JP2009253079A5 - - Google Patents

Claims (9)

1. 光源から出射され、該光源の下方に配置された遮光マスクを透過した光を、該遮光マスクの下方に配置された被照射体に照射させる光照射装置であって、
   前記遮光マスクの上方に設けられた支持部材に支持され、光透過性を有し、真空吸引により前記遮光マスクを吸着保持する吸着管を備えたことを特徴とする光照射装置。
2. 請求項１に記載の光照射装置において、
   前記支持部材は、前記光源から出射される光の光路から外れた位置に設けられたことを特徴とする光照射装置。
3. 請求項１又は２に記載の光照射装置において、
   前記吸着管は、前記支持部材に支持される第１の管材と、該第１の管材の下端部が挿入された第２の管材とから構成されたことを特徴とする光照射装置。
4. 請求項３に記載の光照射装置において、
   前記第２の管材の軸方向端面は、研磨処理された研磨面であることを特徴とする光照射装置。
5. 請求項１〜４のいずれか１項に記載の光照射装置において、
   前記吸着管は、石英ガラスよりなることを特徴とする光照射装置。
6. 請求項１〜５のいずれか１項に記載の光照射装置において、
   前記支持部材は、水平方向に移動可能に設けられたことを特徴とする光照射装置。
7. 請求項１〜６のいずれか１項に記載の光照射装置において、
   光透過性を有し、真空吸引により前記遮光マスクの周縁部を吸着保持する周縁部吸着管と、
   前記周縁部吸着管を支持する支持体と
   を備えたことを特徴とする光照射装置。
8. 請求項７に記載の光照射装置において、
   前記支持体は、前記遮光マスクの側方に設けられたことを特徴とする光照射装置。
9. 請求項８に記載の光照射装置において、
   前記周縁部吸着管の上端面は、前記光源の下方に位置していることを特徴とする光照射装置。