KR20080106600A - 러빙 스테이지 상의 글라스기판 정렬장치와 방법 - Google Patents

러빙 스테이지 상의 글라스기판 정렬장치와 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20080106600A
KR20080106600A KR1020070054199A KR20070054199A KR20080106600A KR 20080106600 A KR20080106600 A KR 20080106600A KR 1020070054199 A KR1020070054199 A KR 1020070054199A KR 20070054199 A KR20070054199 A KR 20070054199A KR 20080106600 A KR20080106600 A KR 20080106600A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
stage
alignment
glass substrate
rubbing
bearing
Prior art date
Application number
KR1020070054199A
Other languages
English (en)
Inventor
나유광
Original Assignee
위아무역주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 위아무역주식회사 filed Critical 위아무역주식회사
Priority to KR1020070054199A priority Critical patent/KR20080106600A/ko
Publication of KR20080106600A publication Critical patent/KR20080106600A/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1337—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers
    • G02F1/13378—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers by treatment of the surface, e.g. embossing, rubbing or light irradiation
    • G02F1/133784—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers by treatment of the surface, e.g. embossing, rubbing or light irradiation by rubbing
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67155—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/133354—Arrangements for aligning or assembling substrates
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1337—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers
    • G02F1/133773—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers the alignment material or treatment being different for the two opposite substrates

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

본 발명은 상면에 글라스기판이 투입되고 횡 방향과 종 방향의 양쪽 끝 부분에 정렬용 베어링의 회전반경에 상응하는 반경을 가지는 다수개의 가이드 홀이 형성된 스테이지와, 이 스테이지의 횡 방향과 종 방향의 양쪽 끝 부분 저면에 설치되어, 스테이지의 가이드 홀 내에서 정렬 베어링을 상하로 이동시키는 한편 180도 회전시키는 다수개의 정렬 유닛을 포함하는 것으로서 다수개의 정렬 유닛에 의해 스테이지 상면에 투입된 글라스기판을 미리 설정된 위치로 정렬할 수 있다.
러빙장치, 스테이지, 글라스 기판, 정렬유닛, 고정도 가이드 실린더, 정렬용 베어링, 라버, 로터리 액츄에이터.

Description

러빙 스테이지 상의 글라스기판 정렬장치와 방법{glass board align unit and method on rubbing stage}
도1 내지 도7은 본 발명에 의한 러빙 스테이지 상의 글라스기판 정렬장치를 보인 도면이다.
도8 내지 도11은 도1 내지 도7에 개시된 정렬유닛을 보인 도면이다.
도12 내지 도19는 글라스기판의 정렬 예를 보인 도면이다.
도20 내지 도24는 글라스기판 정렬을 위한 정렬유닛을 작동 예를 보인 도면이다.
- 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
11 : 스테이지 12 : 가이드 홀
13 : 고정핀 14 : 정렬 유닛
15 : 라버 링 16 : 회전 축
17 : 통공 18 : 에어 블로우 및 진공 형성장치
19 : 고정도 가이드 실린더 20 : 로터리 액츄에이터
21 : T자형 브라켓 22 : 기억자형 브라켓
23 : 커플링 24 : 정렬용 베어링
25 : 글라스기판 26 : 부시
본 발명은 러빙 스테이지 상의 글라스기판 정렬장치에 관한 것이다. 특히 본 발명은 러빙장치에서 다수개의 정렬유닛을 이용하여 러빙 처리를 위해 스테이지 위에 투입된 글라스기판을 미리 설정한 위치로 자동 정렬시킬 수 있도록 하는 러빙 스테이지 상의 글라스기판 정렬장치에 관한 것이다.
일반적으로 액정표시소자는 2장의 글라스기판 사이에 액정층을 형성하고, 2장의 글라스기판의 내면에는 상기 액정층에 전계를 걸기 위한 투명전극, 상기 전계를 온/오프하기 위한 스위칭소자, 컬러 표시를 하기 위한 컬러 필터 및 액정분자를 배향하기 위한 배향막 등이 각각 형성되어 있다. 2장의 글라스기판 사이에 액정재료를 봉입하여 액정표시소자를 제작한다. 배향막은 글라스기판 위에 도포된 폴리이미드 수지(PI) 등의 수지층으로 이루어지며, 배향막을 경화시킨 후 러빙장치에 의해 러빙 처리함으로써 액정을 소정 방향으로 배향하게 된다.
통상의 러빙장치는 글라스기판이 투입되는 스테이지의 위쪽으로 회전 가능하게 양끝이 지지된 러빙롤러를 구비하고 있으며, 러빙롤러의 표면에는 양면 테이프 등에 의해 기모포(起毛布 : 러빙포)가 감겨 있다. 이 러빙롤러의 회전에 따라 러빙포가 글라스기판의 배향층 표면에 접촉되면서 글라스기판의 표면을 일정한 방향으로 문지름으로써 필름의 일축 연신방향과 마찬가지의 효과를 부여하고, 그 방향으로 액정재료를 배향시키게 된다.
액정표시소자의 휘도나 응답성을 균일하게 유지하기 위해서는 러빙처리에 있어서 배향층의 표면을 균일하게 문지름으로써 배향층의 표면에 방향성을 주어 액정이 균일하게 배향되도록 하는 것이 중요하다. 그 때문에 러빙롤러와 글라스기판의 위치 결정, 특히 러빙롤러와 글라스기판 위의 배향막 사이의 이격거리를 균일하게 유지할 필요가 있다.
뿐만 아니라 상기한 바와 같은 글라스 기판은 일정한 러빙각도가 요구하는데, 종래에는 글라스기판이 투입되는 스테이지를 상하로 이동시키거나 혹은 스테이지를 횡 방향이나 종 방향으로 이동시켜 러빙롤러에 의해 러빙 처리되는 글라스기판의 러빙각도를 조절하는 것이 일반적이다. 물론 러빙각도는 러빙롤러에 의해서도 조절가능하다.
하지만 상기한 바와 같이 스테이지나 러빙롤러를 이용하여 러빙각도 즉, 스테이지 위에 투입된 글라스기판의 위치를 조정하는 경우 스테이지나 러빙롤러의 부피가 너무 커서 이들의 방향을 바뀌기 위한 구조물도 매우 커지고 복잡해지며, 부피가 큰 스테이지나 러빙롤러를 이용한 글라스기판의 위치조정은 미세하게 잘 이루어지지 않는다.
상기한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 본 발명은 스테이지 위에 투입된 글라스기판을 정렬하기 위한 구조물의 부피를 최소한으로 줄이고, 글라스기판의 위치를 미세 조정할 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 러빙 스테이지 상의 글라스기판 정렬장치는, 상면에 글라스기판이 투입되고 횡 방향과 종 방향의 양쪽 끝 부분에 정렬용 베어링의 회전반경보다 큰 직경을 가지는 원형의 가이드 홀이 형성된 스테이지; 및 상기 스테이지의 횡 방향과 종 방향의 양쪽 끝 부분 저면에 설치되어, 상기 스테이지의 가이드 홀 내에서 정렬용 베어링을 상하로 이동시키는 한편 회전시키는 다수개의 정렬 유닛;을 포함하는 것으로서 다수개의 정렬 유닛에 의해 스테이지 상면에 투입된 글라스기판을 미리 설정된 위치로 정렬하는 것을 특징으로 한다.
상기 스테이지에 스테이지를 상하로 관통하는 다수개의 통공이 형성되고, 상기 통공이 형성된 스테이지의 저면에 상기 스테이지의 상면에 에어 블로우 또는 진공 형성을 위한 에어 블로우 또는 진공 형성장치가 설치되는 것이 바람직하다.
상기 가이드 홀이 상기 스테이지의 횡 방향과 종 방향의 양쪽 끝 부분에 일정간격을 두고 두 줄로 배치되고, 상기 정렬 유닛이 상기 스테이지의 횡 방향과 종 방향의 양쪽 끝 부분 저면에 일정간격을 두고 두 줄로 배치되어, 서로 다른 방향의 글라스기판을 정렬할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.
상기 스테이지의 횡 방향과 종 방향의 양쪽 끝 부분에 각각 두 개의 정렬 유닛이 배치되어, 상기 스테이지 상면에 투입된 글라스기판을 흔들림 없이 횡 방향 또는 종 방향으로 이동시킬 수 있도록 하는 것이 바람직하다.
상기 정렬유닛은, 글라스 기판을 정렬할 수 있도록 회전축의 상단에 편심지게 고정된 정렬용 베어링과, 상기 회전축에 접속되어 상기 정렬용 베어링을 회전시 키는 로터리 액츄에이터와, 상기 정렬용 베어링과 상기 로터리 액츄에이터를 상하로 이동시키기 위한 고정도 가이드 실린더와, 상기 고정도 가이드 실린더를 상기 스테이지의 저면에 고정하기 위한 T자형 브라켓으로 구성되는 것이 바람직하다.
상기 정렬용 베어링과 상기 정렬용 베어링을 상기 회전축의 상단에 편심지게 고정하기 위한 고정 핀 사이에 글라스기판 정렬 시 글라스기판에 가해지는 충격을 최소한으로 줄이기 위한 라버 링이 내재되는 것이 바람직하다.
상기 고정도 가이드 실린더는, 한 쌍의 LM 레일과 LM 레일 가이드 그리고 공압 실린더로 이루어지는 것이 바람직하다.
상기 회전축의 상단부에는 상기 회전축의 안정적인 상하 이동을 유도하기 위한 금속 또는 플라스틱 재질로 이루어진 원통 형상의 부시가 끼워지는 것이 바람직하다.
상기 부시는 상기 가이드 홀의 직경에 상응하는 직경을 가지며 상기 회전축의 상하 이동폭보다 큰 높이를 가지는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에 의한 러빙 스테이지 상의 글라스기판 정렬방법은, 러빙 처리를 위한 스테이지(stage) 상면에 에어 블로우(air blow)를 형성시키는 제1단계; 상기 에어 블로우가 형성된 스테이지 상면에 러빙 처리하고자 하는 글라스기판을 투입하는 제2단계; 상기 투입된 글라스기판의 방향에 따라 다수개의 정렬유닛(align unit)을 선택적으로 작동시켜 글라스기판을 미리 설정된 위치로 정렬하는 제3단계; 및 상기 글라스기판의 정렬을 완료한 후 상기 스테이지 상면에 진공(vacuum)을 형성시켜 글라스기판을 고정하는 제4단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 다수개의 정렬유닛은, 회전축에 편심지게 고정된 정렬 베어링을 상하로 이동시키는 한편 정렬 베어링을 180도 회전시켜 스테이지 상면에 투입된 글라스기판을 미리 설정된 위치로 정렬하는 것이 바람직하다.
상기 스테이지 상면에 투입된 글라스기판의 정렬에 참여하지 않는 다수개의 정렬유닛의 정렬 베어링은 상기 스테이지의 상면보다 낮게 위치하는 것이 바람직하다.
이하, 본 발명을 상세히 설명한다.
본 발명에 의한 러빙 스테이지 상의 글라스기판 정렬장치는 도1 내지 도5에 도시한 바와 같이, 통상의 러빙장치에서 러빙 처리하고자 하는 글라스기판이 상면에 투입되는 스테이지(11)는 횡 방향과 종 방향의 양쪽 끝 부분에 정렬용 베어링(24)의 회전반경 즉, 정렬용 베어링(24)보다 위치 조정 가능한 폭만큼 큰 직경을 가지는 다수개의 가이드 홀(12)이 형성되어 있다.
다수개의 가이드 홀(12)에 대응되게 스테이지의(11)의 횡 방향과 종 방향의 양쪽 끝 부분 저면에 설치된 다수개의 정렬 유닛(14)은 스테이지(11)의 가이드 홀(12) 내에서 정렬용 베어링(24)을 상하로 이동시키는 한편 일정각도 즉, 180도 정도 회전시켜 스테이지에 투입된 글라스기판을 실질적으로 정렬하는 구성요소이다. 물론, 정렬용 베어링(24)은 다수개의 정렬 유닛(14)을 구성하는 하나의 구성요소이다.
즉, 본 발명은 스테이지나 러빙롤러의 위치나 방향을 바꾸지 않고도 다수개의 정렬 유닛(14)을 이용하여 스테이지(11) 상면에 투입된 글라스기판을 미리 설정 된 위치로 정렬할 수 있다.
또한 본 발명은 도6 및 도7에서와 같이 스테이지(11)를 상하로 관통하는 다수개의 통공(17)이 스테이지(11)에 형성되어 있고, 통공(17)이 형성된 스테이지(11)의 저면에 스테이지(11) 상면에 에어 블로우 또는 진공 형성을 위한 에어 블로우 또는 진공 형성장치(18)가 설치되어 있으므로 스테이지(11) 상면에 투입된 글라스기판을 정렬하는 과정에서 스테이지(11)와 글라스기판 사이의 마찰력을 최소한으로 줄일 수 있고, 정렬 처리를 마친 글라스기판을 러빙 처리가 가능하도록 스테이지(11) 상면에 고정할 수 있다.
특히, 본 발명은 다수개의 가이드 홀(12)들이 스테이지(11)의 횡 방향과 종 방향의 양쪽 끝 부분에 일정간격을 두고 두 줄로 배치되어 있고, 다수개의 정렬 유닛(14)들이 다수개의 가이드 홀(12)들에 대응되게 스테이지(11)의 횡 방향과 종 방향의 양쪽 끝 부분 저면에 일정간격을 두고 두 줄로 배치되어 있으므로 도12 내지 도15나 도16 내지 도19와 같이 스테이지(11) 상면에 서로 다른 방향의 글라스기판(25)이 투입되어도 모두 정렬이 가능하다.
또한 스테이지(11)의 횡 방향과 종 방향의 양쪽 끝 부분에서 스테이지(11) 상면에 투입된 글라스기판을 정렬하기 위한 정렬 유닛(14)들이 두 개가 한 쌍을 이루도록 배치되어 있으므로 스테이지(11) 상면에 투입된 글라스기판을 정렬할 때 글라스기판이 흔들리지 않고 횡 방향 또는 종 방향으로 이동 가능하다.
위에서 같이 글라스기판의 실질적인 정렬을 수행하는 정렬 유닛(14)들은 도8 내지 도11과 같이 구성되는데, 이 정렬 유닛(14)들은 동일한 구성요소로 이루어진 다. 다만, 주변의 다른 정렬 유닛과의 관계를 고려하여 일부 구성요소의 위치가 달라질 수도 있음은 물론이다.
상기한 정렬 유닛(14)은 도8 내지 도11에 도시한 바와 같이 글라스 기판을 정렬할 수 있도록 회전축(16)의 상단에 편심지게 고정된 정렬용 베어링(24)과, 커플링(23)에 의해 회전축(16)에 접속되어 정렬용 베어링(24)을 회전시킬 수 있도록 기억자형 브라켓(22)에 의해 고정도 가이드 실린더(19)이 일측면에 고정 설치된 로터리 액츄에이터(20)와, 이 정렬용 베어링(24)과 로터리 액츄에이터(20)를 상하로 이동시키기 위한 고정도 가이드 실린더(19)와, 이 고정도 가이드 실린더(19)를 스테이지의 저면에 고정하기 위한 T자형 브라켓(21)으로 구성되어 있다.
여기서, 정렬용 베어링(24)과 정렬용 베어링(24)을 회전축(16)의 상단에 편심지게 고정하기 위한 고정 핀(13) 사이에 글라스기판 정렬 시 글라스기판에 가해지는 충격을 최소한으로 줄이기 위한 라버 링(15)이 내재되어 있으므로 글라스기판을 정렬하는 과정에서 발생할 수 있는 충격에 의한 손상을 줄일 수 있다.
그리고 회전축(16)의 상단부에는 회전축(16)의 안정적인 상하 이동을 유도하기 위한 금속 또는 플라스틱 재질로 이루어진 원통 형상의 부시(26)가 끼워지는데, 이때 부시(26)는 가이드 홀(12)의 직경에 상응하는 직경을 가지며 회전축(16)의 상하 이동폭보다 큰 높이를 가지므로 정렬용 베어링(24)이 상하로 이동하여도 회전축(16)을 감싸고 있는 부시(26)는 가이드 홀(12)로부터 이탈되지 않는다.
위에서 설명한 바와 같이 정렬용 베어링(24)을 상하로 이동시키기 위한 고정도 가이드 실린더(19)는 통상적인 한 쌍의 LM 레일과 LM 레일 가이드 그리고 공압 실린더 등으로 구성되는데, 이는 공지의 기술이다.
이와 같이 구성된 본 발명에 의한 정렬장치에 의해 스테이지에 투입된 글라스기판을 정렬하는 과정을 설명한다.
먼저, 도12 및 도16과 같은 대기 상태에서는 에어 블로우 및 진공 형성장치(18)에 의해 러빙 처리를 위한 스테이지(11) 상면에 에어 블로우(air blow)가 형성되고, 도20a,b에서와 같이 정렬 유닛(14)의 정렬용 베어링(24)이 스테이지(11) 상면보다 낮게 위치한다.
이렇게 에어 블로우가 형성된 스테이지(11) 상면에 도13 및 도17에서와 같이 러빙 처리하고자 하는 횡 방향 또는 종 방향의 글라스기판(25)이 투입되면, 고정도 가이드 실린더(19)의 작동으로 도21a,b에서와 같이 정렬 유닛(14)의 정렬용 베어링(24)이 글라스기판(25)에 닿을 수 있는 높이까지 상승한다.
이어서 도14 및 도18에서와 같이 다수개의 정렬유닛(14)에 의한 글라스기판(25)의 정렬이 이루어지는데, 이때 글라스기판(25)의 정렬은 로터리 액츄에이터(20)(또는 모터)의 회전으로 도22a,b에서와 같이 회전축(16)의 상단에 편심지게 고정된 정렬용 베어링(24)이 스테이지(11) 상면에 투입된 글라스기판(25)을 횡 방향 또는 종 방향으로 이동시켜 미리 설정된 위치로 이동시킴으로써 이루어진다. 즉, 편심지게 배치된 정렬용 베어링(24)이 글라스기판(25)에 닿으면서 글라스 기판의 임의로 지정된 위치로 이동 가능하다.
여기서, 스테이지(11) 상면에 투입된 글라스기판(25)을 정렬하는 과정에 모든 정렬유닛(14)이 참여하지 않는다. 그리고 스테이지(11) 상면에 투입된 글라스기 판(25)의 정렬에 참여하지 않는 다수개의 정렬유닛(14)의 정렬용 베어링(24)은 글라스기판이 투입되기 전 상태와 마찬가지로 스테이지(11)의 상면보다 낮은 위치를 유지한다.
스테이지(11) 상면에 투입된 글라스기판(25)의 정렬을 완료한 후 에어 블로우 및 진공 형성장치(18)에 의해 스테이지(11) 상면에 진공(vacuum)을 형성시켜 도15 및 도19에서와 같이 글라스기판(25)을 고정하는 한편 로터리 액츄에이터(2)와 고정도 가이드 실린더(19)의 순차적으로 구동으로 도23a,b에서와 같이 정렬용 베어링(24)을 원위치로 회전 한편 도24a,b에서와 같이 정렬용 베어링(24)을 스테이지(11) 아래로 하강시키게 된다.
위와 같은 정렬 유닛(14)의 동작은 스테이지(11) 상면에 새로운 글라스기판(25)이 투입될 때마다 반복된다.
따라서 본 발명에 의하면, 본 발명은 글라스기판의 투입되는 스테이지의 4면 외곽에 스테이지를 관통해서 상하로 이동하고 일정각도 회전 가능하여 글라스기판을 횡 방향이나 종 방향으로 자유롭게 이동시킬 수 있는 다수개의 정렬유닛을 설치함으로써 스테이지 위에 투입된 글라스기판을 정렬하기 위한 구조물의 부피를 최소한으로 줄이고, 글라스기판의 위치를 미세 조정할 수 있다.

Claims (12)

  1. 상면에 글라스기판이 투입되고 횡 방향과 종 방향의 양쪽 끝 부분에 정렬용 베어링의 회전반경보다 큰 직경을 가지는 원형의 가이드 홀이 형성된 스테이지; 및
    상기 스테이지의 횡 방향과 종 방향의 양쪽 끝 부분 저면에 설치되어, 상기 스테이지의 가이드 홀 내에서 정렬용 베어링을 상하로 이동시키는 한편 회전시키는 다수개의 정렬 유닛;
    을 포함하는 것으로서 다수개의 정렬 유닛에 의해 스테이지 상면에 투입된 글라스기판을 미리 설정된 위치로 정렬하는 것을 특징으로 하는 러빙 스테이지 상의 글라스기판 정렬장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 스테이지에 스테이지를 상하로 관통하는 다수개의 통공이 형성되고, 상기 통공이 형성된 스테이지의 저면에 상기 스테이지의 상면에 에어 블로우 또는 진공 형성을 위한 에어 블로우 또는 진공 형성장치가 설치되는 것을 특징으로 하는 러빙 스테이지 상의 글라스기판 정렬장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 가이드 홀이 상기 스테이지의 횡 방향과 종 방향의 양쪽 끝 부분에 일정간격을 두고 두 줄로 배치되고, 상기 정렬 유닛이 상기 스테이지의 횡 방향과 종 방향의 양쪽 끝 부분 저면에 일정간격을 두고 두 줄로 배치되어, 서로 다른 방향의 글라스기판을 정렬할 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 러빙 스테이지 상의 글라스기판 정렬장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 스테이지의 횡 방향과 종 방향의 양쪽 끝 부분에 각각 두 개의 정렬 유닛이 배치되어, 상기 스테이지 상면에 투입된 글라스기판을 흔들림 없이 횡 방향 또는 종 방향으로 이동시킬 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 러빙 스테이지 상의 글라스기판 정렬장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 정렬유닛은, 글라스 기판을 정렬할 수 있도록 회전축의 상단에 편심지게 고정된 정렬용 베어링과, 상기 회전축에 접속되어 상기 정렬용 베어링을 회전시키는 로터리 액츄에이터와, 상기 정렬용 베어링과 상기 로터리 액츄에이터를 상하로 이동시키기 위한 고정도 가이드 실린더와, 상기 고정도 가이드 실린더를 상기 스테이지의 저면에 고정하기 위한 T자형 브라켓으로 구성되는 것을 특징으로 하는 러빙 스테이지 상의 글라스기판 정렬장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 정렬용 베어링과 상기 정렬용 베어링을 상기 회전축의 상단에 편심지게 고정하기 위한 고정 핀 사이에 글라스기판 정렬 시 글라스기판에 가해지는 충격을 최소한으로 줄이기 위한 라버 링이 내재되는 것을 특징으로 하는 러빙 스테이지 상의 글라스기판 정렬장치.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 고정도 가이드 실린더는, 한 쌍의 LM 레일과 LM 레일 가이드 그리고 공압 실린더로 이루어지는 것을 특징으로 하는 러빙 스테이지 상의 글라스기판 정렬장치.
  8. 제5항에 있어서,
    상기 회전축의 상단부에는 상기 회전축의 안정적인 상하 이동을 유도하기 위한 금속 또는 플라스틱 재질로 이루어진 원통 형상의 부시가 끼워지는 것을 특징으로 하는 러빙 스테이지 상의 글라스기판 정렬장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 부시는 상기 가이드 홀의 직경에 상응하는 직경을 가지며 상기 회전축의 상하 이동폭보다 큰 높이를 가지는 것을 특징으로 하는 러빙 스테이지 상의 글라스기판 정렬장치.
  10. 러빙 처리를 위한 스테이지(stage) 상면에 에어 블로우(air blow)를 형성시 키는 제1단계;
    상기 에어 블로우가 형성된 스테이지 상면에 러빙 처리하고자 하는 글라스기판을 투입하는 제2단계;
    상기 투입된 글라스기판의 방향에 따라 다수개의 정렬유닛(align unit)을 선택적으로 작동시켜 글라스기판을 미리 설정된 위치로 정렬하는 제3단계; 및
    상기 글라스기판의 정렬을 완료한 후 상기 스테이지 상면에 진공(vacuum)을 형성시켜 글라스기판을 고정하는 제4단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 러빙 스테이지 상의 글라스기판 정렬방법.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 다수개의 정렬유닛은, 회전축에 편심지게 고정된 정렬 베어링을 상하로 이동시키는 한편 정렬 베어링을 180도 회전시켜 스테이지 상면에 투입된 글라스기판을 미리 설정된 위치로 정렬하는 것을 특징으로 하는 러빙 스테이지 상의 글라스기판 정렬방법.
  12. 제10항에 있어서,
    상기 스테이지 상면에 투입된 글라스기판의 정렬에 참여하지 않는 다수개의 정렬유닛의 정렬 베어링은 상기 스테이지의 상면보다 낮게 위치하는 것을 특징으로 하는 러빙 스테이지 상의 글라스기판 정렬방법.
KR1020070054199A 2007-06-04 2007-06-04 러빙 스테이지 상의 글라스기판 정렬장치와 방법 KR20080106600A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070054199A KR20080106600A (ko) 2007-06-04 2007-06-04 러빙 스테이지 상의 글라스기판 정렬장치와 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070054199A KR20080106600A (ko) 2007-06-04 2007-06-04 러빙 스테이지 상의 글라스기판 정렬장치와 방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20080106600A true KR20080106600A (ko) 2008-12-09

Family

ID=40367223

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020070054199A KR20080106600A (ko) 2007-06-04 2007-06-04 러빙 스테이지 상의 글라스기판 정렬장치와 방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20080106600A (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107632444A (zh) * 2017-11-02 2018-01-26 上海天马微电子有限公司 异形显示面板及其制造方法及显示装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107632444A (zh) * 2017-11-02 2018-01-26 上海天马微电子有限公司 异形显示面板及其制造方法及显示装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100939612B1 (ko) 배향막의 러빙장치
KR100939611B1 (ko) 배향막의 러빙시스템 및 러빙방법, 이를 이용한액정표시소자 제조방법
KR101642898B1 (ko) 광배향 처리장치
JP4972749B2 (ja) 基板支持装置及びこれを利用したｌｃｄセルのシールパターン検査装置
JP5506631B2 (ja) ラビング装置
CN107037636A (zh) 一种液晶基板的电压施加装置及施压方法
KR20080106600A (ko) 러빙 스테이지 상의 글라스기판 정렬장치와 방법
CN102629029A (zh) 取向膜摩擦方法和装置
KR101026273B1 (ko) 러빙 장치 및 이것을 사용하여 제조한 액정 표시 소자
CN202196244U (zh) 聚酰亚胺膜涂布设备
CN101770115B (zh) 取向膜摩擦工艺及设备
KR100849084B1 (ko) 러빙 스테이지 상의 글라스기판 정렬장치
JP2006251506A (ja) フレキシブルフィルムの配向処理方法及び装置
KR20050118445A (ko) 액정 표시 장치용 러빙 장치
KR101221762B1 (ko) 러빙장치 및 러빙방법
KR101378211B1 (ko) 액정표시장치 제조용 기판
KR102173657B1 (ko) 기판처리장치
KR100476042B1 (ko) 액정 배향 장치
KR101189148B1 (ko) 액정표시장치의 배향막 러빙장치
KR100805158B1 (ko) 2개의 스테이지를 가지는 러빙장치
KR100310611B1 (ko) 액정표시소자의배향용액인쇄장치
KR20090099989A (ko) 러빙장치의 헤드부를 회전시키기 위한 구조
KR200266550Y1 (ko) 액정표시장치의 배향막 러빙장치
CN101556409B (zh) 取向膜摩擦工艺用摩擦布
KR20090015497A (ko) 러빙 장치

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application