KR101388506B1 - 기판 처리장치의 가이드롤러 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판 처리장치의 가이드롤러에 관한 것으로, 고정축에 고정되는 내륜, 상기 내륜의 외측에 접하여 마련되는 볼베어링에 의해 회전가능하게 결합되는 외륜을 포함하는 기판 처리장치의 가이드롤러에 있어서, 상기 외륜의 외주면을 감싸도록 마련되어 이송되는 기판에 직접 접촉되는 커버부를 더 포함한다. 본 발명은 외륜의 외측에 분리 가능한 커버를 마련하여 그 커버가 기판의 측면에 접촉되도록 하고, 기판과의 접촉에 의해 마모가 발생한 경우 상기 커버만을 교체하도록 구성함으로써, 유지 및 보수 비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.

Description

기판 처리장치의 가이드롤러{Guide roller for substrate processing apparatus}

본 발명은 기판 처리장치의 가이드롤러에 관한 것으로, 보다 상세하게는 교체시기의 확인이 용이하며, 교체가 용이함과 아울러 비용을 줄일 수 있는 기판 처리장치의 가이드롤러에 관한 것이다.

일반적으로 평판 디스플레이 장치의 제조공정에서는 대면적의 유리 기판을 일방향으로 수평 또는 경사지게 이송하면서, 세정, 건조 등의 다양한 처리를 하게 된다.

이때 유리 기판을 이송하는 이송축들은 다수로 마련되어 기판의 저면에 접하여 모두 동일한 방향으로 회전하면서 기판을 이송하게 된다. 이와 같은 이송 과정에서 기판이 폭방향으로 정상적인 위치를 유지할 수 있도록 하기 위하여, 기판의 측면에 접하며, 기판과 평행한 방향으로 회전하는 가이드롤러를 사용하고 있다.

상기 가이드롤러의 적용예로는 공개특허 10-2008-0049561호가 공개되어 있다. 공개특허 10-2008-0049561호에 개시된 가이드롤러는 구동장치에 의해 구동이 가능한 구성이나, 실제 가이드롤러는 구동부가 없이 기판에 접촉된 상태에서 기판의 이송에 따라 마찰되어 회전하는 구성이 대부분이다.

도 1은 종래 가이드롤러의 단면 구성도이고, 도 2는 기판과 접촉에 의해 갈림이 발생된 종래 가이드롤러의 정면 구성도이다.

도 1과 도 2를 각각 참조하면 종래 가이드롤러는, 내측에 고정축이 삽입되는 통공(2)이 마련된 내륜(3)과, 상기 내륜(3)의 외측에 마련된 다수의 볼베어링(4)과, 상기 다수의 볼베어링(4)의 외측에 접촉되어 상기 내륜(3)의 외측에서 회전 가능하게 결합되며, 외면 일부에 기판(1)의 측면이 접촉되어 상기 기판(1)이 일방향으로 이송될 때 회전하는 외륜(5)을 포함하여 구성된다.

이하, 상기와 같이 구성되는 종래 가이드롤러의 구성과 그 구성에 따른 문제점에 대해서 보다 상세히 설명한다.

먼저, 종래 가이드롤러는 내륜(3)이 고정된 상태에서 상기 내륜(3)과의 사이에 볼베어링(4) 마련되어 회전가능하게 결합되는 외륜(5)을 포함하여 구성된다.

상기 내륜(3)과 외륜(5)은 모두 수지재로 구성될 수 있으며, 적어도 기판(1)과 접촉되는 외륜(5)은 수지재로 구성된다. 이는 기판(1)이 이송과정에서 손상되는 것을 방지하기 위한 것이다.

상기 내륜(3)은 중앙을 상하 관통하는 통공(2)이 마련되어 있으며, 그 통공(2)에 고정축이 삽입되어 회전이 불가능한 상태로 결합된다.

이와 같은 상태에서 이송축(도면 미도시)들이 기판(1)의 저면을 지지한 상태로 일방향으로 회전하면서 그 기판(1)을 이송하게 되면, 그 이송의 안정성 확보를 위하여 상기 외륜(5)의 외면 일부가 기판(1)의 측면에 접촉된다.

이처럼 이송되는 기판(1)의 측면에 접촉된 외륜(5)은 기판(1)과의 접촉에 따른 마찰력에 의해 회전하면서, 앞서 설명한 바와 같이 기판(1)의 이탈을 방지하게 된다.

그러나 이송부에 의해 이송되는 기판(1)은 지면에서 항상 동일한 높이에서 이송이되며 따라서 기판(1)의 측면이 접촉되는 외륜(5)의 외면 위치도 항상 동일한 위치가 된다.

따라서 기판(1)과 접촉되는 외륜(5)의 일부가 갈려 홈(6)이 파이게 되며, 그 갈림 현상에 의하여 이물이 발생하게 된다.

이때 발생된 이물은 기판(1)을 오염시키는 원인이 되며, 상기 홈(6)이 만들어진 가이드롤러는 더 이상 사용할 수 없게 되어, 가이드롤러 전체를 교체해야 한다.

상기 가이드롤러는 대형의 기판 처리장치에서 다수가 사용되기 때문에 가이드롤러 전체를 교체하는 비용이 매우 많이 소요되는 문제점이 있었다.

또한 가이드롤러가 어느 정도 갈려 사용할 수 없게 된 상태인지 육안으로 판단하기가 매우 어려워 가이드롤러의 교체 시기가 경과되는 경우 기판(1)이 오정렬된 상태로 이송될 수 있으며, 이러한 기판(1) 오정렬에 의한 공정불량이나 기판(1) 손상이 발생할 수 있는 문제점이 있었다.

상기와 같은 문제점을 감안한 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 마모가 발생한 가이드롤러를 교체할 때 부분품으로서 마모 발생부분만을 교체하여, 유지 및 관리 비용을 절감할 수 있는 기판 처리장치의 가이드롤러를 제공함에 있다.

또한 본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는, 육안으로도 가이드롤러의 교체시기를 용이하게 확인할 수 있는 기판 처리장치의 가이드롤러를 제공함에 있다.

상기와 같은 과제를 해결하기 위한 본 발명 기판 처리장치의 가이드롤러는, 고정축에 고정되는 내륜, 상기 내륜의 외측에 접하여 마련되는 볼베어링에 의해 회전가능하게 결합되는 외륜을 포함하는 기판 처리장치의 가이드롤러에 있어서, 상기 외륜의 외주면을 감싸도록 마련되어 이송되는 기판에 직접 접촉되는 커버부를 더 포함한다.

본 발명 기판 처리장치의 가이드롤러는, 외륜의 외측에 분리 가능한 커버를 마련하여 그 커버가 기판의 측면에 접촉되도록 하고, 기판과의 접촉에 의해 마모가 발생한 경우 상기 커버만을 교체하도록 구성함으로써, 유지 및 보수 비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.

또한 본 발명 기판 처리장치의 가이드롤러는, 상기 커버가 마모되면 그 마모 정도에 따라 커버의 색상과는 다른 색상이 노출되도록 구성함으로써, 가이드롤러의 커버 교체시기를 육안으로 용이하게 확인할 수 있도록 하여, 가이드롤러의 교체시기가 경과되어 공정불량 등이 발생하는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.

아울러 본 발명 기판 처리장치의 가이드롤러는, 상기 커버와 외륜의 결합방식을 별도의 체결 수단을 사용하지 않는 끼움 결합 방식을 사용하여, 그 커버의 교체작업이 빠르게 이루어질 수 있도록 함으로써, 교체 작업 시간을 단축하여 생산성을 향상시키는 효과가 있다.

도 1은 종래 기판 처리장치의 가이드롤러의 단면 구성도이다.
도 2는 종래 기판 처리장치 가이드롤러의 마모상태를 보인 정면도이다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 처리장치의 가이드롤러의 단면 구성도이다.
도 4 내지 도 8은 각각 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 처리장치의 가이드롤러의 단면 구성도이다.

이하, 본 발명 기판 처리장치의 가이드롤러의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 처리장치의 가이드롤러의 단면 구성도이다.

도 3을 참조하면 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 처리장치의 가이드롤러는, 내측에 고정축이 삽입되는 통공(11)이 마련된 내륜(10)과, 상기 내륜(10)의 외측에 마련된 다수의 볼베어링(20)과, 상기 다수의 볼베어링(20)의 외측에 접촉되어 상기 내륜(10)의 외측에서 회전 가능하게 결합되는 외륜(30)과, 상기 외륜(30)의 외주면에 결합되어 기판의 측면에 접촉되는 커버부(40)를 포함하여 구성된다.

상기 커버부(40)는 상호 색상이 다른 내측커버(41)와 외측커버(42)의 이중 구조로 할 수 있다.

이하, 상기와 같이 구성되는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 처리장치의 가이드롤러의 구성과 작용에 대하여 보다 구체적으로 설명한다.

먼저, 내륜(10)은 통공(11)에 고정축이 삽입되어 회전이 불가능한 상태로 고정된다. 상기 내륜(10)의 외측에는 볼베어링(20)에 의해 회전 가능한 상태로 결합되는 외륜(30)이 마련되어 있다.

종래에는 외륜(30)이 직접 기판에 접촉되어 마모됨으로써 내륜, 볼베어링 및 외륜을 포함하는 가이드롤러 전체 구조를 교체해야 했으나, 본 발명에서는 상기 외륜(30)의 외주면을 덮는 원통형의 커버부(40)를 두어 그 커버부(40)가 기판에 직접 접촉되도록 하고, 마찰에 의해 갈려 홈이 생기는 경우 그 커버부(40) 만을 교체할 수 있도록 하여 비용을 절감할 수 있게 한다.

상기 커버부(40)는 내경부가 상기 외륜의 외주면에 접촉되되는 내측커버(41)와, 상기 내측커버(41)의 외주면을 감싸는 외측커버(42)로 구성될 수 있다.

이때 커버부(40)가 외륜(30)으로부터 이탈되는 것을 방지하기 위하여, 상기 외륜(30)의 외주면에는 결합홈(31)이 마련되고, 상기 내측커버(41)의 내측에는 결합돌기(43)가 마련되어, 그 결합홈(31)에 결합될 수 있다.

상기 외측커버(42)의 재질은 수지재일 수 있으며, 내측커버(41)는 고무재질로 구성할 수 있다. 이는 내측커버(41)가 완충 작용을 하여, 외측커버(42)의 마모 발생을 최소화할 수 있는 구조이다.

특히 내측커버(41)와 외측커버(42)의 색상을 다르게 하는 경우에는 외측커버(42)가 기판과의 접촉에 의해 마모되어 홈이 생기는 경우 그 내측커버(41)가 노출되면 육안으로 용이하게 내측커버(41)가 노출됨을 확인할 수 있도록 한다. 이는 상기 커버부(40)의 교체 시점을 쉽게 판단할 수 있도록 하는 것으로, 교체 시기가 경과하여 기판의 정렬이 정확하게 이루어지지 않는 것을 방지할 수 있다.

상기 내측커버(41)와 외측커버(42)는 상호 이종 사출에 의해 제작함이 가능하며, 커버부(40)만을 선택적으로 교체하도록 구성하여 유지 및 보수 비용을 줄일 수 있게 된다.

상기 도 3에서 A는 기판의 측면이 접촉되는 부분이며, 상기 외측커버(42)의 A부분이 마모되어 교체가 요구되는 경우, 상기 커버부(40)를 상하로 뒤집어서 B부분이 상기 A의 위치가 되도록 하여 재사용할 수 있다.

이는 커버부(40)의 수명을 더욱 연장시킬 수 있는 것으로, 교체 비용을 더욱 줄일 수 있게 된다.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 처리장치의 가이드롤러의 단면 구성도이다.

도 4를 참조하면 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 처리장치의 가이드롤러는, 외륜(30)의 외측에 끼움결합되는 커버부(50)를 포함하되, 그 커버부(50)의 형상이 외륜(30)의 상부측에서 끼움결합될 때 외륜(30)의 상부에 접하여 더 이상의 결합이 이루어지는 것을 방지하는 걸림부(51)와, 상기 외륜(30)의 하부측에 마련된 걸림턱(32)에 걸려 고정되는 갈고리부(53)를 포함하는 외측커버(52)와, 상기 외측커버(52)의 안쪽 중앙부에 마련된 내측커버(54)를 포함하여 구성된다.

상기 내측커버(54)는 외측커버(52)가 기판의 측면에 접하는 부분의 내측편에 위치하는 것으로 앞서 설명한 외측커버의 마모시 육안으로 교체 시점을 확인할 수 있도록 외측커버(52)의 색상과는 다른 색상으로 할 수 있다.

상기 외측커버(52)의 원활한 결합을 위하여 상기 외륜(30)의 외측에는 상하 방향으로 하나 또는 둘 이상의 가이드홈이 마련되어 상기 갈고리부(53)가 그 가이드홈을 따라 원활하게 하향 이동하여 걸림턱(32)에 걸려 고정될 수 있게 한다.

이와 같은 구조는 상기 도 3을 참조하여 설명한 본 발명의 일실시예에 비하여 보다 견고하고, 교체가 용이한 특징이 있다.

도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 처리장치의 가이드롤러의 단면 구성도이다.

도 5를 참조하면 상기 도 4의 구조에서 외측커버(52)의 구성을 갈고리부(53)를 사용하지 않고 결합홈(55)을 마련하여, 상기 외륜(30)에서 돌출되는 돌기부(33)가 삽입되어 고정되는 구조로 할 수 있다.

도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 처리장치의 가이드롤러의 단면 구성도이다.

도 6을 참조하면 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 처리장치의 가이드롤러는, 외륜(30)에 상하 한 쌍으로 삽입홈(35)이 마련되어 있으며, 그 삽입홈(35)에는 각각 제1 및 제2오형링(61,62)가 삽입 고정되며, 그 외측에 커버부(63)가 결합되는 구조일 수 있다.

이때 커버부(60)는 상기 제1 및 제2오형링(61,62)에 밀착되어 이탈이 방지되며, 커버부(60)의 외측에 이송되는 기판의 측면이 접촉되어 발생하는 회전력을 상기 외륜(30)에 전달할 수 있게 된다.

상기 제1 및 제2오형링(61,62)은 각각 상기 커버부(60)와는 다른 색상으로 하여 교체 시점을 확인할 수 있도록 한다.

도 7과 도 8은 각각 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 처리장치의 가이드롤러의 단면 구성도이다.

도 7과 도 8을 각각 참조하면 본 발명의 다른 실시예에서는, 외륜(30)과 커버부(70)의 이탈을 방지하기 위하여 고정수단을 사용할 수 있다.

상기 고정수단은 외륜(30)의 외주면을 감싸며, 상부 일부가 안쪽으로 절곡되어 외륜(30)의 상부에 접하는 절곡부(71)를 포함하는 커버부(70)의 구성에서, 상기 절곡부(71)측에서 상기 외륜(30)의 상면측으로 삽입되는 고정핀(81)일 수 있다.

또한 상기 고정수단은, 외륜(30)의 외주면 일부에 일부가 삽입되고, 그 외륜(30)에서 돌출되는 부분은 상기 커버부(70)의 안쪽면에 마련된 홈에 삽입되어 외륜(30)으로부터 커버부(70)가 이탈되는 것을 방지하는 고정키(82)일 수 있다.

상기 커버부(70)는 앞서 설명한 상호 색상이 상이한 내측커버, 외측커버로 구성될 수 있다.

전술한 바와 같이 본 발명에 대하여 바람직한 실시예를 들어 상세히 설명하였지만, 본 발명은 전술한 실시예들에 한정되는 것이 아니고, 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명에 속한다.

10:내륜 20:볼베어링
30:외륜 40, 50, 60, 70: 커버부

Claims (8)

1. 고정축에 고정되는 내륜, 상기 내륜의 외측에 접하여 마련되는 볼베어링에 의해 회전가능하게 결합되는 외륜을 포함하는 기판 처리장치의 가이드롤러에 있어서,
   상기 외륜의 외주면을 감싸도록 마련되어 이송되는 기판에 직접 접촉되는 커버부를 더 포함하되, 상기 커버부는 내측커버부와 외측커버부의 이중 구조이며,
   상기 외측커버부는, 상부측이 상기 외륜의 상부에 접하도록 절곡된 구조를 가지며, 하부측은 상기 외륜의 외주면 하부측의 걸림턱에 걸리는 갈고리부가 마련된 것을 특징 기판 처리장치의 가이드롤러.
   
2. 제1항에 있어서,
   상기 내측커버부와 상기 외측커버부는 상호 다른 색상인 것을 특징으로 하는 기판 처리장치의 가이드롤러.
   
3. 삭제
4. 삭제
5. 고정축에 고정되는 내륜, 상기 내륜의 외측에 접하여 마련되는 볼베어링에 의해 회전가능하게 결합되는 외륜을 포함하는 기판 처리장치의 가이드롤러에 있어서,
   상기 외륜의 외주면을 감싸도록 마련되어 이송되는 기판에 직접 접촉되는 커버부를 더 포함하되,
   상기 외륜의 외주면에는 오링이 고정설치되어, 상기 오링에 의해 상기 커버부에 작용하는 회전력이 상기 외륜에 전달되는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치의 가이드롤러.
   
6. 삭제
7. 제1항에 있어서,
   상기 외륜과 상기 커버부를 상호 결합하는 고정수단을 더 포함하며,
   상기 고정수단은,
   상부측이 상기 외륜의 상부에 접하도록 절곡된 구조를 가지는 커버부의 절곡부분에서 관통 삽입되어, 상기 외륜에 일부가 삽입되는 고정핀인 것을 특징으로 하는 기판 처리장치의 가이드롤러.
   
8. 제1항에 있어서,
   상기 외륜과 상기 커버부를 상호 결합하는 고정수단을 더 포함하며,
   상기 고정수단은,
   상기 외륜의 외주면에 일측이 삽입되고, 타측은 상기 커버부의 안쪽에 삽입되는 고정키인 것을 특징으로 하는 기판 처리장치의 가이드롤러.

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