JP2009208852A - ペースト塗布装置 - Google Patents

ペースト塗布装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2009208852A
JP2009208852A JP2008050418A JP2008050418A JP2009208852A JP 2009208852 A JP2009208852 A JP 2009208852A JP 2008050418 A JP2008050418 A JP 2008050418A JP 2008050418 A JP2008050418 A JP 2008050418A JP 2009208852 A JP2009208852 A JP 2009208852A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
paste
mounting table
coating
substrate
substrate stage
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2008050418A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2009208852A5 (enExample
Inventor
Masahiro Nakajima
昌宏 中島
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shibaura Mechatronics Corp
Original Assignee
Shibaura Mechatronics Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shibaura Mechatronics Corp filed Critical Shibaura Mechatronics Corp
Priority to JP2008050418A priority Critical patent/JP2009208852A/ja
Publication of JP2009208852A publication Critical patent/JP2009208852A/ja
Publication of JP2009208852A5 publication Critical patent/JP2009208852A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Liquid Crystal (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)
JP2008050418A 2008-02-29 2008-02-29 ペースト塗布装置 Pending JP2009208852A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008050418A JP2009208852A (ja) 2008-02-29 2008-02-29 ペースト塗布装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008050418A JP2009208852A (ja) 2008-02-29 2008-02-29 ペースト塗布装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2009208852A true JP2009208852A (ja) 2009-09-17
JP2009208852A5 JP2009208852A5 (enExample) 2011-04-14

Family

ID=41182398

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008050418A Pending JP2009208852A (ja) 2008-02-29 2008-02-29 ペースト塗布装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2009208852A (enExample)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010160327A (ja) * 2009-01-08 2010-07-22 Hitachi High-Technologies Corp プロキシミティ露光装置、プロキシミティ露光装置の基板位置決め方法、及び表示用パネル基板の製造方法
JP2011164402A (ja) * 2010-02-10 2011-08-25 Shin-Etsu Chemical Co Ltd ペリクルの製造方法
JP2012196600A (ja) * 2011-03-18 2012-10-18 Hitachi Plant Technologies Ltd ペースト塗布ヘッド,ペースト塗布装置及びペースト塗布方法
JP2014524044A (ja) * 2012-05-21 2014-09-18 ウィア・コーポレーション ステージ回転装置及びこれを備えるラビング装置

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0899243A (ja) * 1994-10-04 1996-04-16 Hiihaisuto Seiko Kk 縦横移動旋回テーブル機構
JPH08173874A (ja) * 1994-12-26 1996-07-09 Hitachi Techno Eng Co Ltd ペースト塗布機
JPH09323056A (ja) * 1996-06-05 1997-12-16 Hitachi Techno Eng Co Ltd ペースト塗布機
JPH11237596A (ja) * 1998-02-19 1999-08-31 Micronics Japan Co Ltd 検査ステージ
JPH11245128A (ja) * 1998-02-26 1999-09-14 Thk Co Ltd 2軸平行・1軸旋回運動案内機構およびこれを用いた2軸平行・1軸旋回テーブル装置
JP2004160640A (ja) * 2003-07-28 2004-06-10 Thk Co Ltd 移動テーブル装置
JP2004301256A (ja) * 2003-03-31 2004-10-28 Nippon Thompson Co Ltd 2軸直動・旋回案内ユニット及びそれを用いたテーブル装置
JP2005148045A (ja) * 2003-06-03 2005-06-09 Fast:Kk 4軸XYθテーブルとその制御方法
JP2006237485A (ja) * 2005-02-28 2006-09-07 Yaskawa Electric Corp アライメント装置
JP2007310019A (ja) * 2006-05-16 2007-11-29 Nsk Ltd 位置決めテーブル装置

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0899243A (ja) * 1994-10-04 1996-04-16 Hiihaisuto Seiko Kk 縦横移動旋回テーブル機構
JPH08173874A (ja) * 1994-12-26 1996-07-09 Hitachi Techno Eng Co Ltd ペースト塗布機
JPH09323056A (ja) * 1996-06-05 1997-12-16 Hitachi Techno Eng Co Ltd ペースト塗布機
JPH11237596A (ja) * 1998-02-19 1999-08-31 Micronics Japan Co Ltd 検査ステージ
JPH11245128A (ja) * 1998-02-26 1999-09-14 Thk Co Ltd 2軸平行・1軸旋回運動案内機構およびこれを用いた2軸平行・1軸旋回テーブル装置
JP2004301256A (ja) * 2003-03-31 2004-10-28 Nippon Thompson Co Ltd 2軸直動・旋回案内ユニット及びそれを用いたテーブル装置
JP2005148045A (ja) * 2003-06-03 2005-06-09 Fast:Kk 4軸XYθテーブルとその制御方法
JP2004160640A (ja) * 2003-07-28 2004-06-10 Thk Co Ltd 移動テーブル装置
JP2006237485A (ja) * 2005-02-28 2006-09-07 Yaskawa Electric Corp アライメント装置
JP2007310019A (ja) * 2006-05-16 2007-11-29 Nsk Ltd 位置決めテーブル装置

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010160327A (ja) * 2009-01-08 2010-07-22 Hitachi High-Technologies Corp プロキシミティ露光装置、プロキシミティ露光装置の基板位置決め方法、及び表示用パネル基板の製造方法
JP2011164402A (ja) * 2010-02-10 2011-08-25 Shin-Etsu Chemical Co Ltd ペリクルの製造方法
JP2012196600A (ja) * 2011-03-18 2012-10-18 Hitachi Plant Technologies Ltd ペースト塗布ヘッド,ペースト塗布装置及びペースト塗布方法
TWI513514B (zh) * 2011-03-18 2015-12-21 Hitachi Ltd Electrolytic coating head, electroplating coating device and electric paste coating method
JP2014524044A (ja) * 2012-05-21 2014-09-18 ウィア・コーポレーション ステージ回転装置及びこれを備えるラビング装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4553268B2 (ja) ペースト塗布装置及びペースト塗布方法
JP4315295B2 (ja) ペースト塗布装置
JP2009147240A (ja) 基板支持装置、基板支持方法、基板加工装置、基板加工方法、表示装置構成部材の製造方法
JP2009208852A (ja) ペースト塗布装置
KR20100025290A (ko) 디스펜서 및 이를 이용한 실런트 등의 도포 방법
CN106663654A (zh) 混合对准装置
JP4745727B2 (ja) ペースト塗布装置
JP2008147291A (ja) 基板支持装置、基板支持方法、基板加工装置、基板加工方法、表示装置構成部材の製造方法
WO2015056785A1 (ja) 部品実装装置
WO2011055826A1 (ja) マスク保持機構
JP2015051514A (ja) スクライブ装置
TWI386256B (zh) Paste coating apparatus and paste coating method
WO2015087897A1 (ja) 基板処理装置および基板処理方法
JP4866715B2 (ja) ペースト塗布装置
JP2007152261A (ja) ペースト塗布装置、ペースト塗布方法及びこれを用いた表示パネルの製造装置
JP2005246113A (ja) ガントリー移動型ステージおよび塗布装置
JP5634188B2 (ja) ペースト塗布装置
KR20230095825A (ko) 안내 장치, 워크 반송 스테이지 및 잉크젯 인쇄 장치
JP2013054343A (ja) 近接露光装置及び近接露光方法
JP4930543B2 (ja) 塗布装置
JP2013159540A (ja) スクライブ装置
JP2010181770A (ja) シール剤塗布装置
KR100649963B1 (ko) 페이스트 디스펜서의 헤드 유닛
KR20100078253A (ko) 롤과 플레이트의 정렬 시스템
JP2574963B2 (ja) ペースト塗布機

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110228

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20110228

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20120125

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120131

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120402

A131 Notification of reasons for refusal

Effective date: 20121016

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20121217

A02 Decision of refusal

Effective date: 20130514

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02