JP2014524044A - ステージ回転装置及びこれを備えるラビング装置 - Google Patents
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Abstract
Description
110 ベース
120、420 ステージ
122 センターホール
124 顎部
126 結合部材
128 センターホール
131 外向突出部
130、430 駆動部
132 駆動モーター
134 ブラケット
136 突出部
138 センターホール
142 間隔
160 第1の支持部
162 円形支持部
164 支持顎部
166 ベアリング
168 ステージ結合部材
172 収納溝
173 結合突起
174 仕上げリング
176 カバーリング
178 係止顎部
190 第2の支持部
192 円形ガイド
194 回転部材
196 直線移動部材
198 ガイドバー
202 ガイドレール
204 固定ブロック
210 スペーサー
212 テーブル
220 搬送装置
222 ガイドバー
224 ガイドレール
230 定盤
300、400 ラビング装置
Claims (13)
- ステージに回転力を提供する駆動部と;
前記ステージを高さ方向に支持する支持部と、を含み、
ラビング処理の際に、前記ステージ上に位置するテーブルに載置された加工対象物の角度を前記ステージを回転させて変更できるステージ回転装置。 - 前記支持部は、回転する前記ステージを高さ方向に支持する第1の支持部と;
前記第1の支持部の周りに円形に配置され、回転する前記ステージを高さ方向に支持する第2の支持部と、を含むことを特徴とする請求項1に記載のステージ回転装置。 - 前記駆動部は、前記第1の支持部の内部に位置しながら、前記ステージの回転中心になり、
前記ステージと前記駆動部との結合部分には、高さ方向に一定の間隔が形成されていることを特徴とする請求項2に記載のステージ回転装置。 - 前記第1の支持部は、一つのクロスローラーリングであることを特徴とする請求項2に記載のステージ回転装置。
- 前記第1の支持部は、
ベースに固定される円形支持部と、前記ステージと結合するステージ結合部材と、を含み、
前記円形支持部には、支持顎部が形成されており、前記ステージ結合部材には、収納溝が形成されており、
前記クロスローラーリングは、前記支持顎部及び収納溝の内部に密着固定されることを特徴とする請求項4に記載のステージ回転装置。 - 前記第2の支持部は、直線往復運動及び回転運動が可能であることを特徴とする請求項2に記載のステージ回転装置。
- 前記第2の支持部は、
円形ガイドと、前記円形ガイドに移動可能に結合された回転部材と、前記回転部材に結合されて直線往復運動が可能である直線移動部材と、を含み、
前記回転部材は、前記直線移動部材を回転可能に支持することを特徴とする請求項6に記載のステージ回転装置。 - 前記駆動部は、駆動モータと、前記駆動モータに結合されたブラケットとを含み、
前記ステージは、前記ブラケットと結合する結合部材を含み、
前記ブラケットと前記結合部材との結合部分には、高さ方向に前記間隔が形成されていることを特徴とする請求項3に記載のステージ回転装置。 - 前記駆動モータは、ダイレクトドライブモータ又はリニアモーターであることを特徴とする請求項8に記載のステージ回転装置。
- 前記駆動部の回転中心は、前記ステージの回転中心から一定の間隔だけ離隔されていることを特徴とする請求項2に記載のステージ回転装置。
- 前記駆動部は、ACサーボモータに該当することを特徴とする請求項10に記載のステージ回転装置。
- 請求項1〜請求項11のいずれか一項に記載のステージ回転装置を含むラビング装置において、
前記ラビング装置は、
前記ステージを直線移動させてローラーを通過させる搬送装置と、
前記ステージ上に固定されて加工物を固定するテーブルと、
を含むラビング装置。 - 前記ステージ回転装置は、前記ステージと、前記ステージに固定された前記テーブルを±45°以上回転させることを特徴とする請求項12に記載のラビング装置。
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