JP2009231692A - プラズマ処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】このプラズマ処理装置は、サセプタ12をサセプタ中心電極12Aとサセプタ周辺電極12Bとに半径方向で2分割し、高周波放電またはプラズマ生成のために高周波電源16より出力される高周波をサセプタ周辺電極12B上に下部給電導体18を介して優先的に供給すると同時に、サセプタ中心電極12A上にも可変容量結合部28を介して可変の分配比で該高周波を供給するように構成している。
【選択図】図1
Description
12 サセプタ(下部電極)
12A サセプタ中心電極(下部中心電極)
12B サセプタ周辺電極(下部周辺電極)
14 絶縁体
16 (第1)高周波電源
18 (第1)下部給電導体
22 (第1)下部給電棒
24 水平接続部
25 面状接続部
26 垂直接続部
28 可変容量結合部
40 排気装置
74 短冊状導体板
82 上部フィン
84 下部フィン
90 操作部
100 第2高周波電源
102 第2下部給電棒
104 第2下部給電導体
106 中空誘電体
108 ガルデン
120 リング状導体板
Claims (11)
- 真空排気可能な処理容器と、
前記処理容器内で被処理基板を載置する下部中心電極と、
前記下部中心電極から電気的に絶縁されて前記下部中心電極の外周を環状に囲む下部周辺電極と、
前記下部中心電極および前記下部周辺電極と対向してその上方に配置される上部電極と、
前記下部中心電極および前記下部周辺電極と前記上部電極との間の処理空間に処理ガスを供給する処理ガス供給部と、
高周波放電によって前記処理ガスのプラズマを生成するための第1高周波を出力する第1高周波電源と、
前記第1高周波電源からの前記第1高周波を前記下部周辺電極上に優先的に供給するために前記下部周辺電極の背面に接続される第1下部給電導体と、
前記第1高周波電源からの前記第1高周波の一部を前記下部中心電極上に供給するために、前記第1下部給電導体および前記下部周辺電極の少なくとも一方と前記下部中心電極とをインピーダンス可変の容量結合で電気的に接続する第1可変容量結合部と
を有するプラズマ処理装置。 - 前記第1下部給電導体は、
前記下部中心電極の中心部の直下で鉛直上方に延びて、前記下部中心電極から離間した位置で終端する第1給電棒と、
前記第1給電棒の上端部から半径方向外側および上方に延びて前記下部周辺電極の背面に至る面状の接続部と
を有する請求項1に記載のプラズマ処理装置。 - 前記第1可変容量結合部は、前記第1給電棒または前記面状接続部と前記下部中心電極との間に設けられる請求項2に記載のプラズマ処理装置。
- 前記第1可変容量結合部は、前記面状接続部と前記下部中心電極との間の空間内で円周方向に一定の間隔を置いて配置され、各々が水平な軸を回転中心として回転方向に変位可能に設けられる多数の導体板を有する請求項3に記載のプラズマ処理装置。
- 前記第1可変容量結合部は、
同心円状に複数配置され、前記下部中心電極に電気的に接続された環状の上部フィン導体と、
前記上部フィン導体に対して半径方向にオフセットして同心円状に複数配置され、前記第1給電棒または前記面状接続部に電気的に接続された環状の下部フィン導体と、
前記上部フィン導体と前記下部フィン導体とを半径方向で対向させた状態で両者を鉛直方向で相対的に変位させるためのフィン導体変位機構と
を有する請求項3に記載のプラズマ処理装置。 - 前記第1可変容量結合部は、前記下部中心電極と前記第1下部給電導体および前記下部周辺電極の少なくとも一方との間に環状に設けられる中空の誘電体を有し、前記中空誘電体の内部に流動性の誘電性物質を可変量で収容する請求項1に記載のプラズマ処理装置。
- 前記第1可変容量結合部は、前記下部中心電極と前記第1下部給電導体および前記下部周辺電極の少なくとも一方との間に環状に設けられる中空の誘電体を有し、前記中空誘電体の内部に導体板を所定の方向で変位可能に収容する請求項1記載のプラズマ処理装置。
- 主として前記プラズマ中のイオンを前記被処理基板に引き込むための第2高周波を出力する第2高周波電源と、
前記第2高周波電源からの前記第2高周波を専らまたは優先的に前記下部中心電極に供給するために前記下部中心電極の背面に接続される第2下部給電導体と
を有する請求項1〜7のいずれか一項に記載のプラズマ処理装置。 - 前記第2下部給電導体が、中空管に形成された前記第1給電棒の中を貫通して、前記下部中心電極の背面の中心部に接続する第2給電棒を有する請求項8に記載のプラズマ処理装置。
- 前記第2下部給電導体が、前記第1給電棒部の傍らをそれと平行に延びて、前記下部中心電極の背面の中心部よりも半径方向外側の部位に接続する第2給電棒を有する請求項8に記載のプラズマ処理装置。
- 前記第2高周波電源からの前記第2高周波の一部を前記下部周辺電極に供給するために、前記第2下部給電導体と前記第1下部給電導体とをインピーダンス可変の容量結合で電気的に接続する第2可変容量結合部を有する請求項8〜10のいずれか一項に記載のプラズマ処理装置。
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