KR101258415B1 - 스테이지 회전장치 및 이를 구비하는 러빙장치 - Google Patents

스테이지 회전장치 및 이를 구비하는 러빙장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101258415B1
KR101258415B1 KR1020120094264A KR20120094264A KR101258415B1 KR 101258415 B1 KR101258415 B1 KR 101258415B1 KR 1020120094264 A KR1020120094264 A KR 1020120094264A KR 20120094264 A KR20120094264 A KR 20120094264A KR 101258415 B1 KR101258415 B1 KR 101258415B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
stage
support
rotating
rubbing
driving unit
Prior art date
Application number
KR1020120094264A
Other languages
English (en)
Inventor
윤형열
하시즈메 코지
Original Assignee
위아코퍼레이션 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 위아코퍼레이션 주식회사 filed Critical 위아코퍼레이션 주식회사
Application granted granted Critical
Publication of KR101258415B1 publication Critical patent/KR101258415B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1337—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1337—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers
    • G02F1/13378—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers by treatment of the surface, e.g. embossing, rubbing or light irradiation
    • G02F1/133784—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers by treatment of the surface, e.g. embossing, rubbing or light irradiation by rubbing

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Machine Tool Units (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Abstract

스테이지 회전장치 및 이를 구비하는 러빙장치가 개시된다. 본 발명의 일 측면에 따른 스테이지 회전장치는, 스테이지에 회전력을 제공하는 구동부와, 스테이지를 높이 방향에 대해 지지하는 지지부를 포함하고, 러빙 처리시, 스테이지 상에 위치하는 테이블에 재치된 가공 대상물의 각도를 스테이지를 회전시켜서 변경할 수 있다.

Description

스테이지 회전장치 및 이를 구비하는 러빙장치{ROTATIONAL DEVICE FOR STAGE AND RUBBING DEVICE HAVING THE SAME}
본 발명은 스테이지를 일정 각도로 회전할 수 있는 스테이지 회전장치 및 이를 구비하는 러빙장치에 관한 것이다.
일반적으로 액정표시소자는 두 장의 글라스 기판 사이에 액정층이 형성되고, 두 장의 글라스 기판의 내면에 상기 액정층에 전계를 걸기 위한 투명 전극, 상기 전계를 온오프시키기 위한 스위칭 소자, 컬러를 표시하기 위한 컬러필터 및 액정분자를 배향하기 위한 배향막 등이 형성된 구조를 갖는다. 두 장의 글라스 기판 사이에 액정재료가 봉입되어 액정표시소자가 제작된다. 배향막은 기판 위에 도포된 폴리이미드 수지 등의 수지층으로 이루어지고, 배향막이 경화된 후에 러빙장치에 의한 러빙(rubbing) 처리에 의해 액정이 소정 방향으로 배향된다.
통상의 러빙장치는 러빙롤러가 글라스 기판이 고정된 테이블의 상부에서 회전 가능하게 그 양단이 지지되고, 러빙포(기모포)가 양면 테이프 등에 의해 러빙롤러의 표면에 부착된다. 이와 같은 러빙롤러의 회전에 의해 러빙포가 글라스 기판의 배향층 표면에 접촉하여 글라스 기판의 표면을 일정한 방향으로 러빙함으로써 그 방향으로 액정재료가 배향되는 것이다.
액정표시소자의 휘도나 응답성을 균일하게 유지하기 위해서는 러빙 처리시에 배향층의 표면을 균일하게 러빙하여 배향층의 표면에 방향성을 주어 액정이 균일하게 배향되도록 하는 것이 중요하다. 이로 인해, 러빙롤러와 글라스 기판의 위치 결정, 특히 러빙롤러와 글라스 기판 위의 배향막 사이의 이격거리를 균일하게 유지하는 것이 필수적이다.
최근 액정 표시소자는 그 크기가 점차 대형화 되어 가고 있기 때문에, 이와 같은 대형의 글라스 기판을 러빙 처리하기 위한 러빙롤러의 길이 또한 글라스 기판의 길이에 비례해서 증가하고 있다.
상기한 바와 같은 러빙장치는 러빙롤러를 포함하는 헤드부가 기판을 고정하는 테이블의 상부에 위치하게 되는데, 이러한 구조의 러빙장치는 러빙롤러를 회전시켜 글라스 기판을 러빙 처리하는 과정에서 스테이지 또는 러빙롤러가 별도의 이동 수단에 의해 일 방향으로 이동하므로 글라스 기판의 일 면을 전체를 러빙 처리할 수 있다.
또한, 스테이지 즉 글라스 기판과 러빙롤러가 이루는 각도를 변화시켜 글라스 기판을 러빙 처리하는 각도를 일정 각도로 조절함으로써 화면의 왜곡현상이나 색 번짐 또는 화면 전환시 발생할 수 있는 잔상을 제거할 수 있다.
이를 위해 종래의 러빙장치는 스테이지의 상부에 위치하는 헤드 프레임 하단의 크로스 롤러(cross roller)에 매달려 있는 러빙롤러를 포함하는 헤드부를 회전시켜서, 가공 대상물인 글라스 기판과 러빙롤러가 이루는 각도를 변화시키고 있다.
따라서 본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위해 도출된 것으로서, 러빙 처리시 가공 대상물과 러빙롤러의 각도를 러빙장치 내부에서 변경할 수 있는 스테이지 회전장치 및 이를 구비하는 러빙장치를 제공하고자 한다.
또한, 본 발명은 스테이지의 회전을 가능하게 스테이지의 높이를 정밀하게 설정 및 유지할 수 있는 스테이지 회전장치 및 이를 구비한 러빙장치를 제공하고자 한다.
본 발명의 다른 목적들은 이하에 서술되는 실시예를 통하여 더욱 명확해질 것이다.
본 발명의 일 측면에 따른 스테이지 회전장치는, 스테이지에 회전력을 제공하는 구동부와, 스테이지를 높이 방향에 대해 지지하는 지지부를 포함하고, 러빙 처리시, 스테이지 상에 위치하는 테이블에 재치된 가공 대상물의 각도를 스테이지를 회전시켜서 변경할 수 있다.
본 발명에 따른 스테이지 회전장치는 다음과 같은 실시예들을 하나 또는 그 이상 구비할 수 있다. 예를 들면,
지지부는, 회전하는 스테이지를 높이 방향에 대해 지지하는 제1 지지부와, 제1 지지부의 둘레에 원형으로 배치되어, 회전하는 스테이지를 높이 방향에 대해 지지하는 제2 지지부를 포함할 수 있다.
구동부는 제1 지지부의 내부에 위치하면서 스테이지의 회전 중심이 되고, 스테이지와 구동부의 결합 부분에는 높이 방향으로 일정한 간격이 형성될 수 있다.
제1 지지부는 하나의 크로스 롤러링일 수 있다.
제1 지지부는, 베이스에 고정되는 원형지지부와, 스테이지와 결합하는 스테이지 결합부재를 포함하고, 원형지지부에는 지지단턱이 형성되어 있으며, 스테이지 결합부재에는 수납홈이 형성되어 있고, 크로스 롤러링은 지지단턱 및 수납홈 내부에 밀착 고정될 수 있다.
제2 지지부는 직선 왕복 운동 및 회전 운동이 가능할 수 있다. 예를 들면, 제2 지지부는, 원형가이드와, 원형 가이드에 이동 가능하게 결합된 회전부재와, 회전부재에 결합되어 직선 왕복 운동이 가능한 직선이동부재를 포함하고, 회전부재는 직선이동부재를 회전 가능하게 지지할 수 있다.
구동부는, 구동모터와, 구동모터에 결합된 브라켓을 포함하고, 스테이지는 브라켓과 결합하는 결합부재를 포함하며, 브라켓과 결합부재의 결합부분에는 높이 방향으로 간격이 형성될 수 있다.
구동모터는 다이렉트 드라이브 모터 또는 리니어 모터일 수 있다.
구동부로서, AC 서보 모터 등 일반적인 구동원을 이용할 수 있다. 또한, 구동부의 회전 중심은 스테이지의 회전 중심과 일치하지 않고 일정 간격 이격될 수 있는데, 이때 구동부는 제1 지지부의 내측에 위치하거나 또는 제2 지지부의 외측에 위치할 수 있다.
본 발명의 일 측면에 따른 러빙장치는 상기와 같은 스테이지 회전장치를 포함하고, 스테이지를 직선 이동시켜 롤러를 통과하게 하는 반송장치와, 스테이지 상에 고정되어 가공물을 고정하는 테이블을 포함한다.
스테이지 회전장치는 스테이지와, 스테이지에 고정된 테이블을 ±45° 이상 회전하게 할 수 있다.
본 발명은 러빙 처리시 스테이지 자체를 회전시켜서 가공대상물과 러빙롤러가 이루는 각도를 변경할 수 있다.
또한, 본 발명은, 스테이지가 회전하더라도 스테이지의 높이를 정밀하게 설정 및 유지할 수 있게 된다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 러빙장치의 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 스테이지 회전장치의 단면도이다.
도 3은 도 2의 A 부분에 대한 확대 단면도이다.
도 4는 도 2에 예시된 스테이지 회전장치의 제1 지지부 및 제2 지지부를 예시하는 평면도이다.
도 5는 도 2에 예시된 스테이지 회전장치에서 구동모터에 대한 사시도이다.
도 6은 도 2에 예시된 스테이지 회전장치에서 크로스 롤러링에 대한 사시도이다.
도 7은 도 2에 예시된 스테이지 회전장치에서 제2 지지부에 대한 단면도이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 러빙장치의 도면이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시 예를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에서 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어 도면 부호에 상관없이 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 참조번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 러빙장치(300)에 대한 도면이다. 그리고 도 2는 도 1에 예시된 러빙장치(300)의 스테이지 회전장치(100)에 대한 단면도이고, 도 3은 도 2의 A 부분에 대한 확대 단면도이다. 그리고 도 4는 도 2에 예시된 스테이지 회전장치(100)의 제1 지지부(160) 및 제2 지지부(190)를 예시하는 평면도이다. 또한, 도 5 및 도 6은 스테이지 회전장치(100)의 구동모터(132) 및 베어링(166)을 각각 예시하는 사시도이다. 그리고 도 7은 제2 지지부(190)에 대한 단면도이다.
도 1을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 러빙장치(300)는, 글라스 기판과 같은 가공 대상물(도시하지 않음)이 고정되는 테이블(212)과, 스테이지(120)에 대해 테이블(212)이 일정 간격을 가지고 고정되도록 하는 스페이서(210)와, 스테이지(120)를 회전 가능하게 지지하는 스테이지 회전장치(100)와, 테이블(212) 및 스테이지(120)를 직선 운동하게 하는 반송장치(220)를 포함한다. 반송장치(220)는 정반(230) 상에 고정되어 있다.
테이블(212) 상에 고정된 가공 대상물은, 스테이지 회전장치(100)에 의해 일정 각도로 회전을 하게 되고, 반송장치(220)에 의해 직선 이동을 하면서 러빙롤러(도시하지 않음)를 통과하게 된다. 따라서 테이블(212) 상에 고정된 가공 대상물은 러빙롤러와 일정한 각도를 가지고 접촉하게 된다. 스테이지 회전장치(100)는 스테이지(120)를 ±45° 이상 회전하게 할 수 있다.
스테이지(120)가 회전을 하는 경우, 테이블(212) 상에 고정된 가공 대상물과 러빙롤러(도시하지 않음)가 이루는 각도가 변경된다. 이와 같이, 가공 대상물과 러빙롤러가 이루는 각도를 변화시켜 TN 모드(Twisted Nematic mode) 또는 IPS모드(In-Plane Switching mode)의 러빙 처리가 가능하게 한다.
여기서, TN모드는 가공대상물과 러빙롤러가 이루는 각도를 대략 45도로 유지하면서 러빙 처리하는 것이고, IPS 모드는 가공대상물과 러빙롤러가 이루는 각도를 대략 0도로 유지하여 러빙 처리하는 것을 의미한다. TN 모드에 의해 러빙 처리된 패널은 잔상은 적지만 화면 왜곡현상이 있고 각도를 달리하여 보면 색이 번져 보이거나 원래 색이 아닌 다른 색으로 표현되는 문제점이 있다. 또한, IPS 모드에 의해 러빙 처리된 패널은 색감은 우수하지만 빠른 화면 전환시 약간의 잔상이 나타나는 문제점이 있다.
본 실시예에 따른 스테이지 회전장치(100)는, 가공 대상물과 러빙롤러가 이루는 각도를 0°는 물론 ±45°도 이상 회전하게 하여, TN 모드 및 IPS 모드의 러빙 처리를 모두 가능하게 한다.
본 발명은 러빙 처리시, 테이블(212) 상에 반송 투입되는 가공대상물과 러빙롤러(도시하지 않음)가 이루는 각도를, 스테이지 회전장치(100)에 의해 스테이지(120)를 회전시켜서, 러빙장치(300)의 내부에서 변경할 수 있는 것을 특징으로 한다.
반송장치(220)는 스테이지 회전장치(100)가 고정된 베이스(110)를 직선 운동하게 하는 것으로, 베이스(110)에 고정된 가이드바(222)와, 정반(230)에 고정된 가이드레일(224) 및 베이스(110)를 직선 이동하게 하는 직선구동모터를 포함한다. 직선구동모터는 볼스크류(ball screw) 또는 리니어 모터(linear motor) 등에 해당할 수 있다. 도 2 내지 도 4를 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 스테이지 회전장치(100)는, 스테이지(120)에 회전력을 제공하고 스테이지(120)의 회전 중심이 되는 구동부(130)와, 스테이지(120)를 높이 방향에 대해 지지하는 제1 지지부(160) 및 제2 지지부(190)를 포함한다. 제1 지지부(160)는 하나의 크로스 롤러링(cross roller ring)(166)를 포함하고, 제2 지지부(190)는 제1 지지부(160)의 둘레에서 다수 개가 원형가이드(192)에 배치되어 있다.
본 실시예에 따른 스테이지 회전장치(100)는, 스테이지(120)를 높이 방향에 대해 지지하기 위해서 제1 지지부(160) 및 제2 지지부(190)를 구비하는 것을 특징으로 한다. 따라서 스테이지(120)는 제1 지지부(160) 및 제2 지지부(190)로 이루어지는 두 개의 지지부에 의해서 그 높이 방향으로 구속되면서 일정한 높이를 유지하게 된다. 이로 인해, 테이블(212)에 고정되는 가공 대상물과 러빙 롤러(도시하지 않음) 사이에 일정 간격이 유지될 수 있게 된다.
그리고 스테이지(120)에 회전력을 제공하면서 그 회전 중심이 되는 구동부(130)는 스테이지(120)를 높이 방향으로 구속하지 않고 스테이지(120)에 회전력을 제공하는 역할을 한다. 즉, 구동부(130)와 스테이지(120)의 결합 부분에는 일정한 간격(142)이 형성되어 있기 때문에, 스테이지(120)는 구동부(130)에 대해서 높이 방향으로 구속되지 않게 된다.
이와 같이, 스테이지(120)의 회전 중심에 해당하는 구동부(130)가 스테이지(120)를 높이 방향에 대해 구속하지 않고, 구동부(130)의 둘레에 배치된 제1 지지부(160) 및 제2 지지부(190)가 스테이지(120)를 높이 방향에 대해 구속하기 때문에, 스테이지(120)는 그 회전 및 러빙 롤러와의 접촉에도 불구하고 그 전체에 걸쳐서 일정한 높이를 유지할 수 있고 높이 설정이 용이하게 된다.
스테이지(120)는 중앙에 형성된 센터홀(122)과, 센터홀(122)에 삽입되는 결합부재(126)를 포함한다. 센터홀(122)에는 단턱(124)이 형성되어 있는데, 단턱(124)에는 결합부재(126)에 형성된 외향돌출부(131)가 안착된다. 그리고 결합부재(126)의 중앙에는 센터홀(128)이 형성되어 있는데, 센터홀(128)에는 브라켓(134)의 돌출부(136)가 삽입된다.
위에서 설명한 바와 같이, 스테이지(120)의 하부 중앙에는 구동부(130)가 결합되어 스테이지(120)에 회전력을 제공하고, 구동부(130)의 둘레에는 스테이지(120)의 하면을 지지하는 제1 지지부(160) 및 제2 지지부(190)가 순차적으로 배치되어 있다.
결합부재(126)는 브라켓(134)과 결합한다. 브라켓(134)은 구동모터(132) 및 결합부재(126)와 각각 결합되어 있기 때문에, 구동모터(132)의 회전력은 브라켓(134)을 통해서 결합부재(126) 및 이와 결합된 스테이지(120)에 전달된다.
브라켓(134)은 그 중심에서 상향 돌출된 돌출부(136)를 구비한다. 돌출부(136)는 결합부재(126)의 중앙에 형성된 센터홀(128)에 삽입된다. 돌출부(136)의 단면은 원이 아닌 다각형 또는 타원과 유사한 형상을 갖고, 돌출부(136)가 삽입되는 센터홀(128)도 이에 대응하는 형상을 갖는다. 이로 인해, 구동모터(132)과 일체로 회전하는 브라켓(134)의 회전력이 결합부재(126)에 전달된다. 또한, 브라켓(134)의 중앙에는 센터홀(138)이 형성되어 있는데, 센터홀(138)은 구동모터(132)의 중앙에 형성된 센터홀(132b)과 일치되도록 결합된다.
도 2 및 도 3에 예시된 바와 같이, 브라켓(134)의 상면과 결합부재(126)의 하면 사이에는 일정한 간격(142)이 형성되어 있다. 이와 같이, 스테이지(120)의 센터홀(122)에 삽입되는 결합부재(126)와, 구동부(130)의 구동모터(132)에 결합되는 브라켓(134) 사이에는 일정한 간격(142)이 형성되어 있기 때문에, 구동부(130)는 스테이지(120)를 그 높이 방향에 대해 구속을 하지 않고 회전력만을 제공하는 역할을 한다. 따라서 스테이지(120)의 중앙에 위치하는 구동부(130)가 스테이지(120)의 높이를 구속하지 않고, 스테이지(120)의 둘레에 위치하는 제1 지지부(160)와, 제1 지지부(160)의 둘레에 위치하는 제2 지지부(190)가 스테이지(120)의 중심에서 일정 간격 이격된 위치에서 스테이지(120)를 높이 방향에 대해 지지하기 때문에, 스테이지(120)의 정밀한 높이 설정이 가능함은 물론, 러빙 공정시에도 설정된 높이를 유지할 수 있게 되는 것이다.
그리고 스테이지(120)의 결합부재(126)와 구동부(130)의 브라켓(134) 사이에 높이의 간격(142)이 존재함으로써, 제1 지지부(160) 및 제2 지지부(190)를 설치하는 과정에서 스테이지(120)의 수평 방향 조정이 가능하게 되어 정밀한 위치 제어가 가능하게 된다.
구동모터(132)는 도 5에 예시된 바와 같이, 다이렉트 드라이브 모터(direct drive motor)에 해당할 수 있다. 구동모터(132)는 다수 개의 결합홀(132c)이 형성된 회전부(132a)를 포함하고, 회전부(132a)의 중앙에는 센터홀(132b)이 형성되어 있다. 결합홀(132c)에는 스크류(도시하지 않음)이 삽입되어 구동모터(132)와 브라켓(134)을 상호 결합한다.
다이렉트 드라이브 모터는 전동기의 회전력을 기구(기어 박스 등)를 통하지 않고 직접 구동대상인 브라켓(134)에 전달하는 모터로서, 마찰손실을 최소화 하여 효율을 높일 수 있고 구조가 간단하기 때문에 소음을 줄일 수 있으며, 수명이 길고 높은 신뢰성을 확보할 수 있는 장점이 있다.
구동모터(132)로서 다수 개의 마그넷 및 코일을 구비하는 리니어 모터를 채용할 수도 있다. 또한, 구동모터(132)로서 AC 서보모터(Servo Motor) 등과 같이 회전력을 제공할 수 있는 것이라면 어떠한 것도 가능함은 물론이다.
제1 지지부(160)는 구동부(130)의 둘레에 고정 배치되어 스테이지(120)의 회전을 가능하게 함과 동시에 높이 방향으로 지지하는 역할을 한다. 제1 지지부(160)는 원형지지부(162), 베어링(166), 스테이지결합부재(168), 마감링(174) 및 커버링(176)을 포함한다.
원형지지부(162)는 베이스(110) 상에 고정되어 있으며, 도넛(donut) 형상을 갖는 것으로 그 내부에는 구동부(130)가 위치하고 있다. 원형지지부(162)의 내측에는 베어링(166)이 밀착 결합되는 지지단턱(164)이 형성되어 있다. 원형지지부(162)는 베이스(120) 상에 고정되어 있기 때문에, 스테이지(120)와 함께 회전을 하지 않는다.
스테이지결합부재(168)는 스테이지(120)의 하면에 고정 결합하고, 도넛 형상을 갖는 것으로, 그 내부에는 구동부(130)가 위치하고 있다. 스테이지결합부재(168)의 외측에는 베어링(166)이 밀착 결합하는 수납홈(172)이 형성되어 있으며, 상부에는 걸림돌기(173)가 형성되어 있다. 걸림돌기(173)는 커버링(176)의 걸림단턱(178)에 걸리게 되는데, 이로 인해 스테이지결합부재(168)가 스테이지(120)의 하면에 안정적으로 결합된다.
스테이지결합부재(168)의 하단부에는 마감링(174)이 결합되어 있다. 마감링(174)은 링(ring) 형상을 갖는 것으로, 스테이지결합부재(168)의 외측으로 약간 돌출되어 베어링(166)이 밀착 결합하는 수납홈(172)을 형성한다.
커버링(176)은 원형지지부(162)의 상부에 결합되는 것으로 링 형상을 갖는다. 또한, 커버링(176)은 내측으로 돌출된 걸림단턱(178)을 구비하는데, 걸림단턱(178)에는 스테이지결합부재(168)의 걸림돌기(173)가 걸리게 됨은 위에서 설명한 바와 같다.
베어링(166)은, 원형지지부(162) 및 스테이지결합부재(168) 사이에 형성되는 공간에 밀착 결합되어 스테이지(120)의 회전을 가능하게 함과 동시에 스테이지(120)를 높이 방향에 대해 지지하는 역할을 한다. 베어링(166)은 도 6에 예시된 바와 같이, 크로스 롤러링(cross roller ring)에 해당할 수 있다.
크로스 롤러링(166)은 내륜(166a) 및 외륜(166b)으로 구성되어 있으며, 외륜(166b)에 대해 내륜(166a)이 회전을 하게 된다. 도면에는 도시되어 있지는 않지만, 내륜(166a)과 외륜(166b) 사이에는 다수 개의 롤러 및 스페이스 리테이너가 배열되어 있어서, 외륜(166b)에 대해 내륜(166a)의 회전을 가능하게 한다.
크로스 롤러링(166)의 내륜(166a)은 스테이지결합부재(168)의 외측과 결합되어 있으며, 외륜(166b)은 원형지지부(162)의 내측과 결합되어 있다. 따라서 크로스 롤러링(166)의 외륜(166b) 및 이와 결합된 원형지지부(162)는 회전을 하지 않고, 내륜(166a) 및 이와 결합된 스테이지결합부재(168)가 스테이지(120)와 함께 회전을 하게 된다.
물론, 본 실시예에 따른 스테이지 회전장치(100)에 적용되는 베어링(166)으로는 크로스 롤러링뿐만 아니라 스테이지(120) 높이 방향의 하중을 지지할 수 있는 다양한 스러스트 베어링(thrust bearing) 등이 사용될 수 있음은 물론이다.
베어링(166)과 원형지지부(162)의 결합 부분 그리고 베어링(166)과 스테이지결합부재(168) 사이의 결합 부분에는 도 1 내지 도 2에 예시된 바와 같이 결합 간격이 형성되어 있지 않다. 그리고 원형지지부(162)는 베이스(110)의 상면에 고정되어 있으며, 스테이지결합부재(168)는 스테이지(120)의 하면에 고정 결합되어 있다. 따라서, 원형지지부(162), 베어링(166) 및 스테이지결합부재(168)를 포함하는 제1 지지부(160)는 스테이지(120)를 그 높이 방향에 대해 구속 지지하여 스테이지(120)의 높이를 결정하는 역할을 하게 된다.
제2 지지부(190)는 제1 지지부(160)의 둘레에 배치되어 스테이지(120)의 회전을 가능하게 함과 동시에 스테이지(120)를 높이 방향에 대해 지지하는 역할을 한다. 제2 지지부(190)는 원형가이드(192), 회전부재(194), 직선이동부재(196) 및 고정블록(204)을 포함한다. 그리고 제2 지지부(190)는 스테이지(120)의 하면에 다수 개가 결합되는데, 도 4에서는 8개의 제2 지지부(190)가 동일한 간격을 가지고 결합되어 있는 것으로 예시되어 있다. 물론, 회전부재(194), 직선이동부재(196) 및 고정블록(204)을 가이드하는 원형가이드(192)는 하나가 구비된다.
원형가이드(192)는 도 4에 예시된 바와 같이 베이스(110) 상에 원형으로 형성된 가이드에 해당한다. 원형가이드(192)에는 회전부재(194)가 회전 가능하게 결합된다. 회전부재(194), 직선이동부재(196) 및 고정블록(204)을 가이드하는 원형가이드(192)는 직경 방향에 대해 오차를 가질 수 있는데, 이와 같은 원형가이드(192)의 오차는, 회전이 가능한 회전부재(194)와, 회전부재(194)에 의해 회전을 하면서 직선 왕복 운동도 가능한 직선이동부재(196)에 의해서 보정될 수 있다.
고정블록(204)은 스테이지(120)의 하면에 고정되어 스테이지(120)와 일체로 회전 운동을 하게 된다.
도 7을 참조하면, 회전부재(194)는 원형가이드(192)에 이동 가능하게 결합되어 원형가이드(192)에 의해 원 방향의 공전 운동을 하게 된다. 그리고 회전부재(194)는 스스로 회전이 가능한 구조를 가지고 있다. 즉, 회전부재(194)는 원형가이드(192)에 의해 가이드 되어 공전 운동을 하는 제1 회전부재(194a)와, 제1 회전부재(194a)에 대해 자전을 하는 제2 회전부재(194b)를 포함한다. 회전부재(194)의 자전 운동은 직선이동부재(196)과 함께 원형가이드(192)의 직경 방향에 대한 오차를 보상하게 된다.
회전부재(194)의 제2 회전부재(194b) 상에 고정되어 있는 직선이동부재(196)는 고정블록(204)이 직선 왕복 운동할 수 있도록 한다. 직선이동부재(196)는, 제2 회전부재(194b) 상에 고정된 가이드바(198)와, 고정블록(204)과 결합된 가이드레일(202)로 이루어져 있으며, 이로 인해 고정블록(204)은 제2 회전부재(194b) 상에서 직선 왕복 운동을 하게 되는 것이다. 물론, 고정블록(204)은 회전부재(194)에 의해 자전 운동도 하게 된다.
이와 같이, 회전부재(194)의 자전 및 직선이동부재(196)의 직선 왕복 운동에 의해서, 원형가이드(192)의 직경 방향 오차가 보상되어 제2 지지부(190)가 원형가이드(192)의 오차에도 불구하고 원활한 회전 운동을 할 수 있으며 결과적으로 스테이지(120)의 높이를 정밀하게 유지할 수 있게 되는 것이다.
그리고 원형가이드(192), 회전부재(194), 직선이동부재(196) 및 고정블록(204)으로 이루어지는 제2 지지부(190)는 스테이지(120)를 높이 방향에 대해 구속하여 높이 방향에 대해 지지하는 역할을 한다. 또한, 제2 지지부(190)는 스테이지(120)의 회전 중심에 대해 외측에 배치되어 있기 때문에, 스테이지(120)에 러빙 롤러 등에 의한 외력이 작용하는 경우에도 스테이지(120)의 높이를 안정적으로 지지할 수 있다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 러빙장치(400)를 예시하는 도면이다.
본 실시예에 따른 러빙장치(400)에서, 스테이지(420)를 지지하는 제1 지지부(160) 및 제2 지지부(190)를 포함하는 다른 구성은, 위에서 설명한 실시예에 따른 러빙장치(100)와 동일하기 때문에 구체적인 설명은 생략하기로 한다.
도 8을 참조하면, 스테이지(420)에 회전력을 제공하는 구동부(430)는 제1 지지부(160)의 내측에 위치하는 것이 아니라 제2 지지부(190)의 외측에 위치하는 것을 특징으로 한다. 본 실시예에 따른 구동부(430)는 베이스(110)에 대해 고정되어 있으며, 구동부(430)의 회전축에 연결된 기어(432)가 스테이지(420)의 둘레에 형성된 기어(도시하지 않음)에 치합되어 있다. 따라서 구동부(430)의 회전력을 기어(432)를 통해서 스테이지(420)의 둘레에 전달됨으로써, 스테이지(420)가 회전하게 되는 것이다.
본 실시예에 따른 러빙장치(400)에서, 구동부(430)는 AC 서보 모터 등과 같이 회전력을 제공할 수 있는 것이라면 어떠한 것도 가능함은 물론이다.
그리고 본 실시예에 따른 러빙장치(400)에서, 구동부(430)가 제2 지지부(190)의 외측에 구비되어 있는 것으로 예시되어 있지만, 구동부(430)의 위치는 스테이지(420)의 회전중심에 위치할 수 있고, 또는 스테이지(420)의 회전 중심과는 일치하지 않지만 제1 지지부(160)의 내측에 해당할 수 있다. 구동부(430)가 제1 지지부(160)의 내측에서 스테이지(420)의 회전 중심과 일치하지 않게 위치하는 경우, 기어(432)의 회전 중심은 스테이지(420)의 회전 중심과 일치하게 되고, 기어(432)에 결합되는 구동부(430)는 그 측면에 위치하게 된다.
상기에서는 본 발명의 일 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100: 스테이지 회전장치 110: 베이스
120, 420: 스테이지 122: 센터홀
124: 단턱 126: 결합부재
128: 센터홀 131: 외향돌출부
130, 430: 구동부 132: 구동모터
134: 브라켓 136: 돌출부
138: 센터홀 142: 간격
160: 제1 지지부 162: 원형지지부
164: 지지단턱 166: 베어링
168: 스테이지결합부재 172: 수납홈
173: 결합돌기 174: 마감링
176: 커버링 178: 걸림단턱
190: 제2 지지부 192: 원형가이드
194: 회전부재 196: 직선이동부재
198: 가이드바 202: 가이드레일
204: 고정블록 210: 스페이서
212: 테이블 220: 반송장치
222: 가이드바 224: 가이드레일
230: 정반 300, 400: 러빙장치

Claims (13)

  1. 스테이지의 회전 중심이 되는 것으로, 스테이지에 회전력을 제공하는 구동부;
    상기 구동부의 둘레에 원형으로 배치되어 회전하는 상기 스테이지를 높이 방향에 대해 지지하는 제1 지지부; 및
    상기 제1 지지부의 둘레에 원형으로 배치되어 회전하는 상기 스테이지를 높이 방향에 대해 지지하는 제2 지지부를 포함하고,
    러빙 처리시, 상기 스테이지 상에 위치하는 테이블에 재치된 가공 대상물의 각도를 상기 구동부에 의해 상기 스테이지를 회전시켜서 변경할 수 있으며,
    상기 제1 지지부 및 제2 지지부는 상기 스테이지를 높이 방향에 대해 구속하고, 상기 구동부와 상기 스테이지의 결합 부분에는 간격이 형성되어 있는 스테이지 회전장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제1 지지부는 하나의 크로스 롤러링인 것을 특징으로 하는 스테이지 회전장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제1 지지부는,
    베이스에 고정되는 원형지지부와, 상기 스테이지와 결합하는 스테이지 결합부재를 포함하고,
    상기 원형지지부에는 지지단턱이 형성되어 있으며, 상기 스테이지 결합부재에는 수납홈이 형성되어 있고,
    상기 크로스 롤러링은 상기 지지단턱 및 수납홈 내부에 밀착 고정되는 것을 특징으로 하는 스테이지 회전장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제2 지지부는 직선 왕복 운동 및 회전 운동이 가능한 것을 특징으로 하는 스테이지 회전장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제2 지지부는,
    원형가이드와, 상기 원형 가이드에 이동 가능하게 결합된 회전부재와, 상기 회전부재에 결합되어 직선 왕복 운동이 가능한 직선이동부재를 포함하고,
    상기 회전부재는 상기 직선이동부재를 회전 가능하게 지지하는 것을 특징으로 하는 스테이지 회전장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 구동부는, 구동모터와, 상기 구동모터에 결합된 브라켓을 포함하고,
    상기 스테이지는 상기 브라켓과 결합하는 결합부재를 포함하며,
    상기 브라켓과 상기 결합부재의 결합부분에는 높이 방향으로 상기 간격이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 스테이지 회전장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 구동모터는 다이렉트 드라이브 모터 및 리니어 모터 중에서 선택된 하나인 것을 특징으로 하는 스테이지 회전장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 구동부의 회전 중심은 상기 스테이지의 회전 중심에서 일정 간격 이격되어 있는 것을 특징으로 하는 스테이지 회전장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 구동부는 AC 서보 모터에 해당하는 것을 특징으로 하는 스테이지 회전장치.
  12. 제1항 및 제4항 내지 제11항 중 어느 하나의 스테이지 회전장치를 포함하는 러빙장치에 있어서,
    상기 러빙장치는,
    상기 스테이지를 직선 이동시켜 롤러를 통과하게 하는 반송장치와,
    상기 스테이지 상에 고정되어 가공물을 고정하는 테이블을 포함하는 러빙장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 스테이지 회전장치는 상기 스테이지와, 상기 스테이지에 고정된 상기 테이블을 ±45° 이상 회전하게 하는 것을 특징으로 하는 러빙장치.
KR1020120094264A 2012-05-21 2012-08-28 스테이지 회전장치 및 이를 구비하는 러빙장치 KR101258415B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120053699 2012-05-21
KR20120053699 2012-05-21

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101258415B1 true KR101258415B1 (ko) 2013-04-26

Family

ID=48443837

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020120094264A KR101258415B1 (ko) 2012-05-21 2012-08-28 스테이지 회전장치 및 이를 구비하는 러빙장치

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP5760147B2 (ko)
KR (1) KR101258415B1 (ko)
CN (1) CN103547964B (ko)
WO (1) WO2013176311A1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104400307A (zh) * 2014-10-20 2015-03-11 北京航空航天大学 一种用于换热器微径薄壁管工装夹具的定位底盘

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111251588B (zh) * 2020-01-19 2022-03-01 湖南江南四棱数控机械有限公司 高精度正反回转支承转台

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050070456A (ko) * 2003-12-30 2005-07-07 엘지.필립스 엘시디 주식회사 러빙 시스템
KR20050094012A (ko) * 2004-03-17 2005-09-26 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 액정표시소자의 러빙장치
KR20070119167A (ko) * 2006-06-14 2007-12-20 삼성전자주식회사 러빙 장치 및 시스템과 이를 이용한 표시 장치의 러빙 방법
KR20090099989A (ko) * 2008-03-19 2009-09-23 위아코퍼레이션 주식회사 러빙장치의 헤드부를 회전시키기 위한 구조

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3638436B2 (ja) * 1998-06-26 2005-04-13 アルプス電気株式会社 ラビング装置
JP2009208852A (ja) * 2008-02-29 2009-09-17 Shibaura Mechatronics Corp ペースト塗布装置
JP5320551B2 (ja) * 2009-01-08 2013-10-23 株式会社日立ハイテクノロジーズ プロキシミティ露光装置、プロキシミティ露光装置の基板位置決め方法、及び表示用パネル基板の製造方法
CN202093282U (zh) * 2011-06-03 2011-12-28 北京京东方光电科技有限公司 一种液晶显示用摩擦装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050070456A (ko) * 2003-12-30 2005-07-07 엘지.필립스 엘시디 주식회사 러빙 시스템
KR20050094012A (ko) * 2004-03-17 2005-09-26 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 액정표시소자의 러빙장치
KR20070119167A (ko) * 2006-06-14 2007-12-20 삼성전자주식회사 러빙 장치 및 시스템과 이를 이용한 표시 장치의 러빙 방법
KR20090099989A (ko) * 2008-03-19 2009-09-23 위아코퍼레이션 주식회사 러빙장치의 헤드부를 회전시키기 위한 구조

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104400307A (zh) * 2014-10-20 2015-03-11 北京航空航天大学 一种用于换热器微径薄壁管工装夹具的定位底盘

Also Published As

Publication number Publication date
CN103547964A (zh) 2014-01-29
CN103547964B (zh) 2015-02-04
JP2014524044A (ja) 2014-09-18
JP5760147B2 (ja) 2015-08-05
WO2013176311A1 (ko) 2013-11-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101333552B1 (ko) 광배향장치
KR100939612B1 (ko) 배향막의 러빙장치
US7728933B2 (en) Method and apparatus of forming alignment layer for liquid crystal display device
KR101258415B1 (ko) 스테이지 회전장치 및 이를 구비하는 러빙장치
JP2006350157A5 (ko)
JP5506631B2 (ja) ラビング装置
US20160195738A1 (en) Cloth attachment device and cloth attachment method using the same
JP4698257B2 (ja) フレキシブルフィルムの配向処理方法及び装置
KR101026273B1 (ko) 러빙 장치 및 이것을 사용하여 제조한 액정 표시 소자
JP2001000768A (ja) ミシンの枠駆動装置
CN202093282U (zh) 一种液晶显示用摩擦装置
TW201348800A (zh) 工作臺旋轉裝置以及具有此裝置的摩擦裝置
KR20060098731A (ko) 액정표시소자용 배향막 형성방법 및 그 방법을 이용하여 제조된 액정표시소자
KR101399286B1 (ko) 코팅장치용 대상물 부착유닛
KR101221762B1 (ko) 러빙장치 및 러빙방법
KR20090099989A (ko) 러빙장치의 헤드부를 회전시키기 위한 구조
KR20140007731A (ko) 전자 부품 실장 장치
KR20090015497A (ko) 러빙 장치
KR20080106600A (ko) 러빙 스테이지 상의 글라스기판 정렬장치와 방법
JP2009195851A (ja) 塗布装置
KR20070068121A (ko) 배향막 러빙용 롤러 및 이를 이용한 권포 방법
KR20090099996A (ko) 러빙장치의 헤드부 기울기 조정을 위한 구조
KR101393460B1 (ko) 러빙 및 광배향 장치
KR20090035882A (ko) 기판 가이드 장치
KR20180058932A (ko) 기판 처리 장치

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
A302 Request for accelerated examination
E902 Notification of reason for refusal
AMND Amendment
E601 Decision to refuse application
X091 Application refused [patent]
AMND Amendment
X701 Decision to grant (after re-examination)
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160422

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180523

Year of fee payment: 6

LAPS Lapse due to unpaid annual fee