JP2009218549A - 半導体メモリ素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】ゲートパターンエッチング工程の際に露出するトンネル絶縁膜を保護してエッチング損傷を防止することが可能な半導体メモリ素子の製造方法を提供する。
【解決手段】半導体基板100上にトンネル絶縁膜101、第1導電膜102、誘電体膜103、および第2導電膜104,105を順次積層し、エッチングしてゲートパターンを形成するが、トンネル絶縁膜101上に第1導電膜102を残留させてトンネル絶縁膜101の露出を防止させる段階と、洗浄工程を行い、ゲートパターンを形成するためのエッチング工程の際に発生する不純物を除去する段階と、イオン注入工程を行い、トンネル絶縁膜101上に残留する第1導電膜102を単結晶化させる段階と、酸化工程を行い、ゲートパターンの側壁に酸化膜107を形成すると同時に、第1導電膜101を絶縁膜102aに変化させる段階とを含む。
【選択図】図5
【解決手段】半導体基板100上にトンネル絶縁膜101、第1導電膜102、誘電体膜103、および第2導電膜104,105を順次積層し、エッチングしてゲートパターンを形成するが、トンネル絶縁膜101上に第1導電膜102を残留させてトンネル絶縁膜101の露出を防止させる段階と、洗浄工程を行い、ゲートパターンを形成するためのエッチング工程の際に発生する不純物を除去する段階と、イオン注入工程を行い、トンネル絶縁膜101上に残留する第1導電膜102を単結晶化させる段階と、酸化工程を行い、ゲートパターンの側壁に酸化膜107を形成すると同時に、第1導電膜101を絶縁膜102aに変化させる段階とを含む。
【選択図】図5
Description
本発明は、半導体メモリ素子の製造方法に係り、特に、ゲートパターンエッチング工程の際に露出するトンネル絶縁膜を保護してエッチング損傷を防止することが可能な半導体メモリ素子の製造方法に関する。
一般に、半導体素子のフラッシュメモリ素子は、フローティングゲート用導電膜、誘電体膜、コントロールゲート用導電膜、およびゲート電極をパターニングしてゲートパターンを形成する。
図1は従来の技術に係る半導体メモリ素子のゲートパターンを形成するための素子の断面図である。
図1を参照すると、半導体基板10上にトンネル絶縁膜11、フローティングゲート用導電膜12、誘電体膜13、コントロールゲート用導電膜14、およびゲート電極膜15を順次積層して形成する。その後、ハードマスクパターンを形成した後、これを用いたエッチング工程を行ってゲート電極膜15をパターニングする。
その後、順次コントロールゲート用導電膜14、誘電体膜13、およびフローティングゲート用導電膜12を順次エッチングしてトンネル絶縁膜11を露出させる。
上述した従来の技術に係る半導体メモリ素子のゲートパターンエッチング工程は、トンネル絶縁膜が露出するまでエッチング工程を行った後、エッチング工程の際に発生したポリマーを除去するために洗浄工程を行う。
この際、洗浄工程の際にトンネル絶縁膜がエッチング損傷を受けてトンネル絶縁膜の特性が劣化する。これにより、メモリ素子のプログラム動作後、チャージロス(charge loss)を誘発して素子のリテンション(retention)特性が劣化する。
そこで、本発明の目的は、半導体メモリ素子のゲートパターンエッチング工程の際にトンネル絶縁膜上に一定の厚さの導電膜を残留させた後、後続のイオン注入工程の際に残留する導電膜を単結晶化させて抵抗を増加させた後、酸化工程を行って絶縁膜化させることにより、ゲートパターンエッチング工程の際にトンネル絶縁膜の露出を防止し、洗浄工程の際に発生するトンネル絶縁膜のエッチング損傷を抑制して素子の電気的特性を改善することが可能な半導体メモリ素子の製造方法を提供することにある。
上記目的を達成するために、本発明の一実施例に係る半導体メモリ素子の製造方法は、半導体基板上にトンネル絶縁膜、第1導電膜、誘電体膜、および第2導電膜を順次積層して形成する段階と、前記第2導電膜、誘電体膜、および第1導電膜をエッチングしてゲートパターンを形成するが、前記トンネル絶縁膜上に前記第1導電膜を残留させて前記トンネル絶縁膜の露出を防止させる段階と、洗浄工程を行い、前記ゲートパターンを形成するためのエッチング工程の際に発生する不純物を除去する段階と、イオン注入工程を行い、前記トンネル絶縁膜上に残留する前記第1導電膜を単結晶化させる段階と、酸化工程を行い、前記ゲートパターンの側壁に酸化膜を形成すると同時に、単結晶化された前記第1導電膜を絶縁膜に変化させる段階とを含む。
前記第2導電膜を形成した後、前記第2導電膜上にゲート電極膜およびハードマスク膜を順次積層して形成する段階とをさらに含む。
前記トンネル絶縁膜上に残留する前記第1導電膜の厚さは30Å〜50Åである。
本発明の一実施例によれば、半導体メモリ素子のゲートパターンエッチング工程の際にトンネル絶縁膜上に一定の厚さの導電膜を残留させた後、後続のイオン注入工程の際に残留する導電膜を単結晶化させて抵抗を増加させた後、酸化工程を行って絶縁膜化させる。これにより、ゲートパターンエッチング工程の際にトンネル絶縁膜の露出を防止し、洗浄工程の際に発生するトンネル絶縁膜のエッチング損傷を抑制して素子の電気的特性を改善することができる。
以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施例を詳細に説明する。ところが、これらの実施例は様々な形に変形できるが、本発明の範囲を限定するものではない。これらの実施例は、本発明の開示を完全たるものにし且つ当該技術分野における通常の知識を有する者に本発明の範疇をより完全に知らせるために提供されるものである。なお、本発明の範囲は特許請求の範囲によって理解されるべきである。
図2〜図5は本発明の一実施例に係る半導体メモリ素子の製造方法を説明するための素子の断面図である。
図2を参照すると、半導体基板100上にトンネル絶縁膜101、第1導電膜となるフローティングゲート用導電膜102、誘電体膜103、第2導電膜となるコントロールゲート用導電膜104、ゲート電極膜105、およびハードマスク膜106を順次積層して形成する。
この際、フローティングゲート用導電膜102およびコントロールゲート用導電膜104は、ポリシリコン膜を用いて使用することができ、誘電体膜103は、第1酸化膜103a、窒化膜103bおよび第2酸化膜103cからなるONO(Oxide/Nitride/Oxide;下部酸化膜/窒化膜/上部酸化膜)構造で形成することが好ましい。ゲート電極膜105はタングステン(W)膜で形成することが好ましい。
フローティングゲート用導電膜102は、不純物が含有されていない非晶質ポリシリコン膜と、不純物が含有されたポリシリコン膜とから構成された二重膜で形成することが好ましい。
図示してはいないが、コントロールゲート用導電膜104を形成した後、第2導電膜となるコントロールゲート用導電膜104上にゲート電極膜105を形成する前に拡散防止膜を形成することが好ましい。
図3を参照すると、ハードマスク膜106上にフォトレジストパターンを形成した後、これを用いたエッチング工程によってハードマスク膜106をパターニングする。その後、パターニングされたハードマスク膜106を用いたエッチング工程を行い、ゲート電極膜105、コントロールゲート用導電膜104、誘電体膜103、およびフローティングゲート用導電膜102をパターニングしてゲートパターンを形成する。この際、ゲートパターンと隣接した半導体基板100上に形成された絶縁膜101の上部にフローティングゲート用導電膜102を一部所定の厚さ残留させる。この際、残留する第1導電膜となるフローティングゲート用導電膜102の厚さが30Å〜50Åとなるようにエッチング工程を制御することが好ましい。
その後、洗浄工程を行い、ゲートパターン形成のためのエッチング工程の際に発生する不純物(ポリマーを含む)を除去する。この際、トンネル絶縁膜101は露出しないため、エッチング損傷を受けない。
図4を参照すると、イオン注入工程を行って半導体基板100上にソース/ドレイン領域を形成すると同時に、露出する多結晶のフローティングゲート用導電膜102aを単結晶化させる。即ち、半導体基板100内にソース/ドレイン領域を形成する。これは、多結晶のフローティングゲート用導電膜102aがイオン注入工程の際に注入されるイオンによって連結構造が切れて単結晶化されることを利用する。これにより、単結晶化されたフローティングゲート用導電膜102aは、抵抗が増加し且つ他の物質と反応し易い。
イオン注入工程は、フローティングゲート用導電膜102aの厚さによって投射範囲(Projected Range;Rp)が変化することを制御するために、15KeV〜25KeVのエネルギーを用いて行うことが好ましい。
図5を参照すると、酸化工程を行ってゲートパターンの側壁に酸化膜107を形成すると同時に、フローティングゲート用導電膜102aを酸化させ、酸化膜に変化させる。これにより、酸化したフローティングゲート用導電膜102aは絶縁膜となる。よって、ゲートパターンはそれぞれ隣接したゲートパターンと絶縁される。
本発明の技術思想は前記好適な実施例によって具体的に記述されたが、前述した実施例は、本発明を説明するためのもので、制限するものではないことに留意すべきである。また、本発明の技術分野における通常の知識を有する者であれば、本発明の技術思想の範囲内で多様な実施が可能であることを理解することができるであろう。
本発明の活用例として、半導体メモリ素子の製造方法に適用出来、特に、ゲートパターンエッチング工程の際に露出するトンネル絶縁膜を保護してエッチング損傷を防止することが可能な半導体メモリ素子の製造方法に適用出来る。
100…半導体基板
101…トンネル絶縁膜
102…フローティングゲート導電膜
103…誘電体膜
104…コントロールゲート用導電膜
105…ゲート電極膜
106…ハードマスク膜
107…酸化膜
101…トンネル絶縁膜
102…フローティングゲート導電膜
103…誘電体膜
104…コントロールゲート用導電膜
105…ゲート電極膜
106…ハードマスク膜
107…酸化膜
Claims (7)
- 半導体基板上にトンネル絶縁膜、フローティングゲート用導電膜、誘電体膜、コントロールゲート用導電膜を順次積層して形成する段階と、
前記コントロールゲート用導電膜、誘電体膜、およびフローティングゲート用導電膜をエッチングしてゲートパターンを形成するが、前記トンネル絶縁膜上に前記フローティングゲート用導電膜を所定の厚さ残留させる段階と、
イオン注入工程を行い、前記半導体基板内にソース/ドレイン領域を形成する段階と、
酸化工程を行い、前記ゲートパターンの側壁に酸化膜を形成すると同時に、前記フローティングゲート用導電膜を絶縁膜に変化させる段階と、
を含むことを特徴とする、半導体メモリ素子の製造方法。 - 前記イオン注入工程は、前記トンネル絶縁膜上に残留する前記フローティングゲート用導電膜を単結晶化させて抵抗を増加させることを特徴とする、請求項1に記載の半導体メモリ素子の製造方法。
- 前記トンネル絶縁膜上に残留する前記フローティングゲート用導電膜の厚さは30Å〜50Åであることを特徴とする、請求項1に記載の半導体メモリ素子の製造方法。
- 半導体基板上にトンネル絶縁膜、第1導電膜、誘電体膜、および第2導電膜を順次積層して形成する段階と、
前記第2導電膜、前記誘電体膜、および前記第1導電膜をエッチングしてゲートパターンを形成するが、前記トンネル絶縁膜上に前記第1導電膜を残留させて前記トンネル絶縁膜の露出を防止させる段階と、
洗浄工程を行い、前記ゲートパターンを形成するためのエッチング工程の際に発生する不純物を除去する段階と、
イオン注入工程を行い、前記トンネル絶縁膜上に残留する前記第1導電膜を単結晶化させる段階と、
酸化工程を行い、前記ゲートパターンの側壁に酸化膜を形成すると同時に、単結晶化された前記第1導電膜を絶縁膜に変化させる段階と、
を含むことを特徴とする、半導体メモリ素子の製造方法。 - 前記第2導電膜を形成した後、前記第2導電膜上にゲート電極膜およびハードマスク膜を順次積層して形成する段階とをさらに含むことを特徴とする、請求項4に記載の半導体メモリ素子の製造方法。
- 前記トンネル絶縁膜上に残留する前記第1導電膜の厚さは30Å〜50Åであることを特徴とする、請求項4に記載の半導体メモリ素子の製造方法。
- 前記イオン注入工程は15KeV〜25KeVのエネルギーを用いて行うことを特徴とする、請求項1または請求項4に記載の半導体メモリ素子の製造方法。
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