KR20090039433A - 기판 이송 장치 - Google Patents

Abstract

기판 이송 장치는 제1 회전 전달부를 지지하는 제1 지지 프레임, 제2 회전 전달부를 지지하는 제2 지지 프레임, 및 제1 지지 프레임과 제2 지지 프레임을 결합시키는 결합 부재를 포함한다. 결합 부재는 제2 지지 프레임을 관통하여 제1 지지 프레임에 체결되는 스크류와 스크류의 몸통을 둘러싼 스프링을 포함한다. 스프링은 스크류의 헤드를 지지하여 스크류가 제2 지지 프레임측으로 이동하는 것을 방지한다. 이에 따라, 기판 이송 장치는 샤프트와 서브 롤러 간의 이격 거리를 균일하게 유지할 수 있으므로, 기판의 파손을 방지하고, 제품의 수율을 향상시킨다.

Description

기판 이송 장치{SUBSTRATE TRANSFER APPARATUS}

본 발명은 기판을 처리하는 장치에 관한 것으로, 더 상세하게는 웨이퍼 또는 평판 표시 소자 제조에 사용되는 기판 등을 이송하는 기판 이송장치에 관한 것이다.

최근 들어, 정보 처리 기기는 다양한 형태의 기능과 더욱 빨라진 정보 처리 속도를 갖도록 급속하게 발전하고 있다. 이러한 정보 처리 장치는 소정의 정보를 표시하는 표시 패널(display panel)을 가진다. 지금까지 표시 패널로는 주로 브라운관(cathode ray tube) 모니터가 사용되었으나, 최근에는 기술의 급속한 발전에 따라 가볍고 공간을 작게 차지하는 액정 디스플레이(LCD)와 같은 평판 표시 패널의 사용이 급격히 증대하고 있다.

이러한, 평판 표시 패널은 그 제조 과정에서 다양한 세정 공정들이 수행되고, 각 처리 공정 별로 처리실을 별도로 둔다. 이와 같이, 평판 표시 패널의 제조 공정은 기판이 다수의 처리실을 이동하면서 공정이 이루어지기 때문에, 이송 과정의 특정 경로에서 기판이 이송 장치로부터 이탈될 수 있다.

이를 방지하기 위해, 기판 이송 장치는 기판을 이송하는 샤프트의 상부에 서 브 롤러를 더 구비한다. 기판 이송시, 샤프트와 서브 롤러의 사이로 기판이 이송되며, 서브 롤러는 샤프트와 함께 기판을 가압하여 기판이 샤프트로부터 이탈되는 것을 방지한다.

샤프트와 서브 롤러 사이의 간격은 기판의 두께에 따라 변경해야하기 때문에, 별도의 스페이서를 삽입하여 서브 롤러와 샤프트의 간격을 변경시킨다. 그러나, 이물 적재시 샤프트와 서브 롤러 간의 간격을 유지할 수 없으므로, 기판이 판손될 수 있다.

본 발명의 목적은 제품의 수율을 향상시킬 수 있는 기판 이송 장치를 제공하는 것이다.

상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 하나의 특징에 따른 기판 이송 장치는, 샤프트, 제1 회전 전달부, 제1 지지 프레임, 서브 롤러, 제2 회전 전달부, 제2 지지 프레임, 및 결합 부재로 이루어진다.

샤프트는 기판이 안착되고, 중심축을 기준으로 회전하여 상기 기판을 수평 이동시키고, 제1 단부에 기판의 단부를 지지하는 제1 가이드 링을 구비한다. 제1 회전 전달부는 상기 샤프트의 제1 단부와 결합하고, 상기 샤프트를 회전시킨다. 제1 지지 프레임은 상기 제1 회전 전달부를 지지한다. 서브 롤러는 상기 샤프트의 상부에 위치하고, 상기 제1 가이드 링과 대응하게 배치되어 상기 제1 가이드 링과의 사이에 상기 기판이 개재되는 제2 가이드 링을 구비한다. 제2 회전 전달부는 상기 서브 롤러의 단부와 결합하고, 상기 제1 회전 전달부의 상부에 위치하며, 상기 서브 롤러를 상기 샤프트와 서로 다른 방향으로 회전시킨다. 제2 지지 프레임은 상기 제2 회전 전달부를 지지하고, 상기 제1 지지 프레임의 상부에 위치한다. 결합부재는 상기 제1 지지 프레임을 관통하여 상기 제2 지지 프레임에 체결되는 스크류 및 상기 스크류의 몸통을 둘러싸고 상기 스크류의 헤드를 지지하여 제1 및 제2 지지 프레임 간의 이격 거리를 균일하게 유지하는 스프링을 구비한다.

여기서, 상기 스프링은 상기 스크류의 헤드와 상기 제2 지지 프레임 사이에 위치한다.

상술한 본 발명에 따르면, 기판 이송 장치는 스프링에 의해 제1 및 제2 지지 프레임 간의 간격이 유지되므로, 제1 및 제2 가이드 링에 의해 기판에 파손되는 것을 방지할 수 있다.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 나타낸 사시도이고, 도 2는 도 1의 절단선 I-I'에 따른 단면도이며, 도 3은 도 1에 도시된 기판 이송 장치를 나타낸 평면도이다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 기판 이송 장치(100)는 샤프트(110), 서브 롤러(120), 제1 및 제2 회전 전달부(130, 140), 제1 및 제2 지지 프레임(151, 153), 및 제1 및 제2 결합부(161, 162)를 포함한다.

상기 샤프트(110)는 메인 롤러(111), 다수의 지지 롤러(113), 및 하부 가이드 링(114)을 포함한다. 상기 메인 롤러(111)는 일 방향으로 연장되어 로드 형상을 갖고, 상기 제1 회전 전달부(130)의 회전 운동에 의해 일 방향으로 회전한다. 상기 메인 롤러(111)는 상기 다수의 지지 롤러(113)에 삽입된다. 상기 지지 롤러들(113)은 상기 메인 롤러(111)의 길이 방향으로 서로 이격되어 위치하고, 링 형상을 가지 며, 상기 메인 롤러(111)와 함께 회전한다.

기판(10)은 상기 샤프트(110)의 상부에 상기 샤프트(110)와 마주하게 배치되고, 하면이 상기 지지 롤러들(113)에 의해 지지된다. 상기 기판(10)은 상기 지지 롤러들(113)의 회전 운동에 의해 수평 이동된다.

상기 메인 롤러(111)의 일 단부는 상기 하부 가이드 링(114)에 삽입된다. 상기 하부 가이드 링(114)은 상기 지지 롤러들(113)과 상기 제1 회전 전달부(130)의 사이에 구비되고, 링 형상을 갖는다. 상기 하부 가이드링(114)은 탄성을 갖는 고무 재질로 이루어지고, 상기 기판(10)의 단부를 지지하여 상기 기판(10)을 가이드한다.

도면에는 하나의 샤프트(110)만 도시하였으나, 상기 기판 이송 장치(100)는 다수의 샤프트를 구비한다.

상기 메인 롤러(111)의 일 단부에는 상기 제1 회전 전달부(130)가 구비된다. 상기 제1 회전 전달부(130)는 다수의 제1 자석을 내장하고, 자력을 이용하여 외부로부터 회전력을 전달받아 회전한다. 상기 제1 회전 전달부(130)의 회전력은 상기 메인 롤러(111)에 전달되어 상기 메인 롤러(111)가 회전하고, 이에 따라, 상기 샤프트(110) 상에 안착된 상기 기판(10)이 수평 이동된다.

상기 샤프트(110)의 상부에는 상기 서브 롤러(120)가 구비되고, 상기 서브 롤러(120)는 다수의 샤프트의 상부에 간헐적으로 구비된다. 상기 서브 롤러(120)는 상기 메인 롤러(111)의 길이 방향으로 연장된 회전 로드(121) 및 상기 회전 로드(121)의 일 단부에 구비된 상부 가이드 링(122)을 포함한다.

상기 상부 가이드 링(122)은 상기 하부 가이드 링(114)과 대응하여 위치하고, 상기 기판(10)의 상면에서 상기 기판(10)의 단부를 가압한다. 즉, 상기 기판(10)의 단부는 상기 하부 가이드 링(114)과 상기 상부 가이드 링(122)과의 사이에 개재되고, 상기 하부 가이드 링(114)과 상기 상부 가이드 링(122)은 회전하면서 동시에 상기 기판(10)을 가압하여 상기 기판(10)의 위치를 고정한다.

여기서, 상기 상부 가이드 링(122)은 상기 하부 가이드 링(114)과 마찬가지로 탄성을 갖는 고무 재질로 이루어지므로, 상기 기판(10)을 가압하더라도 상기 기판(10)이 파손되지 않는다.

도 1 및 도 3을 참조하면, 상기 상부 롤러(120)의 일 단부에는 상기 제2 회전 전달부(140)가 구비된다. 상기 제2 회전 전달부(140)는 상기 상부 가이드 링(122)의 외측에 위치하고, 상기 제1 회전 전달부(140)의 상부에 위치한다. 상기 제2 회전 전달부(140)는 제2 자석들을 내장하고, 상기 제2 자석들의 자력에 의해 외부로부터 회전력을 전달받아 회전한다. 이때, 상기 제2 회전 전달부(140)는 상기 제1 회전 전달부(130)의 회전 방향과 반대 방향으로 회전한다. 상기 제2 회전 전달부(140)의 회전력은 상기 상부 롤러(120)에 전달되고, 이에 따라, 상기 상부 롤러(120)가 상기 제2 회전 전달부(140)와 동일한 방향으로 회전한다. 따라서, 상기 상부 롤러(120)는 상기 샤프트(110)와 반대 방향으로 회전한다.

상기 제1 회전 전달부(130)는 상기 제1 지지 프레임(151)에 의해 지지되고, 상기 제2 회전 전달부(140)는 상기 제1 지지 프레임(153)에 의해 지지된다. 구체적으로, 상기 제1 지지 프레임(151)은 상기 제1 회전 전달부(130)가 삽입되는 제1 홈 이 형성된다. 상기 제2 지지 프레임(153)은 상기 제1 지지 프레임(151)의 상부에 구비되고, 상기 제2 회전 전달부(140)가 삽입되는 제2 홈이 형성된다.

상기 제1 및 제2 지지 프레임(151, 153)은 상기 제1 및 제2 결합부(161, 162)에 의해 결합된다. 상기 제1 및 제2 결합부(161)는 상기 제1 및 제2 회전 전달부(130, 140)의 양측에 위치한다. 상기 제1 및 제2 결합부(161, 162)는 각각 상기 제2 지지 프레임(153)을 관통하여 상기 제1 지지 프레임(151)에 체결되는 스크류(161a, 162a) 및 스프링(161b, 162b)으로 이루어진다.

여기서, 상기 상부 롤러(120)의 회전 로드(121)와 상기 샤프트(110)의 메인 롤러(111)가 적정 거리로 이격되도록, 상기 제1 및 제2 지지 프레임(151, 153)은 적정 거리로 이격되어 위치한다.

상기 스크류들(161a, 162a)은 상기 제1 지지 프레임(151)에 삽입되는 부분을 조절하여 상기 제1 및 제2 지지 프레임(151, 153)을 적정 거리로 이격시킨다. 이에 따라, 상기 상부 롤러(120)의 회전 로드(121)와 상기 샤프트(110)의 메인 롤러(111) 간의 이격 거리(RD)가 균일하게 유지된다.

상기 스프링들(161b, 162b)은 각각 대응하는 스크류(161a, 162a)의 몸통을 휘감고, 해당 스크류(161a, 162a)의 헤드와 상기 제2 지지 프레임(153)과의 사이에 위치한다. 각 스프링(161b, 162b)은 해당 스크류(161a, 162a)의 헤드를 지지하여 상기 회전 로드(121)와 상기 메인 롤러(111) 간의 이격 거리(RD)가 기 설정된 적정 거리보다 감소하여도 상기 기판(10)에 가해지는 압력을 최소화시킨다.

즉, 상기 제1 및 제2 지지 프레임(151, 153)의 이격 거리는 상기 기판(10)의 이송하는 과정에서, 상기 제2 지지 프레임(153)의 하중에 의해 초기의 이격 거리보다 점차 감소할 수 있다. 이렇게 상기 제1 및 제2 지지 프레임(151, 153)의 이격 거리가 좁아지면, 상기 하부 가이드링(114)과 상기 상부 가이드링(122) 간의 이격 거리도 감소하므로, 상기 하부 및 상부 가이드 링(114, 122)의 압력에 의해 상기 기판(10)이 파손될 수 있다.

이를 방지하기 위해, 상기 스프링들(161b, 162b)은 상기 스크류들(161a, 162a)의 헤드부를 지지하여 상기 스크류들(161a, 162a)이 상기 제1 지지 프레임(151)으로 이동하는 것을 방지한다. 이러한, 상기 스크류들(161a, 162a)의 완충 작용에 의해 상기 상부 가이드 링(122)으로부터 상기 기판(10)에 가해지는 압력이 감소되므로, 상기 기판(10)의 파손을 방지할 수 있다. 이에 따라, 상기 기판 이송 장치(100)는 제품의 수율을 향상시킬 수 있다.

이상 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 나타낸 사시도이다.

도 2는 도 1의 절단선 I-I'에 따른 단면도이다.

도 3은 도 1에 도시된 기판 이송 장치를 나타낸 평면도이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *

100 : 기판 이송 장치 110 : 샤프트

120 : 서브 롤러 130, 140 : 회전 전달부

151, 153 : 지지 프레임 161, 162 : 결합부

Claims (2)

1. 기판이 안착되고, 중심축을 기준으로 회전하여 상기 기판을 수평 이동시키고, 제1 단부에 상기 기판의 단부를 지지하는 제1 가이드 링을 구비하는 샤프트;

   상기 샤프트의 제1 단부와 결합하고, 상기 샤프트를 회전시키는 제1 회전 전달부;

   상기 제1 회전 전달부를 지지하는 제1 지지 프레임;

   상기 샤프트의 상부에 위치하고, 상기 제1 가이드 링과 마주하게 배치되어 상기 기판의 단부를 가압하여 상기 기판을 상기 샤프트에 고정시키는 제2 가이드 링을 구비하는 서브 롤러;

   상기 서브 롤러의 단부와 결합하고, 상기 제1 회전 전달부의 상부에 위치하며, 상기 서브 롤러를 상기 샤프트와 서로 다른 방향으로 회전시키는 제2 회전 전달부;

   상기 제2 회전 전달부를 지지하고, 상기 제1 지지 프레임의 상부에 위치하는 제2 지지 프레임; 및

   상기 제1 지지 프레임을 관통하여 상기 제2 지지 프레임에 체결되는 스크류 및 상기 스크류의 몸통을 둘러싸고 상기 스크류의 헤드를 지지하여 제1 및 제2 지지 프레임 간의 이격 거리를 균일하게 유지하는 스프링을 구비하는 적어도 하나의 결합 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 스프링은 상기 스크류의 헤드와 상기 제2 지지 프레임 사이에 위치하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.

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