KR20120122794A - 러빙장치 및 러빙방법 - Google Patents

Abstract

기판 상의 액정배향막에 상기 기판의 일 측면과 나란한 방향으로 배향홈을 형성하도록 배치되는 러빙롤을 포함하는 러빙장치에 있어서, 상기 러빙롤이 상기 러빙롤의 축을 중심으로 회전되도록 하는 회전수단;과 상기 러빙롤 또는 상기 기판 중 적어도 어느 하나는 러빙시, 상기 배향홈 형성방향으로 이동되도록 하면서, 상기 러빙롤의 축 방향으로 이동되도록 하는 이송수단;을 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여 0도 러빙을 하면서도 경사 러빙한 것과 같이 러빙무라의 시인성이 개선되고, 경사 러빙하기 위해 기판과 러빙롤을 경사지게 배치할 필요가 없어 공정시간을 감소시킬 수 있는 러빙장치 및 러빙방법이 제공된다.

Description

러빙장치 및 러빙방법{Rubbing Apparatus and Rubbing Method}

본 발명은 LCD 제조공정 중 기판에 배향막을 배향하여 액정의 방향성을 형성하는 러빙장치 및 러빙방법에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 회전하는 러빙롤이 0도 러빙방향으로 이동하면서 러빙롤의 축방향으로 이동하여 러빙무라를 개선할 수 있는 러빙장치 및 러빙방법에 관한 것이다.

일반적으로 LCD(Liquid Crystal Display) 제조 공정에 있어서 무색 투명한 액정분자의 배열상태를 전압에 의해 변형시켜 그 결과로 발생한 광학적 성질의 변화를 편광판으로 가시화시키는 것으로써, 액정분자배열의 제어는 액정디스플레이의 구성에서 필수적인 기술이다.

상기한 액정분자배열을 위해 액정물질을 유리기판 사이에 도입하는 것만으로 균일한 분자배열상태를 얻는 것은 어렵기 때문에, 기판 내에 액정을 한 방향으로 배향시킬 수 있는 여러 방법이 도입되었는데 그 중 가장 보편적으로 응용되고 있는 방법이 러빙법이다.

종래의 러빙방법이란 폴리이미드(polyimide) 등의 액정배향막이 형성된 기판상에 균일한 압력과 속도를 유지하면서, 액정배향막 표면을 코튼이나 나일론 같은 러빙포를 이용하여 일정한 방향으로 러빙(rubbing)하면 홈이 생겨 액정이 배향될 수 있게 하는 것이다.

즉, 스테이지의 상부면에 액정배향막이 형성된 기판을 안착하고, 기판 상부에는 러빙포가 외주연에 부착된 러빙롤이 위치하여, 기판과 러빙롤이 접촉한 상태에서 물리적인 마찰에 의해 액정배향막의 배향홈 방향을 결정하는 것이다.

이때, 스테이지는 고정된 상태에서 러빙롤이 회전하면서 이동하여 러빙하거나, 러빙롤은 고정되어 회전하면서 스테이지가 이동하여 러빙한다.

이하, 도 1과 도2를 참조하여 종래의 러빙장치 및 러빙방법에 대하여 상세히 설명한다.

도 1은 종래의 0도 러빙을 위한 러빙장치의 개략도이다. 도 1을 참조하면, 기판(100)의 내입방향에 대한 러빙롤(200)의 러빙 방향을 0도로 하여, 러빙롤(200)의 회전속도(RPM), 기판(100)의 이동속도(stage speed), 기판(100)과 러빙롤(200)의 압력(depth)등을 조절하여 러빙 공정을 진행한다.

이때, 0도 러빙 방향은 기판(100)의 일측면과 나란한 방향으로 배치되는 러빙롤(200)이 기판(100) 상의 액정배향막에 배향홈을 형성하기 위해 이동되는 방향이다.

하지만, 액정배향막에 직접적으로 접촉되는 러빙롤(200)의 외주연에 부착된 러빙포(300)의 어느 한 부분에 이물질(400)이 있는 경우, 액정배향막에 배향방향을 따라 배향홈을 형성할 수는 있으나 이물질(400)에 의하여 액정배향막 표면에 손상을 가하게 된다.

따라서, 0도 러빙 방향으로 러빙이 진행시 이물질(400)에 의한 액정배향막의 손상부분이 중첩되어 라인 형상의 러빙결함(500)으로 표출되고, 반복 러빙 공정 진행시 러빙결함(500)의 시인성은 더욱 강하게 나타나게 되어 액정표시장치의 화면 품위가 저하되는 문제점이 발생된다.

도 2는 종래의 경사 러빙을 위한 러빙장치의 개략도이다. 도 2를 참조하면, 상기한 0도 러빙의 문제점을 보완하기 위해 경사 러빙이 제안되었다. 경사러빙은 기판(100)과 러빙롤(200)의 각도를 일정 각도(θ)로 경사지게 하여 러빙 공정을 실시한다. 이와 같은 일정 각도(θ)로 러빙공정을 실시하는 경우, 이물질(400)에 의한 액정배향막의 손상부분이 중첩되지 않고 사선형태로 나타나기 때문에 러빙결함(500)으로 인한 러빙무라가 개선되는 효과를 얻을 수 있었다.

하지만, 경사 러빙의 경우, 기판(100)과 러빙롤(200)을 러빙 진행시마다 일정 각도(θ)로 변경해야 하기 때문에, 러빙 공정시간이 길어지게 되었고, 기판(100)과 러빙롤(200) 등을 조작하는 횟수의 증가로 인한 파티클 및 스크래치 불량이 증가하는 문제점이 발생하게 되었다.

따라서, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 기판을 0도 러빙하기 위한 러빙장치에서 기판 또는 러빙롤이 러빙방향으로 이동하면서 러빙롤의 축방향으로 이동하여, 러빙롤의 외주연에 부착된 러빙포에 결함이 있더라도 러빙롤의 축방향으로 이동하는 러빙롤에 의해 러빙결함의 중첩이 방지되므로 경사 러빙과 같이 러빙무라를 개선할 수 있는 러빙장치 및 러빙방법을 제공함에 있다.

또한, 기판 또는 러빙롤은 0도 러빙방향이 변하지 않도록 이동하면서 러빙롤의 축방향으로 이동하여, 배향홈의 방향은 0도 러빙방향이면서 경사 러빙과 대응되는 효과를 얻을 수 있는 러빙장치 및 러빙방법을 제공함에 있다.

또한, 0도 러빙을 하면서도 경사 러빙한 것과 동일한 효과를 낼 수 있어, 경사 러빙과 같이 러빙시마다 기판과 러빙롤의 각도를 조절해 줄 필요가 없어 공정시간을 단축시킬 수 있는 러빙장치 및 러빙방법을 제공함에 있다.

또한, 수평면상에서 러빙롤의 축이 상호 평행하게 이격되어 배치되는 러빙롤이 두 개 이상인 경우, 적어도 하나의 러빙롤은 0도 러빙 방향과 러빙롤의 축방향으로 이동하도록 하여, 러빙무라의 시인성을 개선하고 공정시간을 감소할 수 있는 러빙장치 및 러빙방법을 제공함에 있다.

상기 목적은, 본 발명에 따라, 기판 상의 액정배향막에 상기 기판의 일 측면과 나란한 방향으로 배향홈을 형성하도록 배치되는 적어도 하나의 러빙롤을 포함하는 러빙장치에 있어서, 상기 러빙롤이 상기 러빙롤의 축을 중심으로 회전되도록 하는 회전수단과 상기 러빙롤 또는 상기 기판 중 적어도 어느 하나는 러빙시, 상기 배향홈 형성방향으로 이동되도록 하면서, 상기 러빙롤의 축 방향으로 이동되도록 하는 이송수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 러빙장치에 의해 달성된다.

여기서, 상기 기판과 상기 러빙롤 중 적어도 어느 하나는 상기 러빙롤의 축 방향 이동속도가 상기 배향홈 형성방향 이동속도보다 느리게 설정되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 러빙롤이 상기 러빙롤의 축 방향으로 이동시, 상기 러빙롤의 양단은 각각 대응되는 상기 기판의 측면에 대해 외측에 위치되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 러빙롤은 복수 개로 마련되어 순차적으로 배치되며, 후행하는 러빙롤은 선행하는 러빙롤에 비해 느린 회전속도와 작은 압력으로 설정되는 것이 바람직하다.

또한, 기판 상의 액정배향막에 상기 기판의 일 측면과 나란한 방향으로 배향홈을 형성하도록 배치되는 적어도 하나의 러빙롤을 이용하여 상기 기판 상에 러빙을 하는 러빙방법에 있어서, 상기 기판 또는 상기 러빙롤 중 적어도 어느 하나가 상기 배향홈 형성방향으로 이동되도록 하면서 상기 러빙롤의 축 방향으로 이동되도록 하여 상기 배향홈을 형성하는 단계를 포함하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 배향홈을 형성하는 단계에서 상기 기판과 상기 러빙롤 중 적어도 어느 하나는 상기 러빙롤의 축 방향 이동속도가 상기 배향홈 형성방향 이동속도보다 느리게 이동하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 배향홈을 형성하는 단계에서 상기 러빙롤이 축 방향으로 이동할 때, 상기 러빙롤의 양단은 각각 대응되는 상기 기판의 측면에 대해 외측에 위치하는 것이 바람직하다.

본 발명에 따르면, 기판을 0도 러빙하기 위한 러빙장치에서 기판 또는 러빙롤이 러빙방향으로 이동하면서 러빙롤의 축방향으로 이동하여, 러빙롤의 외주연에 부착된 러빙포에 결함이 있더라도 러빙롤의 축방향으로 이동하는 러빙롤에 의해 러빙결함의 중첩이 방지되므로 경사 러빙과 같이 러빙무라를 개선할 수 있는 러빙장치 및 러빙방법이 제공된다.

또한, 기판 또는 러빙롤은 0도 러빙방향이 변하지 않도록 이동하면서 러빙롤의 축방향으로 이동하여, 배향홈의 방향은 0도 러빙방향이면서 경사 러빙과 대응되는 효과를 얻을 수 있는 러빙장치 및 러빙방법이 제공된다.

또한, 0도 러빙을 하면서도 경사 러빙한 것과 동일한 효과를 낼 수 있어, 경사 러빙과 같이 러빙시마다 기판과 러빙롤의 각도를 조절해 줄 필요가 없어 공정시간을 단축시킬 수 있는 러빙장치 및 러빙방법이 제공된다.

또한, 수평면상에서 러빙롤의 축이 상호 평행하게 이격되어 배치되는 러빙롤이 두 개 이상인 경우, 적어도 하나의 러빙롤은 0도 러빙 방향과 러빙롤의 축방향으로 이동하도록 하여, 러빙무라의 시인성을 개선하고 공정시간을 감소할 수 있는 러빙장치 및 러빙방법이 제공된다.

도 1은 종래의 0도 러빙을 위한 러빙장치의 개략도,
도 2는 종래의 경사 러빙을 위한 러빙장치의 개략도,
도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 러빙장치에 대한 사시도,
도 4는 본 발명의 제1실시예에 따른 러빙장치를 이용한 러빙방법에 대한 공정도,
도 5는 제2실시예에 따른 러빙장치의 사시도,
도 6은 본 발명의 제2실시예에 따른 러빙장치를 이용한 러빙방법의 공정도,
도 7은 본 발명에 따른 러빙장치의 이송수단의 구현예에 대한 사시도이고,
도 8은 본 발명에 따른 러빙장치의 이송수단의 구현예에 대한 A-A'부분의 평단면도이다.

설명에 앞서, 여러 실시 예에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1실시예에서 설명하고, 그 외의 실시 예에서는 제1실시예와 다른 구성에 대해서 설명하기로 한다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 제1실시예에 따른 러빙장치에 대하여 상세하게 설명한다.

본 실시예에서는 기판이 안착되는 스테이지는 이동되지 않고 러빙롤이 제자리에서 회전하면서 스테이지로 이동하여 러빙공정이 진행되는 방식을 예로 들어 설명한다.

여기서, 기판의 일 측면과 나란한 방향으로 러빙롤이 배치되어 액정배향막에 배향홈이 형성되도록 0도의 경사각으로 이동되는 방향을 러빙방향으로 하고, 상기 0도 러빙방향과 수직한 방향을 축방향으로 정의한다.

도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 러빙장치의 사시도이다. 도 3을 참조하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 러빙장치는 스테이지(10), 러빙롤(20), 회전수단(30) 및 이송수단(40)을 포함하여 구성된다.

상기 스테이지(10)는 평판의 형태로, 상부면에 기판(11)이 안착되어 상기 기판(11)이 이동되지 않도록 형성된다. 이때, 상기 기판(11)의 상부면에는 액정배향막이 형성된다.

여기서, 상기 기판(11)이 이동되지 않도록 하는 수단으로는 상기 스테이지(10)의 상부면에 상기 기판(11)의 크기와 대응되는 소정의 홈이 형성되거나, 상기 스테이지(10)의 상부면을 수직 관통하는 다수개의 통공이 형성되어 소정의 진공장치 등을 이용하여 흡착되도록 할 수 있다.

상기 러빙롤(20)은 상기 기판(11)의 일 측면과 나란한 방향에서, 상기 기판(11)의 일 측면의 길이보다 긴 원기둥 형태로 형성되는 롤몸체(21)와, 상기 롤몸체(21)의 양측 단부 중앙에 지지되도록 형성되는 롤축(22)을 포함하여 구성된다.

이때, 롤몸체(21)의 외주연에는 양면 테이프와 같은 고정수단에 의해 코튼이나 나일론과 같은 재질로 형성된 러빙포(23)가 부착된다.

상기 회전수단(30)은 상기 러빙롤(20)의 일측에 구동모터와 벨트 등을 포함하여, 상기 러빙롤(20)이 상기 롤축(22)을 기준하여 러빙 공정을 위해 기설정된 속도로 좌측 또는 우측 방향으로 회전되도록 한다.

상기 이송수단(40)은 상기 러빙롤(20)의 타측에 구동모터와 기어 및 유압실린더 등을 포함하여, 고정된 상기 스테이지(10)에 상기 러빙롤(20)이 상기 러빙방향으로 이동되도록 하면서 상기 축방향으로 이동되도록 한다.

이때, 상기 이송수단(40)은 상기 러빙방향으로 이동되는 제1이송부(41)와 상기 축방향을 따라 이동되는 제2이송부(42)를 포함하여 구성되며, 상기 제1이송부(41)와 제2이송부(42)는 동시에 구동되도록 설정된다.

여기서, 상기 러빙롤(20)은 제1이송부(41)와 제2이송부(42)에 의해 이동되더라도, 상기 러빙방향은 변하지 않는 범위 내에서 이동되도록 설정된다.

즉, 상기 제1이송부(41)와 제2이송부(42) 각각의 이동속도는 상기 러빙방향으로 러빙한 효과를 낼 수 있으면서도, 러빙결함(25)이 직선으로 표출되지 않도록 하는 범위 이내로 설정되는 것이다.

여기서, 상기 롤몸체(21)는 양단 중 어느 하나가 상기 기판(11)의 내측에 위치하지 않도록 설정되어야 한다. 다시 말해, 상기 러빙롤(20)이 상기 축방향을 따라 일측으로 최대한 이동하여도, 상기 러빙방향과 평행한 상기 기판(11)의 양측면은 상기 롤몸체(21)의 타측을 벗어나지 않도록 이동되어야 한다.

한편, 상기 이송수단(40)은 상기 제1이송부(41)와 상기 제2이송부(42)로 이동되는 수평면과 수직하는 방향으로 이동되는 제3이송부를 포함하여 구성될 수 있다.

지금부터는 상술한 러빙장치를 이용한 러빙방법에 대하여 설명한다.

도 4는 본 발명의 제1실시예에 따른 러빙장치를 이용한 러빙방법에 대한 공정도이다. 도 4를 참조하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 러빙방법은 기판(11)에 러빙시, 회전수단(30)에 의해 러빙롤(20)이 회전하여, 제1이송부(41)에 의해 러빙롤(20)이 러빙방향으로 이동하고, 이와 동시에 제2이송부(42)에 의해 러빙롤(20)이 축방향으로 이동하면서, 기판(11)에 형성된 액정배향막에 배향홈을 형성하는 단계를 포함한다.

이때, 러빙롤(20)은 축 방향으로 이동하더라도 러빙방향은 변하지 않도록 이동한다.

여기서, 러빙롤(20)의 외주연에 부착된 러빙포(23)에 이물질(24)이 있는 경우에는, 기판(11)에 접촉하는 이물질(24)의 위치도 제2이송부(42)에 의해 축방향을 따라 이동한다.

이에 따라, 이물질(24)에 의한 액정배향막의 러빙결함(25)이 러빙방향을 따라 직선형태로 나타나지 않고 사선형태로 나타나게 되어 러빙무라가 개선되는 것이다.

즉, 기판(11)에 배향홈을 형성하기 위해 러빙방향으로 러빙공정을 진행하는 경우, 러빙롤(20)은 제1이송부(41)와 제2이송부(42)에 의해 러빙방향과 축방향으로 동시에 이동한다.

따라서, 러빙포(23)에 이물질(24)이 있더라도 이물질(24)에 의한 러빙결함(25)이 사선형태로 나타나게 되므로, 0도 러빙을 하면서도 경사 러빙한 것과 동일한 효과를 얻을 수 있다.

아울러, 롤몸체(21)의 축방향 길이가 기판(11)의 축방향 길이보다 크게 형성하여, 러빙롤(20)이 축방향으로 이동하면서도 롤몸체(21)는 러빙방향과 평행한 기판(11)의 양측면을 벗어나지 않도록 한다.

한편, 제1이송부(41)와 제2이송부(42) 각각의 이동속도는, 러빙결함(25)이 러빙방향을 따라 직선으로 나타나지 않으면서도, 러빙방향은 변하지 않는 조건으로 설정한다.

예를 들어, 러빙방향으로 이동하는 속도가 축방향으로 이동하는 속도보다 월등하게 빠른 경우에는 러빙결함(25)에 의한 러빙무라가 직선으로 시인될 수 있다.

또한, 축방향으로 이동하는 속도가 러빙방향으로 이동하는 속도보다 월등하게 빠른 경우에는 액정배향막의 배향홈 방향이 러빙방향으로 러빙공정을 진행한 것과는 다르게 형성될 수 있다.

다음으로 본 발명의 제2실시예에 따른 러빙장치에 대하여 설명한다.

도 5는 제2실시예에 따른 러빙장치의 사시도이다. 제2실시예에서는 기판(11)의 진입면에 대해 러빙롤(20)이 복수 개로 마련되어 수평한 상태로 상호 평행하게 이격배치된다.

도시된 바는 러빙롤(20)이 제1러빙롤(20a)과 제2러빙롤(20b)의 두 개로 마련되어 설치된 것이 도시되어 있다.

각 러빙롤(20a, 20b)은 상술한 회전수단(30)과 이송수단(40)에 의해 러빙방향 및 축방향으로 이동되며, 본 실시예에서는 제2러빙롤(20b)이 축방향으로의 이동하는 것으로 예를 들어 설명한다.

즉, 제1러빙롤(20a)은 제1이송부(41)에 의해 축방향으로의 이동 없이 러빙방향으로만 이동되고, 제2러빙롤(20b)은 러빙방향 및 축방향으로 동시에 이동된다.

한편, 본 실시예에서는 회전수단(30)과 이송수단(40)이 각 러빙롤(20a, 20b)에 개별적으로 설치된 것으로 설명하였으나, 회전수단(30)과 이송수단(40)은 각각 하나의 유닛으로 구성되고, 하나의 유닛인 회전수단(30)과 이송수단(40)을 통해 각 러빙롤(20a, 20b)이 회전 및 이동되도록 설치될 수도 있다.

이외 다른 각 구성 및 설정은 상술한 제1실시예와 동일하므로 상세한 설명은 생략한다.

도 6은 본 발명의 제2실시예에 따른 러빙장치를 이용한 러빙방법의 공정도이다. 도 6을 참조하면, 제1이송부(41)를 구동시켜 러빙방향으로 기판(11)을 러빙시, 제1러빙롤(20a)은 배향홈의 방향과 러빙 깊이를 결정하기 위한 회전속도와 압력으로 설정한다.

아울러, 제1러빙롤(20a)보다 후행하도록 설치된 제2러빙롤(20b)은 제1이송부(41)를 통해 러빙방향으로 진행하면서, 제2이송부(42)에 의해 축 방향으로 이동된다. 이때, 제2러빙롤(20b)은 제1러빙롤(20a)보다 느린 회전속도와 작은 압력으로 설정한다.

제2러빙롤(20b)이 제1러빙롤(20a)보다 느린 회전속도와 작은 압력으로 설정됨으로써, 제2러빙롤(20b)은 제1러빙롤(20a)에서 발생할 수 있는 이물질(23)에 의한 러빙결함(25)을 상쇄시킬 수 있다.

또한, 제2러빙롤(20b)에 의해 제1러빙롤(20a)에 의해 형성된 배향홈의 방향을 러빙방향으로 한번 더 균일하게 하여, 제1러빙롤(20a)의 러빙포(23)에 이물질(24)이 있더라도 제2러빙롤(20b)에 의해 러빙결함(25)의 중첩을 방지할 수 있다.

본 실시예에서는 제2러빙롤(20b)이 축방향으로 이동하는 것을 예를 들어 설명하였으나, 실질적으로 제1러빙롤(20a) 또는 제2러빙롤(20b) 중 적어도 어느 하나가 상술한 제1실시예의 구성을 적용하여 축방향으로 이동되도록 할 수도 있다.

상술한 제1실시예와 제2실시예에서는 이송수단(40)이 제1이송부(41)와 제2이송부(42)로 구분된 것으로 설명하였으나, 하나의 모터를 구동하여 베벨 기어 등을 이용하면 제1이송부(41)와 제2이송부(42)는 실질적으로 하나의 구성요소로 구성될 수도 있다.

지금부터는 상술한 제1실시예와 제2실시예의 러빙롤의 축 방향의 이동을 구현하기 위한 구현예에 대해 설명한다.

도 7은 본 발명에 따른 러빙장치의 이송수단의 구현예에 대한 사시도이고, 도 8은 본 발명에 따른 러빙장치의 이송수단의 구현예에 대한 A-A'부분의 평단면도이다. 도 7과 8을 참조하면, 러빙롤(20)은 롤몸체(21)가 롤축(22)을 포함하여 구성되고, 롤몸체(21)와 롤축(22)은 상호 연동되도록 결합된다.

또한, 러빙롤(20)의 일측에는 회전수단(30)이 설치되고, 타측에는 이송수단(40)이 설치된다.

이때, 회전수단(30)과 이송수단(40)은 갠트리(gantry) 타입 등의 지지대(50)에 각각 설치될 수 있다.

여기서, 회전수단(30)은 소정의 구동모터 등을 포함하여 러빙롤(20)을 좌측 또는 우측 방향으로 제자리에서 회전하도록 구성된다.

한편, 이송수단(40)은 고정된 스테이지(10)로 지지대(50)가 러빙방향으로 이동되도록 하는 제1이송부(41)와, 러빙롤(20)이 축방향으로 이동되도록 하는 제2이송부(42)를 포함한다.

이때, 제1이송부(41)는 소정의 모터와 각종 기어 및 실린더 등이 포함될 수 있으며, 이를 통해 지지대(50)를 러빙방향으로 이동시키도록 구성된다.

또한, 제2이송부(42)는 슬라이딩부재(42a)와 베어링(42b) 및 유압실린더(42c)를 포함하여 구성된다.

여기서, 슬라이딩부재(42a)는 지지대(50)의 내외측으로 슬라이딩하도록 결합되고, 슬라이딩부재(42a)의 양측 단부에는 러빙롤(20)과 후술할 유압실린더(42c)의 실린더축(42c') 선단이 각각 결합된다.

또한, 슬라이딩부재(42a)와 실린더축(42c')의 결합은 볼트 등과 같은 공지의 체결수단 등으로 결합될 수도 있고, 나사결합 등으로 결합될 수도 있다.

이때, 롤축(22)과 지지대(50) 사이 영역에서는 베어링(42b)이 결합되어, 상술한 회전수단(30)에 의한 회전력이 슬라이딩부재(42a)로 전달되지 않을 수 있다.

한편, 유압실린더(42c)는 통상의 유압을 사용하는 실린더로 마련되며, 상술한 슬라이딩부재(42a)의 좌측 단부에 결합하여, 소정의 제어부에 의해 실린더축(42c')이 좌우로 이동시에 슬라이딩부재(42a)를 좌우 방향으로 이동시킬 수 있다.

또한, 필요에 따라 유압실린더(42c)의 이동은 왕복이동하도록 설정될 수도 있다.

여기서, 유압실린더(42c)의 실린더축(42c')의 이동범위는 롤몸체(21)의 양측 단부 중 어느 하나가 기판(11)의 내측에 위치하지 않도록 하는 범위로 설정된다.

상술한 구현예에 따른 러빙방법을 설명하면, 회전수단(30)에 의해 롤축(22)이 우측으로 회전하면 롤몸체(21)는 롤축(22)과 연동하여 제자리에서 우측으로 회전한다.

이때, 회전하는 러빙롤(20)은 제1이송부(41)에 의해서 러빙방향으로 이동한다.

한편, 제1이송부(41)와 함께 이동하는 제2이송부(42)는 소정의 제어부를 통해 유압실린더(42c)의 실린더축(42c')이 기판(11) 방향으로 이동하여 슬라이딩부재(42a)가 지지대(50)에서 기판(11) 방향으로 슬라이딩한다..

아울러, 슬라이딩부재(42a)와 맞닿아 있는 러빙롤(20)이 기판방향으로 이동한다.

즉, 제1이송부(41)에 의해 지지대(50)가 러빙방향으로 이동하고, 이와 동시에 제2이송부(42)에 의해 유압실린더(42c)가 구동되어 러빙롤(20)이 축방향으로 이동하는 것이다.

같은 방법으로, 유압실린더(42c)의 실린더축(42c')이 좌측으로 이동시 상술한 방법의 역방향으로 러빙롤(20)이 이동하게 된다.

따라서, 유압실린더(42c)의 실린더축(42c')을 좌우 방향으로 반복 구동시에는 러빙롤(20)을 축방향으로 왕복이동되도록 할 수 있다.

본 구현예는 러빙롤(20)을 축방향으로 이동하기 위한 하나의 예로써, 제2이송부(42)는 슬라이딩부재(42a)와 베어링(42b) 및 유압실린더(42c)를 이용하였지만 이에 한정되는 것은 아니다.

본 발명의 권리범위는 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.

10 : 스테이지 11 : 기판
20 : 러빙롤 20a : 제1러빙롤
20b : 제2러빙롤 21 : 롤몸체
22 : 롤축 23 : 러빙포
24 : 이물질 25 : 러빙결함
30 : 회전수단 40 : 이송수단
41 : 제1이송부 42 : 제2이송부
42a : 슬라이딩부재 42b : 베어링
42c : 유압실린더 42c' : 실린더축
50 : 지지대

Claims (7)

1. 기판 상의 액정배향막에 상기 기판의 일 측면과 나란한 방향으로 배향홈을 형성하도록 배치되는 적어도 하나의 러빙롤을 포함하는 러빙장치에 있어서,
   상기 러빙롤이 상기 러빙롤의 축을 중심으로 회전되도록 하는 회전수단;
   상기 러빙롤 또는 상기 기판 중 적어도 어느 하나는 러빙시, 상기 배향홈 형성방향으로 이동되도록 하면서, 상기 러빙롤의 축 방향으로 이동되도록 하는 이송수단;을 포함하는 것을 특징으로 하는 러빙장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 기판과 상기 러빙롤 중 적어도 어느 하나는 상기 러빙롤의 축 방향 이동속도가 상기 배향홈 형성방향 이동속도보다 느리게 설정되는 것을 특징으로 하는 러빙장치.
3. 제2항에 있어서,
   상기 러빙롤이 상기 러빙롤의 축 방향으로 이동시, 상기 러빙롤의 양단은 각각 대응되는 상기 기판의 측면에 대해 외측에 위치되는 것을 특징으로 하는 러빙장치.
4. 제 1항에 있어서,
   상기 러빙롤은 복수 개로 마련되어 순차적으로 배치되며, 후행하는 러빙롤은 선행하는 러빙롤에 비해 느린 회전속도와 작은 압력으로 설정되는 것을 특징으로 하는 러빙장치.
5. 기판 상의 액정배향막에 상기 기판의 일 측면과 나란한 방향으로 배향홈을 형성하도록 배치되는 적어도 하나의 러빙롤을 이용하여 상기 기판 상에 러빙을 하는 러빙방법에 있어서,
   상기 기판 또는 상기 러빙롤 중 적어도 어느 하나가 상기 배향홈 형성방향으로 이동되도록 하면서 상기 러빙롤의 축 방향으로 이동되도록 하여 상기 배향홈을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 러빙방법.
6. 제 5항에 있어서,
   상기 배향홈을 형성하는 단계에서 상기 기판과 상기 러빙롤 중 적어도 어느 하나는 상기 러빙롤의 축 방향 이동속도가 상기 배향홈 형성방향 이동속도보다 느리게 이동하는 것을 특징으로 하는 러빙방법.
7. 제 6항에 있어서,
   상기 배향홈을 형성하는 단계에서 상기 러빙롤이 축 방향으로 이동할 때, 상기 러빙롤의 양단은 각각 대응되는 상기 기판의 측면에 대해 외측에 위치하는 것을 특징으로 하는 러빙방법.

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