KR101826031B1 - 기판 이송용 트랙 - Google Patents

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KR101826031B1
KR101826031B1 KR1020100130157A KR20100130157A KR101826031B1 KR 101826031 B1 KR101826031 B1 KR 101826031B1 KR 1020100130157 A KR1020100130157 A KR 1020100130157A KR 20100130157 A KR20100130157 A KR 20100130157A KR 101826031 B1 KR101826031 B1 KR 101826031B1
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백승호
이제섭
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엘지디스플레이 주식회사
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Abstract

본 발명은 기판 이송용 트랙에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 기판 이송용 트랙에 의해 이동되는 기판을 가이드하는 가이드롤러에 관한 것이다.
본 발명의 특징은 가이드롤러의 가이드회전롤러의 높낮이를 조절하거나, 또는 가이드회전롤러의 캡이 기판과 맞닿는 영역을 변경할 수 있도록 하는 것이다.
이를 통해, 가이드회전롤러를 넓은 면적에 걸쳐 사용할 수 있으므로, 가이드롤러의 교체주기를 줄일 수 있어, 비용의 낭비를 줄일 수 있으며, 가이드롤러 교체에 따른 공정의 효율성을 향상시키게 된다.
또한, 가이드회전롤러의 베어링과 외륜 사이에 실리콘러버를 더욱 구비함으로써, 가이드회전롤러와 기판과의 충돌에 의해 발생되는 충격을 흡수하여, 기판으로 충격이 전달되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 가이드회전롤러의 외륜 만을 분리하여 교체할 수 있어, 위와 같은 효과를 보다 극대화시킬 수 있다.

Description

기판 이송용 트랙{Track for conveying substrate}
본 발명은 기판 이송용 트랙에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 기판 이송용 트랙에 의해 이동되는 기판을 가이드하는 가이드롤러에 관한 것이다.
최근 본격적인 정보화 시대에 발맞추어 각종 전기적 신호에 의한 대용량의 데이터를 시각적 화상으로 표시하는 디스플레이(display) 분야 또한 급속도로 발전하였고, 이에 부응하여 경량화, 박형화, 저소비전력화 장점을 지닌 평판표시장치(Flat Panel Display device : FPD)로서, 액정표시장치(Liquid Crystal Display device: LCD), 플라즈마표시장치(Plasma Display Panel device: PDP), 전계방출표시장치(Field Emission Display device: FED), 전기발광표시장치(Electro luminescence Display device : ELD) 등이 소개되어 기존의 브라운관(Cathode Ray Tube : CRT)을 빠르게 대체하고 있다.
여기서, 액정표시장치는 고유의 형광 또는 편광층을 사이에 두고 한쌍의 투명기판을 대면 합착시킨 평판표시패널(flat display panel)을 필수적인 구성요소로 갖추고 있는데, 이와 같은 패널은 소정물질의 박막을 형성하는 증착(deposition)공정, 포토리소그라피(photo lithography)공정, 식각(etching)공정을 여러 번 반복하여 구성하며 이 외에 세정, 합착, 절단 등의 여러 가지 서로 다른 공정이 수반된다.
한편, 이와 같은 수많은 단위 공정들로 이루어진 액정표시장치의 제조공정은 일반적으로 클린룸에서 이루어지고 있으며, 클린룸 내부의 특정 공정장비에 의해 공정이 완료된 다수의 기판은 물류반송시스템인 기판 이송용 트랙에 의해 클린룸 내에 저장되거나, 또는 다른 공정장비로 이송된다.
도 1은 일반적인 기판 이송용 트랙을 개략적으로 도시한 사시도이다.
도시한 바와 같이, 기판 이송용 트랙(10)은 회전 가능한 다수의 샤프트축(11)을 서로 나란하게 일렬로 배열시키며, 각각의 샤프트축(11)에는 고리형상을 갖는 복수개의 회전롤러(12)가 일정 간격을 유지하도록 둘러 장착된다.
그리고 각각의 샤프트축(11) 양 말단에는 모터(미도시)와 같은 구동수단이 연결되어 회전력을 발휘하고, 필요에 따라 타이밍벨트 등이 설치되어 이웃하는 샤프트축(11)과 회전력을 공유한다.
따라서, 처리대상물인 기판(2)은 각 샤프트축(11)에 장착된 회전롤러(12)에 얹혀져, 샤프트축(11)과 회전롤러(12)의 회전에 의해 슬라이딩 방식으로 이동된다.
이때, 기판(2)이 이송되는 과정에서 기판(2)의 이탈을 방지하기 위하여 기판 이송용 트랙(10)의 양측 가장자리에는 기판(2)의 이탈을 방지하기 위한 가이드롤러(20)가 구비된다.
가이드롤러(20)는 기판(2)이 이송되는 방향으로 일정한 간격을 유지한 채, 샤프트축(11) 사이에 형성되며, 가이드롤러(20)는 가이드축(21)과 가이드축(21)에 둘러 장착되며 회전가능한 원통형의 가이드회전롤러(23)로 구성된다.
따라서, 기판(2)은 가이드롤러(20)에 의해 지지되어 기판 이송용 트랙(10) 상에서 이탈 되지 않고 슬라이딩 이동되는데, 이러한 가이드롤러(20)는 별도의 회전동력 없이, 기판(2)이 이동되는 과정에서의 마찰력에 의해 회전하게 된다.
그러나, 기판(2)과 직접적으로 마찰되는 가이드회전롤러(23)에는 점 또는 선 형태의 흠집이 나타나게 되는데 특히, 가이드회전롤러(23)의 흠집은 어느 특정지점에서 두드러지며, 다수의 기판(2)이 인라인 방식으로 기판 이송용 트랙(10) 상에 안착되어져 슬라이딩 이동됨으로써, 가이드회전롤러(23)의 흠집은 기판 이송용 트랙(10) 상에 안착되어 슬라이딩 되는 기판(2)의 수가 많아질수록 더욱 심화된다.
또한, 거듭된 기판(2)과의 마찰로 인해 손상된 가이드회전롤러(23)의 흠집은 기판(2)과의 간섭을 일으키게 되어 기판(2)의 파손을 야기하게 되는데, 이 경우 현재로서는 가이드회전롤러(23) 만을 별도로 교체하기 어려운 실정으로, 가이드롤러(20) 전체를 교체하여야 하므로 자원적인 부분은 물론 비용의 낭비를 초래하게 된다.
또한, 가이드롤러(20)의 교체에 의한 공정상의 불편함을 초래하게 되며, 공정시간 증가의 문제점을 야기하게 된다.
특히, 가이드회전롤러(23)와 기판(2)의 마찰이 발생할 시, 가이드회전롤러(23)에 의해 기판(2)에 충격이 가해지게 되는데, 이에, 기판(2)의 파손이 발생하게 되는 문제점이 발생하게 된다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 기판을 안정적으로 지지하면서도 기판에 가해지는 손상을 최소화할 수 있는 가이드롤러를 제공하는 것을 제 1 목적으로 한다.
또한, 마모에 따른 교체에 있어서 공정비용을 절감할 수 있으며, 공정시간을 단축할 수 있는 가이드롤러를 제공하고자 하는 것을 제 2 목적으로 하며, 이를 통해 기판 이송에 대한 신뢰도를 크게 향상시킬 수 있는 기판 이송용 트랙을 제공하고자 하는 것을 제 3 목적으로 한다.
전술한 바와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 나란하게 배열되며, 각각 복수개의 회전롤러가 장착된 다수의 샤프트축과; 서로 이웃하는 상기 샤프트축의 사이에 구성되며, 일정간 간격을 두고 길이방향을 따라 형성된 복수개의 가이드홀이 구비된 가이드축과 상기 가이드축에 둘러 장착되는 가이드회전롤러와, 그리고 상기 가이드축이 삽입되며 관통홀이 형성된 파이프와 상기 관통홀과 상기 가이드홀을 관통하여, 상기 가이드축의 높이를 조절하는 높이조절수단을 포함하는 가이드롤러를 포함하는 기판 이송용 트랙을 제공한다.
이때, 상기 가이드회전롤러는 상기 가이드축과 연결되는 내륜과, 상기 내륜의 외주면에 형성되는 외륜과, 그리고 상기 내륜 및 상기 외륜 사이에 개재되는 베어링으로 이루어지며, 상기 외륜의 외측에는 기판과 집적으로 맞닿는 캡이 형성되며, 상기 외륜과 상기 캡 사이에는 실리콘러버가 개재되며, 상기 캡은 상기 가이드회전롤러로부터 탈부착이 가능하다.
그리고, 상기 가이드축은 상기 파이프의 길이방향을 따라 상하로 승강운동하며, 상기 관통홀에 대응되는 상기 파이프의 내측면에는 상기 높이조절수단의 일끝단이 삽입되는 홈이 형성된다.
또한, 상기 높이조절수단이 삽입되는 상기 관통홀의 입구에는 걸림부가 구성되며, 상기 높이조절수단은 머리부가 구비된 핀 형상이며, 상기 핀의 외주면에는 스프링이 끼워진다.
그리고, 상기 스프링은 상기 높이조절수단에 외력을 가해 상기 파이프의 외측으로 잡아 당길 때 상기 걸림부에 의해 압착되며, 상기 높이조절수단에 가해진 외력이 제거되면 상기 스프링의 탄성력에 의해 상기 높이조절수단이 상기 가이드홀을 관통하며, 상기 파이프에는 멈춤볼트가 구비되어, 상기 멈춤볼트의 일끝단은 상기 파이프에 구비된 멈춤볼트홀을 통해 상기 파이프에 삽입되어 있는 상기 가이드축에 외력을 가한다.
이때, 상기 가이드축의 높이에 의해 상기 가이드회전롤러와 기판이 서로 접촉되는 영역이 달라진다.
또한, 본 발명은 나란하게 배열되며, 각각 복수개의 회전롤러가 장착된 다수의 샤프트축과; 서로 이웃하는 상기 샤프트축의 사이에 구성되며, 일정간 간격을 두고 길이방향을 따라 형성된 가이드축과 상기 가이드축에 둘러 장착되며, 상기 가이드축에 둘러 장착되는 가이드회전롤러를 포함하는 가이드롤러를 포함하며, 상기 가이드회전롤러는 탈부착에 의해 상부 또는 하부가 기판과 접촉되는 캡을 포함하는 기판 이송용 트랙을 제공한다.
이때, 상기 가이드회전롤러는 상기 가이드축과 연결되는 내륜과, 상기 내륜의 외주면에 형성되는 외륜과, 그리고 상기 내륜 및 상기 외륜 사이에 개재되는 베어링으로 이루어지며, 상기 외륜이 외측에는 상기 기판과 집적으로 맞닿는 상기 캡을 포함하며, 상기 외륜과 상기 캡 사이에는 실리콘러버가 개재되며, 상기 캡과 상기 외륜의 체결부위를 통해 상기 기판과 상기 캡이 접촉되는 영역이 달라진다.
그리고, 상기 캡의 내주면에는 상기 캡의 길이방향의 상부측에 제 1 돌출턱이 형성되어 있으며, 상기 캡의 길이방향의 하부측에 제 2 돌출턱이 형성되어 있으며, 상기 외륜의 외주면의 길이방향의 하부측에 상기 제 1 돌출턱 또는 상기 제 2 돌출턱이 끼움 삽입되는 걸림홈이 형성되며, 상기 캡의 제 1 돌출턱이 상기 외륜의 상기 걸림홈에 끼움 삽입될 경우, 상기 캡의 A 영역은 상부측에 위치하며, 상기 제 2 돌출턱이 상기 외륜의 상기 걸림홈에 끼움 삽입될 경우, 상기 캡의 A 영역은 하부측에 위치한다.
또한, 상기 캡의 내주면에는 상기 캡의 길이방향의 상부측에 제 1 결합홈이 형성되어 있으며, 상기 캡의 길이방향의 하부측에 제 2 결합홈이 형성되어 있으며, 상기 외륜의 외주면의 길이방향의 하부측에 상기 제 1 결합홈 또는 상기 제 2 결합홈에 끼움 삽입되는 돌출부가 형성된다.
위에 상술한 바와 같이, 본 발명에 따라 전술한 바와 같이, 가이드롤러의 가이드회전롤러의 높낮이를 조절할 수 있도록 함으로써, 가이드회전롤러를 넓은 면적에 걸쳐 사용할 수 있으므로, 가이드롤러의 교체주기를 줄일 수 있는 효과가 있다.
이를 통해, 비용의 낭비를 줄일 수 있으며, 가이드롤러 교체에 따른 공정의 효율성을 향상시키게 되는 효과가 있다.
또한, 가이드회전롤러의 회전부와 캡 사이에 실리콘러버를 더욱 구비함으로써, 가이드회전롤러와 기판과의 충돌에 의해 발생되는 충격을 흡수하여, 기판으로 충격이 전달되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.
또한, 기판과 접촉하는 가이드회전롤러의 캡의 위치를 변경할 수 있어, 가이드롤러의 교체주기를 줄일 수 있는 효과가 있다.
이를 통해, 비용의 낭비를 줄일 수 있으며, 가이드롤러 교체에 따른 공정의 효율성을 향상시키게 되는 효과가 있다.
도 1은 일반적인 기판 이송용 트랙을 개략적으로 도시한 사시도.
도 2및 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송용 트랙의 일부를 개략적으로 나타낸 사시도.
도 4a는 본 발명의 실시예에 따른 가이드롤러를 개략적으로 도시한 사시도.
도 4b는 도 4a 가이드회전롤러를 개략적으로 도시한 분해사시도.
도 4c는 도 4a 와 도 4b의 조립된 가이드롤러의 단면을 개략적으로 도시한 단면도.
도 5a ~ 5d는 본 발명의 실시예에 따른 가이드롤러의 높이조절 모습을 개략적으로 도시한 단면도.
이하, 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명한다.
-제 1 실시예-
도 2및 도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판 이송용 트랙의 일부를 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 2에 도시한 바와 같이, 회전 가능한 다수의 샤프트축(112)을 서로 나란하게 일렬로 배열시키며, 각각의 샤프트축(112)에는 고리형상을 갖는 복수개의 회전롤러(114)가 일정 간격을 유지하도록 둘러 장착된다.
이때, 각각의 샤프트축(112)의 양 말단에는 모터(미도시)와 같은 구동수단이 연결되어 회전력을 발휘하고, 필요에 따라 타이밍벨트 등이 설치되어 이웃하는 샤프트축(112)과 회전력을 공유한다.
따라서, 처리대상물인 기판(102)은 각 샤프트축(112)에 장착된 회전롤러(114)에 얹혀져, 샤프트축(112)과 회전롤러(114)의 회전에 의해 슬라이딩 방식으로 이동된다.
이때, 기판(102)이 이송되는 과정에서 기판(102)의 이탈을 방지하기 위하여 기판 이송용 트랙(100)의 양측 가장자리에는 기판(102)의 이탈을 방지하기 위한 가이드롤러(200)가 구비된다.
가이드롤러(200)는 도 3에 도시한 바와 같이 기판(102)이 이송되는 방향으로 일정한 간격을 유지한 체, 서로 이웃하는 샤프트축(112) 사이에 위치하며, 기판(102)이 이동될 때 스치듯이 지날 수 있게 기판(102)과 소정 거리 이격되도록 위치한다.
이때, 본 발명의 가이드롤러(200)는 가이드축(210)과 가이드회전롤러(220)로 이루어지며, 가이드축(210)이 파이프(230)에 삽입되어, 가이드회전롤러(220)의 높낮이를 조절할 수 있는 것을 특징으로 한다.
이를 통해, 가이드회전롤러(220)의 교체주기를 늘릴 수 있어, 가이드롤러(200)에 의한 공정비용을 절감할 수 있으며, 이를 통해 가이드롤러(200)의 교체에 의한 공정상의 불편함이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 교체에 따른 공정시간이 증가하는 문제점 또한 방지할 수 있다.
이에 대해 아래 도 4a ~ 4c를 참조하여 좀더 자세히 살펴보도록 하겠다.
도 4a는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 가이드롤러를 개략적으로 도시한 사시도이며, 도 4b는 도 4a 가이드회전롤러를 개략적으로 도시한 분해사시도이다.
그리고, 도 4c는 도 4a 와 도 4b의 결합된 가이드롤러의 단면을 개략적으로 도시한 단면도이다.
도시한 바와 같이, 가이드롤러(200)는 파이프(230)와 파이프(230)에 삽입되는 가이드축(210) 그리고 가이드축(210)에 둘러 장착되며 회전가능한 원통형의 가이드회전롤러(220)로 구성된다.
이때, 가이드축(210)에 둘러 장착되는 가이드회전롤러(220)는 자유롭게 회전하게 된다.
특히 본 발명의 가이드회전롤러(220)는 실리콘러버(225)를 더욱 포함함으로써, 기판(도 3의 102)에 충격이 가해지는 것을 방지하게 된다. 이에 대해 도 4b ~ 4c를 참조하여 좀더 자세히 살펴보도록 보면, 도 4b ~ 4c에 도시한 바와 같이, 가이드회전롤러(220)는 가이드축(210)과 연결되는 회전부(221)와 회전부(221)의 외주면에 형성되어 기판(도 3의 102)과 직접적으로 맞닿는 캡(223)으로 이루어진다.
여기서, 회전부(221)는 중앙에 통공이 형성된 원통형상의 내륜(221a)과 내륜(221a)의 외주면에 형성되는 외륜(221b)으로 이루어지며, 이때, 내륜(221a)의 통공에 가이드축(210)이 삽입된다.
이러한 내륜(221a)과 외륜(221b) 사이에는 베어링(221c)이 개재되며,
베어링(221c)에 의해 외륜(221b)과 내륜(221a)은 서로의 회전에 대해 간섭받지 않고 서로 독립적으로 회전하게 된다.
이러한, 내륜(221a)과 외륜(221b)의 회전에 의해 가이드회전롤러(220)가 가이드축(210)을 기준으로 회전하게 되는 것이다.
이때, 내륜(221a)과 외륜(221b) 간에 마찰에 의한 마모 및 열변형이 방지되도록 윤활유(미도시)가 주입될 수 있다.
여기서, 외륜(221b)과 내륜(221a) 사이의 베어링(221c)은 볼 형상의 세라믹재질로 이루어지는데, 이러한 베어링(221c)에 의해 가이드회전롤러(220)가 이송되는 기판(도 3의 102)을 가이드하는 과정에서 가이드회전롤러(220)와 기판(도 3의 102)과의 충돌에 의해 발생되는 충격을 그대로 기판(도 3의 102)에 전달하게 된다.
이로 인하여, 기판(도 3의 102)의 파손이 발생할 수 있는데, 본 발명은 기판(도 3의 102)과 직접적으로 맞닿는 캡(223)과 외륜(221b) 사이에 실리콘러버(225)를 더욱 구비하여, 기판(도 3의 102)의 파손을 방지하는 것을 특징으로 한다.
즉, 실리콘러버(225)는 가이드회전롤러(220)와 기판(도 3의 102)과의 충돌에 의해 발생되는 충격을 흡수하게 됨으로써, 기판(도 3의 102)으로 충격이 전달되는 것을 방지하게 된다.
따라서, 가이드회전롤러(220)에 의한 기판(도 3의 102)의 파손을 방지할 수 있게 되는 것이다.
한편, 가이드회전롤러(220)는 기판(도 3의 102)과의 충돌에 의해 캡(223)의 흔들림이 발생할 수 있으며, 이를 통해 캡(223)이 회전부(221)로부터 쉽게 분리될 수 있다. 이에 이를 해결하기 위하여 스냅링(227)을 이용하여 캡(223)의 이탈을 방지하는 것이 바람직하다.따라서, 캡(223)은 스냅링(227)의 장착여부에 의해 손쉽게 회전부(221)로부터 탈부착이 가능하다. 이를 통해, 캡(223)만을 분리하여 교체할 수 있게 됨으로써, 가이드롤러(200)의 유지 보수 비용을 절감시킬 수 있다.
즉, 가이드회전롤러(220)의 캡(223)은 폴리에테르에테르케톤(PEEK) 등의 합성 수지 재질로 마련되는데, 이렇듯 캡이 합성 수지 재질로 마련되기 때문에, 가이드회전롤러(220)는 기판(도 3의 102)의 측면을 지지할 때 기판(도 3의 102)과의 접촉에 의해 마모될 수 있다.
이 경우, 가이드회전롤러(220)를 주기적으로 교체해 주어야 하나, 본 발명의 가이드회전롤러(220)는 캡(223)만을 분리하여 교체할 수 있는 것이다.
또한, 기존에는 가이드회전롤러(220) 만을 별도로 교체하기도 어려운 실정으로, 가이드롤러(200) 전체를 교체해야 하므로, 가이드회전롤러(220)의 캡(223)만을 분리하여 교체할 수 있는 본 발명은 기존에 비해 자원적인 부분은 물론 비용의 낭비를 효과적으로 줄일 수 있다.
따라서, 공정의 효율성을 향상시키게 된다.
특히, 본 발명의 가이드롤러(200)는 가이드회전롤러(220)의 높낮이를 조절할 수 있으므로, 가이드회전롤러(220)를 보다 넓은 면적에 걸쳐 사용할 수 있다.
즉, 본 발명의 가이드롤러(200)는 가이드축(210)이 파이프(230)와 함께 실린더(cylinder)와 같은 형상으로 이루어져, 가이드축(210)이 파이프(230)의 길이방향을 따라 상하로 승강운동하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 가이드축(210)의 높이를 조절한 후, 조절된 가이드축(210)의 높이를 고정하기 위해 가이드축(210)에는 다수개의 가이드홀(211)이 형성되며, 가이드축(210)은 가이드홀(211)을 관통하는 높이조절수단(240)을 통해 그 높이가 고정된다.
이에 대해 좀더 자세히 살펴보면, 파이프(230)의 일측에는 관통홀(231)이 형성되어 있으며, 관통홀(231)에 대응되는 파이프(230)의 타측 내면으로는 홈(233)이 형성되어 있다.
그리고, 파이프(230)에 삽입되는 가이드축(210)에는 가이드축(210)의 길이방향을 따라 가이드축(210)을 관통하는 다수개의 가이드홀(211)이 형성되어 있다.
이에, 파이프(230)에 가이드축(210)을 삽입한 상태에서, 높이조절수단(240)을 파이프(230)의 외측으로부터 관통홀(231)을 통해 가이드축(210)의 가이드홀(211)을 관통시켜, 높이조절수단(240)의 끝단부가 파이프(230)의 홈(233)에 삽입되도록 함으로써, 파이프(230) 내에서 가이드축(210)의 높이를 고정할 수 있다.
여기서, 가이드축(210)의 높이 조절은 가이드축(210)에 형성된 가이드홀(211)의 개수 및 간격 등을 통해 조절할 수 있다. 이에 대해 차후 좀더 자세히 살펴보도록 하겠다.
한편, 높이조절수단(240)은 머리부가 구비된 핀 형상으로 이루어지며, 핀의 외주면에는 탄성력을 제공하는 스프링(250)이 끼워져 구성되는데, 스프링(250)의 탄성력에 의해 높이조절수단(240)은 별도의 압력을 가하지 않아도, 손쉽게 높이조절수단(240)이 가이드축(210)의 가이드홀(211)을 관통 삽입되도록 할 수 있다.
이때, 파이프(230)의 관통홀(231)의 내측으로는 걸림부(236)가 형성되어, 높이조절수단(240)의 핀의 외주면에 끼워져 구성된 스프링(250)에 선택적으로 탄성력을 부여한다.
즉, 가이드축(210)의 높이를 조절하기 위하여, 사용자가 높이조절수단(240)에 외력을 가하여 잡아당기면 높이조절수단(240)은 파이프(230)의 외측으로 전진됨과 동시에 스프링(250)은 관통홀(231)의 걸림부(236)에 의해 압착된다.
이 상태에서 가이드축(210)을 조절하여 원하는 높이에 맞춘 다음 가이드축(210)의 가이드홀(211)과 파이프(230)의 관통홀(231)을 수평상태로 일치시킨 후, 높이조절수단(240)에 가해진 외력을 제거하면 스프링(250)으로부터 탄성력을 제공받은 높이조절수단(240)이 파이프(230)의 홈(233) 측으로 후진하면서 가이드축(210)의 가이드홀(211)을 관통하게 되고 높이조절수단(240)의 일끝단이 파이프(230)의 홈(233)에 삽입된다.
이를 통해, 가이드축(210)은 높이조절수단(240)에 지지되어 승하강되지 않도록 고정된다.
이때, 파이프(230)의 일측에는 가이드축(210)의 유동성을 보다 안정적으로 지지하기 위하여, 멈춤볼트(260)를 구비하는 것이 바람직하다.
멈춤볼트(260)는 파이프(230)에 형성된 멈춤볼트홀(235)에 끼워진 후, 가이드축(210)이 적정높이로 조절이 되면 그 위치에서 더 이상의 유동성을 가지지 못하게 가이드축(210)의 일측을 고정하게 된다.
이때, 멈춤볼트(260)는 크게 헤드부분과 이의 전면으로 돌출된 환봉 형상의 샤프트로 구분될 수 있는데, 헤드는 사용자가 손쉽게 조이거나 풀 수 있도록 나비형상을 갖도록 형성되며, 샤프트 외면을 따라서는 적어도 하나 이상의 나선형상 홈이 파여 나사산을 형성하고 있다.
그리고, 멈춤볼트홀(235) 내면을 따라서는 멈춤볼트(260)의 샤프트 외면에 형성된 나사산과 맞물리는 나사홈이 형성되어 있다.
따라서, 멈춤볼트(260)는 파이프(230)의 외측으로부터 멈춤나사홀(235)을 통해 파이프(230)의 내측으로 샤프트의 말단부터 삽입되도록 하여, 샤프트가 가이드축(210)에 외력을 가하게 된다.
따라서, 높이가 고정된 가이드축(210)은 멈춤볼트(260)를 통해 보다 안정적으로 지지된다.
이렇게, 가이드축(210)의 높낮이를 조절함으로써, 가이드축(210)에 둘러 장착된 가이드회전롤러(220)를 많은 면적에 걸쳐 사용할 수 있다.
즉, 본 발명은 기판 이송용 트랙(도 2의 100)을 통해 이동중인 기판(도 3의 102)을 가이드하는 과정에서 가이드회전롤러(220)의 특정지점에 흠집이 발생되어도 가이드축(210)의 높이 조절을 통해 흠집이 발생되지 않은 가이드회전롤러(220)의 특정지점을 통해 기판(도 3의 102)을 가이드하도록 할 수 있다.
이에, 기판(도 3의 102)을 이송하는 과정에서 가이드회전롤러(220)의 특정지점에 흠집이 발생될 경우, 가이드롤러(200) 전체를 교체해야만 했던 기존에 비해 본 발명은 가이드롤러(200)의 교체주기를 줄일 수 있다.
따라서, 비용의 낭비를 줄일 수 있으며, 가이드롤러(200) 교체에 따른 공정의 효율성을 향상시키게 된다.
특히, 가이드회전롤러(220)의 기판(도 3의 102)과 직접적으로 맞닿는 캡(223)만을 별도로 분리하여 교체할 수 있으므로, 위와 같은 효과를 더욱 극대화할 수 있다.
도 5a ~ 5d는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 가이드롤러의 높이조절 모습을 개략적으로 도시한 단면도이다.
도시한 바와 같이, 가이드축(210)에 형성된 가이드홀(211a, 211b, 211c, 211d)을 통해 제 1 내지 제 4 단계로 가이드회전롤러(220)의 높이를 조절할 수 있다.
즉, 도 5a에 도시한 바와 같이, 높이조절수단(240)에 외력을 가해 높이조절수단(240)을 파이프(230)의 외측으로 뺀 후, 가이드축(210)의 제 1 가이드홀(211a)이 파이프(230)의 관통홀(231)과 수평상태로 일치시킨 후, 높이조절수단(240)에 가해진 외력을 제거하여 높이조절수단(240)이 가이드축(210)의 제 1가이드홀(211a)을 관통하여 높이조절수단(240)의 일끝단이 파이프(230)의 내측 홈(233)에 삽입되도록 함으로써, 가이드회전롤러(220)를 제 1 단계의 높이로 조절하게 된다.
이후, 멈춤볼트(260)를 조여 가이드축(210)을 지지하도록 한다.
이때, 높이조절수단(240)은 스프링(250)에 의해 별도의 압력을 가하지 않아도, 손쉽게 제 1 가이드홀(211a)을 관통하게 된다.
따라서, 제 1 단계로 높이 조절된 가이드롤러(200)는 기판(102)을 가이드하는 과정에서 가이드회전롤러(220)의 제 1 영역(A)이 기판(102)과 접촉된다.
이후, 가이드회전롤러(220)의 제 1 영역(A)에 점 또는 선 형태의 흠집이 발생하게 되면, 도 5b에 도시한 바와 같이, 높이조절수단(240)이 가이드축(210)의 제 2 가이드홀(211b)을 관통하도록 하여, 가이드회전롤러(220)를 제 2 단계의 높이로 조절한다.
이때, 기판(102)은 가이드회전롤러(220)의 제 2 영역(B)과 접촉된다.
그리고, 가이드회전롤러(220)의 제 2 영역(B)에도 흠집이 발생하게 되면 도 5c ~ 5d에 도시한 바와 같이, 가이드회전롤러(220)를 제 3 및 제 4 가이드홀(211c, 211d)을 통해 제 3, 제 4 단계로 높이를 조절함으로써, 기판(102)은 가이드회전롤러(220)의 제 3 영역(C), 제 4 영역(D)과 접촉되도록 한다.
전술한 바와 같이, 본 발명의 가이드롤러(200)는 가이드회전롤러(220)의 높낮이를 조절할 수 있으므로, 가이드회전롤러(220)를 보다 넓은 면적에 걸쳐 사용할 수 있으므로, 가이드롤러(200)의 교체주기를 줄일 수 있다.
따라서, 비용의 낭비를 줄일 수 있으며, 가이드롤러(200) 교체에 따른 공정의 효율성을 향상시키게 된다.
또한, 가이드회전롤러(220)의 캡(223)과 회전부(221) 사이에 실리콘러버(225)를 더욱 구비함으로써, 가이드회전롤러(220)와 기판(102)과의 충돌에 의해 발생되는 충격을 흡수하게 됨으로써, 기판(102)으로 충격이 전달되는 것을 방지하게 된다.
또한, 가이드회전롤러(220)의 캡(223)만을 분리하여 교체할 수 있어, 위와 같은 효과를 보다 극대화시킬 수 있다.
-제 2 실시예-
도 6a는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 가이드회전롤러를 개략적으로 도시한 분해사시도이며, 도 6b는 도 6a의 결합된 가이드회전롤러의 단면을 개략적으로 도시한 단면도이다.
도시한 바와 같이, 가이드회전롤러(320)는 가이드축(210)과 연결되는 회전부(321)와 회전부(321)의 외주면에 형성되어 기판(도 3의 102)과 직접적으로 맞닿는 캡(323)으로 이루어진다.
여기서, 회전부(321)는 중앙에 통공이 형성된 원통형상의 내륜(321a)과 내륜(321a)의 외주면에 형성되는 외륜(321b)으로 이루어지며, 이때, 내륜(321a)의 통공에 가이드축(210)이 삽입된다.
이러한 내륜(321a)과 외륜(321b) 사이에는 베어링(321c)이 개재되며, 베어링(321c)에 의해 외륜(321b)과 내륜(321a)은 서로의 회전에 대해 간섭받지 않고 서로 독립적으로 회전하게 된다.
이러한, 내륜(321a)과 외륜(321b)의 회전에 의해 가이드회전롤러(320)가 가이드축(210)을 기준으로 회전하게 되는 것이다. 이때, 내륜(321a)과 외륜(321b) 간에 마찰에 의한 마모 및 열변형이 방지되도록 윤활유(미도시)가 주입될 수 있다.
여기서, 외륜(321b)과 내륜(321a) 사이의 베어링(321c)은 볼 형상의 세라믹재질로 이루어지는데, 이러한 베어링(321c)에 의해 가이드회전롤러(320)가 이송되는 기판(도 3의 102)을 가이드하는 과정에서 가이드회전롤러(320)와 기판(도 3의 102)과의 충돌에 의해 발생되는 충격을 그대로 기판(도 3의 102)에 전달하게 된다.
이로 인하여, 기판(도 3의 102)의 파손이 발생할 수 있는데, 본 발명은 기판(도 3의 102)과 직접적으로 맞닿는 캡(323)과 외륜(321b) 사이에 실리콘러버(325)를 더욱 구비하여, 기판(도 3의 102)의 파손을 방지하는 것을 특징으로 한다.
즉, 실리콘러버(325)는 가이드회전롤러(320)와 기판(도 3의 102)과의 충돌에 의해 발생되는 충격을 흡수하게 됨으로써, 기판(도 3의 102)으로 충격이 전달되는 것을 방지하게 된다.
따라서, 가이드회전롤러(320)에 의한 기판(도 3의 102)의 파손을 방지할 수 있게 되는 것이다.
한편, 가이드회전롤러(320)는 기판(도 3의 102)과의 충돌에 의해 캡(323)의 흔들림이 발생할 수 있으며, 이를 통해 캡(323)이 회전부(321)로부터 쉽게 분리될 수 있다. 따라서, 이를 해결하기 위하여 캡(323)과 회전부(321)에는 서로를 조립 체결하기 위한 체결부(327a, 327b, 329a, 329b, 329c, 329d)가 마련되는 것이 바람직하다.
이때, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 체결부(327a, 327b, 329a, 329b, 329c, 329d)는 캡(323)에 형성되는 제 1및 제 2 돌출턱(329a, 329b)과 제 1및 제 2 결합홈(329c, 329d)과 외륜(321b)에 캡(323)의 제 1 및 제 2 돌출턱(329a, 329b)이 끼움 삽입되는 걸림홈(327b)과 캡(323)의 제 1 및 제 2 결합홈(329c, 329d)에 끼움 삽입되는 돌출부(327a)로 이루어진다.
이에 대해 좀더 자세히 살펴보면, 외륜(321b)을 향하는 캡(323)의 내주면에는 캡(323)의 길이방향을 따라 상하부측에 각각 제 1 및 제 2 돌출턱(329a, 329b)과 제 1 및 제 2 결합홈(329c, 329d)이 형성되어 있다.
즉, 캡(323)의 내주면 상부측에는 제 1 돌출턱(329a)과 제 1 결합홈(329c)이 형성되어 있으며, 캡(323)의 내주면 하부측에는 제 2 돌출턱(329b)과 제 2 결합홈(329d)이 형성되어 있다.
그리고, 외륜(321b)의 외주면의 길이방향의 하부측에는 캡(323)의 내주면에 형성된 제 1 및 제 2 결합홈(329c, 329d) 중 하나에 끼움 삽입되는 돌출부(327a)와 캡(323)의 내주면에 형성된 제 1 및 제 2 돌출턱(329a, 329b) 중 하나가 끼움 삽입되는 걸림홈(327b)이 형성되어 있다.
즉, 회전부(321)의 외륜(321b)과 캡(323)은 외륜(321b)의 하부측에서 형성된 돌출부(327a)와 걸림홈(327b)에 캡(323)의 제 1 및 제 2 돌출턱(329a, 329b) 중 하나와 제 1 및 제 2 결합홈(329c, 329d) 중 하나를 각각 끼움 삽입함으로써, 서로 조립 체결된다.
이를 통해, 캡(323)은 가이드회전롤러(320)와 기판(도 3의 102)과의 충돌에 의해 흔들림이 발생하여도, 회전부(321)로부터 쉽게 분리되지 않는다.
특히, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 가이드회전롤러(320)는 캡(323)의 상하부에 회전부(321)와의 체결을 위한 제 1 및 제 2 돌출턱(329a, 329b)과 제 1 및 제 2 결합홈(329c, 329d)을 형성함으로써, 가이드회전롤러(320)의 사용주기를 늘릴 수 있다.
즉, 가이드회전롤러(320)의 캡(323)은 폴리에테르에테르케톤(PEEK) 등의 합성 수지 재질로 마련되는데, 이렇듯 캡(323)이 합성 수지 재질로 마련되기 때문에, 기판 이송용 트랙(도 2의 100)을 통해 이동중인 기판(도 3의 102)을 가이드하는 과정에서 가이드회전롤러(320)의 캡(323)은 기판(도 3의 102)의 측면을 지지할 때 기판(도 3의 102)과의 접촉에 의해 마모될 수 있다.
이 경우, 가이드회전롤러(320)를 주기적으로 교체해 주어야 하나, 본 발명의 가이드회전롤러(320)는 기판(도 3의 102)과 접촉되는 캡(323)의 위치를 변경할 수 있어, 캡(323)의 사용주기를 늘릴 수 있는 것이다.
즉, 가이드회전롤러(320)의 캡(323)의 제 1 돌출턱(329a) 및 제 1 결합홈(329c)과 외륜(321b)의 돌출부(327a) 및 걸림홈(327b)이 조립 체결되도록 하거나, 또는 캡(323)의 제 2 돌출턱(329b) 및 제 2 결합홈(329d)과 외륜(321b)의 돌출부(327a) 및 걸림홈(327b)이 조립 체결되도록 함으로써, 기판(도 3의 102)과 캡(323)이 접촉되는 위치를 변경할 수 있는 것이다.
따라서, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 가이드회전롤러(320)는 보다 넓은 면적에 걸쳐 사용할 수 있어, 가이드롤러(200)의 교체주기를 줄일 수 있다.
이에 대해 도 7a ~ 7b를 참조하여 좀더 자세히 살펴보면, 도 7a에 도시한 바와 같이 캡(323)의 제 1 돌출턱(329a) 및 제 1 결합홈(329c)과 외륜(321b)의 돌출부(327a) 및 걸림홈(327b)이 조립 체결되도록 함으로써, 캡(323)의 S 영역이 상부로 향하도록 캡(323)이 회전부(321)와 조립 체결되어 있을 경우, 기판(도 3의 102)을 가이드하는 과정에서 캡(323)의 제 1 영역(A')이 기판(도 3의 102)과 접촉된다.
이후, 캡(323)의 제 1 영역(A')에 점 또는 선 형태의 흠집이 발생하게 되면, 도 7b에 도시한 바와 같이, 캡(323)의 제 2 돌출턱(329b) 및 제 2 결합홈(329d)과 외륜(321b)의 돌출부(327a) 및 걸림홈(327b)이 조립 체결되도록 함으로써, 캡(323)의 S 영역이 하부로 향하도록 캡(323)을 회전부(321)와 조립 체결한다.
따라서, 기판(도 3의 102)을 가이드하는 과정에서 기판(도 3의 102)은 캡(323)의 제 2 영역(B')과 접촉하게 된다.
전술한 바와 같이, 본 발명의 가이드롤러(200)는 기판(도 3의 102)과 접촉하는 캡(323)의 위치를 변경하여 기판(도 3의 102)을 가이드할 수 있으므로, 가이드회전롤러(320)를 보다 넓은 면적에 걸쳐 사용할 수 있으므로, 가이드롤러(200)의 교체주기를 줄일 수 있다.
따라서, 비용의 낭비를 줄일 수 있으며, 가이드롤러(200) 교체에 따른 공정의 효율성을 향상시키게 된다.
그리고, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 가이드회전롤러(320)는 캡(323)과 회전부(321)를 쉽게 분리할 수 있으므로, 마모된 캡(323)만을 분리하여 교체할 수 있게 됨으로써, 가이드롤러(200)의 유지 보수 비용을 절감시킬 수 있어, 위와 같은 효과를 더욱 극대화할 수 있다. 발명은 상기 실시예로 한정되지 않고, 본 발명의 취지를 벗어나지 않는 한도 내에서 다양하게 변경하여 실시할 수 있다.
200 : 가이드롤러, 210 : 가이드축, 211 : 가이드홀
220 : 가이드회전롤러, 221 : 회전부(221a : 내륜, 221b : 외륜, 221c : 베어링)
223 : 캡, 225 : 실리콘러버
227 : 스냅링
230: 파이프, 231 : 관통홀, 233 : 홈, 235 : 멈춤볼트홀, 236 : 걸림부
240 : 높이조절수단, 250 : 스프링, 260 : 멈춤볼트

Claims (16)

  1. 나란하게 배열되며, 각각 복수개의 회전롤러가 장착된 다수의 샤프트축과;
    서로 이웃하는 상기 샤프트축의 사이에 구성되며, 일정간 간격을 두고 길이방향을 따라 형성된 복수개의 가이드홀이 구비된 가이드축과 상기 가이드축에 둘러 장착되는 가이드회전롤러와, 그리고 상기 가이드축이 삽입되며 관통홀이 형성된 파이프와 상기 관통홀과 상기 가이드홀을 관통하여, 상기 가이드축의 높이를 조절하는 높이조절수단을 포함하는 가이드롤러
    를 포함하며,
    상기 관통홀의 입구에는 걸림부가 구성되며,
    상기 높이조절수단은 머리부가 구비된 핀 형상이며, 상기 핀의 외주면에는 스프링이 끼워지며,
    상기 스프링은 상기 높이조절수단에 외력을 가해 상기 파이프의 외측으로 잡아 당길 때 상기 걸림부에 의해 압착되며, 상기 높이조절수단에 가해진 외력이 제거되면 상기 스프링의 탄성력에 의해 상기 높이조절수단이 상기 가이드홀을 관통하며,
    상기 파이프에는 멈춤볼트가 구비되어, 상기 멈춤볼트의 일끝단은 상기 파이프에 구비된 멈춤볼트홀을 통해 상기 파이프에 삽입되어 있는 상기 가이드축에 외력을 가하며,
    상기 가이드회전롤러는 상기 가이드축과 연결되는 내륜과, 상기 내륜의 외주면에 형성되는 외륜과, 그리고 상기 내륜 및 상기 외륜 사이에 개재되는 베어링으로 이루어지며, 상기 외륜의 외측에는 기판과 집적으로 맞닿는 캡이 형성되며, 상기 외륜과 상기 캡 사이에는 실리콘러버가 개재되며,
    상기 캡과 상기 외륜의 체결부위를 통해 상기 기판과 상기 캡이 접촉되는 영역이 달라지는 기판 이송용 트랙.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 캡은 상기 가이드회전롤러로부터 탈부착이 가능한 기판 이송용 트랙.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 가이드축은 상기 파이프의 길이방향을 따라 상하로 승강운동하는 기판 이송용 트랙.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 관통홀에 대응되는 상기 파이프의 내측면에는 상기 높이조절수단의 일끝단이 삽입되는 홈이 형성되는 기판 이송용 트랙.
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 가이드축의 높이에 의해 상기 가이드회전롤러와 기판이 서로 접촉되는 영역이 달라지는 기판 이송용 트랙.
  11. 삭제
  12. 삭제
  13. 삭제
  14. 제 1 항에 있어서,
    상기 캡의 내주면에는 상기 캡의 길이방향의 상부측에 제 1 돌출턱이 형성되어 있으며, 상기 캡의 길이방향의 하부측에 제 2 돌출턱이 형성되어 있으며, 상기 외륜의 외주면의 길이방향의 하부측에 상기 제 1 돌출턱 또는 상기 제 2 돌출턱이 끼움 삽입되는 걸림홈이 형성된 기판 이송용 트랙.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 캡의 제 1 돌출턱이 상기 외륜의 상기 걸림홈에 끼움 삽입될 경우, 상기 캡에 정의되는 A 영역은 상기 가이드축을 향하는 반대측인 상부측에 위치하며, 상기 제 2 돌출턱이 상기 외륜의 상기 걸림홈에 끼움 삽입될 경우, 상기 A 영역은 상기 가이드축을 향하는 하부측에 위치하는 기판 이송용 트랙.
  16. 제 1 항에 있어서,
    상기 캡의 내주면에는 상기 캡의 길이방향의 상부측에 제 1 결합홈이 형성되어 있으며, 상기 캡의 길이방향의 하부측에 제 2 결합홈이 형성되어 있으며, 상기 외륜의 외주면의 길이방향의 하부측에 상기 제 1 결합홈 또는 상기 제 2 결합홈에 끼움 삽입되는 돌출부가 형성된 기판 이송용 트랙.
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Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101352154B1 (ko) * 2012-05-14 2014-01-16 윤정혜 디스플레이용 유리 기판이나 엘시디용 글라스 유리 세척장치의 유리 반송용 롤러
KR101388506B1 (ko) * 2012-07-09 2014-04-28 주식회사 케이씨텍 기판 처리장치의 가이드롤러
KR102064393B1 (ko) * 2012-12-05 2020-01-13 삼성디스플레이 주식회사 기판 이송 장치
CN103043364B (zh) * 2012-12-28 2015-09-09 江阴大地装备股份有限公司 输送辊道
CN103381965B (zh) * 2013-07-02 2016-02-03 深圳市华星光电技术有限公司 一种液晶面板的气浮式导向轮传送装置
CN104649016B (zh) * 2013-11-25 2018-07-06 浙江跃岭股份有限公司 一种电悬浮轨道
CN103896069A (zh) * 2014-03-21 2014-07-02 京东方科技集团股份有限公司 一种导向轮及传送装置
CN104108607A (zh) * 2014-07-14 2014-10-22 湖州水平玻璃有限公司 玻璃台架
CN104401640B (zh) * 2014-10-20 2016-07-13 山东钢铁股份有限公司 一种矫直机钢板输送辊道
CN105858213B (zh) * 2016-05-16 2018-06-15 武汉华星光电技术有限公司 一种导向滚轮
CN109093436A (zh) * 2018-08-28 2018-12-28 四川海山机械制造有限公司 一种汽车支架自动送料连续生产装置
CN115849009A (zh) * 2022-12-09 2023-03-28 京东方科技集团股份有限公司 一种导辊调节装置及传送设备

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004087792A (ja) 2002-08-27 2004-03-18 Hitachi Cable Ltd Ｔａｂテープ用ガイドローラー
JP2010024042A (ja) * 2008-07-24 2010-02-04 Shibaura Mechatronics Corp 基板の搬送装置及び処理装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004087792A (ja) 2002-08-27 2004-03-18 Hitachi Cable Ltd Ｔａｂテープ用ガイドローラー
JP2010024042A (ja) * 2008-07-24 2010-02-04 Shibaura Mechatronics Corp 基板の搬送装置及び処理装置

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