JP2011176161A - プラズマ処理装置及び処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】内部が減圧排気される処理室内に処理ガスを供給し、さらに該処理室内に高周波エネルギを供給してプラズマを生成し前記処理室内の試料載置電極上に配置された試料にプラズマ処理を施すプラズマ処理装置において、該試料載置電極は、温度調節された冷媒を通流させるための冷媒溝を備えた基材部202と、該基材部の試料を載置する面に同心状に複数配置されたヒータ用抵抗体203、および静電吸着用電極222,223を備え、前記前記同心状に配置された複数のヒータ用抵抗体のうち中央部に配置した抵抗体に加熱電力を給電する線路の対地インピーダンスを周縁部に配置した抵抗体に加熱電力を給電する線路の対地インピーダンスよりも高く設定する。
【選択図】図3
Description
このように形成されたプラズマ処理装置を用いて、複数の半導体LSIチップを含むパターンが描かれたウエハにプラズマエッチング処理を施した。ウエハは、シリコン基板上に下層側から順に、酸化膜層、メタル層、ポリシリコン層が積層されており、前記ポリシリコン層の上にはパターニングのための酸化膜、反射防止膜、フォトレジストが積層されている。
102 導波管
103 処理室
104 被処理基板(ウエハ)
105 試料載置電極
106 He供給系
107 バイアス電源
108 直流電源
109 温調器
110 制御器
111〜113 ヒータ電源
121〜123 インピーダンス調整器
131〜133 ハイカットフィルタ
201 ヘッドプレート
202 クーリングプレート
203 ヒータ抵抗体
204 内部流路
Claims (4)
- 内部が減圧排気される処理室内に処理ガスを供給し、さらに該処理室内に高周波エネルギを供給してプラズマを生成し前記処理室内の試料載置電極上に配置された試料にプラズマ処理を施すプラズマ処理装置において、
該試料載置電極は、温度調節された冷媒を通流させるための冷媒流路を備えた基材部と、
該基材部の試料を載置する面に同心状に複数配置されたヒータ用抵抗体、および静電吸着用電極を備え、
前記前記同心状に配置された複数のヒータ用抵抗体のうちの中央部に配置した抵抗体に加熱電力を給電する線路の対地インピーダンスは周縁部に配置した抵抗体に加熱電力を給電する線路の対地インピーダンスよりも高く設定したことを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項1記載のプラズマ処理装置において、
前記ヒータ用抵抗体は、その両端にそれぞれ設けた給電線、インピーダンス調整器、ハイカットフィルタを介して直流ヒータ電源の正および負極に接続することを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項1記載のプラズマ処理装置において、
前記ヒータ用抵抗体は、その両端にそれぞれ設けた給電線、インピーダンス調整器、ハイカットフィルタを介して直流ヒータ電源の正および負極に接続すると共に、前記インピーダンス調整器は、可変インダクタンスと可変キャパシタで構成されており、これらを調整することにより、載置電極のクーリングプレートに印加されるRFバイアス電流のグランドへの流れ込み量を調整することを特徴とするプラズマ処理装置。 - 内部が減圧排気される処理室内に処理ガスを供給し、さらに該処理室内に高周波エネルギを供給してプラズマを生成し前記処理室内の試料載置電極上に配置された試料にプラズマ処理を施すプラズマ処理装置の調整方法において、
前記試料載置電極は、温度調節された冷媒を通流させるための冷媒流路を備えた基材部と、
該基材部の試料を載置する面に同心状に複数配置されたヒータ用抵抗体、および静電吸着用電極を備え、
前記同心状に配置された複数のヒータ用抵抗体のうち中央部に配置した抵抗体に加熱電力を給電する線路の対地インピーダンスを周縁部に配置した抵抗体に加熱電力を給電する線路の対地インピーダンスよりも高くなるように調整して、試料表面に入射する荷電粒子の分布を均等になるようしたことを特徴とするプラズマ処理方法。
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CN113178375A (zh) * | 2017-08-09 | 2021-07-27 | 东京毅力科创株式会社 | 载置台和等离子体处理装置 |
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