KR100649963B1 - 페이스트 디스펜서의 헤드 유닛 - Google Patents

페이스트 디스펜서의 헤드 유닛 Download PDF

Info

Publication number
KR100649963B1
KR100649963B1 KR1020060047063A KR20060047063A KR100649963B1 KR 100649963 B1 KR100649963 B1 KR 100649963B1 KR 1020060047063 A KR1020060047063 A KR 1020060047063A KR 20060047063 A KR20060047063 A KR 20060047063A KR 100649963 B1 KR100649963 B1 KR 100649963B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
axis
drive mechanism
head
head unit
axis drive
Prior art date
Application number
KR1020060047063A
Other languages
English (en)
Inventor
김희근
Original Assignee
주식회사 탑 엔지니어링
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 탑 엔지니어링 filed Critical 주식회사 탑 엔지니어링
Priority to KR1020060047063A priority Critical patent/KR100649963B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100649963B1 publication Critical patent/KR100649963B1/ko
Priority to TW096117576A priority patent/TWI328473B/zh
Priority to CN2007101061464A priority patent/CN101063774B/zh

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
    • B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
    • B05C5/0208—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work for applying liquid or other fluent material to separate articles
    • B05C5/0212—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work for applying liquid or other fluent material to separate articles only at particular parts of the articles
    • B05C5/0216—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work for applying liquid or other fluent material to separate articles only at particular parts of the articles by relative movement of article and outlet according to a predetermined path
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
    • H01L24/741—Apparatus for manufacturing means for bonding, e.g. connectors
    • H01L24/743—Apparatus for manufacturing layer connectors
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/133354—Arrangements for aligning or assembling substrates

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)
  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)

Abstract

본 발명은 페이스트 디스펜서의 헤드 유닛을 개시한다. 본 발명에 따르면, 기판상에 페이스트를 토출하는 노즐이 장착된 도포 헤드; 도포 헤드를 Y축 방향으로 이동시키게 설치된 Y축 구동기구; 및 Y축 구동기구를 Z축 방향으로 이동시키게 설치되어 도포 헤드를 Z축 방향으로 이동시키는 Z축 구동기구;를 구비함으로써, Y축 구동기구의 소형화 및 경량화에 따른 헤드 유닛의 무게를 줄일 수 있으며, 헤드 유닛이 신속하고 안정되게 동작할 수 있는 효과가 있다.

Description

페이스트 디스펜서의 헤드 유닛{Head unit of paste dispenser}
도 1은 종래에 따른 페이스트 디스펜서에 기판이 탑재된 상태의 일 예를 도시한 도면.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 페이스트 디스펜서의 헤드 유닛에 대한 구성도.
도 3은 도 2에 도시된 헤드 유닛에 있어서, Y축 구동기구의 동작 상태를 도시한 도면.
도 4는 도 3에 도시된 헤드 유닛에 있어서, Z축 구동기구의 동작 상태를 도시한 도면.
도 5는 도 2에 있어서, Y축 구동기구를 발췌하여 도시한 사시도.
도 6은 도 5의 Y축 구동기구에 대한 분해 사시도.
〈도면의 주요 부호에 대한 간단한 설명〉
110..도포 헤드 111..노즐
120..ZZ축 구동기구 130..Y축 구동기구
170..Z축 구동기구
본 발명은 페이스트 디스펜서의 헤드 유닛에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 경량화를 이룰 수 있으며, 신속하고 안정되게 페이스트를 도포할 수 있도록 구조가 개선된 페이스트 디스펜서의 헤드 유닛에 관한 것이다.
페이스트 디스펜서는 각종 평판 디스플레이의 제조에 있어서 기판의 접착 또는 실링을 위하여 기판에 소정 패턴으로 페이스트를 도포하는 장치로서, 일반적으로 기판이 탑재되는 스테이지와, 스테이지에 탑재된 기판에 페이스트를 토출하는 노즐이 장착된 헤드 유닛과, 헤드 유닛을 지지하는 헤드 지지대를 포함하여 구성된다. 이러한 페이스트 디스펜서는 기판과 노즐 사이의 상대위치를 변화시켜가면서 기판에 소정 패턴으로 페이스트를 도포하게 되는데, 여기서 기판과 노즐 사이의 상대위치변화는 노즐이 장착된 헤드 유닛의 위치가 고정된 상태에서 기판이 탑재된 스테이지를 이동시키거나, 스테이지가 고정된 상태에서 헤드 유닛을 이동시키거나, 스테이지와 헤드 유닛 모두를 이동시키는 것과 같은 다양한 형태로 이루어진다.
전술한 바와 같이 페이스트 디스펜서에는 페이스트를 도포하기 전에 기판을 탑재하게 되는데, 통상적으로 작업자가 운반기계 등을 사용하여 기판을 탑재하다 보면, 도 1에 도시된 바와 같이, 노즐(2)을 각각 구비한 헤드 유닛(3)들이 장착된 헤드 지지대(4)의 X축 및 Y축을 기준으로 기판(1)이 X'축 및 Y'축으로 소정 각도(θ)만큼 틀어진 상태로 위치되는 경우가 있다. 이런 상태로 다수의 페이스트 패턴을 형성하게 되면 불량이 발생하게 되므로, 이를 방지하고자 페이스트 패턴을 도포하기 전에 기판(1)의 위치를 보정할 필요가 있다.
종래에 따르면, θ축 구동기구를 구비하여 스테이지를 기판(1)이 틀어진 각도(θ)만큼 회전시켜서 기판(1)의 위치를 보정하고 있다. 그런데, 전술한 바와 같이 θ축 구동기구가 구비되면, 기판(1)을 Y축으로 이동시키기 위한 스테이지용 Y축 구동기구가 마련되는 경우에는 θ축과 Y축 사이의 상대 이동에 따라 진동이 발생하여 기판(1)으로 전달될 수 있다. 또한, 스테이지용 Y축 구동기구가 스테이지를 Y축으로 이동시킬 때 θ축 구동기구로 인해 큰 구동부하가 걸림에 따라, 스테이지용 Y축 구동기구의 응답속도가 느려질 수 있으며, 이로 인해 페이스트를 신속하고 안정되게 도포하는데 한계가 있을 수 있다.
한편, θ축 구동기구를 이용하여 기판의 위치를 보정하더라도, 헤드 유닛들에 노즐들이 장착되는 과정에서 기구 오차 등으로 인해 X축 방향으로 동일선상에 정확하게 배열되지 않아서 불량을 일으키는 경우가 있을 수 있는데, 이러한 문제를 해결하고자 헤드 유닛에 노즐을 Y축 방향으로 이동시키기 위한 헤드용 Y축 구동기구가 구비된 예가 있다.
그런데, 종래의 헤드 유닛에 따르면, 헤드용 Y축 구동기구가 모터와 캠 및 링크 부재를 포함하여 구성됨에 따라 동력 손실이 매우 크며, 구조가 복잡하여 조립시 유격이 발생하거나 구동저항이 발생함으로 인해 각 헤드 유닛마다 초기 제어를 다르게 해주어야 하는 번거로움이 있다.
또한, 헤드용 Y축 구동기구가 헤드 지지대에 설치되는 한편, 헤드 유닛에 노즐과 기판 사이의 갭을 교정하고 보정하기 위해 2개로 마련된 Z축 구동기구, 및 노즐로 페이스트를 공급하기 위해 마련된 페이스트 수납통 전체를 Y축 방향으로 이동 시키게 설치됨에 따라, 큰 동력이 요구되고 헤드용 Y축 구동기구의 크기가 커짐으로써 이로 인해 헤드 유닛의 무게가 무거워지는 문제가 있을 수 있다.
게다가, 기판의 위치를 보정하는 대신, 기판의 위치를 고정한 상태에서 헤드 유닛들의 각 노즐을 X축 및 Y축으로 이동시키면서 페이스트 패턴을 형성하는 경우에는, 헤드 유닛의 중량감으로 인해 신속하고 안정되게 동작하기가 어려울 수 있다. 한편, 이러한 문제는 헤드용 Y축 구동기구가 모터와 볼 스크류 및 LM(Linear Motion) 가이드를 포함하여 구성되더라도 마찬가지로 야기될 수 있는 문제이다.
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로, Y축 구동기구를 Z축 구동기구와 도포 헤드 사이에 배치함으로써, Z축 구동기구를 배제한 도포 헤드만을 Y축 방향으로 이동시키게 하여 Y축 구동기구의 구동부하를 줄일 수 있으며, 이에 따라 경량화 및 소형화를 가능하게 할 뿐 아니라, 신속하고 안정되게 동작할 수 있는 페이스트 디스펜서의 헤드 유닛을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 페이스트 디스펜서의 헤드 유닛은, 기판상에 페이스트를 토출하는 노즐이 장착된 도포 헤드; 상기 도포 헤드를 Y축 방향으로 이동시키게 설치된 Y축 구동기구; 및 상기 Y축 구동기구를 Z축 방향으로 이동시키게 설치되어 상기 도포 헤드를 Z축 방향으로 이동시키는 Z축 구동기구;를 구비한다.
여기서, 상기 Y축 구동기구는, 상기 Z축 구동기구에 의해 Z축 방향으로 이동 가능하게 된 고정 부재와, 상기 고정 부재와 마주 보게 배치되고 상기 도포 헤드에 고정된 가동 부재와, 상기 가동 부재를 Y축 방향으로 직선 이동시키는 Y축 직선 구동부, 및 상기 가동 부재의 직선 이동을 안내하기 위한 LM 가이드를 구비하는 것이 바람직하다.
여기서, 상기 Y축 직선 구동부는, 상기 고정 부재에 Y축 방향으로 설치되고 상기 고정 부재와 나사 결합한 볼 스크류와, 상기 볼 스크류에 회전축이 결합하여 상기 볼 스크류를 회전시키는 회전 모터를 구비하는 것이 바람직하다.
이하 첨부된 도면을 참조하여, 바람직한 실시예에 따른 본 발명을 상세히 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 페이스트 디스펜서의 헤드 유닛에 대한 구성도이다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 페이스트 디스펜서의 헤드 유닛(100)은, 탑재된 기판(10)상에 페이스트를 소정 패턴으로 도포하는 페이스트 디스펜서에 채용되는 것으로, 도포 헤드(110)와, ZZ축 구동기구(120)와, Y축 구동기구(130), 및 Z축 구동기구(170)를 포함하여 구성된다.
도포 헤드(110)에는 기판(10)상에 페이스트를 토출하기 위한 노즐(111)이 구비되며, 이러한 노즐(111)로 페이스트를 공급하기 위해 페이스트가 충전된 페이스트 수납통(112)이 설치된다.
ZZ축 구동기구(120)는 전술한 도포 헤드(110), 즉 노즐(111)의 위치를 Z축 방향으로 이동시키기 위한 것으로, 후술할 Z축 구동기구(170)와의 구별을 위해 ZZ축 구동기구라 칭한 것이다. ZZ축 구동기구(120)는 Z축 구동기구(170)에 비해 도포 헤드(110)를 동작시키는 범위가 좁게 설정될 수 있는데, 이에 따라 기판(10)과 노즐(111) 사이의 갭(gap)을 교정할 수 있다. 즉, ZZ축 구동기구(120)는 도포 헤드(110)를 Z축 방향을 따라 상하로 작게 움직일 수 있게 구동함으로써, 노즐(111)로부터 기판(10)상에 페이스트가 토출되기 전에 노즐(111)이 설정된 높이에 정확하게 위치할 수 있게 한다. 한편, ZZ축 구동기구(120)에 의한 갭 교정은 후술할 Z축 구동기구(170)에 의해서도 수행될 수 있으므로, 생략되는 것도 가능하다.
이러한 ZZ축 구동기구(120)는 ZZ축 모터(121), 예컨대 회전 모터 또는 리니어 모터의 구동력에 의해 Z축으로 승강 가능하게 된 ZZ축 가동부를 도포 헤드(110)에 고정 결합시킴으로써 도포 헤드(110)를 Z축 방향으로 승강시킬 수 있다. 여기서, ZZ축 구동기구(120)에 회전 모터가 채용되는 경우 ZZ축 구동기구(120)는 회전 모터의 회전력을 전달받아 회전할 수 있게 회전 모터의 회전축에 결합이 되는 한편 Z축으로 설치된 볼 스크류를 마련하고, 이러한 볼 스크류에 ZZ축 가동부를 나사 결합시키는 한편 ZZ축 가동부의 이동을 안내하게 LM(Linear Motion) 가이드를 마련함으로써, 회전 모터의 구동으로 볼 스크류를 회전시키게 되면 ZZ축 가동부를 Z축 방향으로 이동시킬 수 있다.
Y축 구동기구(130)는 전술한 ZZ축 구동기구(120)를 도 3에 도시된 바와 같이 Y축 방향으로 이동시킬 수 있게 ZZ축 구동기구(120)에 연결되어 설치됨으로써, 궁극적으로는 ZZ축 구동기구(120)에 연결된 도포 헤드(110)를 Y축 방향으로 이동시킬 수 있게 한다. 즉, Y축 구동기구(130)는 페이스트를 도포하기 전에 도포 헤드(110)를 Y축으로 이동시킴으로써 노즐(111)의 위치를 설정할 수 있게 한다.
이러한 Y축 구동기구(130)는 페이스트 디스펜서에 기판(10)이 틀어져 탑재된 경우에 유용할 수 있다. 예를 들면, θ축 구동기구를 이용하여 기판이 틀어진 각도만큼 기판을 회전시켜 기판의 위치를 보정하더라도 헤드 유닛에 노즐이 장착되는 과정에서 기구 오차 등으로 인해 노즐이 이웃한 헤드 유닛들의 각 노즐과 더불어 X축을 따라 동일선상에 배열되지 않을 수 있는데, 이 경우 Y축 구동기구에 의해 헤드 유닛들의 각 노즐을 정확하게 위치시킬 수 있다. 또한, Y축 구동기구는 기판의 위치를 보정하지 않고도 헤드 유닛들의 각 노즐을 X축을 따라 동일선상에 배열되게 할 수 있음에 따라, 페이스트 디스펜서에 기판의 위치를 보정하기 위한 θ축 구동기구가 생략될 수 있으므로, 종래의 θ축 구동기구의 이용에 따른 제반 문제들이 해소될 수 있게 한다.
Z축 구동기구(170)는 전술한 Y축 구동기구(130)를 도 4에 도시된 바와 같이 Z축 방향으로 이동시킬 수 있게 Y축 구동기구(130)에 연결되어 설치되어, Y축 구동기구(130)뿐 아니라 ZZ축 구동기구(120)와 도포 헤드(110)를 Z축으로 이동시킴으로써, 궁극적으로는 Y축 구동기구(130)와 ZZ축 구동기구(120)에 차례로 연결된 도포 헤드(110), 즉 노즐(111)을 Z축 방향으로 이동시킬 수 있게 한다.
이러한 Z축 구동기구(170)는 전술한 ZZ축 구동기구(120)에 비해 동작 범위가 넓게 설정될 수 있는데, 이에 따라 도포 헤드(110)를 Z축 방향을 따라 상하로 크게 움직일 수 있게 구동함으로써, 노즐(111)로부터 기판(10)상에 페이스트가 토출되는 과정에서 기판(10)과 노즐(111) 사이의 갭을 일정하게 유지하는 갭 보정이 이루어질 수 있게 한다. 또한, Z축 구동기구(170)는 페이스트를 도포하기 전에 노즐(111)의 상하 위치를 개략적으로 조정할 수 있게 하는 한편, 페이스트를 도포하는 과정이 끝난 후에는 노즐(111)이 원래의 높이로 복귀할 수 있게 한다. 한편, Z축 구동기구(170)가 ZZ축 구동기구(120)의 역할을 수행하는 한편 ZZ축 구동기구(120)가 Z축 구동기구(170)의 역할을 수행하는 것도 가능하므로, 전술한 바에 반드시 한정되지는 않는다.
이와 같은 Z축 구동기구(170)는 Z축 모터(171), 예컨대 회전 모터 또는 리니어 모터의 구동력에 의해 Z축으로 승강 가능하게 된 Z축 가동부를 Y축 구동기구(130)에 고정 결합시킴으로써, Y축 구동기구(130)뿐 아니라, 이에 차례로 연결된 ZZ축 구동기구(120) 및 도포 헤드(110)를 Z축 방향으로 승강시킬 수 있다. 여기서, Z축 구동기구(170)에 회전 모터가 채용되는 경우 Z축 구동기구(170)는 전술한 ZZ축 구동기구(120)와 마찬가지로 볼 스크류 및 LM 가이드를 포함하여 구성될 수 있다.
한편, 전술한 Z축 구동기구(170)는 페이스트 디스펜서에 통상 마련되는 헤드 지지대(20)에 X축 방향으로 이동 가능하게 설치될 수 있다. 이는 헤드 유닛(100) 전체가 X축 방향으로 이동할 수 있게 함으로써 노즐(111)의 위치를 X축 방향으로 조정할 수 있을 뿐 아니라, 기판(10)을 X축 방향으로 이동시키기 위한 X축 구동기구를 페이스트 디스펜서에 채용하지 않더라도 페이스트 패턴을 형성할 수 있도록 하기 위함이다. Z축 구동기구(170)를 X축 방향으로 이동시키기 위한 수단으로는 리니어 모터 등이 이용될 수 있다. 한편, 헤드 유닛(100)에는 페이스트 패턴 형성시 노즐과 기판 사이의 상대거리를 측정하거나, 페이스트 패턴이 형성된 후 단면적 등을 측정하기 위한 센서(180)가 마련될 수 있다.
상술한 바와 같은 본 실시예에 따른 헤드 유닛(100)에서는, Y축 구동기구(130)가 Z축 구동기구(170)와 ZZ축 구동기구(120) 사이에서 Z축 구동기구(170)를 배제한 ZZ축 구동기구(120)와 도포 헤드(110)를 Y축 방향으로 이동시킬 수 있게 설치됨에 따라, 종래에 따른 Y축 구동기구가 Z축 구동기구, ZZ축 구동기구, 도포 헤드를 Y축 방향으로 이동시킬 수 있게 설치되는 것에 비해 구동부하가 줄어들 수 있다. 이러한 효과는 ZZ축 구동기구(120)가 생략된다고 하더라도 마찬가지로 구현될 수 있음은 물론이다.
따라서, Y축 구동기구(130)를 후술하겠지만 종래와 같이 캠과 링크 부재를 포함하여 구성할 필요가 없어 동력 손실을 최소화할 수 있고 제어하기가 용이할 수 있을 뿐 아니라, 소형화하더라도 ZZ축 구동기구(120)와 도포 헤드(110)를 Y축 방향으로 충분히 이동시킬 수 있게 된다. 이에 따라, Y축 구동기구(130)가 경량화될 수 있으며, 이로 인해 헤드 유닛(100)의 무게 또한 종래에 비해 가벼워질 수 있어 헤드 유닛(100)이 기판(10)상에 페이스트 패턴을 형성하기 위해 X축 및 Y축으로 이동할 때 신속하고 안정되게 동작할 수 있다.
전술한 바와 같이 Z축 구동기구(170)와 ZZ축 구동기구(120) 사이에서 ZZ축 구동기구(120)와 도포 헤드(110)를 Y축 방향으로 이동시키는 Y축 구동기구(130)는 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 구성될 수 있다.
도 5 및 도 6에 도시된 Y축 구동기구(130)는, 고정 부재(131)와, 가동 부 재(132)와, Y축 직선 구동부(141), 및 LM 가이드(151)를 포함하여 구성된다.
고정 부재(131)는 Z축 구동기구(170)에서 Z축 방향으로 이동하는 Z축 가동부에 고정 결합이 됨으로써, Z축 가동부가 Z축 방향으로 이동하게 되면 함께 이동하여 Y축 구동기구(130) 전체가 Z축 방향으로 이동할 수 있게 한다.
가동 부재(132)는 고정 부재(131)와 마주 보게 배치되고 ZZ축 구동기구(120)에서 Z축 방향으로 이동하는 ZZ축 가동부 이외의 부위에 고정 결합이 됨으로써, 가동 부재(132)가 Y축 방향으로 이동하게 되면 ZZ축 구동기구(120) 전체를 Y축 방향으로 이동할 수 있게 한다.
Y축 직선 구동부(141)는 가동 부재(131)를 Y축 방향으로 직선 이동시킬 수 있도록 볼 스크류(142)와 회전 모터(143)를 구비한다. 여기서, 볼 스크류(142)는 고정 부재(131)와 가동 부재(132) 사이에서 Y축 방향으로 배치되며, 볼 스크류(142)는 가동 부재(132)의 결합부(132a)와 나사 결합이 되는 한편 고정 부재(131)에 회전 지지가 되게 설치된다. 그리고, 회전 모터(143)는 정역회전 가능하게 구성된 것으로 모터 브래킷(144)에 의해 고정 부재(131)에 장착되며, 회전 모터(143)의 회전축이 커플링(145)에 의해 볼 스크류(142)와 결합이 된다. 이에 따라, 회전 모터(143)의 회전축의 회전에 따라 볼 스크류(142)가 회전하게 되면 볼 스크류(142)와 나사 결합이 된 가동 부재(132)가 Y축 방향으로 직선 운동을 할 수 있게 된다. 한편, Y축 직선 구동부(141)는 가동 부재(132)를 직선 운동시킬 수 있는 리니어 모터가 이용되는 것도 가능함은 물론이다.
이처럼 Y축 직선 구동부(141)는 가동 부재(132)를 선형 직선 운동시키게 구 성됨에 따라, 종래와 같이 캠과 링크 부재를 포함한 구성에 비해 제어가 용이할 뿐 아니라, 가동 부재(132)가 이동하는 전 구간에 걸쳐 균일한 구동 저항이 발생하여 충분한 성능이 확보될 수 있는 효과가 있을 수 있다.
LM 가이드(151)는 전술한 바와 같이 Y축 직선 구동부(141)에 위해 가동 부재(132)가 이동하는 과정에서 가동 부재(132)의 직선 이동을 안정되게 안내하기 위한 것으로, 적어도 한 쌍으로 고정 부재(131)에 Y축 방향으로 각각 설치된 가이드 레일(152)과, 가이드 레일(152)을 따라 이동 가능하게 가동 부재(132)에 설치된 가이드 블록(153)을 포함하여 구성될 수 있다.
상기와 같은 Y축 구동기구(130)는 가동 부재(132)의 이동량과 방향을 감지할 수 있는 리니어 엔코더(linear encoder, 155)를 더 구비할 수 있다. 여기서, 리니어 엔코더(155)는 엔코더 브래킷(156)에 의해 고정 부재(131)에 장착되며, 가동 부재(132)의 이동량과 방향에 대한 정보를 Y축 직선 구동부(141)를 제어하는 제어부로 제공함으로써, 가동 부재(132)를 고정도로 위치 제어할 수 있게 한다.
또한, Y축 구동기구(130)는 가동 부재(132)가 도 2에서의 제1 한계위치와 도 3에서의 제2 한계위치 사이의 작동한계를 벗어나지 않고 안전하고 정확하게 이동할 수 있도록 작동한계를 감지할 수 있는 수단을 더 구비하는 것이 바람직한데, 이러한 수단으로는 가동 부재(132)에 마련된 센서 도그(sensor dog, 161)와, 고정 부재(131)에 마련된 리밋 센서(limit sensor)로서 제1 리밋 센서(162) 및 제2 리밋 센서(163)를 포함하여 구성될 수 있다. 제1 리밋 센서(162)는 가동 부재(132)의 이동에 따라 센서 도그(161)가 가동 부재(132)의 제1 한계위치에 위치함을 감지하기 위한 것이며, 제2 리밋 센서(163)는 가동 부재(132)의 이동에 따라 센서 도그(161)가 가동 부재(132)의 제2 한계위치에 위치함을 감지하기 위한 것이다. 여기서, 가동 부재(132)의 제1 한계위치와 제2 한계 위치 중 어느 하나는 가동 부재(132)의 원점위치에 해당할 수 있으며, 나머지 하나는 가동 부재(132)가 원점위치로부터 최대한 멀리 이동할 수 있는 위치에 해당할 수 있다.
한편, 본 실시예에 따른 헤드 유닛(100)은 페이스트 디스펜서에 있어서 기판(10)이 탑재되는 스테이지와 스페이지의 상부에서 헤드 유닛(100)을 지지하는 헤드 지지대(20) 사이의 상대 이동이 어떠한 형태로 구현되더라도 모두 경우에 적용 가능할 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명에 따르면, Y축 구동기구가 Z축 구동기구와 도포 헤드 사이에서 Z축 구동기구를 배제한 도포 헤드를 Y축 방향으로 이동시킬 수 있게 설치됨에 따라, 종래에 따른 헤드 유닛에 비해 구동부하를 줄일 수 있다. 특히, Y축 구동기구와 도포 헤드 사이에 ZZ축 구동기구가 더 구비되는 경우에는 구동부하를 줄이는 효과가 더 커질 수 있다. 이에 따라, Y축 구동기구를 소형화 및 경량화할 수 있으며, 이로 인해 헤드 유닛의 중량도 최대한 줄일 수 있다. 그 결과, 헤드 유닛이 기판상에 페이스트 패턴을 형성하기 위해 X축 및 Y축으로 이동할 때 더욱 신속하고 안정되게 동작할 수 있는 효과가 있다.
본 발명은 첨부된 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다 양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 보호 범위는 첨부된 청구 범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.

Claims (9)

  1. 기판상에 페이스트를 토출하는 노즐이 장착된 도포 헤드;
    상기 도포 헤드를 Y축 방향으로 이동시키게 설치된 Y축 구동기구; 및
    상기 Y축 구동기구를 Z축 방향으로 이동시키게 설치되어 상기 도포 헤드를 Z축 방향으로 이동시키는 Z축 구동기구;
    를 구비하는 페이스트 디스펜서의 헤드 유닛.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 Y축 구동기구는, 상기 Z축 구동기구에 의해 Z축 방향으로 이동 가능하게 된 고정 부재와, 상기 고정 부재와 마주 보게 배치되고 상기 도포 헤드에 고정된 가동 부재와, 상기 가동 부재를 Y축 방향으로 직선 이동시키는 Y축 직선 구동부, 및 상기 가동 부재의 직선 이동을 안내하기 위한 LM 가이드를 구비하는 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서의 헤드 유닛.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 Y축 직선 구동부는, 상기 고정 부재에 Y축 방향으로 설치되고 상기 고정 부재와 나사 결합한 볼 스크류와, 상기 볼 스크류에 회전축이 결합하여 상기 볼 스크류를 회전시키는 회전 모터를 구비하는 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서의 헤드 유닛.
  4. 제 2항에 있어서,
    상기 Y축 직선 구동부는 리니어 모터를 구비하는 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서의 헤드 유닛.
  5. 제 2항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 Y축 구동기구는 상기 가동 부재의 이동량과 방향을 감지하기 위한 리니어 엔코더를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서의 헤드 유닛.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 Y축 구동기구는, 상기 가동 부재의 작동한계를 감지할 수 있도록, 상기 고정 부재와 가동 부재 중 어느 한쪽에 마련된 센서 도그와, 상기 가동 부재의 이동에 따라 상기 센서 도그가 상기 가동 부재의 제1 한계위치와 제2 한계위치에 각각 위치함을 감지하는 제1 리밋 센서 및 제2 리밋 센서를 구비하는 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서의 헤드 유닛.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 도포 헤드와 Y축 구동기구 사이에는 상기 도포 헤드를 Z축 방향으로 이동시키는 ZZ축 구동기구가 더 구비된 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서의 헤드 유닛.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 ZZ축 구동기구는, 상기 도포 헤드를 동작시키는 범위가 상기 Z축 구동기구보다 좁게 설정된 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서의 헤드 유닛.
  9. 제 1항에 있어서,
    상기 Z축 구동기구는 X축 방향으로 이동 가능하게 헤드 지지대에 설치된 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서의 헤드 유닛.
KR1020060047063A 2006-05-25 2006-05-25 페이스트 디스펜서의 헤드 유닛 KR100649963B1 (ko)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060047063A KR100649963B1 (ko) 2006-05-25 2006-05-25 페이스트 디스펜서의 헤드 유닛
TW096117576A TWI328473B (en) 2006-05-25 2007-05-17 Dispensing head unit for a paste dispenser
CN2007101061464A CN101063774B (zh) 2006-05-25 2007-05-24 糊状物分配器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060047063A KR100649963B1 (ko) 2006-05-25 2006-05-25 페이스트 디스펜서의 헤드 유닛

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR100649963B1 true KR100649963B1 (ko) 2006-11-28

Family

ID=37713609

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020060047063A KR100649963B1 (ko) 2006-05-25 2006-05-25 페이스트 디스펜서의 헤드 유닛

Country Status (3)

Country Link
KR (1) KR100649963B1 (ko)
CN (1) CN101063774B (ko)
TW (1) TWI328473B (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9936585B2 (en) 2013-09-30 2018-04-03 Illinois Tool Works Inc. Method and apparatus for automatically adjusting dispensing units of a dispenser

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101089749B1 (ko) * 2009-11-27 2011-12-07 에이피시스템 주식회사 도포장치 및 이의 제어 방법
CN108772247B (zh) * 2018-06-14 2020-02-07 业成科技（成都）有限公司 夹层式点胶设备及其点胶方法

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4055580B2 (ja) * 2000-12-27 2008-03-05 東レ株式会社 口金並びに塗液の塗布装置および塗布方法
KR100506642B1 (ko) * 2001-12-19 2005-08-05 마츠시타 덴끼 산교 가부시키가이샤 디스플레이 패널의 패턴 형성방법 및 형성장치

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9936585B2 (en) 2013-09-30 2018-04-03 Illinois Tool Works Inc. Method and apparatus for automatically adjusting dispensing units of a dispenser
US10244634B2 (en) 2013-09-30 2019-03-26 Illinois Tool Works Inc. Method and apparatus for automatically adjusting dispensing units of a dispenser
US10966323B2 (en) 2013-09-30 2021-03-30 Illinois Tool Works Inc. Method and apparatus for automatically adjusting dispensing units of a dispenser
US11395410B2 (en) 2013-09-30 2022-07-19 Illinois Tool Works Inc. Method and apparatus for automatically adjusting dispensing units of a dispenser

Also Published As

Publication number Publication date
CN101063774A (zh) 2007-10-31
TW200803992A (en) 2008-01-16
CN101063774B (zh) 2010-06-09
TWI328473B (en) 2010-08-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101863163B (zh) 可印刷的基底和喷嘴对准系统
CN101198476B (zh) 动态打印头对准组件
JP2008006439A (ja) ペーストディスペンサーのヘッドユニット
KR20040078063A (ko) 페이스트 도포 장치 및 방법
US7100515B2 (en) Device for positioning a tool within a predetermined working area
KR100649963B1 (ko) 페이스트 디스펜서의 헤드 유닛
US6050314A (en) Adhesive applying apparatus
US8141977B2 (en) Inkjet head module and method of aligning inkjet head using the same
KR20050048476A (ko) 부품실장장치
CN100532104C (zh) 喷墨印刷装置
US7621039B2 (en) Component mounting apparatus with pivotable transfer mechanism
JP2009512826A (ja) テトラヘドロン型ラック・ピニオン駆動システム
KR100999936B1 (ko) 헤드 지지대의 부하감소구조를 갖는 디스펜서
WO2010100928A1 (ja) インクジェット用塗布ヘッドの回転調整装置
KR101000549B1 (ko) 감광액 도포장치
JP4478656B2 (ja) ペースト塗布方法
CN102310641B (zh) 一种调节装置
CN102310640B (zh) 一种调节装置
JP5550255B2 (ja) ペースト塗布装置及び塗布方法
JP4895119B2 (ja) モジュール型部品実装システム及びその制御方法
JP2006205004A (ja) パターン形成装置、ヘッドユニット、ヘッドの位置決め方法
US7726012B2 (en) Component-mounting apparatus and component-positioning unit having roller member with sloped positioning surface
JP4655724B2 (ja) パターン形成装置とパターン形成方法
KR20100101428A (ko) 틸팅 기능을 갖는 ｘｙ 이송 모듈 및 이를 갖는 부품 실장기
CN201761144U (zh) 一种调节装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
A302 Request for accelerated examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20121105

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130826

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140825

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150825

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160922

Year of fee payment: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170921

Year of fee payment: 12

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180918

Year of fee payment: 13