两个，但并不限定吸附槽43A的数量及排列。在保持杆42的长度方向的两端部形成有与吸附槽43A连通的通路43B。
如图6及图7所示，保持杆42的长度方向的两端部通过支承体44被支承在掩蔽罩支架41上。支承体44具备：支承块44B，其具备插入保持杆42的插入槽44A；以及按压部件44C，其按压插入到插入槽44A的保持杆42的上表面(紫外线灯10侧的面)。在按压部件44C与保持杆42的上表面之间配置由弹性材料(例如，硅橡胶)构成的薄片44D，利用固定工具44E(例如，螺栓)将按压部件44C固定在支承块44B的上表面，由此，保持杆42被固定于支承体44。支承体44经由相对于掩蔽罩支架41沿着垂直方向(上下方向)支承的直线轴承44F(例如，直线套筒)被固定在掩蔽罩支架41上。在图7中，附图标记44G是对支承体44进行定位并固定的固定工具(例如，螺栓)，附图标记44H是直线轴承44F的防脱工具(例如，螺栓)。在保持杆42的长度方向的一端侧的支承体44中，直线轴承44F被支承在俯视时圆形的孔44J，在保持杆42的长度方向的另一端侧的支承体44中，支承直线轴承44F的孔44J形成为长孔状。另外，在另一端侧的支承体44中，由于直线轴承44F的端面与支承体44抵接，因此省略防脱工具44H。
如图6所示，关于支承体44，在与保持杆42的通路43B对应的位置上，安装有连接气管45的连接部44K。气管45与减压器(未图示)连结，如果驱动减压器，则保持杆42的通路43B被进行减压，并通过来自吸附槽43A的吸引，遮光掩蔽罩50被吸附于保持杆42而被保持。
在图1所示的照射装置1中，例如，在以具有滤色器的基板2B成为被照射面2A的方式配置工件2时等，有时不使用遮光掩蔽罩50而照射紫外线。在该情况下，如果在光射出开口3A中存在保持杆42，则受到在保持杆42上反射或折射的光的影响，导致被照射面2A的照度分布变差。尤其是，在保持杆42上反射或折射的紫外线聚光在液晶2D上的情况下，导致液晶2D的特性产生变化，因此成为问题。
于是，在本实施方式中，升降自如地支承掩蔽罩保持部件40。进一步具体而言，掩蔽罩支架41例如被支承在气缸等的升降机构(驱动单元)46上，如图8所示，掩蔽罩保持部件40按照每个对保持杆42进行支承的掩蔽罩支架41进行升降。在本实施方式中，掩蔽罩保持部件40不改变姿态并维持水平度的状态下相对于工件2的被照射面2A沿着铅垂方向进行升降。升降机构46也可以具备对掩蔽罩保持部件40的移动方向进行导向的导向部件。此外，升降方向不限于此。
紫外线灯10、升降机构46、对照射台4进行升降的直动机构(未图示)、以及减压器与照射装置1的控制装置60连接。通过该控制装置60的控制，对紫外线灯10的亮灯、升降机构46、直动机构、以及减压器的驱动进行控制。
在照射台4下降之后进行遮光掩蔽罩50的装卸。在卸掉遮光掩蔽罩50时，减压器被停止并解除减压，从掩蔽罩保持部件40卸下遮光掩蔽罩50。然后，驱动升降机构46，掩蔽罩保持部件40上升到预定的高度H。由此，掩蔽罩保持部件40与被照射面2A分离，因此，由于保持杆42上的反射、折射等变成不均等的强度的光在掩蔽罩保持部件40和被照射面2A之间与其它的光进行混合，能够抑制由保持杆42导致的在被照射面2A上的照度不均。
此外，在装卸遮光掩蔽罩50时，也可以在紫外线灯10亮灯的状态下进行装卸，或者也可以在灭灯的状态下进行装卸。
在图9中表示改变掩蔽罩保持部件40的提升位置来模拟被照射面2A上的预定的计测部位上的照度的结果。
图9是表示掩蔽罩保持部件40的提升位置(上升高度)和照度之间的关系的图，图9(A)是表示计测部位的图，图9(B)是表示计测部位B上的最大照度Max及最小照度Min的曲线图，图9(C)是表示计测部位C上的最大照度Max及最小照度的曲线图，图9(D)是表示计测部位D上的最大照度Max及最小照度Min的曲线图。在图9(B)～图9(D)中，横轴表示提升位置，纵轴表示照度(mW/cm2)。此外，将在利用遮光掩蔽罩50来进行照射时的掩蔽罩保持部件40的位置、且与图1所示的辅助反射板14之间隔着预定距离的空间S2的位置作为提升位置的基准位置(0mm)。
如图9(A)所示，在有效照射面积为宽度1500mm×长度1280mm的被照射面2A中，在将灯宽度方向W的灯长度方向L的中央位置设定为0mm的情况下，关于灯宽度方向W，计测部位B～D位于0～750mm的位置上。另外，关于灯长度方向L，计测部位B位于0mm的位置上，计测部位C位于300mm的位置上，计测部位D位于640mm的位置上。
如图9(B)～图9(D)所示，只要使掩蔽罩保持部件40比基准位置(0mm)上升20mm，最小照度Min也上升，并且均匀度提高。在提升位置为20～40mm的位置上不太产生变化，但如果将掩蔽罩保持部件40提升60mm，则最小照度Min上升，并且最大照度Max减小，因此，均匀度提高。在提升位置为60～120mm的位置上均匀度逐渐提高，但在到达140mm之后，几乎不产生变化。
因而，只要使掩蔽罩保持部件40从基准位置上升20mm，也能够大幅度改善均匀度。如果使掩蔽罩保持部件40从基准位置上升60mm，则能够进一步改善均匀度。在本实施方式中，在不使用遮光掩蔽罩50而进行照射时，根据工件2的种类，使掩蔽罩保持部件40在20mm以上且在辅助反射板14的前端部14B和掩蔽罩保持部件40的上表面之间的空间S2的距离以下的范围内进行上升。
如以上说明，根据本实施方式，由于升降自如地支承掩蔽罩保持部件40，因此，在不使用遮光掩蔽罩50时，通过使掩蔽罩保持部件40与被照射面2A分离，能够抑制掩蔽罩保持部件40的保持杆42上的反射或者折射的影响。
另外，根据本实施方式，掩蔽罩保持部件40构成为，具备由透光性材料构成的保持杆42、和支承该保持杆42的缘部42A的掩蔽罩支架41，并将掩蔽罩支架41支承为升降自如。根据该结构，能够支承与保持杆42相比能够更坚固地形成的掩蔽罩支架41，不需要将比较容易损坏的昂贵的保持杆42支承在升降机构46上，因此，能够抑制由掩蔽罩保持部件40的升降导致的保持杆42的损坏。
另外，根据本实施方式，具备使掩蔽罩保持部件40自动升降的升降机构46，因此，能够容易地对掩蔽罩保持部件40进行升降。另外，即使不关闭紫外线灯10，也能够对掩蔽罩保持部件40进行升降，因此，能够缩短制造工序。
另外，根据本实施方式，具有如下结构，将紫外线灯10设为线状光源，具备使朝向紫外线灯10的周围的光反射到工件2上的主反射板12，并且在掩蔽罩保持部件40和紫外线灯10之间设有包围工件2的辅助反射板14，在辅助反射板14和工件2之间设有供掩蔽罩保持部件40进行升降的空间S2。根据该结构，能够使掩蔽罩保持部件40并不是在辅助反射板14的内侧，而是在辅助反射板14的下方上升，因此，与在辅助反射板14的内侧使掩蔽罩保持部件40上升的情况相比，能够进一步减少工件2上的照度不均。
另外，根据本实施方式，在不使用遮光掩蔽罩50而进行照射时，使掩蔽罩保持部件40从使用遮光掩蔽罩50来进行照射的位置上升20mm以上，因此，能够大幅度改善均匀度。
但是，上述实施方式是本发明的一个方案，在不脱离本发明的要旨的范围内，能够进行适当的改变。
例如，在上述的实施方式中，使保持杆42与被照射面2A分离，但除此之外，例如也可以通过在保持杆42的上表面或者下表面形成光干涉膜，降低光的反射来抑制照度不均的产生。
另外，在上述的实施方式中，将升降机构46作为气缸进行了说明，但升降机构46不限于此。
另外，在上述的实施方式中，设置了使掩蔽罩保持部件40自动升降的升降机构46，但也可以构成为手动升降掩蔽罩保持部件40。
另外，在上述的实施方式中，设有辅助反射板14，但也可以省略辅助反射板14。
另外，在上述的实施方式中，作为线状光源使用了五个紫外线灯10，但线状光源的数量不限于此。另外，代替紫外线灯10，也能够使用将紫外线LED等的发光元件排列成直线状的线状光源。另外，由线状光源照射的光不限于紫外线。
另外，在上述的实施方式中，将照射装置1作为光固化装置进行了说明，但本发明能够应用在各种照射装置中。
Claims (6)
1.一种照射装置，在射出光源的光的光射出开口内配置掩蔽罩保持部件，并在该掩蔽罩保持部件上保持对所述光源的光进行遮光的遮光掩蔽罩，其特征在于，
所述掩蔽罩保持部件被支承为升降自如，
在不使用所述遮光掩蔽罩而进行照射时，使所述掩蔽罩保持部件从使用所述遮光掩蔽罩进行照射的位置上升20mm以上。
2.根据权利要求1所述的照射装置，其特征在于，
所述掩蔽罩保持部件具备：由透光性材料构成的保持部；以及支承该保持部的缘部的框体，
所述框体被支承为升降自如。
3.根据权利要求1所述的照射装置，其特征在于，
所述照射装置具备自动升降所述掩蔽罩保持部件的驱动单元。
4.根据权利要求1所述的照射装置，其特征在于，
所述照射装置将所述光源设为线状光源，具备使朝向所述线状光源的周围的光反射到被照射体上的主反射镜，并且在所述掩蔽罩保持部件和所述线状光源之间设有包围所述被照射体的辅助反射镜，
在所述辅助反射镜和所述被照射体之间设有供所述掩蔽罩保持部件进行升降的空间。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的照射装置，其特征在于，
使所述掩蔽罩保持部件相对于被照射面沿着铅垂方向升降自如。
6.根据权利要求2至4中任一项所述的照射装置，其特征在于，
所述保持部的被照射面侧的面形成为平面。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2014071951A JP6314604B2 (ja) | 2014-03-31 | 2014-03-31 | 照射装置 |
| JP2014-071951 | 2014-03-31 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN104948946A CN104948946A (zh) | 2015-09-30 |
| CN104948946B true CN104948946B (zh) | 2018-06-22 |
Family
ID=54163845
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201510114274.8A Expired - Fee Related CN104948946B (zh) | 2014-03-31 | 2015-03-16 | 照射装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP6314604B2 (zh) |
| KR (1) | KR20150113874A (zh) |
| CN (1) | CN104948946B (zh) |
| TW (1) | TWI645419B (zh) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI588515B (zh) * | 2016-02-05 | 2017-06-21 | 宋琇瑩 | 鏡片防霧薄膜製造方法及鏡片防霧薄膜之光硬化裝置 |
| US11396986B2 (en) * | 2019-05-23 | 2022-07-26 | Valeo North America, Inc. | Apparatus and method for masking residual visible light from an infrared emission source |
| CN111338110B (zh) * | 2020-04-13 | 2023-05-02 | Tcl华星光电技术有限公司 | 框胶固化装置及其固化方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1165972A (zh) * | 1995-09-22 | 1997-11-26 | 新东工业株式会社 | 用于制造液晶板的装置 |
| CN1740876A (zh) * | 2004-08-25 | 2006-03-01 | Nec液晶技术株式会社 | 用于固化显示面板中的uv－热固性树脂的uv－射线固化设备 |
| CN101332648A (zh) * | 2007-06-29 | 2008-12-31 | 显示器生产服务株式会社 | 用于密封剂紫外光固化机的固定单元 |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3059360B2 (ja) * | 1995-06-28 | 2000-07-04 | シャープ株式会社 | 液晶パネルの製造方法および製造用プレス装置 |
| JPH1050584A (ja) * | 1996-08-07 | 1998-02-20 | Nikon Corp | マスク保持装置 |
| JP2000292799A (ja) * | 1999-04-09 | 2000-10-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶表示素子とその製造方法 |
| US7006202B2 (en) * | 2002-02-21 | 2006-02-28 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Mask holder for irradiating UV-rays |
| JP2004310063A (ja) * | 2003-03-25 | 2004-11-04 | Sharp Corp | 露光用マスク、露光装置、露光方法および液晶表示装置の製造方法 |
| JP2005107162A (ja) * | 2003-09-30 | 2005-04-21 | Sharp Corp | 露光装置および露光方法 |
| JP4581522B2 (ja) * | 2004-07-15 | 2010-11-17 | ウシオ電機株式会社 | 液晶パネルの貼り合わせ装置 |
| JP2008086890A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-04-17 | Harison Toshiba Lighting Corp | 紫外線照射装置 |
| JP4400628B2 (ja) * | 2007-02-01 | 2010-01-20 | ウシオ電機株式会社 | 液晶パネルの貼り合せ方法 |
| KR101052884B1 (ko) * | 2008-11-06 | 2011-07-29 | 엘아이지에이디피 주식회사 | 실런트 경화장치 및 경화방법 |
| JPWO2011089828A1 (ja) * | 2010-01-22 | 2013-05-23 | シャープ株式会社 | 光照射装置、光照射方法および液晶パネルの製造方法 |
-
2014
- 2014-03-31 JP JP2014071951A patent/JP6314604B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2015
- 2015-03-09 TW TW104107386A patent/TWI645419B/zh not_active IP Right Cessation
- 2015-03-16 CN CN201510114274.8A patent/CN104948946B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2015-03-26 KR KR1020150042207A patent/KR20150113874A/ko unknown
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1165972A (zh) * | 1995-09-22 | 1997-11-26 | 新东工业株式会社 | 用于制造液晶板的装置 |
| CN1740876A (zh) * | 2004-08-25 | 2006-03-01 | Nec液晶技术株式会社 | 用于固化显示面板中的uv－热固性树脂的uv－射线固化设备 |
| CN101332648A (zh) * | 2007-06-29 | 2008-12-31 | 显示器生产服务株式会社 | 用于密封剂紫外光固化机的固定单元 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TWI645419B (zh) | 2018-12-21 |
| JP2015194582A (ja) | 2015-11-05 |
| JP6314604B2 (ja) | 2018-04-25 |
| TW201539478A (zh) | 2015-10-16 |
| KR20150113874A (ko) | 2015-10-08 |
| CN104948946A (zh) | 2015-09-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN104948946B (zh) | 照射装置 | |
| JP5180439B2 (ja) | 紫外光照射装置及び照射方法、基板製造装置及び基板製造方法 | |
| KR20100113968A (ko) | 시일링 장치 | |
| WO2014136934A1 (ja) | 光配向用偏光照射装置 | |
| CN101990651B (zh) | 液晶显示装置的制造方法及其制造装置 | |
| KR100828969B1 (ko) | 실란트 경화장치의 마스크글라스 고정유닛 | |
| KR101350924B1 (ko) | 실런트 경화장치 | |
| KR101270699B1 (ko) | 액정표시패널 제조장치 | |
| JP2008033056A (ja) | シール剤硬化装置及び基板製造装置 | |
| KR102053296B1 (ko) | 자외선 조사기 및 자외선 조사 장치 | |
| KR20100128075A (ko) | 도광판 제조장치 | |
| TW201738990A (zh) | 處理裝置 | |
| KR101367665B1 (ko) | 실런트 경화 장치 및 실런트 경화장치용 엘이디 배열방법 | |
| KR200400671Y1 (ko) | 액정 표시 장치용 백라이트 제조장치의 프리즘시트보호필름 자동 제거장치 | |
| KR100931320B1 (ko) | 평판 표시 소자 액정 제조용 자외선 경화 장치 | |
| KR200466784Y1 (ko) | 자외선 경화장치의 마스크글라스 고정유닛 | |
| KR20200067235A (ko) | 처리 장치 | |
| JP4581522B2 (ja) | 液晶パネルの貼り合わせ装置 | |
| TWI713094B (zh) | 紫外線照射裝置及紫外線照射方法 | |
| CN220559715U (zh) | 一种固化装置 | |
| CN106409723A (zh) | 紫外线照射装置及紫外线照射方法 | |
| KR20120055314A (ko) | 자외선 접합 경화장치 | |
| JP6919425B2 (ja) | 光処理装置 | |
| CN105372880A (zh) | 照射装置 | |
| CN207818529U (zh) | Uv解胶机 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20180622 Termination date: 20200316 |