JP2009208852A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5320551B2 (ja) * 2009-01-08 2013-10-23 株式会社日立ハイテクノロジーズ プロキシミティ露光装置、プロキシミティ露光装置の基板位置決め方法、及び表示用パネル基板の製造方法
JP2011164402A (ja) * 2010-02-10 2011-08-25 Shin-Etsu Chemical Co Ltd ペリクルの製造方法
JP5897263B2 (ja) * 2011-03-18 2016-03-30 株式会社日立製作所 ペースト塗布ヘッド，ペースト塗布装置及びペースト塗布方法
CN103547964B (zh) * 2012-05-21 2015-02-04 Wi-A株式会社 工作台旋转装置以及具备该装置的摩擦装置

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2700050B2 (ja) * 1994-10-04 1998-01-19 ヒーハイスト精工株式会社 縦横移動旋回テーブル機構
JP3122708B2 (ja) * 1994-12-26 2001-01-09 日立テクノエンジニアリング株式会社 ペースト塗布機
JPH09323056A (ja) * 1996-06-05 1997-12-16 Hitachi Techno Eng Co Ltd ペースト塗布機
JP3919320B2 (ja) * 1998-02-19 2007-05-23 株式会社日本マイクロニクス 検査ステージ
JPH11245128A (ja) * 1998-02-26 1999-09-14 Thk Co Ltd ２軸平行・１軸旋回運動案内機構およびこれを用いた２軸平行・１軸旋回テーブル装置
JP4485138B2 (ja) * 2003-03-31 2010-06-16 日本トムソン株式会社 ２軸直動・旋回案内ユニット及びそれを用いたテーブル装置
JP3604686B1 (ja) * 2003-06-03 2004-12-22 株式会社ファースト ４軸ＸＹθテーブルとその制御方法
JP2004160640A (ja) * 2003-07-28 2004-06-10 Thk Co Ltd 移動テーブル装置
JP2006237485A (ja) * 2005-02-28 2006-09-07 Yaskawa Electric Corp アライメント装置
JP2007310019A (ja) * 2006-05-16 2007-11-29 Nsk Ltd 位置決めテーブル装置

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