KR101608625B1 - 위치 결정 장치 - Google Patents

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Abstract

본 기재의 위치 결정 장치는, 베이스 플레이트, 상기 베이스 플레이트 상에, 제1 축으로 이동 가능하게 배치되는 제1 무빙 플레이트, 상기 제1 무빙 플레이트 상에, 상기 제1 축에 대하여 직교하며 상기 제1 무빙 플레이트에 대하여 평행한 제2 축 방향으로 이동 가능하게 배치되는 제2 무빙 플레이트, 상기 제2 무빙 플레이트 상에, 상기 제1 축 및 상기 제2 축에 대하여 동시에 직교하는 회전축을 중심으로 회전 가능하게 배치되는 회전 플레이트, 상기 베이스 플레이트에 고정되는 제1 구동 유닛 몸체, 및 상기 제1 구동 유닛 몸체에 대하여 상기 제1 축으로 이동 가능하며 상기 제1 무빙 플레이트와 연결되는 제1 무빙 브래킷을 포함하는 제1 구동 유닛, 상기 제1 무빙 플레이트에 고정되는 제2 구동 유닛 몸체, 및 상기 제2 구동 유닛 몸체에 대하여 상기 제2 축 방향으로 이동 가능하며 상기 제2 무빙 플레이트와 연결되는 제2 무빙 브래킷을 포함하는 제2 구동 유닛, 및 상기 제2 무빙 플레이트에 고정되는 제3 구동 유닛 몸체, 상기 제1 축 또는 상기 제2 축 방향으로 이동 가능한 제3 무빙 브래킷, 및 일측은 상기 제3 무빙 브래킷에 회전 가능하게 연결되며 타측은 상기 회전 플레이트에 고정되는 피벗 브래킷을 포함하는 제3 구동 유닛을 포함한다.

Description

위치 결정 장치{Positioning apparatus}
본 발명은 위치 결정 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 디스플레이 패널 공정 장비 또는 반도체 공정 장비 등에 사용되는 위치 결정 장치에 관한 것이다.
일반적으로 디스플레이 패널 공정 장비, 반도체 공정 장비 등에서 사용되는 위치 결정 장치는 반도체 소자 등의 제조나 검사 등을 위해 정밀하게 반도체 소자 등의 위치를 결정하기 위하여 짧은 거리를 직선 운동하는 구조가 많이 사용되고 있다.
특히, 최근 디스플레이 패널 공정 장비, 반도체 공정 장비 등이 소형화 및 정밀화되는 경향에 따라, 이에 생산 부하물과 직접적 관련이 있는 위치 결정 장치 또한 협소한 공간에서 구동이 용이하고 정밀하게 위치 결정이 이루어질 수 있도록 지속적으로 소형 및 박형화되고 있는 추세이다.
하지만, 정밀하게 위치 결정을 하기 위해서는 위치 결정 장치에 의한 직선 이동시 흔들림 및 충격이 없어야 하기 때문에 소형 및 박형화됨에 따른 구조적 안정성 및 기계적 강성 저하 문제로 인해 위치 결정 장치의 전체 높이 및 크기, 위치 결정 장치의 각 구성요소의 두께를 줄이는데 기술적 한계가 있다.
관련 선행기술로는 한국특허공개 제10-2010-0012940호(발명의 명칭; 정밀 구동 스테이지, 공개일자; 2010년 02월 09일)가 있다.
본 발명은 상기한 바와 같은 기술적 배경을 바탕으로 안출된 것으로, 경량화 및 박막화된 위치 결정 장치를 제공하고자 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 위치 결정 장치는, 베이스 플레이트; 상기 베이스 플레이트 상에, 제1 축으로 이동 가능하게 배치되는 제1 무빙 플레이트; 상기 제1 무빙 플레이트 상에, 상기 제1 축에 대하여 직교하며 상기 제1 무빙 플레이트에 대하여 평행한 제2 축 방향으로 이동 가능하게 배치되는 제2 무빙 플레이트; 상기 제2 무빙 플레이트 상에, 상기 제1 축 및 상기 제2 축에 대하여 동시에 직교하는 회전축을 중심으로 회전 가능하게 배치되는 회전 플레이트; 상기 베이스 플레이트에 고정되는 제1 구동 유닛 몸체, 및 상기 제1 구동 유닛 몸체에 대하여 상기 제1 축으로 이동 가능하며 상기 제1 무빙 플레이트와 연결되는 제1 무빙 브래킷을 포함하는 제1 구동 유닛; 상기 제1 무빙 플레이트에 고정되는 제2 구동 유닛 몸체, 및 상기 제2 구동 유닛 몸체에 대하여 상기 제2 축 방향으로 이동 가능하며 상기 제2 무빙 플레이트와 연결되는 제2 무빙 브래킷을 포함하는 제2 구동 유닛; 및 상기 제2 무빙 플레이트에 고정되는 제3 구동 유닛 몸체, 상기 제1 축 또는 상기 제2 축 방향으로 이동 가능한 제3 무빙 브래킷, 및 일측은 상기 제3 무빙 브래킷에 회전 가능하게 연결되며 타측은 상기 회전 플레이트에 고정되는 피벗 브래킷을 포함하는 제3 구동 유닛;을 포함한다.
또한, 상기 베이스 플레이트는, 판상으로 형성되는 베이스 플레이트 몸체, 및 상기 베이스 플레이트 몸체의 상면에 배치되며 상기 제1 축으로 연장 형성되고 상호 간에 이격되는 한 쌍의 제1 가이드 레일들을 포함하고, 상기 제1 무빙 플레이트는, 판상으로 형성되는 제1 무빙 플레이트 몸체, 및 상기 제1 무빙 플레이트 몸체의 하면에 배치되며 상기 제1 축으로 연장 형성되고 상기 제1 가이드 레일 사이들에 배치되어 상기 제1 가이드 레일들과 맞물리는 한 쌍의 제2 가이드 레일들을 포함할 수 있다.
또한, 상기 제1 무빙 플레이트는, 상기 제1 무빙 플레이트 몸체의 상면에 배치되며 상기 제2 축 방향으로 연장 형성되고 상호 간에 이격되는 한 쌍의 제3 가이드 레일들을 더 포함하고, 상기 제2 무빙 플레이트는, 상기 판상으로 형성되는 제2 무빙 플레이트 몸체, 및 상기 제2 무빙 플레이트의 하면에 배치되며 상기 제2 축 방향으로 연장 형성되고 상기 제3 가이드 레일들을 사이두고 이격되어 상기 제3 가이드 레일들과 각각 맞물리는 한 쌍의 제4 가이드 레일을 포함할 수 있다.
또한, 상기 제1 가이드 레일들은, 상기 제1 축으로 연장 형성되고, 상기 제1 가이드 레일의 길이 방향을 따라서 제1 함몰홈이 형성되는 제1 가이드 레일 몸체를 각각 포함하고, 상기 제2 가이드 레일들은, 상기 제1 축으로 연장 형성되고 상기 제2 가이드 레일의 길이 방향을 따라서 상기 제1 함몰홈과 마주보는 제2 함몰홈이 형성되는 제2 가이드 레일 몸체를 각각 포함하며, 상기 제3 가이드 레일들은, 상기 제2 축 방향으로 연장 형성되고, 상기 제3 가이드 레일의 길이 방향을 따라서 제3 함몰홈이 형성되는 제3 가이드 레일 몸체를 각각 포함하고, 상기 제4 가이드 레일들은, 상기 제2 축 방향으로 연장 형성되고, 상기 제4 가이드 레일의 길이 방향을 따라서 상기 제3 함몰홈과 마주보는 제4 함몰홈이 형성되는 제4 가이드 레일 몸체를 각각 포함하며, 상기 제1 가이드 레일 몸체 및 상기 제2 가이드 레일 몸체 사이에 배치되어, 상기 제1 함몰홈 및 상기 제2 함몰홈에 끼워지는 원형의 제1 롤러 부재; 및 상기 제3 가이드 레일 몸체 및 상기 제4 가이드 레일 몸체 사이에 배치되어 상기 제3 함몰홈 및 상기 제4 함몰홈에 끼워지는 원형의 제2 롤러 부재;를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 베이스 플레이트는, 상기 베이스 플레이트 몸체의 상면에서 상방을 향하여 돌출 형성되며, 상기 한 쌍의 제1 가이드 레일들을 중심에 두고 상호 간에 이격되고, 상기 제1 가이드 레일들이 지지되는 한 쌍의 제1 지지 프레임을 더 포함하고, 상기 제1 무빙 플레이트는, 상기 제1 무빙 플레이트 몸체의 하면에서 하방을 향하여 돌출 형성되며 상기 한 쌍의 제2 가이드 레일들의 사이에 배치되고 상기 제2 가이드 레일들이 지지되는 제2 지지 프레임, 및 상기 제1 무빙 플레이트 몸체의 상면에서 상방을 향하여 돌출 형성되며 상기 한 쌍의 제3 가이드 레일 사이들에 배치되고 상기 제3 가이드 레일들이 지지되는 제3 지지 프레임을 더 포함하고, 상기 제2 무빙 플레이트는, 상기 제2 무빙 플레이트 몸체의 테두리에서 하방을 향하여 절곡 형성되며 상기 제4 가이드 레일들이 지지되는 제4 지지 프레임을 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 제1 무빙 플레이트는, 상기 제1 무빙 플레이트 몸체의 일측으로부터 상기 제1 축으로 연장 형성되며, 상기 제2 구동 유닛 몸체의 적어도 일부가 안착 및 고정되는 연장부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 베이스 플레이트는, 상기 베이스 플레이트 몸체의 일측 및 타측에 형성되고, 복수의 관통홀들이 형성되는 한 쌍의 베이스 플레이트 고정부들을 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 베이스 플레이트, 상기 제1 무빙 플레이트, 상기 제2 무빙 플레이트, 및 상기 회전 플레이트에는 각각 원형의 제1 정렬홀, 제2 정렬홀, 제3 정렬홀 및 제4 정렬홀이 형성되고, 상기 회전축은 상기 제1 정렬홀, 제2 정렬홀, 제3 정렬홀 및 제4 정렬홀을 지나갈 수 있다.
또한, 상기 제1 정렬홀 및 상기 제2 정렬홀은 제1 크기로 형성되며, 상기 제3 정렬홀 및 상기 제4 정렬홀은 제2 크기로 형성되고, 상기 제1 크기는 상기 제2 크기보다 큰 게 형성될 수 있다.
또한, 상기 제1 무빙 플레이트 또는 상기 제2 무빙 플레이트가 각각 상기 베이스 플레이트 또는 상기 제1 무빙 플레이트에 대하여 이동되는 과정에서, 상기 제1 무빙 플레이트 및 상기 제2 무빙 플레이트는 상기 회전축과 간섭되지 않을 수 있다.
또한, 상기 제2 구동 유닛 및 상기 제3 구동 유닛은, 상기 회전 플레이트를 사이에 두고 상호 간에 나란하게 배치되며, 상기 제1 구동 유닛은 상기 제2 구동 유닛 및 상기 제3 구동 유닛의 일측에 배치될 수 있다.
상기한 바와 같은 본 발명의 실시예에 따르면, 경량화 및 박막화된 위치 결정 장치를 제공할 수 있어, 설치 조건이 까다로운 위치에 상기 위치 결정 장치를 설치할 수 있는 장점이 있다.
또한, 플레이트의 구동 유닛들이 상호 간에 중첩되지 않게 배치되어 구동 모터들의 형상 또는 사이즈의 제한 없이 설치가 가능해지고, 관통홀이 형성되어 광학 장치를 함께 이용할 수 있게 되는 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 위치 결정 장치를 보여주는 사시도
도 2는 도 1의 위치 결정 장치를 보여주는 평면도
도 3은 도 1의 위치 결정 장치의 분해 사시도
도 4는 도 3의 분해 사시도를 IV 방향에서 바라본 도면
도 5는 도 4의 분해 사시도를 V 방향에서 바라본 도면
도 6은 도 1의 위치 결정 장치의 제3 구동 유닛과 회전 플레이트의 구성을 보여주는 분해 사시도
도 7은 도 6의 위치 결정 장치의 제3 구동 유닛과 회전 플레이트의 작동을 보여주는 도면
도 8은 도 1의 위치 결정 장치의 제1 가이드 레일 및 제2 가이드 레일을 보여주는 단면도
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다.
본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙였다. 또한, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
본 발명에 있어서 "~상에"라 함은 대상부재의 위 또는 아래에 위치함을 의미하는 것이며, 반드시 중력방향을 기준으로 상부에 위치하는 것을 의미하는 것은 아니다. 또한, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
이하, 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들에 따른 위치 결정 장치를 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 위치 결정 장치를 보여주는 사시도이며, 도 2는 도 1의 위치 결정 장치를 보여주는 평면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 실시예에 따른 위치 결정 장치(1)는 제1 축(D1) 및 제1 축(D1)에 대하여 직교하는 제2 축(D2) 방향으로 구성 일부가 선형 이동되며, 다른 일부가 제1 축(D1) 및 제2 축(D2)에 대하여 동시에 직교하는 회전축(R)을 따라서 회전 가능하게 형성되어, 위치 결정 장치(1)와 결합된 작업대 또는 위치 결정 장치(1)에 안착되는 작업 대상물, 예시적으로 반도체 웨이퍼 등의 작업 위치에 대한 정밀한 조정이 가능하도록 한다.
위치 결정 장치(1)는, 베이스 플레이트(100)와, 제1 무빙 플레이트(200)와, 제2 무빙 플레이트(300)와, 회전 플레이트(400)와, 제1 구동 유닛(500)과, 제2 구동유닛(600)과, 제3 구동 유닛(700)을 포함한다.
베이스 플레이트(100)는, 기설정된 위치에 안착 또는 고정될 수 있으며, 위치 결정 장치(1)의 위치 설정에 대한 기반을 제공할 수 있다.
제1 무빙 플레이트(200)는 베이스 플레이트(100) 상에 제1 축(D1) 방향으로 이동 가능하게 배치되며, 제2 무빙 플레이트(300)는 제1 무빙 플레이트(200) 상에 제1 무빙 플레이트(200)에 대하여 평행한 제2 축(D2) 방향으로 이동 가능하게 배치된다.
회전 플레이트(400)는 제2 무빙 플레이트(300) 상에 회전축(R)을 중심으로 회전 가능하게 배치된다.
제1 구동 유닛(500)은 베이스 플레이트(100)에 고정되며, 제1 축(D1) 방향으로 이동 가능한 제1 구동 유닛(500)의 일부 구성이 제1 무빙 플레이트(200)와 연결된다. 따라서, 제1 구동 유닛(500)은, 제1 무빙 플레이트(200)가 베이스 플레이트(100)에 대하여 제1 축(D1) 방향으로 움직일 수 있도록 한다.
제2 구동 유닛(600)은 제1 무빙 플레이트(200)에 고정되며, 제2 축(D2) 방향으로 이동 가능한 제2 구동 유닛(600)의 일부 구성이 제2 무빙 플레이트(300)와 연결된다. 따라서, 제2 구동 유닛(600)은, 제2 무빙 플레이트(300)가 제1 무빙 플레이트(200)에 대하여 제2 축(D2) 방향으로 움직일 수 있도록 한다.
마찬가지로, 제3 구동 유닛(700)은 제2 무빙 플레이트(300)에 고정되며, 회전축(R)을 중심으로 이동 가능한 일부 구성이 회전 플레이트(400)와 연결된다. 따라서, 제3 구동 유닛(700)은, 회전 플레이트(400)가 제2 무빙 플레이트(300)에 대하여 회전축(R)을 중심으로 회전될 수 있도록 한다.
이하에서는 베이스 플레이트(100)와, 제1 무빙 플레이트(200)와, 제2 무빙 플레이트(300)와, 회전 플레이트(400)와, 제1 구동 유닛(500)과, 제2 구동유닛(600)과, 제3 구동 유닛(700)의 세부 구성을 상세하게 설명한다.
도 3은 도 1의 위치 결정 장치의 분해 사시도이며, 도 4는 도 3의 분해 사시도를 IV 방향에서 바라본 도면이고, 도 5는 도 4의 분해 사시도를 V 방향에서 바라본 도면이다.
도 3을 참조하면, 베이스 플레이트(100)는, 베이스 플레이트 몸체(101)와, 제1 가이드 레일(104)들과, 제1 지지 프레임(103)들과, 플레이트 고정부(105)들을 포함한다.
베이스 플레이트 몸체(101)는 판상으로 형성되며, 베이스 플레이트 몸체(101)의 중앙에는 원형의 제1 정렬홀(102)이 형성된다. 베이스 플레이트 몸체(101)에는 제1 구동 유닛(500)이 고정된다.
제1 가이드 레일(104)들은 베이스 플레이트 몸체(101)의 상면에 배치되며, 제1 축(D1) 방향으로 연장 형성된다. 그리고, 제1 가이드 레일(104)들은 상호 간에 이격되어 배치된다.
제1 지지 프레임(103)들은, 베이스 플레이트 몸체(101)의 상면에서 상방을 향하여 돌출되며, 제1 가이드 레일(104)들을 중심에 두고 상호 간에 이격된다. 그리고, 제1 지지 프레임(103)은 제1 가이드 레일(104)들의 후면과 접촉되어, 제1 가이드 레일(104)을 후방에서 지지한다.
베이스 플레이트 고정부(105)는 베이스 플레이트 몸체(101)의 일측 테두리 및 타측 테두리에 형성되며, 복수의 관통홀들이 형성된다. 본 실시예에서, 베이스 플레이트 고정부(105)는 제1 지지 프레임(103)들을 사이에 두고, 베이스 플레이트 몸체(101)의 일측 및 타측에 배치될 수 있다.
베이스 플레이트 고정부(105)는 상기 관통홀을 관통하는 체결부재(미도시)에 의하여 작업 고정대(미도시)에 고정되어 위치 결정 장치(1)의 고정 위치를 제공할 수 있다.
제1 무빙 플레이트(200)는, 제1 무빙 플레이트 몸체(201)와, 제2 가이드 레일(204)들과, 제3 가이드 레일(205)들과, 제2 지지 프레임(203)과, 제3 지지 프레임(206)과, 연장부(207)를 포함한다.
제1 무빙 플레이트 몸체(201)는, 판상으로 형성되며, 제1 무빙 플레이트 몸체(201)의 중앙에는 베이스 플레이트 몸체(101)의 제1 정렬홀(102)과 정렬되는 원형의 제2 정렬홀(208)이 형성된다. 이때, 본 실시예에 따른 위치 결정 장치(1)의 제1 정렬홀(102) 및 제2 정렬홀(208)은 서로 동일한 크기로 형성될 수 있다.
제2 가이드 레일(204)들은, 제1 무빙 플레이트 몸체(201)의 하면에 배치되며 제1 축(D1) 방향으로 연장 형성된다. 제2 가이드 레일(204)들은 제1 가이드 레일(104)들 사이에 배치되어, 제1 가이드 레일(104)들과 각각 맞물려, 제1 축(D1) 방향으로 형성되는 베이스 플레이트(100)에 대한 제1 무빙 플레이트(200)의 움직임을 가이드할 수 있다.
제2 지지 프레임(203)은, 제1 무빙 플레이트 몸체(201)의 하면에서 하방을 향하여 돌출 형성되며, 한 쌍의 제2 가이드 레일(204)들 사이에 배치된다. 제2 지지 프레임(203)은 제2 가이드 레일(204)의 후면과 접촉되어, 제2 가이드 레일(204)들을 후방에서 지지한다.
제3 가이드 레일(205)들은, 제1 무빙 플레이트 몸체(201)의 상면에 배치되며, 제2 가이드 레일(204)들과 직교하는 방향인 제2 축(D2) 방향으로 연장 형성된다.
제3 지지 프레임(206)은, 제1 무빙 플레이트 몸체(201)의 상면에서 상방을 향하여 돌출 형성되며, 한 쌍의 제3 가이드 레일(205)들 사이에 배치된다. 제3 지지 프레임(206)은 제3 가이드 레일(205)의 후면과 접촉되어, 제3 가이드 레일(205)들을 후방에서 지지한다.
연장부(207)는, 제1 무빙 플레이트 몸체(201)의 일측으로부터 제1 축(D1) 방향으로 연장 형성되며, 제2 구동 유닛(600)이 고정된다.
제2 무빙 플레이트(300)는, 제2 무빙 플레이트 몸체(301)와, 제4 가이드 레일(303)들과, 제4 지지 프레임(302)들과, 회전 부재(304)를 포함한다.
제2 무빙 플레이트 몸체(301)는, 판상으로 형성되며, 제2 무빙 플레이트 몸체(301)의 중앙부 측에는, 제2 무빙 플레이트 몸체(301)가 형성하는 평면에 대하여 수직한 방향으로 형성되는 회전축(R)을 중심으로 회전 가능한 회전 부재(304)가 배치된다.
회전 부재(304)는 제2 무빙 플레이트 몸체(301)에 대하여 회전 가능하게 연결되며, 중앙에 제3 정렬홀(305)이 형성되는 원형으로 형성되며, 회전 부재(304)의 상면에는 복수의 제1 결합홀(306)이 형성된다.
제3 정렬홀(305)은 제1 정렬홀(102) 및 제2 정렬홀(208)과 정렬되며, 제1 정렬홀(102) 및 제2 정렬홀(208) 보다 작은 직경을 갖도록 형성될 수 있다.
제4 가이드 레일(303)들은, 제2 무빙 플레이트 몸체(301)의 하면에 배치되며 제2 축(D2) 방향으로 연장 형성된다. 제4 가이드 레일(303)들은 제3 가이드 레일(205)들을 사이에 두고 이격되고, 제3 가이드 레일(205)들과 각각 맞물려, 제2 축(D2) 방향으로 형성되는 제1 무빙 플레이트(200)에 대한 제2 무빙 플레이트(300)의 움직임을 가이드할 수 있다.
제4 지지 프레임(302)들은, 제2 무빙 플레이트 몸체(301)의 일측 및 타측 테두리에서 하방을 향하여 절곡 형성되며, 제4 가이드 레일(303)들을 후방에서 지지한다.
회전 플레이트(400)는, 제2 무빙 플레이트(300)에 대하여 회전축(R)을 중심으로 회전 가능하게 연결되며, 원형으로 형성되는 회전 플레이트 몸체(401)를 포함한다.
회전 플레이트 몸체(401)의 테두리의 일 지점에는 회전 플레이트 몸체(401)의 중심을 향하여 함몰되는 브래킷 삽입홈(405)이 형성되고, 회전 플레이트 몸체(410)의 상면에는 회전 플레이트 몸체(401)의 상면에서 브래킷 삽입홈(405)과 연통되는 브래킷 고정홀(406)이 형성된다.
회전 플레이트 몸체(401)의 중앙에는 제1 정렬홀(102), 제2 정렬홀(208) 및 제3 정렬홀(305)과 정렬되는 원형의 제4 정렬홀(402)이 형성되며, 제4 정렬홀(402)은 제3 정렬홀(305)과 동일한 직경을 갖도록 형성될 수 있다.
제4 정렬홀(402)의 주변에는 제1 결합홀(306)들과 정렬되는 제2 결합홀(403)들이 형성된다. 상호 간에 정렬된 제1 결합홀(306) 및 제2 결합홀(403)을 동시에 관통하는 체결 부재에 의하여, 회전 플레이트(400)는 제2 무빙 플레이트(300)에 대하여 회전축(R)을 중심으로 회전 가능하게 연결될 수 있다.
본 실시예에 따른 위치 결정 장치(1)의 제1 정렬홀(102), 제2 정렬홀(208), 제3 정렬홀(305) 및 제4 정렬홀(402)은 상호 간에 정렬되며, 제1 정렬홀(102), 제2 정렬홀(208), 제3 정렬홀(305) 및 제4 정렬홀(402)된 상태에서 회전축(R)은 제1 정렬홀(102), 제2 정렬홀(208), 제3 정렬홀(305) 및 제4 정렬홀(402)을 동시에 관통할 수 있다.
또한, 제1 무빙 플레이트(200) 또는 제2 무빙 플레이트(300)가 각각 베이스 플레이트(100) 또는 제1 무빙 플레이트(200)에 대하여 이동되는 과정에서, 제1 무빙 플레이트(200) 또는 제2 무빙 플레이트(300)들의 움직임이 미세하게 이루어져, 제1 무빙 플레이트(200) 및 제2 무빙 플레이트(300)는 회전축(R)과 간섭되지 않는다.
즉, 제1 무빙 플레이트(200) 및 제2 무빙 플레이트(300)가 이동하더라도, 제1 정렬홀(102), 제2 정렬홀(208), 제3 정렬홀(305) 및 제4 정렬홀(402)의 관통 상태가 유지되기 때문에, 필요한 경우, 광학 장치를 베이스 플레이트(100)의 하부에 설치하여 사용할 수 있다.
한편, 제1 구동 유닛(500)은, 베이스 플레이트(100)에 고정되는 제1 구동 유닛 몸체(510), 제1 구동 유닛 몸체(510)에 대하여 제1 축(D1) 방향으로 이동 가능하며 제1 무빙 플레이트(200)와 연결되는 제1 무빙 브래킷(520)과, 제1 무빙 브래킷(520)을 이동시키기 위한 구동력을 제공하는 제1 구동 모터(530)와, 제1 구동 모터(530)로부터 회전력을 전달받으며 외주면에 제1 무빙 브래킷(520)이 제1 축(D1)방향으로 이동 가능하게 마련되는 제1 구동 샤프트(550)를 포함한다.
즉, 제1 구동 유닛(500)은 베이스 플레이트(100)에 고정된 상태에서, 외부 신호에 의하여 제1 무빙 플레이트(200)와 연결된 제1 무빙 브래킷(520)을 제1 축 (D1) 방향으로 이동시켜, 일례로 X 축 방향에 대한 제1 무빙 플레이트(200), 제2 무빙 플레이트(300) 및 회전 플레이트(400)의 움직임을 제어할 수 있다.
이때, 제1 구동 샤프트(550)의 외주면에는 나사산(미도시)이 형성될 수 있다. 그리고, 제1 무빙 브래킷(520)의 일측이 제1 무빙 플레이트(200)에 고정된 상태에서 제1 무빙 브래킷(520)의 타측이 제1 구동 샤프트(550)의 상기 나사산과 맞물려, 제1 구동 모터(530)의 회전력에 의하여 제1 무빙 브래킷(520)이 제1 무빙 플레이트(200)와 제1 축(D1) 방향으로 움직일 수 있다.
제2 구동 유닛(600)은, 제1 무빙 플레이트(200)의 연장부(207)에 안착되어 고정되는 제2 구동 유닛 몸체(610), 제2 구동 유닛 몸체(610)에 대하여 제2 축(D2)방향으로 이동 가능하며 제2 무빙 플레이트(300)와 연결되는 제2 무빙 브래킷(620)과, 제2 무빙 브래킷(620)을 이동시키기 위한 구동력을 제공하는 제2 구동 모터(630)와, 제2 구동 모터(630)로부터 회전력을 전달받으며 외주면에 제2 무빙 브래킷(620)이 제2 축(D2) 방향을 따라서 이동 가능하게 배치되며, 외주면에 나사산이 형성되는 제2 구동 샤프트(650)를 포함한다.
제2 구동 유닛(600)은, 제1 무빙 플레이트(200)에 고정된 상태에서, 외부 신호에 의하여 제2 무빙 플레이트(300)와 연결된 제2 무빙 브래킷(620)을 제2 축(D2) 방향으로 이동시켜, 일례로 Y 축 방향에 대한 제2 무빙 플레이트(300) 및 회전 플레이트(400)의 움직임을 제어하는 구성에 있어서 차이가 있을 뿐, 다른 구성에 있어서는 제1 구동 유닛(500)의 구성과 동일하므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
이하에서는 제3 구동 유닛(700)의 구성을 상세하게 설명한다.
도 6은 도 1의 위치 결정 장치의 제3 구동 유닛과 회전 플레이트의 구성을 보여주는 분해 사시도이며, 도 7은 도 6의 위치 결정 장치의 제3 구동 유닛과 회전 플레이트의 작동을 보여주는 도면이다.
도 6 및 도 7을 참조하면, 제3 구동 유닛(700)은, 제3 구동 유닛 몸체(710)와, 제3 무빙 브래킷(720)과, 제3 구동 모터(730)와, 피벗 브래킷(740)과, 제3 구동 샤프트(750)과, 브래킷 고정부재(760)와, 제3 탄성 부재(770)를 포함한다.
제3 구동 유닛 몸체(710)는 제2 무빙 플레이트(300)와 고정되는 프레임부(711)와, 프레임부(711)를 덮으며 프레임부(711)와의 사이에 내부 공간을 형성하는 커버부(712)를 포함한다. 프레임부(711)는 제2 무빙 플레이트(300)의 제4 지지 프레임(302)들 중 하나의 제4 지지 프레임(302)에 고정된다.
제3 구동 모터(730)는 회전력을 제공하며, 제3 구동 유닛 몸체(710)의 일측에 마련된다.
제3 구동 샤프트(750)는 제2 축(D2) 방향으로 연장 형성되며, 제3 구동 모터(730)로부터 회전력을 전달받는다. 제3 구동 샤프트(750)는 프레임부(711)에 대하여 회전 가능하게 연결되며, 제3 구동 샤프트(750)의 외주면에는 나사산이 형성된다.
제3 무빙 브래킷(720)은, 일측이 제3 구동 샤프트(750)에 관통된 상태에서 상기 나사산과 맞물려, 제3 구동 샤프트(750)의 회전에 의하여 제2 축(D2) 방향으로 이동 가능하게 형성된다.
제3 무빙 브래킷(720)은 육면체 형상으로 형성될 수 있으며, 제3 무빙 브래킷(720)의 상면에는 제1 체결홀(721)이 형성된다.
브래킷 고정부재(760)는 원형으로 형성되는 헤드부(761)과, 헤드부(761)의 하면에 돌출 형성되며 헤드부(761)보다 작은 직경을 갖는 넥부(762)와, 헤드부(761)의 상면에 관통 형성되며 제3 무빙 브래킷(720)의 제1 체결홀(721)과 정렬되는 제2 체결홀(763)을 포함한다.
브래킷 고정부재(760)는, 제2 체결홀(763)을 관통하여 제1 체결홀(721)에 고정되는 일례로 나사와 같은 체결 부재에 의하여, 제3 무빙 브래킷(720)에 고정될 수 있다.
피벗 브래킷(740)은, 일례로 판상으로 형성될 수 있다.
피벗 브래킷(740)의 일측에는 브래킷 고정부재(760)의 넥부(762)의 외주에 대응되는 곡률로 형성되는 라운드부(742)가 형성된다.
피벗 브래킷(740)의 라운드부(742)는 제3 무빙 브래킷(720)에 고정된 브래킷고정부재(760)의 넥부(762)에 끼워져, 피벗 브래킷(740)을 제3 무빙 브래킷(720)에 대하여 회전 가능하게 한다.
피벗 브래킷(740)의 타측은 회전 플레이트(400)의 브래킷 삽입홈(405)에 삽입되며, 피벗 브래킷(740)의 타측에는 회전 플레이트(400)의 브래킷 고정홀(406)과 정렬되는 고정홀(741)이 형성된다. 피벗 브래킷(740)은, 브래킷 고정홀(406) 및 고정홀(742)을 관통하는 체결 부재에 의하여, 회전 플레이트(400)에 고정될 수 있다.
즉, 피벗 브래킷(740)의 일측은 제3 무빙 브래킷(720)에 대하여 회전 가능하게 연결되며, 피벗 브래킷(740)의 타측은 회전 플레이트(400)에 고정된다.
제3 무빙 브래킷(720) 및 프레임부(711) 사이에는, 제3 구동 샤프트(750)를 감싸는 탄성부재(770)가 마련되어, 제3 무빙 브래킷(720)에 대하여 복원력을 제공할 수 있다.
이하에서는 본 실시예에 다른 위치 결정 장치(1)의 제3 구동 유닛(700)이 회전 플레이트(400)를 회전 시키기는 과정을 상세하게 설명한다.
도 8에 도시된 바와 같이 피벗 브래킷(740)이 제3 무빙 브래킷(720)의 직선이동경로, 즉 제2 축(D2)에 대하여 수직한 상태를 기준위치로 정할 수 있다.
이처럼 기준위치상태에서 제3 구동 모터(730)가 구동되면, 회전 플레이트(400)의 회전 변위가 조정될 수 있다.
즉, 제3 구동 모터(730)의 회전력에 의하여, 제3 구동 샤프트(750)과 일방향 또는 타방향으로 회전되면, 제3 구동 샤프트(750)에 연결된 제3 무빙 브래킷(720)은 제2 축(D2)을 따라서 움직이게 된다.
제3 무빙 브래킷(720)이 제2 축(D2)을 따라서 직선 이동되면, 제3 무빙 브래킷(720)과 일측이 회전 가능하게 연결된 피벗 브래킷(740)이 제3 무빙 브래킷(720)의 직선이동방향으로 밀리게 된다. 이에 따라 피벗 브래킷(740)은 회전 플레이트(400)와 함께, 회전축(R)을 중심으로 회전될 수 있다.
이때, 제3 무빙 브래킷(720)의 직선 이동방향은 회전축(R)을 중심으로 하는 원주의 접선 방향과 동일할 수 있다.
한편, 상기 기준 위치에서는 제3 무빙 브래킷(720)의 이동중심(P1)과 피벗 브래킷(740)의 이동중심(P2)이 일치될 수 있다.
상기 기준 위치로부터 기설정된 각도로 회전 플레이트(400)가 회전되면, 제3 무빙 브래킷(720)의 이동중심(P1)에 대하여 피벗 브래킷(740)의 이동중심(P2)이 회전 플레이트(400)의 중심을 향하여 이동하게 된다.
제3 무빙 브래킷(720)이 피벗 브래킷(740)의 라운드부(742)의 개방된 단부쪽으로 상대 이동될 수 있기 때문에, 피벗 브래킷(740)의 라운드부(742)의 이동중심(P2)와 제3 무빙 브래킷(720)의 이동중심(P1)의 직선이동경로가 상이하더라도 피벗 브래킷(740)과 제3 무빙 브래킷(720)이 서로를 진로 방해하지 않고 원활하게 각각 회전 및 직선 이동될 수 있다.
따라서, 회전 플레이트(400)의 회전변위가 원활하게 정밀 제어될 수 있다.
이때, 회전 플레이트(400)의 회전변위 조정범위는 360도 전 범위를 대상으로 하는 것이 아니라, 정밀 조정을 목적으로 예시적으로 ±10도 범위이기 때문에 상기 기준위치로부터 회전 플레이트(400)이 회전되더라도, 제3 무빙 브래킷(720)이 피벗 브래킷(740)의 라운드부(742)으로부터 완전히 이탈되지 않고, 피벗 브래킷(740)의 라운드부(742)에 그 일부가 걸쳐질 수 있다.
한편, 본 실시예에 따른 위치 결정 장치(1)의 제2 구동 유닛(600) 및 제3 구동 유닛(700)은 회전 플레이트(400)를 사이에 두고 상호 간에 제2 축(D2) 방향으로 나란하게 배치되며, 제2 구동 유닛(600)이 제1 구동 유닛(500) 및 제3 구동 유닛(700)의 일측에 제2 축(D2)으로 배치된다.
즉, 제1 구동 유닛(500), 제2 구동 유닛(600) 및 제3 구동 유닛(700)은, 제1 정렬홀(102), 제2 정렬홀(208), 제3 정렬홀(305) 및 제4 정렬홀(402)을 중심으로 상호 간에 간섭되지 않게 배치될 수 있다. 따라서, 제1 구동 유닛(500), 제2 구동 유닛(600) 및 제3 구동 유닛(700)의 구동 모터들의 형상 또는 사이즈에 관계 없이, 위치 결정 장치(1)에 설치될 수 있다.
다만, 이는 예시적인 배치일 뿐, 위치 결정 장치(1)의 제1 구동 유닛(500) 및 제3 구동 유닛(700)이 회전 플레이트(400)를 사이에 두고 상호 간에 제1 축(D1) 방향으로 나란하게 배치되며, 제1 구동 유닛(500)은 제2 구동 유닛(600) 및 제3 구동 유닛(700)의 일측에 제1 축(D1) 방향으로 배치될 수 있다. 이러한 경우, 제3 구동 유닛(700)의 제3 무빙 브래킷(720)은 제1 축(D1)으로 이동 가능하게 마련된다.
본 실시예에 따른 위치 결정 장치(1)는 가이드 레일들 사이에 배치되는 롤러 부재들을 더 포함할 수 있다.
이하에서는 상기 롤러 부재들의 구성을 상세하게 설명한다.
도 8은 도 1의 위치 결정 장치의 제1 가이드 레일 및 제2 가이드 레일을 보여주는 단면도이다.
도 8을 참조하면, 베이스 플레이트(100)의 제1 가이드 레일(104)은, 제1 축(D1)으로 연장 형성되는 제1 가이드 레일 몸체(111)를 포함하고, 제1 가이드 레일 몸체(111)에는, 제1 가이드 레일 몸체(111)의 길이 방향으로 제1 함몰홈(112)이 형성된다.
제1 무빙 플레이트(200)의 제2 가이드 레일(204)는, 제1 축(D1)으로 연장 형성되는 제2 가이드 레일 몸체(211)를 포함하고, 제2 가이드 레일 몸체(211)에는, 제2 가이드 레일 몸체(211)의 길이 방향으로 제2 함몰홈(212)이 형성된다.
제1 가이드 레일(104) 및 제2 가이드 레일(204)는 제1 함몰홈(112) 및 제2 함몰홈(212)이 마주보도록 배치되며, 제1 함몰홈(112) 및 제2 함몰홈(212) 사이에는 제1 함몰홈(112) 및 제2 함몰홈(212)에 동시에 끼워지는 롤러 부재(800)가 마련된다.
롤러 부재(800)는 일례로 볼 베어링(Ball bearing)일 수 있으며, 베이스 플레이트(100)에 대한 제1 무빙 플레이트(200)에 대한 움직임이 원활하게 이루어지도록 한다.
한편, 제1 무빙 플레이트(200)의 제3 가이드 레일(205)와, 제2 무빙 플레이트(300)의 제4 가이드 레일(303)에도 각각 상호 간에 마주보는 함몰홈이 형성되며, 상기 함몰홈에 끼워지는 롤러 부재가 마련되어, 제1 무빙 플레이트(200)에 대한 제2 무빙 플레이트(300)의 움직임이 원활하게 이루어지도록 할 수 있다.
제안되는 실시예에 의하면, 경량화 및 박막화된 위치 결정 장치를 제공할 수 있어, 설치 조건이 까다로운 위치에 상기 위치 결정 장치를 설치할 수 있는 장점이 있다.
또한, 플레이트의 구동 유닛들이 상호 간에 중첩되지 않게 배치되어 구동 모터들의 형상 또는 사이즈의 제한 없이 설치가 가능해지고, 관통홀이 형성되어 광학 장치를 함께 이용할 수 있게 되는 장점이 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허 청구 범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.
100 : 베이스 플레이트 101 : 베이스 플레이트 몸체
102 : 제1 정렬홀 103 : 제1 지지 프레임
104 : 제1 가이드 레일 105 : 플레이트 고정부
111 : 제1 가이드 레일 몸체 112 : 제1 함몰홈
200 : 제1 무빙 플레이트 201 : 제1 무빙 플레이트 몸체
203 : 제2 지지 프레임 204 : 제2 가이드 레일
205 : 제3 가이드 레일 206 : 제3 지지 프레임
207 : 연장부 208 : 제2 정렬홀
211 : 제2 가이드 레일 몸체 212 : 제2 함몰홈
300 : 제2 무빙 플레이트 301 : 제2 무빙 플레이트 몸체
302 : 제4 지지 프레임 303: 제4 가이드 레일
304 : 회전 부재 305 : 제3 정렬홀
306 : 제1 결합홀 400 : 회전 플레이트
401 : 회전 플레이트 몸체 402 : 제4 정렬홀
403 : 제2 결합홀 405 : 브래킷 삽입홈
406 : 브래킷 고정홀 500 : 제1 구동 유닛
510 : 제1 구동 유닛 몸체 520 : 제1 무빙 브래킷
530 : 제1 구동 모터 550 : 제1 구동 샤프트
600 : 제2 구동 유닛 610 : 제2 구동 유닛 몸체
620 : 제2 무빙 브래킷 630 : 제2 구동 모터
650 : 제2 구동 샤프트 700 : 제3 구동 유닛
710 : 제3 구동 유닛 몸체 711 : 프레임부
712 : 커버부 720 : 제3 무빙 브래킷
721 : 제1 체결홀 730 : 제3 구동 모터
740 : 피벗 브래킷 742 : 라운드부
760 : 브래킷 고정부재 761 : 헤드부
762 : 넥부 763 : 제2 체결홀
750 : 제3 구동 샤프트 770 : 제3 탄성 부재
800 : 롤러 부재

Claims (12)

  1. 베이스 플레이트;
    상기 베이스 플레이트 상에, 제1 축으로 이동 가능하게 배치되는 제1 무빙 플레이트;
    상기 제1 무빙 플레이트 상에, 상기 제1 축에 대하여 직교하며 상기 제1 무빙 플레이트에 대하여 평행한 제2 축 방향으로 이동 가능하게 배치되는 제2 무빙 플레이트;
    상기 제2 무빙 플레이트 상에, 상기 제1 축 및 상기 제2 축에 대하여 동시에 직교하는 회전축을 중심으로 회전 가능하게 배치되는 회전 플레이트;
    상기 베이스 플레이트에 고정되는 제1 구동 유닛 몸체, 및 상기 제1 구동 유닛 몸체에 대하여 상기 제1 축으로 이동 가능하며 상기 제1 무빙 플레이트와 연결되는 제1 무빙 브래킷을 포함하는 제1 구동 유닛;
    상기 제1 무빙 플레이트에 고정되는 제2 구동 유닛 몸체, 및 상기 제2 구동 유닛 몸체에 대하여 상기 제2 축 방향으로 이동 가능하며 상기 제2 무빙 플레이트와 연결되는 제2 무빙 브래킷을 포함하는 제2 구동 유닛; 및
    상기 제2 무빙 플레이트에 고정되는 제3 구동 유닛 몸체, 상기 제1 축 또는 상기 제2 축 방향으로 이동 가능한 제3 무빙 브래킷, 및 일측은 상기 제3 무빙 브래킷에 회전 가능하게 연결되며 타측은 상기 회전 플레이트에 고정되는 피벗 브래킷을 포함하는 제3 구동 유닛;을 포함하고,
    상기 베이스 플레이트는, 판상으로 형성되는 베이스 플레이트 몸체, 및 상기 베이스 플레이트 몸체의 상면에 배치되며 상기 제1 축으로 연장 형성되고 상호 간에 이격되는 한 쌍의 제1 가이드 레일들을 포함하고,
    상기 제1 무빙 플레이트는, 판상으로 형성되는 제1 무빙 플레이트 몸체, 및 상기 제1 무빙 플레이트 몸체의 하면에 배치되며 상기 제1 축으로 연장 형성되고 상기 제1 가이드 레일 사이들에 배치되어 상기 제1 가이드 레일들과 맞물리는 한 쌍의 제2 가이드 레일들을 포함하고,
    상기 제1 무빙 플레이트는, 상기 제1 무빙 플레이트 몸체의 상면에 배치되며 상기 제2 축 방향으로 연장 형성되고 상호 간에 이격되는 한 쌍의 제3 가이드 레일들을 더 포함하고,
    상기 제2 무빙 플레이트는, 상기 판상으로 형성되는 제2 무빙 플레이트 몸체, 및 상기 제2 무빙 플레이트의 하면에 배치되며 상기 제2 축 방향으로 연장 형성되고 상기 제3 가이드 레일들을 사이두고 이격되어 상기 제3 가이드 레일들과 각각 맞물리는 한 쌍의 제4 가이드 레일을 포함하고,
    상기 베이스 플레이트는, 상기 베이스 플레이트 몸체의 상면에서 상방을 향하여 돌출 형성되며, 상기 한 쌍의 제1 가이드 레일들을 중심에 두고 상호 간에 이격되고, 상기 제1 가이드 레일들이 지지되는 한 쌍의 제1 지지 프레임을 더 포함하고,
    상기 제1 무빙 플레이트는, 상기 제1 무빙 플레이트 몸체의 하면에서 하방을 향하여 돌출 형성되며 상기 한 쌍의 제2 가이드 레일들의 사이에 배치되고 상기 제2 가이드 레일들이 지지되는 제2 지지 프레임, 및 상기 제1 무빙 플레이트 몸체의 상면에서 상방을 향하여 돌출 형성되며 상기 한 쌍의 제3 가이드 레일 사이들에 배치되고 상기 제3 가이드 레일들이 지지되는 제3 지지 프레임을 더 포함하고,
    상기 제2 무빙 플레이트는, 상기 제2 무빙 플레이트 몸체의 테두리에서 하방을 향하여 절곡 형성되며 상기 제4 가이드 레일들이 지지되는 제4 지지 프레임을 더 포함하는 위치 결정 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 가이드 레일들은, 상기 제1 축으로 연장 형성되고, 상기 제1 가이드 레일의 길이 방향을 따라서 제1 함몰홈이 형성되는 제1 가이드 레일 몸체를 각각 포함하고,
    상기 제2 가이드 레일들은, 상기 제1 축으로 연장 형성되고 상기 제2 가이드 레일의 길이 방향을 따라서 상기 제1 함몰홈과 마주보는 제2 함몰홈이 형성되는 제2 가이드 레일 몸체를 각각 포함하며,
    상기 제3 가이드 레일들은, 상기 제2 축 방향으로 연장 형성되고, 상기 제3 가이드 레일의 길이 방향을 따라서 제3 함몰홈이 형성되는 제3 가이드 레일 몸체를 각각 포함하고,
    상기 제4 가이드 레일들은, 상기 제2 축 방향으로 연장 형성되고, 상기 제4 가이드 레일의 길이 방향을 따라서 상기 제3 함몰홈과 마주보는 제4 함몰홈이 형성되는 제4 가이드 레일 몸체를 각각 포함하며,
    상기 제1 가이드 레일 몸체 및 상기 제2 가이드 레일 몸체 사이에 배치되어, 상기 제1 함몰홈 및 상기 제2 함몰홈에 끼워지는 원형의 제1 롤러 부재; 및 상기 제3 가이드 레일 몸체 및 상기 제4 가이드 레일 몸체 사이에 배치되어 상기 제3 함몰홈 및 상기 제4 함몰홈에 끼워지는 원형의 제2 롤러 부재;를 더 포함하는 위치 결정 장치.
  5. 삭제
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 무빙 플레이트는,
    상기 제1 무빙 플레이트 몸체의 일측으로부터 상기 제1 축으로 연장 형성되며, 상기 제2 구동 유닛 몸체의 적어도 일부가 안착 및 고정되는 연장부를 포함하는 위치 결정 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 베이스 플레이트는, 상기 베이스 플레이트 몸체의 일측 및 타측에 형성되고, 복수의 관통홀들이 형성되는 한 쌍의 베이스 플레이트 고정부들을 더 포함하는 위치 결정 장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 베이스 플레이트, 상기 제1 무빙 플레이트, 상기 제2 무빙 플레이트, 및 상기 회전 플레이트에는 각각 원형의 제1 정렬홀, 제2 정렬홀, 제3 정렬홀 및 제4 정렬홀이 형성되고, 상기 회전축은 상기 제1 정렬홀, 제2 정렬홀, 제3 정렬홀 및 제4 정렬홀을 지나가는 것을 특징으로 하는 위치 결정 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 제1 정렬홀 및 상기 제2 정렬홀은 제1 크기로 형성되며, 상기 제3 정렬홀 및 상기 제4 정렬홀은 제2 크기로 형성되고, 상기 제1 크기는 상기 제2 크기보다 큰 것을 특징으로 하는 위치 결정 장치.
  10. 제 8 항에 있어서,
    상기 제1 무빙 플레이트 또는 상기 제2 무빙 플레이트가 각각 상기 베이스 플레이트 또는 상기 제1 무빙 플레이트에 대하여 이동되는 과정에서, 상기 제1 무빙 플레이트 및 상기 제2 무빙 플레이트는 상기 회전축과 간섭되지 않는 것을 특징으로 하는 위치 결정 장치.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 제2 구동 유닛 및 상기 제3 구동 유닛은, 상기 회전 플레이트를 사이에 두고 상호 간에 나란하게 배치되며,
    상기 제1 구동 유닛은 상기 제2 구동 유닛 및 상기 제3 구동 유닛의 일측에 배치되고,
    상기 제1 구동 유닛은, 나사산이 형성된 외주면에 상기 제1 무빙 브래킷이 상기 제1 축 방향으로 이동 가능하게 마련되며 상기 제1 축 방향으로 연장 형성되는 제1 구동 샤프트, 및 상기 제1 구동 샤프트에 회전력을 전달하는 제1 구동 모터를 더 포함하고,
    상기 제2 구동 유닛은, 나사산이 형성된 외주면에 상기 제2무빙 브래킷이 상기 제2 축 방향으로 이동 가능하게 마련되며 상기 제2 축 방향으로 연장 형성되는 제2 구동 샤프트, 및 상기 제2 구동 샤프트에 회전력을 전달하는 제2 구동 모터를 더 포함하고,
    상기 제3 구동 유닛은, 나사산이 형성된 외주면에 상기 제3 무빙 브래킷이 상기 제2 축 방향으로 이동 가능하게 마련되며 상기 제2 축 방향으로 연장형성되는 제3 구동 샤프트, 및 상기 상기 제2 구동 샤프트에 회전력을 전달하는 제3 구동 모터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 위치 결정 장치.
  12. 제 9 항에 있어서,
    상기 제2 무빙 플레이트는, 판상으로 형성되는 무빙 플레이트 몸체 및 상기 무빙 플레이트 몸체의 중앙부 측에 형성되며 상기 무빙 플레이트 몸체가 형성하는 평면에 대하여 수직한 방향으로 형성되는 회전축을 중심으로 회전 가능한 회전 부재를 포함하고,
    상기 회전 부재의 중앙에는 상기 제3 정렬홀이 형성되며, 상기 회전 부재의 상면에는 상기 회전 플레이트에 형성되는 제2 결합홀과 정렬되며, 상기 회전 플레이트를 상기 제2 무빙 플레이트 몸체에 대하여 회전 가능하게 연결시키기 위한 제1 결합홀이 형성되는 것을 특징으로 하는 위치 결정 장치.
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